5 mm直線移動ステージ(リニアステージ)ORIC®、ピエゾ慣性アクチュエーター付き


  • 5 mm Linear Stages with Open- or Closed-Loop Positioning
  • 1 kg Horizontal Load Capacity
  • Stackable Design for Compact 1-, 2-, or 3-Axis Setups

PD2

Piezo Inertia Stage

U.S. Patent 11,606,045

Application Idea

PDX2/M Stages in XYZ Configuration
Using PD2T/M and PD2Z/M Adapters

PD2T(/M)

8-32 (M4) Threaded
Adapter Plate

PD2U(/M)

#8 (M4) Counterbored
Adapter Plate

PDX2

Piezo Inertia Stage
with Optical Encoder

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ORIC® Piezo Inertia Stage Selection Guide
4.5 mm Vertical Translation Stage
5 mm Linear Translation Stages
20 mm Linear Translation Stages
50 mm Linear Translation Stage
Rotation Stages
Vacuum-Compatible Stages
Quick Links
Linear Stage
Linear Stage with Optical Encoder
Adapters
Fixed Optic Mount
Controllers
ORIC Webinar

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アダプタPD2T/MおよびPD2Z/Mを使用すると、ステージPD2/Mを3台用いてXYZステージを構築できます。

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ステージPDX2/Mに取付けられた、アダプタープレートPD2T/M、マウントPOLARIS-B05S およびØ12.7 mm内部全反射(TIR)レトロリフレクタープリズム

特長

  • 超コンパクトなステンレススチール製ステージ、ピエゾ慣性アクチュエータ付き
  • 高分解能での相対位置決めを求められる組み込み用(OEM用)や位置保持用などに適した製品
  • 開ループおよび閉ループの両方式をご用意
  • 異なる取付け穴パターンを付加するためのアダプタープレート
  • 垂直取付けやXYZ構成を可能にする直角ブラケットアダプタ
  • Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子用の固定式光学マウント
  • ピエゾ慣性アクチュエータ付きステージ用のコントローラが別途必要(下記参照)

当社のPD2シリーズのピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージ(リニアステージ)ORIC®(特許取得済み11,606,045)　は、コンパクトなパッケージながら、ピエゾ制御により高速で安定した直線動作をバックラッシュなしで行うことができます。ステージPD2/Mは開ループで動作しますが、光学式エンコーダ付きステージPDX2/Mは開ループでも閉ループでも動作します。どちらのステージも水平耐荷重は1 kgです。このピエゾ慣性アクチュエータは、ステージが静止してピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期保持を共に要求される用途に適しています。

負荷の取付け
負荷はステージの可動プラットフォーム上のネジ穴(M1.2 x 0.25)を用いて固定することができます。また、アダプタープレートPD2T/MやPD2U/M(別売り、下記参照)を取付けて、ステージの上部プレートにそれぞれM4 x 0.7やM4用ザグリ穴を付加することができます。Ø1 mm位置決めピン用の穴(深さ1.5 mm)を利用して、負荷のアライメントを行うことも可能です。詳細は下の図をご覧ください。なお、位置決めピンを穴に取付けるときは、穴の最大挿入深さを超えないようにご注意ください。ピンが穴から突き出ているとステージが損傷する場合があります。詳細は「仕様」タブをご覧になるか、下の赤いアイコン ()をクリックして資料をご覧ください。

Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子用の固定式光学マウントPD2FM5(別売り、下記参照)を用いると、ステージPD2/MまたはPDX2/Mの上部プラットフォームに最大厚さ3.9 mmまでの光学素子を取り付けることができます。

ステージの取付け
2つのM1.2取付け用ザグリ穴は、可動プレートを可動範囲の末端まで移動させるとアクセスできるようになります。推奨取付けトルクは0.03 N·mです。当社では、特定のトルクで締め付けるためのトルクドライバTD24をご用意しております。TD24をご用意しております。

ステージは平らな面(平面度≤5 μmを推奨)に取り付ける必要があります。このステージを平面度が5 µmよりも大きな面に取り付けた場合(多くのブレッドボードや光学テーブルに当てはまります)、ステージの速度変動やピッチ・ヨーに関する仕様を満たすには取付けトルクを緩める必要が生じることがあります。ORICシリーズ汎用アダプタープレートPD1B3/Mの取付け面は精密な平面度を有し、PD2シリーズのステージを取付けるためのM1.2ネジ穴が付いています。このプレートは、付属のM6ネジを用いて直接ブレッドボードに取付けられます。

他の方向への動作を追加したい場合には、2台の直線移動ステージを積み重ねてXYステージを構築できます。直角ブラケットアダプタPD2Z/Mを使用すると、1台の1軸ステージを他のステージの上に垂直方向に取り付けることができ、XZまたはXYZステージを構築することができます(右の写真参照)。ステージを垂直に取り付けた場合、許容負荷が大幅に減少しますのでご注意ください。アダプタープレートPD2T/MまたはPD2U/Mの中央の取付け部を利用して、PD2シリーズステージをM4 x 0.7ネジ付きコンポーネントに取り付けることも可能です。

当社では、30 mmケージシステム用のマウントとしてXPCM1/Mをご用意しています。これにはアダプタープレートPD2U/Mを取付けられるため、PD2シリーズステージを30 mmケージシステムに取り付けることができます。

他のORICステージへの取付けについて5 mmステージPD2シリーズは、アダプタープレートPD1T/MまたはPD2U/Mを用いて20 mmステージPD1シリーズに取り付けたり、アダプタープレートPD2U/Mを用いて50 mmステージPD3/Mに取り付けたりすることができます。

専用コントローラ
こちらのステージを駆動するには当社のピエゾ慣性アクチュエータ用コントローラが必要です。一般的なピエゾコントローラでは、ピエゾ慣性アクチュエータを駆動することはできませんのでご注意ください。各ステージに対応するコントローラについては下記の製品紹介をご覧ください。

Inertia Motor Operation
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ピエゾ慣性アクチュエータの動作の簡略図
Inertia Motor Operation
「スティック-スリップ」のサイクルは、ピエゾが緩やかに伸びるプロセスと、急速に縮むプロセスから構成されています。

ピエゾ慣性「スティック-スリップ」モータ

ピエゾ慣性モータは、フレクシャ機構と結合したピエゾアクチュエータ、摩擦要素、およびスライダ(可動プラットフォーム)の3つの主要パーツから構成されています。「スティック」の期間では、ピエゾはランプ関数の電圧波形に従って緩やかに伸び、摩擦要素とスライダを同時に前方に押します。「スリップ」の期間では、駆動電圧が急速に低下するのに合わせて、ピエゾ素子は摩擦要素を後方に「スリップ」させながら最初の長さに戻ります。この時、スライダの慣性が十分大きく、一方で摩擦要素とスライダ底部の間の動摩擦係数が十分小さいため、スライダは動きません。右のグラフは「スティック-スリップ」の1サイクルにおけるピエゾ駆動電圧を示しています。

このサイクルを繰り返すことにより、スライダは連続的に前方に移動します。逆方向へ移動させるには、ピエゾが急速に伸びて緩やかに縮む(すなわち「スリップ-スティック」)ための、逆の電圧パターンが必要です。動作中のステージではハイピッチのノイズが発生し、またある程度の熱が発生する場合があります。これはデバイスの正常な動作状態であり、故障ではありません。

使用条件やピエゾ素子のヒステリシス、コンポーネントのバラツキ、軸方向の負荷などの様々な要因によってステップサイズは変化し、また再現性もありません。この変化を解消するには、外部フィードバックシステムが必要になります。

PD2(/M) Stage Specificationsa
Driving ControllerPDXC or PDXC2 Benchtop ControllersKIM001 or KIM101 K-Cube Controllers
Travel5.0 mm (0.20")
Step SizeMinimum: 0.1 µmb
Maximum: < 1 µmc
Adjustability: From 0.1 μm to 1 μmc		Minimum: 1.0 µmb
Maximum: < 2 µmc
Adjustability: ≤30%c
Maximum Step Frequencyd20 kHz2 kHz
Speed (Continuous Stepping)e,f10 mm/s Typical Max2 mm/s Typical Max
Average Speed Variation
Over Travel Rangef,g
±10%±15%
Horizontal Load Capacity1 kg (2.20 lbs)
Vertical Load Capacityh50 g (1.76 oz)
Clamping / Holding Force 1.5 N
Pitch / Yaw Over Travel Range500 µrad
XY Stacked Orthogonality< 5 mrad
Motor TypePiezoelectric Inertia Drive
Lifetimei> 10 Billion Steps
Piezo Specifications
Max Operating Voltage50 V (Item # PDXC) or 56 V (Item # PDXC2)125 V
Capacitance50 nF
Physical Specifications
Operating Temperature10 to 40 °C (50 to 104 °F)
Connector TypeD-Sub FemaleSMC Female
(PD2AD Adapter Required, Sold Separately)
Cable LengthIntegrated Cable: 1 m (3.3 ft),
PDXCE Cable (Optional, Not Included): 3 m (9.8 ft)j		Integrated Cable: 1 m (3.3 ft) &
PD2AD Adapter (Required, Not Included): 1 m (3.3 ft)k
Top Plate
Mounting Options		Six 00-90 (M1.2 x 0.25) Threaded Holes, 2.0 mm Deep
Two Ø1 mm Dowel Pin Holes, 1.5 mm Deep
PD2T(/M) and PD2U(/M) Adapters
PD2FM5 Ø1/2" Fixed Optic Mount
Dimensions13.0 mm x 13.0 mm x 6.5 mm
(0.51" x 0.51" x 0.26")
Weight (Including Cable)32 g (1.13 oz)
Required Controller
(Sold Separately Below)l,m		PDXC, PDXC2, KIM001, or KIM101
  • 仕様値は、別途特記のない限り、コントローラPDXCまたはPDXC2(振幅設定100%、詳細はPDXCまたはPDXC2コントローラのマニュアルを参照)、あるいはコントローラKIM001またはKIM101(振幅85 V、PD(R)ステージモード)を用いて測定しています。ステージは平面度≤5 µmの平面上に取り付けています。
  • コントローラPDXCまたはPDXC2(振幅10%、20 kHzの信号)、あるいはコントローラKIM001またはKIM101(振幅100%、2 kHzの信号)を用いて試験しました。最小のステップサイズは、コンポーネントのバラツキ、動作方向、使用条件などによって20%程度変化する可能性があります。
  • ピエゾアクチュエータへの電圧と周波数を変えることで調整できます。詳細はコントローラPDXC、PDXC2、KIM001、KIM101のマニュアルをご参照ください。
  • ステージPD2/Mを駆動するときは、コントローラPDXCまたはPDXC2の場合はステップ周波数を20 kHzに、KIM001またはKIM101の場合はステップ周波数を2 kHzに設定することをお勧めします。それ以外のステップ周波数では、ステージが不意に停止したり、反対方向に動いたりする可能性があります。
  • 開ループ動作の特性、コンポーネント間の差異、使用条件などにより、速度は前方移動と後方移動とで最大50%の差が生じる場合があります。ソフトウェアを正しく設定せずにステージを操作すると、この差がさらに大きくなります。コントローラKIMx01を使用する場合は、Kinesisソフトウェアでのステージの種類は必ず「PD(R)」を選択してください。前後両方向への移動速度を均衡させなければならない場合は、コントローラPDXCまたはPDXC2を使用して前後の駆動電圧の振幅をそれぞれ調整し、速度の差を低減することをお勧めします。
  • コントローラPDXCまたはPDXC2においてはステップ周波数20 kHz、コントローラKIM001またはKIM101においてはステップ周波数2 kHzでの仕様値。
  • 1方向への移動における速度の変化
  • 軸方向/移動方向のプッシュ/プル力(0.5 N)に相当します。
  • 垂直方向に取り付けた状態で長期間(> 30億ステップ)使用すると、レールがクリープし、移動距離が減少することがあります。性能を回復させるために、垂直方向でおよそ10億ステップ使用したら、ステージを水平に置いて全移動範囲にわたって前後に数回動かしてください。 ステージを狭い範囲内(フルストロークの10%以下)で長期間使用すると、摩擦要素に偏った摩耗(偏摩耗)が生じるため、製品寿命が短くなります。
  • 長さ3 mの延長ケーブルPDXCEを使用すると、ケーブルの全長は4 mになります。ケーブルの静電容量により、ケーブルの全長は4.5 mを超えないようにご注意ください。
  • 長さ1 mのアダプターケーブルPD2ADを使用すると、ケーブルの全長は2 mになります。ケーブルの静電容量により、ケーブルの全長は2.5 mを超えないようにご注意ください。
  • ステージPD2/Mを駆動するためのPDXCコントローラのファームウェアは、リビジョン1.27以上(コントローラの電源ON時に表示)である必要があります。コントローラKIM001およびKIM101は2019年以降の製品(S/Nラベルに記載)であり、ファームウェアはリビジョン010003以上(コントローラの電源ON時に表示)である必要があります。それより古いファームウェアを使用すると適切に機能せず、またステージやコントローラの故障につながる場合があります。
  • PDXCおよびPDXC2はKIMシリーズのコントローラよりも高い周波数で動作可能なため、ステージPD2/Mをより小さなステップサイズで、より高速に駆動できます。
PDX2(/M) Stage Specificationsa
Driving ControllerPDXC or PDXC2 Benchtop Controller
Travel5.0 mm (0.20")
Step SizeMinimum: 0.3 µm
Maximum: 2.5 mm
Optical Encoder Resolution12.5 nm
Settling Time500 ms Typical
Maximum Step Frequencyb20 kHz
Speed (Continuous Stepping)8 mm/s Typical
Average Speed Variation
Over Travel Rangec
±5%
Bidirectional Repeatability±0.5 µm
Absolute Accuracy±2.5 µm
Horizontal Load Capacity1 kg (2.20 lbs)
Vertical Load Capacityd50 g (1.76 oz)
Clamping / Holding Force 1.5 N
Pitch / Yaw Over Travel Range500 µrad
XY Stacked Orthogonality< 5 mrad
Motor TypePiezoelectric Inertia Drive
Lifetimee≥ 25 km
Piezo Specifications
Max Operating Voltage60 V
Capacitance50 nF
Physical Specifications
Operating Temperature10 to 40 °C (50 to 104 °F)
Connector TypeD-Sub Female
Cable LengthIntegrated Cable: 1.5 m (4.9 ft),
PDXCE Cable (Optional, Not Included): 3 m (9.8 ft)f
Top Plate
Mounting Options		Six 00-90 (M1.2 x 0.25) Threaded Holes, 2.0 mm Deep
Two Ø1 mm Dowel Pin Holes, 1.5 mm Deep
PD2T(/M) and PD2U(/M) Adapters
PD2FM5 Ø1/2" Fixed Optic Mount
Dimensions19.7 mm x 13.0 mm x 8.0 mm
(0.78" x 0.51" x 0.31")
Weight (Including Cable)52 g (1.83 oz)
Required Controller
(Sold Separately Below)		PDXCg or PDXC2
  • 仕様値はコントローラPDXCとPDXC2を用いて測定した値です。コントローラは閉ループ制御モードで使用し、駆動周波数は20 kHzに設定しました。ステージは平面度≤5 µmの平面上に取り付けています。
  • ステージPDX2/Mを駆動するときは、コントローラの駆動周波数を20 kHzに設定することをお勧めします。それ以外の駆動周波数では、ステージが不意に停止したり、反対方向に動いたりする可能性があります。
  • 1方向への移動における速度の変化
  • 軸方向/移動方向のプッシュ/プル力(0.5 N)に相当します。
  • ステージを平坦な取付け面に水平に取り付け、無負荷でフルストロークを往復させて試験しました。垂直方向に取り付けた状態で長期間(>1.5 km)使用すると、レールがクリープし、移動範囲が減少することがあります。性能を回復させるために、垂直方向でおよそ0.5 km駆動したら、ステージを水平に置いて全移動範囲にわたって両方向に数回動かしてください。ステージを狭い範囲内(フルストロークの10%以下)で長期間使用すると、摩擦要素に偏った摩耗(偏摩耗)が生じるため、製品寿命が短くなります。
  • 長さ3 mの延長ケーブルPDXCEを使用すると、ケーブルの全長は4.5 mになります。ケーブルの静電容量により、制御ケーブルの全長は4.5 mを超えないようにご注意ください。
  • コントローラPDXCでステージPDX2/Mを駆動するには、そのファームウェアはリビジョン1.34以上(コントローラの電源ON時に表示)である必要があります。

ステージPD2/M

Dサブメス型15ピン

D-Sub 15
Pin(s)VoltageNameDescription
30 VGNDDigital Ground
120 VPGNDPower Ground
13125 V MaxSigOut1Piezo Output 1
145 V TTLEEPROM1-Wire EEPROM
1, 2, 4-11, 15--Reserved

アダプターケーブルPD2AD(/M)

Dサブオス型15ピン

SMC Female

SMCメス型

SMC Female
0～125 V
D-Sub Pin(s)SMC ConnectorVoltageNameDescription
12Outer Shield0 VPGNDPower Ground
13Core Wire125 V MaxSigOut1Piezo Output 1
1-11, 14, 15---Reserved

ステージPDX2/M

Dサブメス型15ピン

D-Sub 15
Pin(s)Voltage RangeNameDescription
1-7.5 to +12.5 VEncoder_B_NEncoder B-
2-7.5 to +12.5 VEncoder_B_PEncoder B+
30 VGNDDigital Ground
4-7.5 to +12.5 VEncoder_A_NEncoder A-
5-7.5 to +12.5 VEncoder_A_PEncoder A+
6--Reserved
7--Reserved
8+5 V+5 V5 V Power
9-7.5 to +12.5 VEncoder_Z_NEncoder Z-
10-7.5 to +12.5 VEncoder_Z_PEncoder Z+
11--Reserved
120 VPGNDPower Ground
13-10 to +50 VSigOut1Piezo Output
145 V TTLEEPROM1-Wire EEPROM
15--Reserved

注: このソフトウェアは、コントローラPDXCのみに対応します。コントローラPDXC2、KIM001およびKIM101にはご使用いただけません。

ソフトウェア

PDXCバージョン2.1.0

ソフトウェアパッケージPDXCには、GUI、ドライバ、およびサードパーティ開発用のLabVIEW™/C++/Python SDKが含まれています。

Software Download

当社では、ピエゾステージ用コントローラPDXCを制御するためのPDXCソフトウェアパッケージをご用意しています。このコントローラは下記のピエゾ慣性アクチュエータ付きステージの駆動用に設計されています。

  • 光学式エンコーダ付き4.5 mm垂直移動ステージPDXZ1/M
  • 5 mm直線移動ステージPD2/M
  • 光学式エンコーダ付き5 mm直線移動ステージPDX2/M
  • 20 mm直線移動ステージPD1/M
  • 真空対応20 mm直線移動ステージPD1V/M
  • 20 mm XY移動モノリシックステージPD1D/M
  • 光学式エンコーダ付き20 mm直線移動ステージPDX1/M
  • 光学式エンコーダ付き薄型20 mm直線移動ステージPDX1A/M
  • 光学式エンコーダ付き薄型真空対応20 mm直線移動ステージPDX1AV/M
  • 50 mm直線移動ステージPD3/M
  • 回転ステージPDR1C/M
  • 光学式エンコーダ付き回転ステージPDXR1/M

このソフトウェアパッケージには2つの使い方があります。1つはGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを用いる方法で、コントローラの直接的な操作や制御をすぐに行なうことができます。もう1つはサードパーティ開発用の一連のプログラミングインターフェイス(LabVIEW™/C++/Python SDK)を用いる方法で、カスタム仕様の位置決めやアライメント用のプログラムをご希望の開発言語で簡単に作成することができます。

注:このソフトウェアは、コントローラ PDXC2、KIM001、KIM101に対応します。コントローラPDXCにはご使用いただけません。コントローラPDXC2はKinesis®ソフトウェアのみに対応しています。

ソフトウェア

Kinesisバージョン1.14.51

このKinesisソフトウェアパッケージには、当社のKinesisシステムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております。

  • 通信プロトコル
Software Download
Kinesis Software
KinesisソフトウェアのGUI画面

当社のKinesis®ソフトウェアパッケージを用いて、当社の様々なモーションコントローラを駆動することができます。このソフトウェアは小型で低出力のシングルチャンネルドライバ(K-Cubes™など)から、高出力でマルチチャンネルのベンチトップ型ユニットやモジュール型の19インチラックナノポジショニングシステム(ラックシステムMMR60x)まで、当社Kinesisシリーズの様々なモーションコントローラの制御用にご使用いただけます。

Kinesisソフトウェアでは.NETコントロールを使用できるため、最新のC#、Visual Basic、LabVIEW™、あるいはその他の.NET対応言語を使用してカスタムプログラムを作成することができます。.NETフレームワークの使用を想定していないアプリケーションのために、ローレベルのDLLライブラリも含まれています。中央シーケンスマネージャ(Central Sequence Manager)は、当社のすべてのモーションコントロール用ハードウェアの統合と同期の機能をサポートしています。

この共通のソフトウェアプラットフォームにより、ユーザは単一のソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるモーションコントロールデバイスを1つのアプリケーション内で組み合わせて使用することができます。このように1軸システム用から多軸システム用までのあらゆるコントローラを組み合わせ、それら全てを1台のPCの統合されたソフトウェアインターフェイスから制御できます。

このソフトウェアパッケージには2つの使い方があります。1つはGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを用いる方法で、コントローラの到着後すぐに直接的な操作と制御を行なうことができます。もう1つは一連のプログラミングインターフェイスを用いる方法で、ご希望の開発言語によりカスタム仕様の位置決めやアライメント用のプログラムを簡単に作成することができます。

Kinesis®ソフトウェアでは新しい.NETコントロールが使用でき、最新の最新のC#, Visual Basic, LabVIEW™、ほかの.NET対応言語を使用する開発者がカスタムにプログラムを作成することもできます。

C#
このプログラミング言語はマルチプログラミングパラダイムやマルチプログラミング言語が使用可能となるよう設計されているため、複雑な問題が簡単かつ効率的に解決できます。型付け、命令型、宣言型、関数型、ジェネリック、オブジェクト指向、そしてコンポーネント指向が含まれます。 この共通のソフトウェアプラットフォームにより、1セットのソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるKinesisコントローラを簡単に組み合わせることができます。このようにして1軸システムのコントローラから多軸システムのコントローラまで、様々なコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが可能となりました。

Kinesisシステムソフトウェアを使用するには2つの手段があります。コントローラを直接つないで制御を行なう付属のGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティ、またはご希望の開発言語でカスタム仕様の位置決めやアライメントを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。

Kinesisモーションコントロールライブラリの構築の参考となる実行可能なプロジェクト機能拡張例については下のリンクをクリックしてください。なお、Quick Startのプロジェクト例の実行には別の統合開発環境(IDE)(Microsoft Visual Studioなど)が必要です。C#のプロジェクト例はKinesisソフトウェアパッケージに付属する.NETコントロールで実行可能です(詳細は「Kinesisソフトウェア」タブをご覧ください)。

C Sharp IconClick Here for the Kinesis with C# Quick Start Guide
Click Here for C# Example Projects
Click Here for Quick Start Device Control Examples		C Sharp Icon

LabVIEW
LabVIEWは、.Netコントロールを介してKinesisベースのコントローラとの通信に使用できます。LabVIEWでは、ツールとオブジェクトでフロントパネルとして知られるユーザーインターフェイスを構築した後、グラフィカル表記の関数を使ってコードを追加し、フロントパネルのオブジェクトを制御します。下記のLabVIEWチュートリアルでは.Netコントロールを使用してLabVIEW内Kinesis駆動デバイス用の制御GUIを作成するための情報をご提供しています。 LabVIEWでコントローラを制御する基本的な方法や、LabVIEW GUIを用いてデバイスを操作する前に行うべき設定の手順についても解説しています。

Labview IconClick Here to View the LabVIEW Guide
Click Here to View the Kinesis with LabVIEW Overview Page		Labview Icon

仕様の性能を得るために

このアプリケーションノートでは、K-Cube™コントローラKIM001またはKIM101を用いて開ループ方式のORIC®直線移動ステージPD1/MとPD1D/M、および回転ステージPDR1/Mを使用するときに、仕様に示された速度とステップサイズを実現する方法をご説明いたします。下記ではKinesis®ソフトウェアのコントロールおよびK-Cubeの前面パネルの制御装置を用いた例をご紹介しています。開ループシステムを使用するには様々な制限があり、このアプリケーションノートは速度とステップサイズの変動を最小限に抑えるうえでお役に立てるように作成しました。初期設定時のほか、速度やステップサイズに変動が生じる場合には、こちらのアプリケーションノートをご利用いただくことをお勧めいたします。設定の変更方法の詳細については、各ステージやコントローラのマニュアルをご覧ください。


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図2:ステージPD(R)シリーズには推奨されるチャンネル設定があります。設定はDevice Settings -> Current Device Settings-> Channel 1で変更できます。

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図1:ORICステージを制御する時には、ステージタイプをPD(R)に変更する必要があります。これはKinesis Softwareの Device Settings -> Startupで変更できます。

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図4:黒線で丸く囲まれているJogモードはContinuousに設定する必要があります。これはDevice Settings -> Current -> Channel 1で変更が可能です。

図3:黒線で囲まれた部分はデバイスGUIにあるジョグボタンです。

K-CubeコントローラとKinesisソフトウェアのコントロール

Kinesisソフトウェアのステージタイプの初期設定はPIAになっており、ORICステージには適用できません。そのため、初期設定を変更する必要があります。初期設定は、まずデバイスのGUIパネルのDevice Settingsにアクセスし、Startupタブをクリックします。ConfigurationタブでステージタイプをPD(R)に変更し、右下のPersist Settings to the Deviceのボックスにチェックを入れ、左下のSaveボタンをクリックします。それらの選択は図1に丸で示しています。これらの設定により、KinesisソフトウェアはPD(R)のステージタイプ用として使用できます。他のデバイスやチャンネルの設定も、このStartupで変更可能です。　

ステージタイプPD(R)を用いて仕様の速度、速度変化、力を得るためには、特定のチャンネル設定を行うことを推奨します。これらの設定は図2に示すようにDevice SettingsのChannel 1のタブで変更できます。設定は黒線で囲まれたDriveボックス、および青線で囲まれたJogボックスで行います。

Driveボックスでは、Maximum Voltageを85 V、Rateを2000 steps/s、Accelerationを10000 Steps/s2に設定することを推奨します。Jogボックスでは、Forward Sizeを250 Steps、Reverse Sizeを250 Steps、ModeをContinuous、Step Rateを2000 Steps/s、Step Accelerationを10000 Steps/s2に設定することを推奨します。仕様性能を実現するには、ステージを平坦な面、当社が推奨する取付けプレート、または対応するアダプタープレートなどに適切に取り付けることが重要です。

1000 steps/sのStep Rateよりも速い連続ジョグは、図3の黒線で囲まれたデバイスGUIのJogボタンを使用したときにのみ可能です。K-CubeコントローラKIM101のジョイスティックまたはKIM001のホイールを使用したときの連続ジョグ動作は、1000 step/s以下に制限されます。ジョイスティックまたはホイールを使用するとき、シングルステップ動作あるいはカウントによる動作を行う場合は1000 step/sの制限はありません。　

KinesisソフトウェアのJogモードをContinuousまたはSingleに変更したとき、図3の黒線で囲まれたKinesis GUIのJogボタンにのみ影響を与えます。コントローラKIM001またはKIM101の前面パネルのJoystickのモードは変更しません。KinesisソフトウェアのJogモード設定は、Device Settings -> Channel 1 -> Jogボックス -> Mode(図4参照)で行います。詳細については下記の前面パネルの制御装置のセクションでもご覧いただけます。





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図6:KinesisソフトウェアデバイスGUIのDevice SettingsにおけるDeviceタブ。Maximum Step Rate設定は青線で囲まれています。連続Jogモードでジョイスティックを使用する場合、設定は1000 steps/s未満でなければなりません。KinesisのJoystickモードは黒線で囲まれたドロップダウンメニューから選択できます。

図5:K-CubeコントローラKIM101の前面パネルに表示されるオプション5のJoystickモード

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図8:KinesisソフトウェアのStep Size変更画面。Forward SizeおよびReverse Sizeの設定を変更します。またMode設定はGUIのJogボタンのコントロールにのみ影響し、Joystickモードには影響しません。

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図7:駆動速度はKinesisソフトウェアのDevice Settings -> Current -> Channel 1で変更できます。これは前面パネルにおけるメニューオプション3のSet Velocityに相当します。

KIMx01の前面パネルの制御装置とそれに関連する設定

前面パネルの制御メニューには10個のオプションがあります。K-CubeコントローラKIM101の2つのボタンとジョイスティック、またはK-CubeコントローラKIM001のボタンとホイールでアクセスできます。

オプション5のJoystickモード(図5参照)にはJog to Count、 Jogging in Steps、Velocity Controlの3つのモードがあります。KinesisソフトウェアのJoystickモードは前面パネルのオプション5、Joystickモードに関連しています。KinesisソフトウェアにおけるJoystickモードには、Step Rate、Jog、Goto Positionの3つのオプションがあります。この設定は図6に黒線で囲んで示されています。

Jog to Countモードでは、ステージをターゲットとするカウント(初期設定は0)の位置まで、前面パネルのオプション3のSet Velocityで設定された速度で移動させます。オプション3のSet Velocityでは、ステージがオプション5のJog to Countモードおよびオプション1のGoto Pos Countにおいて移動する速度を設定します。Kinesisソフトウェアでは、Device Settings -> Channel 1 -> Driveボックス -> Rateに相当する設定があります。これは図7でご覧いただけます。

Jogging in Stepsモードでは、オプション3のSet Velocityによってステージの速度は変わりません。このモードでの速度はKinesisソフトウェアで変更する必要があります。その設定はDevice Settings -> Channel 1-> Jogボックス ->Step Rateで変更できます。ステージの速度を上げようとするときに、Step Rateを変更する代わりにStep Sizeを変更することもできます。Step Sizeは、KIMコントローラの前面パネルでは、オプション4のJog Step Sizeで変更できます。Kinesisソフトウェアでは、Device Settings -> Channel 1 -> Jogボックス　-> Forward SizeおよびReverse Sizeで変更できます(図8参照)。

オプション5のVelocity Controlモードではジョイスティックを使用して連続ジョグができますが、速度は1000 step/s未満でなければなりません。この速度は前面パネルのオプション3では変更できません。この速度はKinesisソフトウェアのDevice Settings -> Device -> Maximum Step Rateでのみ変更可能です(図6参照)。初期設定で10000という数値が表示される場合がありますが、この値はソフトウェアでは許容されません。数値を1～1000の間に変更する必要があります。

KinesisソフトウェアにおけるJoystickモードのStep Rateは、前面パネルのVelocity Controlモードに関連しており、Maximum Step Rateの設定にご使用いただけます。Direction Senseはジョイスティックまたはホイールを使用するときの移動方向の変更に使用できます。　


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電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。当社のモジュール式クイック接続型移動ステージXR25シリーズは、同じ原理で動作するピエゾ慣性アクチュエータPIA25で駆動できます。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。

Piezoelectric Stages
Product FamilyORIC®
PDXZ1 Closed-Loop
4.5 mm Vertical Stage		ORIC®
PD2 Open-Loop
5 mm Stage		ORIC®
PDX2 Closed-Loop
5 mm Stage
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Travel4.5 mm5 mm
Speed1 mm/s (Typ.)a10 mm/s (Typ. Max)b8 mm/s (Typ.)c
Drive TypePiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsZX, XY, XYZ
Mounting Surface Size45.0 mm x 42.0 mm13 mm x 13 mm
Additional Details
    • この仕様値は周波数20 kHzの閉ループモードで駆動したときの値です。
    • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
    • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時

Piezoelectric Stages
Product FamilyORIC®
PD1 Open-Loop
20 mm Stage		ORIC®
PD1D Open-Loop
20 mm Monolithic XY Stage		ORIC®
PDX1 Closed-Loop
20 mm Stage		ORIC®
PD3 Open-Loop
50 mm Stage
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Travel20 mm50 mm
Speed3 mm/s (Typ. Max)a20 mm/s (Typ. Max)b10 mm/sc
Drive TypePiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZXY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting Surface Size30 mm x 30 mm80 mm x 30 mm
Additional Details
    • コントローラK-Cube KIM101使用時
    • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時
    • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。

Piezoelectric Stages
Product FamilyNanoflex™
20 µm Stage
with 5 mm Actuator		Nanoflex™
25 µm Stage
with 1.5 mm Actuator		Modular XR25 Series
25 mm Stage		Elliptec® 28 mm Stage Elliptec® 60 mm StageLPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel20 µm + 5 mm Manual25 µm + 1.5 mm Manual25 mm28 mm60.0 mm1.1 mm
Maximum Velocity-≤3.6 mm/mina180 mm/s90 mm/s-
Drive TypePiezo with Manual ActuatorPiezo Inertia DriveResonant Piezoelectric MotorAmplified Piezo
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, YZ, XZ, XYZXZ
Mounting Surface Size75 mm x 75 mm30 mm x 30 mm110.0 mm x 75.7 mm15 mm x 15 mm21 mm x 21 mm
Additional Details
  • 一方向に移動している間、各デバイスのステップサイズには20%以下の変動があり、通常それに再現性はありません。開ループ型であるため、コンポーネントのバラツキ、移動方向および使用条件などにより、この変動がさらに大きくなる可能性があります。これはKinesisでの設定に適用されます。
  • ピエゾ慣性アクチュエータPIA25は、高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適しています。光学式エンコーダENCXR25(別売り)をご使用いただくと、精度10.0 µmでの位置の読み出しが可能になります。

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。これらのステージの多くは多軸移動機能を有していたり(PLSXY)、あるいは多軸ステージを組み立てることが可能であったりします(PLSX、クイック接続型XR25シリーズ、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。

Stepper Motor Stages
Product FamilyMVSN1(/M) 13 mm Vertical StagePLS Series
1" Stages		Modular XR25 Series
25 mm Stage		LNR Series
25 mm Stage		LNR Series
50 mm Stage
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Travel13 mm1" (25.4 mm)25 mm25 mm50 mm
Maximum Velocity5.0 mm/s7.0 mm/s2.0 mm/s2.0 mm/s50 mm/s
Possible Axis ConfigurationsZX, XYX, XY, YZ, XZ, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting Surface Size24.5 mm x 50.0 mm3" x 3" (76.2 mm x 76.2 mm)110.0 mm x 75.7 mm60 mm x 60 mm100 mm x 100 mm
Additional Details

Stepper Motor Stages
Product FamilyNRT Series
100 mm Stage		NRT Series
150 mm Stage		LTS Series
150 mm Stage		LTS Series
300 mm Stage		MLJ250
50 mm Vertical Stage
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Travel100 mm150 mm150 mm300 mm50 mm
Maximum Velocity30 mm/s50 mm/s3.0 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZZ
Mounting Surface Size84 mm x 84 mm100 mm x 90 mm148 mm x 131 mm
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product FamilyMT Series
12 mm Stages		PT Series
25 mm Stages		Modular XR25 Series
25 mm Stage		MTS Series
25 mm Stage		MTS Series
50 mm Stage
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Travel12 mm25 mm25 mm25 mm50 mm
Maximum Velocity2.6 mm/s2.6 mm/s2.4 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, YZ, XZ, XYZX, XY, XYZ
Mounting Surface Size61 mm x 61 mm101.6 mm x 76.2 mm110.0 mm x 75.7 mm43 mm x 43 mm
Additional Details

DC Servo Motor Stages
Product FamilyM30 Series
30 mm Stage		M30 Series
30 mm Monolithic
XY Stage		M150 Series
150 mm XY Stage		KVS30
30 mm Vertical Stage
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Travel30 mm150 mm30 mm
Maximum Velocity2.4 mm/sX-Axis: 170 mm/s
Y-Axis: 230 mm/s		8.0 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, ZXY, XZXYZ
Mounting Surface Size115 mm x 115 mm272.4 mm x 272.4 mm116.2 mm x 116.2 mm
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product FamilyDDS Series
50 mm Stage 		DDS Series
100 mm Stage 		DDS Series
220 mm Stage 		DDS Series
300 mm Stage 		DDS Series
600 mm Stage
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Travel50 mm100 mm220 mm300 mm600 mm
Maximum Velocity500 mm/s300 mm/s400 mm/s400 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XYX, XYXX
Mounting Surface Size60 mm x 52 mm88 mm x 88 mm120 mm x 120 mm
Additional Details
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5 mm直線移動ステージ、ピエゾ慣性アクチュエータ付き


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PD2(/M)の上部プレートの概略図。ミリ規格の寸法は括弧内に記載されています。

含まれるコンポーネント：

  • 直線移動ステージ、D-Subメス型コネクタが接続されたケーブル付き
  • M1.2 x 0.25スロット付きなべネジ　6本
  • Ø1 mm位置決めピン　6本
  • 開ループ動作
  • 高分解能な位置決め
  • 積み重ねられたXYステージの直交度< 5 mrad
  • コントローラPDXCまたはPDXC2で駆動時の最大速度: 10 mm/s
  • Dサブメス型コネクタが接続された長さ1 mのケーブル付き
  • ピエゾ慣性アクチュエータ用コントローラPDXC、PDXC2、KIM001、またはKIM101が別途必要(下記参照)

開ループ式ピエゾステージORIC® PD2/Mの最大許容負荷は1 kgで、バックラッシュの無い動作が可能です。また、コントローラPDXCかPDXC2で駆動したときの最大速度は10 mm/sです。ピエゾ慣性アクチュエータは、ステージの停止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、マイクロメートルレベルの分解能とアライメントの長期保持を共に要求される用途に適しています。仕様の詳細については「仕様」タブをご参照ください。

ステージは平面度≤5 µmの面に設置してください。取付けアダプタPD1B3/M(下記参照)には精密な平面度の取付け面があり、ステージを光学テーブルやブレッドボードに取付けるときに使用すると、ステージが湾曲するのを防ぐことができます。 別売りでアダプタープレートや直角ブラケットアダプタもご用意しております(上記参照)。

各ステージには、コントローラPDXCまたはPDXC2に直接接続可能な15ピンDサブコネクタの付いた、長さ1.0 mのケーブルが取付けられています。このケーブルを延長したい場合には、長さ3 mの延長ケーブルPDXCE(別売り、下記参照)をご使用いただけます。ステージとコントローラPDXCまたはPDXC2を接続するとき、ケーブルの静電容量により長さ4.5 mを超えるケーブルは使用できませんのでご注意ください。

そのほか、ステージPD2/MはアダプターケーブルPD2AD(長さ1 m、別売り)を用いてコントローラKIM001 またはKIM101に接続できます。ステージとコントローラKIMx01を接続するとき、ケーブルの静電容量により全長2.5 mを超えるケーブルは使用できませんのでご注意ください。

注:動作中のステージではハイピッチのノイズが発生し、またある程度の熱が発生する場合があります。これはデバイスの正常な動作状態であり、故障ではありません。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD2 Support Documentation
PD2Customer Inspired!  5 mm直線移動ステージORIC 、ピエゾ慣性アクチュエータ付き(インチ規格)
￥141,417
3 Weeks
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD2/M Support Documentation
PD2/MCustomer Inspired! 5 mm直線移動ステージORIC 、ピエゾ慣性アクチュエータ付き(ミリ規格)
￥141,417
Today
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5 mm直線移動ステージ、ピエゾ慣性アクチュエーターおよび光学的エンコーダー付き


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PDX2(/M)の上部プレートの概略図。ミリ規格の寸法は括弧内に記載されています。

含まれるコンポーネント：

  • 直線移動ステージ、D-Subメス型コネクタが接続された本体一体型ケーブル付き
  • M1.2 x 0.25スロット付きナベネジ　6本
  • Ø1 mm位置決めピン　6本
  • 個別の試験データ証明書
  • 開ループおよび閉ループでの動作が可能
  • 光学的エンコーダによる最高分解能：12.5 nm
  • 積み重ねてXYステージとしたときの直交度< 5 mrad
  • 閉ループでの最大移動速度の典型値：8 mm/s
  • D-Subメス型コネクタが接続された長さ1.5 mの本体一体型ケーブル付き
  • ピエゾ慣性アクチュエータ用コントローラPDXCまたはPDXC2が別途必要(下記参照)
  • 各ステージは個別に試験を実施し、試験データ証明書を添付します。

この光学式エンコーダが取付けられたピエゾ慣性アクチュエータ付きステージORIC®は、開ループおよび閉ループのどちらのモードでも使用することができます。最大許容負荷は1 kgで、最大速度8 mm/sでバックラッシュの無い動作が可能です。このピエゾ慣性アクチュエータは、ステージが静止していてピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期保持を共に要求される用途に適しています。仕様の詳細は「仕様」タブをご参照ください。

各ステージは、製造後にステージのピッチとヨーの試験を行っています。これにより個々のステージが全移動範囲において仕様値を満たすことを保証しています。試験結果の概要は各ステージに添付される個別のデータシートに記載されています。サンプルデータシートはこちらからご覧いただけます。

ステージは平面度≤5 µmの面に設置してください。別売りでアダプタプレートや直角ブラケットアダプタもご用意しております(下記参照)。

各ステージには、コントローラPDXCまたはPDXC2に直接接続可能な15ピンDサブコネクタの付いた、長さ1.5 mのケーブルが取付けられています。このケーブルを延長したい場合には、長さ3 mの延長ケーブルPDXCE(別売り、下記参照)をご使用いただけます。ステージとコントローラPDXCまたはPDXC2を接続するとき、ケーブルの静電容量により長さ4.5 mを超えるケーブルは使用できませんのでご注意ください。

注：ステージPDX2/Mにご使用いただけるコントローラはPDXCまたはPDXC2のみです。こちらのページに掲載されているKIM001およびKIM101はご使用いただけませんのでご注意ください。動作中のステージではハイピッチのノイズが発生し、またある程度の熱が発生する場合があります。これはデバイスの正常な動作状態であり、故障ではありません。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PDX2 Support Documentation
PDX25 mm直線移動ステージORIC、ピエゾ慣性アクチュエータおよび光学的エンコーダ付き(インチ規格)
￥338,171
3 Weeks
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PDX2/M Support Documentation
PDX2/M5 mm直線移動ステージORIC、ピエゾ慣性アクチュエータおよび光学的エンコーダ付き(ミリ規格)
￥338,171
Today
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アダプタープレート

  • M4 x 0.7ネジ穴またはM4用ザグリ穴の取付け
  • 設置面積:13 mm x 13 mm(ステージPD2/Mと一致)

アダプタープレートをPD2シリーズステージに取付けることで、取付け穴を変更することができます。アダプタープレートPD2T/Mの厚さは3 mmで、中央のM4 x 0.7ネジ穴はプレートの裏側に貫通しているので、下の写真のようにポストの取付けにご使用いただけます。移動量5 mmのPD2シリーズステージは、アダプタPD2U/MとPD1T/Mを用いて20 mm直線移動ステージPD1シリーズに取付けることができます。アダプタープレートPD2U/Mの厚さは6 mmで、中央にはM4用のザグリ穴が開いています。こちらは主に平面度≤5 µmのベースとして使用するよう設計されています。

どちらのアダプタープレートの形状もステージの設置面と一致しており、2本のM1.2 x 0.25スロット付きなべネジと2本のØ1 mm位置決めピン(ステージに附属)を用いて、ステージの上部あるいは底部に固定できます。これらのアダプタは両面とも、PD2シリーズステージおよびブラケットPD2Z/Mに取り付けられます。底面には2個のM1.2 x 0.25貫通ネジ穴と6個のØ1 mm位置決めピン用穴があり(下図参照)、上面には6個のM1.2用ザグリ穴と2個のØ1 mm位置決めピン用穴があります(下図をクリックすると詳細版を表示します)。各アダプタープレートの1つの側面にある2個のM1.2 x 0.25取付け穴は、カスタム仕様の固定プレートなど、カスタム仕様のセットアップを組み込むためにご使用いただけます。詳細は下の図をご参照ください。


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アダプタープレートPD2T/Mの概略図。ミリ規格のアダプタープレートの寸法は括弧内に記載されています。

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アダプタープレートPD2U(/M)の概略図。ミリ規格のアダプタープレートの寸法は括弧内に記載されています。

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PD2シリーズステージは、アダプタPD2T/Mを用いてØ12 mmまたはØ12.7 mmポストに取付けが可能です。
+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD2T Support Documentation
PD2Tアダプタープレート、ピエゾ慣性アクチュエータ付き5 mm直線移動ステージ用、厚さ3 mm、#8-32取付穴(インチ規格)
￥10,201
3 Weeks
PD2U Support Documentation
PD2Uアダプタープレート、ピエゾ慣性アクチュエータ付き5 mmm直線移動ステージ用、厚さ6 mm、#8用ザグリ穴(インチ規格)
￥11,039
3 Weeks
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD2T/M Support Documentation
PD2T/Mアダプタープレート、ピエゾ慣性アクチュエータ付き5 mm直線移動ステージ用、厚さ3 mm、M4 x 0.7取付穴(ミリ規格)
￥10,201
3 Weeks
PD2U/M Support Documentation
PD2U/Mアダプタープレート、ピエゾ慣性アクチュエータ付き5 mm直線移動ステージ用、厚さ6 mm、M4用ザグリ穴(ミリ規格)
￥11,039
3 Weeks
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汎用取付けアダプタ、ORICシリーズステージ用


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アダプタープレートPD1B3(/M)の外形図。穴の横の記号の説明については、左表をご覧ください。 ミリ規格のアダプタープレートの寸法は括弧内に記載されています。

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アダプタPD1B3(/M)に取り付けられたステージPD2(/M)
  • ORICシリーズのステージの取付けに必要なフラットな面を提供
  • 不動態化処理されたステンレススチール製
  • テーブルやブレッドボードへの取付け時のステージの歪みを抑制
  • 寸法 (L x W x H)：65.0 mm x 65.0 mm x 10.0 mm

汎用アダプタープレートPD1B3/Mは、ORICシリーズのすべてのピエゾ慣性ステージに対して、取付ける際に必要なフラットな面(平面度≤5 µm)を提供します。右の外形図の取付け穴(A～H)の詳細は下の表に示します。4つの#4-40ネジ穴を用いて30 mmケージシステムに取付けることができ、またブレッドボードに取付けるための2本のM6ネジが付属しています。

ステージを平面度が5 µmよりも大きな面に取り付けた場合(多くのブレッドボードや光学テーブルに当てはまります)、ステージが歪曲することでステージの速度変動やピッチ・ヨーの性能に影響が現れることがあります。平面度が十分でないテーブルやブレッドボードに取り付けるときには、ステージをこれらの取付けアダプタに取り付けることで、そのような歪曲を大幅に低減することができます。

LabelaHoles/Slots PatternbSpacingb (Stage Compatibility)Threading DepthPlaces
A1/4"-20 (M6) 1" x 2" (25 x 50 mm)Through6
BØ2 mm Dowel
Pin Holes		16 x 16 mm1.5 mm4
C4-4030 x 30 mm (Item #s PDR1(/M), PDR1V(/M))3.5 mm4
D1/4" (M6) Counterbored Slot1" to 2" (25 to 50 mm)N/A4
E00-90 (M1.2)10 x 10 mm (Item #s PD2(/M), PDX2(/M))3.0 mm4
F#8 (M4) Counterbored Slot1.25" (31.25 mm)N/A1
G2-56 (M2)27.0 x 23.4 mm (Item #s PDXZ1(/M), PD1(/M), PD1V(/M), PDX1(/M), PDX1A(/M),
PDX1AV(/M), PD1D(/M), PDR1C(/M))
/ 40.8 x 30 mm		7 mm8
H8-32 (M4)2" (50 mm) (Item # PD3(/M)) / 2" x 2" (50 x 50 mm)
(Item # PDXR1(/M))		7.8 mm4
  • 詳細は外形図をご覧ください。
  • ミリ規格のアダプタープレートの穴や寸法は括弧内に記載されています。
+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD1B3 Support Documentation
PD1B3汎用取付けアダプタ、ORICピエゾ慣性ステージ用(インチ規格)
￥31,162
3 Weeks
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD1B3/M Support Documentation
PD1B3/M汎用取付けアダプタ、ORICピエゾ慣性ステージ用(ミリ規格)
￥31,162
Today
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直角ブラケットアダプタ


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ブラケットPD2Z(/M)の概略図。ミリ規格のブラケットの寸法は括弧内に記載されています。

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アダプタPD2T/MおよびPD2Z/Mを使用すると、PD2シリーズステージを3台用いてXYZステージを構築できます。
  • PD2シリーズステージを垂直面に取り付けて、垂直または水平方向に移動可能
  • 垂直面を利用してX軸、Z軸、XZ軸またはXYZ軸のステージ構成が可能

直角ブラケットPD2Z/Mを用いると、1軸のPD2シリーズステージを垂直面に取り付けることができます。2本のM1.2 x 0.25スロット付きなべネジを用いて、ブラケットの底面をステージPD2/M、アダプタPD2T/MまたはPD2U/Mの上面に固定できます。さらに、2セット目のなべネジと位置決めピンを用いて、ブラケットの垂直面にステージを取り付けることができます。精密にアライメントできるように、各面にはØ1 mm位置決めピン用の穴が6個あります。ブラケットの2つの側面にあるM1.2 x 0.25ネジ穴は、カスタム仕様の固定プレートなど、カスタム仕様のセットアップを組み込むためにご使用いただけます。

注:垂直方向に取り付けた状態で長期間(>30億ステップ)使用すると、レールがクリープし、移動距離が減少することがあります。性能を回復させるために、垂直方向でおよそ10億ステップ使用したら、ステージを水平に置いて全移動範囲にわたって前後に数回動かしてください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD2Z Support Documentation
PD2Z直角ブラケットアダプタ、ピエゾ慣性アクチュエータ付き5 mm直線移動ステージ用(インチ規格)
￥15,092
3 Weeks
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD2Z/M Support Documentation
PD2Z/M直角ブラケットアダプタ、ピエゾ慣性アクチュエータ付き5 mm直線移動ステージ用(ミリ規格)
￥15,092
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Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子用固定式光学マウント


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固定式光学マウントPD2FM5のステージへの取付け穴

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型番数量Description
PD2FM51Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子用マウント、ピエゾ慣性ステージPD2/M用
PD21 5 mm直線移動ステージORIC 、ピエゾ慣性アクチュエータ付き(インチ規格)
PD2U1アダプタープレート、ピエゾ慣性アクチュエータ付き5 mmm直線移動ステージ用、厚さ6 mm、#8用ザグリ穴(インチ規格)
TR21Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ2インチ(インチ規格)
View Metric Product List
型番数量Description
PD2FM51Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子用マウント、ピエゾ慣性ステージPD2/M用
PD2/M15 mm直線移動ステージORIC 、ピエゾ慣性アクチュエータ付き(ミリ規格)
PD2U/M1アダプタープレート、ピエゾ慣性アクチュエータ付き5 mm直線移動ステージ用、厚さ6 mm、M4用ザグリ穴(ミリ規格)
TR50/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ50 mm(ミリ規格)
ステージPD2(/M)にマウントPD2FM5を取り付けると、マウントされた光学素子を光軸に沿って5 mm移動できます。
  • Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子のステージPD2/Mへの取付け
  • 光学素子をステージの移動軸に対して0°または90°で取付け可能
  • SM05ネジ付きの光学素子取付け穴、固定リングPOLARIS-SM05RRが付属
    • 厚さ3.9 mm以下のØ12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子を保持
  • 付属する取付け部品
    • Ø1 mm、長さ3 mmの位置決めピン(2本)
    • #00-90真鍮製すりわり付き丸頭ネジ(2本)
    • M1.2ステンレススチール製すりわり付きチーズ頭ネジ(2個)

固定式光学マウントPD2FM5は、最大厚さ3.9 mmまでのØ12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子を保持するように設計されており、移動量5 mmのピエゾ慣性アクチュエータ付きステージPD2/Mの上部プラットフォームに取り付けられます。ステージPD2/MにアダプタープレートPD2T/Mを取り付け、その上にPD2FM5を取り付けたときの光軸の高さは25.0 mmになります。

光学マウントPD2FM5は、光学式エンコーダの付いたピエゾ慣性アクチュエータ付きステージPDX2/Mにも取り付けられます。そのときの光軸の高さは、ステージ底部から23.55 mmになります。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD2FM5 Support Documentation
PD2FM5Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子用マウント、ピエゾ慣性ステージPD2/M用
￥20,550
3 Weeks
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30 mmケージシステムアダプタ


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型番数量Description
XPCM1130 mmケージシステムマウント、PD1シリーズピエゾ慣性ステージまたはアダプタPD2U用(インチ規格)
PD2U1アダプタープレート、ピエゾ慣性アクチュエータ付き5 mmm直線移動ステージ用、厚さ6 mm、#8用ザグリ穴(インチ規格)
PD21 5 mm直線移動ステージORIC 、ピエゾ慣性アクチュエータ付き(インチ規格)
ER4-P41Ø6 mm ケージアセンブリーロッド、長さ 101.6 mm、4個入り
CP332SM1ネジ付き30 mmケージプレート、厚さ0.35インチ、固定リング2個付属、#8-32タップ穴(インチ規格)
View Metric Product List
型番数量Description
XPCM1/M130 mmケージシステムマウント、PD1シリーズピエゾ慣性ステージまたはアダプタPD2U/M用(ミリ規格)
PD2U/M1アダプタープレート、ピエゾ慣性アクチュエータ付き5 mm直線移動ステージ用、厚さ6 mm、M4用ザグリ穴(ミリ規格)
PD2/M15 mm直線移動ステージORIC 、ピエゾ慣性アクチュエータ付き(ミリ規格)
ER4-P41Ø6 mm ケージアセンブリーロッド、長さ 101.6 mm、4個入り
CP332SM1ネジ付き30 mmケージプレート、厚さ0.35インチ、固定リング2個付属、#8-32タップ穴(インチ規格)
マウントXPCM1(/M)にアダプタPD2U(/M)を取付けると、PD2シリーズステージの取付けが可能になります。

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ケージシステムマウントXPCM1/Mのザグリ穴の配列。ミリ規格製品の寸法とネジについては括弧内に記載されています。
  • ピエゾ慣性ステージPD2またはPD1シリーズを30 mmケージシステムへ取付け
  • 多様な取付け穴
    • M1.2ザグリ穴: PD2シリーズステージを取り付けるためのアダプタPD2U/M用
    • M2 x 0.4取付け穴: 20 mm PD1シリーズステージ取付け用
    • M4取付け穴: PD1シリーズステージ、アダプタPD2U/M、または
      Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)ポスト取付け用
    • ステージのアライメント調整を補助する位置決めピン用穴
  • ケージシステムにはスナップオン式で着脱可能
  • アルマイト加工アルミニウム製

ケージシステムマウントXPCM1/Mは、ピエゾ慣性ステージPD1またはPD2シリーズを30 mmケージシステムに組み込めるように設計されています。4つのスナップオン式タブによりERケージロッドへの着脱が容易です。マウントの位置は各タブの2.0 mm六角止めネジ(セットスクリュ)を締め付けることで固定されます。

マウント上の取付け穴は、ピエゾ慣性ステージやアダプタープレートを取り付けられるように配置されています。2つのM1.2ザグリ穴と2つの1.0 mm位置決めピン用穴を利用するとアダプタープレートPD2U/Mが取付けられ、そのアダプタープレートに当社のPD2シリーズ5 mm直線移動ステージが取り付けられます。4つのM2 x 0.4ザグリ穴と4つの2.0 mm位置決めピン用穴を利用すると、PD1シリーズ20 mm移動ステージを直接取り付けられます。ステージの中心線に沿って配置された3つのM4 x 0.7貫通穴は、マウントXPCM1/Mへのポストの取り付けや、PD1シリーズステージまたはアダプタープレートPD2U/Mの取付けにもご利用いただけます。なお、ケージマウントXPCM1/M、Ø25 mm～Ø25.4 mm光学素子用マウントPD1FM、およびステージPDX1/Mを組合せて使用することは可能ですが、光学素子の中心はケージシステムの光軸に一致しませんのでご注意ください。XYステージPD1D/Mは、ケージマウントおよびØ25 mm～Ø25.4 mm光学素子用マウントと組合せてご使用いただくことはできません。

注: PD1シリーズステージをケージシステムマウントXPCM1/Mなどの平面度が5 µmよりも大きな面に取り付けた場合、ステージの速度変動やピッチ・ヨーに関する仕様を満たすためには、取付けトルクを推奨値よりも緩める必要がある場合があります。詳細については20 mm移動ステージPD1シリーズの製品紹介ページをご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
XPCM1 Support Documentation
XPCM1Customer Inspired! 30 mmケージシステムマウント、PD1シリーズピエゾ慣性ステージまたはアダプタPD2U用(インチ規格)
￥22,358
3 Weeks
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
XPCM1/M Support Documentation
XPCM1/MCustomer Inspired! 30 mmケージシステムマウント、PD1シリーズピエゾ慣性ステージまたはアダプタPD2U/M用(ミリ規格)
￥22,358
3 Weeks
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ピエゾ慣性ステージ用コントローラ、ORIC®シリーズ

Key Specificationsa
SMC PortNumber of PortsTwo
Voltage0 to 40 V
Frequency20 kHz Max
D-Sub PortNumber of PortsOne
Voltage-10 to 50 V
Frequency20 kHz Max
Max Current Limit10 A
Front USBType A, USB Host 2.0
Back USBType B, USB Device 2.0
Voltage of Analog In/Out-10 to 10 V, ±2%
Voltage of Trigger In/Out0 to 5 V, TTL
Input Power100 - 240 VAC, 50 - 60 Hz
  • 詳細な仕様については下の赤いアイコン()をクリックしてマニュアルをご覧ください。
  • PDシリーズピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、および回転ステージPDR1C/MとPDXR1/M用コントローラ
  • 開ループおよび閉ループの両動作をサポート
  • SMCおよび15ピンDサブポートが使用可能

こちらのコントローラは、当社のピエゾ慣性アクチュエータ付きの直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、そして回転ステージPDR1C/M、PDXR1/Mの制御用として設計されています。開ループステージ制御用のSMC出力端子が2チャンネル、開ループまたは閉ループステージ制御用の15ピンDサブ出力ポートが1チャンネル付いています。Dサブコネクタ付きのORICシリーズステージを使用するうえで延長ケーブルが必要な場合には、PDXCEをご使用いただけます(別売り、下記参照)。

組込まれたソフトウェアにより、フロントパネルのボタン、LCDディスプレイ、およびノブを使用して、このユニットをフル制御できます。また、組込みの外部トリガーモードはシングルチャンネル動作をサポートしています。複数のコントローラを接続することで、Dサブモードでラスタ走査のようなマルチチャンネル動作が可能です。ユーザは、PCに接続しなくても、出力ポートの選択、開ループ/閉ループのモード切り替え、ホーミングやエンコーダの校正などを行うことができます。ユニット上での制御のほかに、USB接続を利用してソフトウェアのプラットフォームで簡単にPC制御を行うこともできます。

ユニットには日本国内用の電源コードが付属します。すべての用途において、お手持ちの電源ソケットに適したプラグの付いた、IEC320準拠の電源コードをご使用ください。また、背面パネルに記載された定格電源電圧が、日本国内の電源に合致していることをご確認ください。

詳細については、製品紹介ページをご参照ください。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PDXC Support Documentation
PDXCピエゾ慣性ステージ用コントローラ、マルチステージ用、ORIC®シリーズ
￥381,703
Today
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ピエゾ慣性ステージ用小型コントローラ、ORIC®シリーズ

Key Specificationsa
Performance Specificationsa
D-sub PortNumber of PortsOne
Voltage0 to 56 V
Frequency20 kHz Max
Max Current Limit10 A
Front USBType A, USB HID Host
Back USBType B, USB Device 2.0
I/O PortVoltage of Analog In/Out-10 to 10 V, ±2%
Voltage of Trigger In/Out0 to 5 V, TTL
Ethernet PC CommunicationOne RJ-45 Port
Dimensions (L x W x H)115.2 mm x 150.0 mm x 48.5 mm
(4.54” x 5.91” x 1.91”)
Weight0.53 kg
Input Power12 V, 3 A DAC
  • 詳細な仕様は下の赤いアイコン() をクリックしてマニュアルをご覧ください。
  • ORICシリーズのピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、および回転ステージPDR1C/MとPDXR1/M用のコントローラ
  • コンパクトな設計、ソフトウェアKinesis®による制御
  • 開ループおよび閉ループの両動作をサポート
  • エネルギー効率の高いスイッチングアンプ回路によりピーク出力電流10 Aを実現
  • 設定可能な高速通信インターフェイス：USB 2.0、ギガビットイーサネット、デジタルI/0、アナログI/0
  • パルスレートの範囲:800 Hz～20 kHz

小型コントローラPDXC2 は、当社のピエゾ慣性アクチュエータで動作するORICシリーズの直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、および回転ステージPDR1/MとPDXR1/Mの制御用として設計されています。1チャンネルの開ループまたは閉ループのステージを制御できるポート(15ピンDサブ)が付いています。Dサブ-SMCアダプターケーブルPDXC2AD(下記参照)を使用すると、SMCコネクタを有するステージに接続して開ループ動作での操作ができます。

コントローラPDXC2は、背面パネルのUSBポートまたはイーサネットポートからPCに接続できます。開ループと閉ループのモード切替え、ホーミング動作の実行、パラメータの最適化等の動作パラメータとシステム操作のすべては、Kinesis®ソフトウェア(上の「Kinesisソフトウェア」タブからダウンロードできます)を搭載したPCで制御できます。トリガーモードや移動パラメータなどを設定することで、ラスター走査といった動作を構成することができます。ORICシリーズの特定のエンコーダ付きステージ(型番PDX1/M、PDX1A/M、PDX1AV/M、PDXR1/Mのみ)はモーションコントロールソフトウェアページ内のPDXC2 Calibration Toolを用いて校正できます。詳細はマニュアルをご覧ください。コマンドライン制御もUSBとRS-232のポートを用いて実行できます。

PDXC2は付属の12 VDC電源DS12 (入力電圧100～240 VAC、国内用AC電源ケーブル付属)で電源供給されます。 すべての用途において、お使いの電源ソケットに適したプラグの付いた、IEC320準拠の電源コードをご使用ください。また、背面パネルに記載された定格電源電圧が、日本国内の電源に合致していることをご確認ください。

詳細は製品紹介ページをご参照ください。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PDXC2 Support Documentation
PDXC2Customer Inspired! ピエゾ慣性1軸ステージ用小型コントローラ、ORIC®シリーズ
￥237,558
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ピエゾ慣性ステージ PDXCまたはPCXC2用延長ケーブル


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DB15オス-DB15メス

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外形図

メス型Dサブコネクタ付きのORICステージとピエゾ慣性ステージ用コントローラORIC PDXCまたはPDXC2を接続するとき、必要に応じて長さ3 mの延長ケーブルPDXCEを用いてケーブルを延長することができます。ケーブルの静電容量により、各ステージには推奨する最大ケーブル長があります。延長ケーブルを追加する前に、各ステージの仕様をご確認ください。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PDXCE Support Documentation
PDXCE延長ケーブル、Dサブコネクタ付きORIC®シリーズピエゾステージ用、3.0 m、DB15オス-DB15メス
￥9,782
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K-Cube™コントローラ、ピエゾ慣性ステージおよびアクチュエータ用

Key Specificationsa
Item #KIM001KIM101
Piezoelectric Outputs (SMC Male)OneFour
Piezo Output Voltage85 to 125 VDC85 to 125 VDC per Channel
Top Panel ControlsScroll WheelDual-Axis Joystick
External Input
(SMA Female)		±10 V ± 2%
Input Power+15 VDC @ 2 A
Housing Dimensionsb
(W x D x H)		60.0 mm x 60.0 mm x 47.0 mm
(2.36" x 2.36" x 1.85")		121.0 mm x 60.0 mm x 47.0 mm
(4.76" x 2.36" x 1.85")
Compatible SoftwareKinesis
Compatible
Piezo Inertia Stagesc		5 mm Linear Stage, 20 mm Linear Stages,
50 mm Linear Stage, & Rotation Stages
  • 詳細な仕様は下の赤いアイコン()をクリックしてマニュアルをご覧ください。
  • 取付けプレートは含みません。
  • 5 mmステージPD2/Mおよび50 mmステージPD3/Mに使用するには、アダプターケーブルPD2ADが必要です。コントローラKIM001およびKIM101は光学的エンコーダ付き直線移動ステージPDX1/M、PDX1A/M、PDX1AV/Mには対応していません。
  • コンパクトな設置面積
  • 出力電圧の調整範囲：85 V～125 V
  • 1チャンネルおよび4チャンネルのタイプをご用意
  • 上面のコントロールパネルとディスプレイ画面による単体での操作、またはUSB接続によるPC制御が可能
  • 対応するステージについては右表をご覧ください。

こちらのコンパクトなK-Cubeコントローラを用いると、SMCコネクタを使用したピエゾ慣性ステージ、ピエゾ慣性アクチュエータ、およびピエゾ慣性アジャスタ付き光学マウントの手動操作やPC制御が簡単にできます。アダプターケーブルPD2AD(別売り、下記参照)を使用すると、当社の5 mm直線移動ステージPD2/Mや50 mm直線移動ステージPD3/Mにもお使いいただけます。 これらのコントローラの出力電圧の調整範囲は85 V～125 Vです。上面パネルのディスプレイ画面を使用すれば、PCに接続しなくても、ユニットの電源をONにするだけですぐに操作を開始できます。また、どちらのコントローラもUSB接続によるプラグアンドプレイにより、当社のKinesis®ソフトウェアパッケージ(付属します)を用いたPC制御をすぐにご利用いただけます。

設置面積は小さく、ベースプレートのM6用ザグリ穴スロットを使用して光学テーブルに直接取り付けることができます。小型であるため電動システムの近くに設置することができ、これは上面パネルの操作スイッチ類を用いてモータの位置を手動で調整する際には便利です。また、テーブル上で操作すると駆動用ケーブルの長さが短くなり、ケーブルの管理も楽になります。

シングルチャンネルコントローラKIM001
このシングルチャンネルピエゾ慣性コントローラは、1台のピエゾ慣性ステージまたはピエゾ慣性アクチュエータに対して電圧を供給できます。上面パネルにはバネ付きのスクロールホイールがあり、これを用いてステージやアクチュエータを操作したりメニューを選択したりできます。

4チャンネルコントローラKIM101
この4チャンネルコントローラには、ピエゾ慣性デバイスを駆動するためのSMC出力端子が4つ付いています。これらのチャンネルは、上面パネルの2軸ジョイスティックを使用して、それぞれ単独あるいはペアで操作できます。このコントローラは、最大4台までのPDシリーズピエゾ慣性ステージまたは PIAシリーズピエゾ慣性アクチュエータ、あるいは2台までのPIMシリーズ ピエゾ慣性光学マウントを操作するように設定できます。1台のKIM101では、コントローラのメニュー選択において同じ「Select Stage」の設定を選択するデバイス以外は、同時に駆動することはできません(詳細はマニュアル参照)。

詳細は製品紹介ページをご参照ください。

操作
こちらのステージを駆動する前に、コントローラKIM001またはKIM101のステージ設定を「PD(R)」に設定してください。「Select Stage」を選択し、「PIA」を「PD(R)」に変更してからコントローラを再起動してください。ディスプレイに「Stage is PD(R)」と表示され、ORIC PDシリーズステージを駆動できるように設定が変更されます。その他の前面パネルでの設定についての詳細は、下の赤いアイコン()をクリックしてコントローラKIM001またはKIM101のマニュアルをご覧ください。このドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V～125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。

電源について
モーターコントローラKIM001およびKIM101には、電源は付属していません。対応する電源KPS201は別売り(下記参照)でご用意しています。

注: KIM001およびKIM101は、その設計上の特性と非線形の高周波スイッチング技術を使用していることにより、USBコントローラハブ＆電源KCH301およびKCH601には対応していません。ご使用いただける電源はKPS201のみです。これらのコントローラはステージPDX1/M、PDX1A/M、PDX1AV/Mにも対応していません。5 mmステージPD2/Mおよび50 mmステージPD3/Mに使用するには、アダプターケーブルPD2ADが必要です。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
KIM001 Support Documentation
KIM001Customer Inspired! シングルチャンネルK-Cube慣性モーターコントローラ(電源別売り)
￥116,731
3 Weeks
KIM101 Support Documentation
KIM1014チャンネルK-Cube慣性モーターコントローラ(電源別売り)
￥165,449
3 Weeks
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ステージPD2/MまたはPD3/M用コントローラKIMx01変換アダプターケーブル


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DB15 オス-SMC メス

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図面
  • ステージPD2/MまたはPD3/MのDサブコネクタ(オス)をSMC(メス)コネクタに変換
  • インピーダンス: 50Ω
  • RG174/U同軸ケーブル

ピエゾ素子駆動用ケーブルPD2ADは、ピエゾ慣性直線移動(リニア)ステージPD2/M(移動量5 mm)またはPD3/M(移動量50 mm)をK-CubeコントローラKIM001またはKIM101を使用して駆動する際に必要です。

なお、D-SubのPin 12はSMCコネクタの外側のシールド、Pin 13はSMCのコアワイヤに接続されています。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD2AD Support Documentation
PD2ADピエゾステージPD2/MおよびPD3/M用アダプターケーブル、DB15オス-SMCメス、長さ1 m
￥5,170
Today
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使用可能な電源

  • モーターコントローラKIM001およびKIM101に対応
  • 日本国内向けのアダプタープラグが付属

電源KPS201の出力電圧は+15 VDC、最大電流は2.66 Aで、3.5 mmジャックで1台のK-CubeまたはT-Cubeに電力を供給します。標準的な壁コンセントに接続して使用します。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
KPS201 Support Documentation
KPS201K-Cube&T-Cube単体用電源、15 V、2.66 A、3.5 mmジャック付き
￥5,525
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Additional 電動ステージ
  • 垂直移動: 移動量1100 µmピエゾモータ

  • 垂直移動: 移動量4.5 mmピエゾ慣性アクチュエータ

  • 直線移動:移動量5 mmピエゾ慣性アクチュエータ

  • 直線移動: 移動量12 mm

  • Linear: 13 mm Motorized Vertical Stage

  • 直線移動: 移動量20 mm

  • 直線移動: 移動量25 mm

  • 直線移動: 移動量28 mm

  • 直線移動:移動量30 mm

  • 直線移動: 移動量50 mm

  • 直線移動: 移動量60 mm

  • 直線移動:移動量100 mm~600 mm

  • 多軸ステージ

  • 回転ステージ

  • ゴニオステージ、コントローラ内蔵

  • 1軸＆2軸ゴニオステージ

  • 顕微鏡用ステージ

  • 垂直移動、高耐荷重

  • ピッチ＆ヨー
    プラットフォーム

  • 直線移動：移動量1.5 mm手動＋ピエゾ駆動

  • 直線移動：移動量5 mm
    手動＋ピエゾ駆動

  • 直線移動、手動＋ピエゾ駆動
    30 mmケージシステム用

  • Elliptec®共振モータ付き
    ステージ

  • モーションコントロールの
    設計と製造