1軸フレクシャー移動ステージ、移動量1.5 mm、手動-ピエゾハイブリッド型

手動リニアステージ

手動の移動ステージとして、最大移動量が6 mm以下から50 mmまでのステージをご用意しています。ステージの多くはXY軸やXYZ軸などの多軸構成での注文が可能です。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の手動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかにも、回転ステージ、ピッチ＆ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また、DCサーボモータ、ステッピングモータ、またはダイレクトドライブ技術を用いた電動移動ステージもご用意しています。

クロスローラーベアリングステージ

こちらの直線移動ステージの移動機構には、精密移動、高耐荷重、小角度偏差といった特性を有するクロスローラーベアリングが用いられています。LNRシリーズステージの本体はスチール製、LX、XRNおよびXRシリーズステージの本体はアルミニウム製です。当社ではクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージもご用意しております(下記参照)。

Crossed-Roller Bearing Stages
Product Family	LNR Series 25 mm Stages	LX Series 25 mm Stages	XRN Series 25 mm Stages	XR Series 25 mm Stages	XR Series 50 mm Stages	LNR Series 50.8 mm Stages
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Travel	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	50 mm (1.97")	50.8 mm (2")
Drive Type	Multiple	Micrometer	Micrometer	Micrometer	Micrometer	Multiple
Platform Size	2.34" x 2.36" (59.4 mm x 60.0 mm)	2.56" x 2.56" (65.0 mm x 65.0 mm)	2.00" x 3.35" (50.7 mm x 85.0 mm)	2.98" x 4.33" (75.7 mm x 110.0 mm)	2.98" x 5.51" (75.7 mm x 140.0 mm)	3.94" x 3.94" (100.0 mm x 100.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XZ, XY, XYZ	X, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

ボールベアリングステージ

こちらの移動ステージでは、精密移動と長寿命を実現するために、硬化スチール製リニアベアリングが用いられています。様々なアクチュエータが付いた製品や、1軸ステージや予め多軸ステージとして構築された製品をご用意しております。

Ball Bearing Stages
Product Family	MS Series 1/4" Stages	T12 Series 1/2" Stages	MT Series 1/2" Stages	PT Series 1" Stages	LT Series 2" Stages
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Travel	1/4" (6.4 mm)	1/2" (12.7 mm)	1/2" (12.7 mm)	1" (25.4 mm)	2" (50 mm)
Drive Type	Multiple	Thumbscrew	Multiple	Multiple	Differential Micrometer
Platform Size	1.17" x 1.17" (29.7 mm x 29.7 mm)	0.76" x 0.81" (19.3 mm x 20.6 mm)	2.40" x 2.41" (61.0 mm x 61.2 mm)	3.00" x 4.00" (76.2 mm x 101.6 mm)	3.75" x 3.75" (95.3 mm x 95.3 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

アリ溝式ステージ

これらの小型ステージの移動機構にはアリ溝と送りネジが組み込まれています。一般的な移動制御用に適したステージです。

Dovetail Stages
Product Family	DT Series 1/2" Stages	DTS Series 1" Stages (Vacuum-Compatible Version Available)	DTS Series 2" Stage
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Travel	1/2" (12.7 mm)	1" (25 mm)	2" (50 mm)
Drive Type	Thumbscrew	Thumbscrew	Thumbscrew
Platform Size	1.00" x 1.00" (25.4 mm x 25.4 mm)	2.68" x 2.95" (68.0 mm 75.0 mm)	2.68" x 3.74" (68.0 mm x 95.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZa	X, XY, XYZ
Additional Details

• XYZステージを構築するためのアルマイト加工済み直角ブラケットDTSA03は、真空対応ステージDTS25V/Mにもご使用いただけますが、真空には対応しておりません。
• 移動量25 mmのDTSシリーズには、アルマイト加工されたステージDTS25(/M)と、10^-6 Torrまでの真空に対応するDTS25V(/M)がございます。

フレクシャーステージ

移動ステージNanoflex™には摩擦の無いフレクシャー機構が用いられており、ベアリングを用いた同様のステージと比較して位置決め性能と分解能が向上しています。ステージの移動は、取付けプラットフォームに取り付けられた連結部の弾性変形(たわみ)によって実現されています。多くのモデルには、微細な位置調整用にピエゾアクチュエータも付属します。　

Flexure Stages
Product Family	Nanoflex™ 1.5 mm Stage	Nanoflex™ 5 mm Stages
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Travel	1.5 mm (0.06") + 25 µm Piezo	5 mm (0.20")	5 mm (0.20") + 20 µm Piezo
Drive Type	Thumbscrew and Piezo Actuator	Differential Micrometer	Differential Micrometer and Open-Loop Piezo Actuator	Differential Micrometer and Closed-Loop Piezo Actuator
Platform Size	1.18" x 1.18" (30.0 mm x 30.0 mm)	2.95" x 2.95" (75.0 mm x 75.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

垂直移動ステージ

当社では精密移動用のクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージや、高荷重用の長距離垂直移動ステージもご用意しております。　

Vertical Stages
Product Family	XRN Series 9 mm Vertical Stage	XR Series 14 mm Vertical Stage	MVS Series 1/2" Vertical Stage	MVS Series 1" Vertical Stage	VAP Series 4" Vertical Stage	VAP Series 10" Vertical Stage
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Travel	9.0 mm (0.35")	14.0 mm (0.55")	1/2" (13.0 mm)	1" (25.0 mm)	4" (101.6 mm)	10" (254 mm)
Drive Type	Worm-Gear Driven Lift Screw		Micrometer		Adjuster Knob and Coarse Manual Positioning
Platform Size	2.00" x 2.00" (50.7 mm x 50.7 mm)	2.98" x 2.98" (75.7 mm x 75.7 mm)	2.36" x 2.36" (60.0 mm x 60.0 mm)		3.00" x 6.00" (76.2 mm 152.4 mm)
Additional Details

電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC^®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。当社のモジュール式クイック接続型移動ステージXR25シリーズは、同じ原理で動作するピエゾ慣性アクチュエータPIA25で駆動できます。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec^®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。

Piezoelectric Stages
Product Family	ORIC® PDXZ1 Closed-Loop 4.5 mm Vertical Stage	ORIC® PD2 Open-Loop 5 mm Stage	ORIC® PDX2 Closed-Loop 5 mm Stage	ORIC® PDX4 Closed-Loop 12 mm Stage
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Travel	4.5 mm	5 mm		12 mm
Speed	1 mm/s (Typ.)a	10 mm/s (Typ. Max)b	8 mm/s (Typ.)c	15 mm/s (Typ.)a
Drive Type	Piezoelectric Inertia Drive
Possible Axis Configurations	Z	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	45.0 mm x 42.0 mm	13.0 mm x 13.0 mm		13.0 mm x 23.0 mm
Additional Details

• この仕様値は周波数20 kHzの閉ループモードで駆動したときの値です。
• ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube^® KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
• ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時

Piezoelectric Stages
Product Family	ORIC® PD1 Open-Loop 20 mm Stage	ORIC® PD1D Open-Loop 20 mm Monolithic XY Stage	ORIC® PDX1 Closed-Loop 20 mm Stage	ORIC® PD3 Open-Loop 50 mm Stage	Compact Modular XRN25X 25 mm Stage	Modular XR25X 25 mm Stage
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Travel	20 mm			50 mm	25 mm
Speed	3 mm/s (Typ. Max)a		20 mm/s (Typ. Max)b	10 mm/sc	≤3.6 mm/mind	≤3.6 mm/mind
Drive Type	Piezoelectric Inertia Drive
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, YZ, XZ, XYZ
Mounting Surface Size	30.0 mm x 30.0 mm			80.0 mm x 30.0 mm	85.0 mm x 50.7 mm	110.0 mm x 75.7 mm
Additional Details

• 表脚注コントローラK-CubeKIM101使用時
• ベンチトップ型コントローラPDXCまたはPDXC2
• ベンチトップ型コントローラPDXCまたはPDXC2使用時。コントローラK-Cube^® KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージ PD2/Mまたは PD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
• Kinesisで与えられた設定に対して、各デバイスが1方向に移動している間のステップサイズは最大20%変動する可能性があり、また一般にその再現性もありません。開ループ型であるため、コンポーネントのバラツキ、移動方向および使用条件などにより、この変動がさらに大きくなる可能性があります。
• ピエゾ慣性アクチュエータPIA25は、高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適しています。
• 光学式エンコーダENCXR25(別売り)をご使用いただくと、精度10.0 µmでの位置の読み出しが可能になります。

Piezoelectric Stages
Product Family	Nanoflex™ 20 µm Stage with 5 mm Actuator	Nanoflex™ 25 µm Stage with 1.5 mm Actuator	Elliptec® 28 mm Stage	Elliptec® 60 mm Stage	LPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel	20 µm + 5 mm Manual	25 µm + 1.5 mm Manual	28.0 mm	60.0 mm	1.1 mm
Speed	-		180 mm/s (Max)	90 mm/s (Max)	-
Drive Type	Piezo with Manual Actuator		Resonant Piezoelectric Motor		Amplified Piezo
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X		Z
Mounting Surface Size	75.0 mm x 75.0 mm	30.0 mm x 30.0 mm	15.0 mm x 15.0 mm		21.0 mm x 21.0 mm
Additional Details

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。これらのステージの多くは多軸移動機能を有していたり(PLSXY)、あるいは多軸ステージを組み立てることが可能であったりします(PLSX、クイック接続型XR25シリーズ、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。

Stepper Motor Stages
Product Family	MVSN1(/M) 13 mm Vertical Stage	PLS Series 1" Stages	Modular XR25 Series 25 mm Stage	LNR Series 25 mm Stage	LNR Series 50 mm Stage
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Travel	13 mm	1" (25.4 mm)	25 mm	25 mm	50 mm
Maximum Velocity	5.0 mm/s	7.0 mm/s	2.0 mm/s	2.0 mm/s	50 mm/s
Possible Axis Configurations	Z	X, XY	X, XY, YZ, XZ, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	24.5 mm x 50.0 mm	3" x 3" (76.2 mm x 76.2 mm)	110.0 mm x 75.7 mm	60 mm x 60 mm	100 mm x 100 mm
Additional Details

Stepper Motor Stages
Product Family	NRT Series 100 mm Stage	NRT Series 150 mm Stage	LTS Series 150 mm Stage	LTS Series 300 mm Stage	MLJ250 50 mm Vertical Stage
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Travel	100 mm	150 mm	150 mm	300 mm	50 mm
Maximum Velocity	30 mm/s		50 mm/s		3.0 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X, XY, XYZ		Z
Mounting Surface Size	84 mm x 84 mm		100 mm x 90 mm		148 mm x 131 mm
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product Family	MT Series 12 mm Stages	PT Series 25 mm Stages	Compact Modular XNR25X 25 mm Stage	Modular XR25X 25 mm Stage	M30 Series 30 mm Stage	M30 Series 30 mm Monolithic XY Stage
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Travel	12 mm	25 mm	25 mm		30 mm
Max Speed	2.6 mm/s		2.6 mm/sa		2.4 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X, XY, YZ, XZ, XYZ		X, Z	XY, XZ
Mounting Surface Size	61.0 mm x 61.0 mm	101.6 mm x 76.2 mm	85.0 mm x 50.7 mm	110.0 mm x 75.7 mm	115.0 mm x 115.0 mm
Additional Details

• 速度を2.6 mm/sまで上げると、速度リップルや加減速プロファイルの歪みが発生する可能性があります。制御性能を向上させるには、最大速度を2.3 mm/s以下に制限してください。

DC Servo Motor Stages
Product Family	MTS Series 25 mm Stage	MTS Series 50 mm Stage	MTS Series 100 mm Stage	M150 Series 150 mm XY Stage	KVS30 30 mm Vertical Stage
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Travel	25 mm	50 mm	100 mm	150 mm	30 mm
Max Speed	2.4 mm/s			X-Axis: 170 mm/s Y-Axis: 230 mm/s	8.0 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ			XY	Z
Mounting Surface Size	43.0 mm x 43.0 mm			272.4 mm x 272.4 mm	116.2 mm x 116.2 mm
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product Family	DDS Series 50 mm Stage	DDS Series 100 mm Stage	DDS Series 220 mm Stage	DDS Series 300 mm Stage	DDS Series 600 mm Stage
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Travel	50 mm	100 mm	220 mm	300 mm	600 mm
Maximum Velocity	500 mm/s		300 mm/s	400 mm/s	400 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY		X, XY	X	X
Mounting Surface Size	60 mm x 52 mm		88 mm x 88 mm	120 mm x 120 mm
Additional Details