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ピエゾアジャスター付きキネマティックミラーマウント


KC1-P

Ø1" Mirror Mount,
30 mm Cage Compatible

POLARIS-K2S2P

Polaris Ø2" Mirror Mount

  • 2- or 3-Adjuster Mounts with Fine Piezo and Coarse Manual Control
  • Mount Ø1/2", Ø1", or Ø2" Mirrors
  • Drive Cables Included or Attached to Mount

PIM1

Ø1" Mirror Mount, Piezo Inertia Actuators

PGM1SE

Piezoelectric Gimbal Mount (Includes Controller)

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KC1-PZ(/M)およびKC1T-PZ(/M)は、3チャンネルピエゾコントローラMDT693Bとセットでも販売しています。

特長

  • 手動アジャスタとピエゾアジャスタが付いた、2軸または3軸のミラーマウント
  • Ø12 mm~Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)、またはØ50 mm~Ø50.8 mm(Ø2インチ)ミラー用
  • ピエゾ駆動用ケーブル付き
  • ±2°の角度調整が可能なピエゾ慣性モーターマウント(機械的調整とピエゾによる調整を合計した全調整範囲)
  • ピエゾによる±275 µradまたは±73µradの角度調整が可能な、30 mmケージシステム対応の光学マウント
  • ピエゾアジャスタ付きジンバル式マウントは光学素子の中心位置を中心に回転
  • 優れた熱安定性と長期安定性を有するピエゾアジャスタ付きPolaris®キネマティックミラーマウント
  • 当社のピエゾコントローラに対応

こちらのページの2軸と3軸のミラーマウントには手動アジャスタおよびピエゾアジャスタが付いており、取り付けられた光学素子のあおり調整(チップ&チルト)に対する粗調整と微調整が可能です。

ピエゾ慣性アジャスタ付きの2軸ミラーマウント
こちらのミラーマウントはピエゾ慣性モータを用いており、慣性力と摩擦力を利用してアジャスターネジを動かします。 他のピエゾアジャスタとは異なり、電力が供給されていない時でもアクチュエータの位置を保つことができるため、長期安定性を必要とする用途に適しています。ステップ幅0.5 µrad (典型値)で±2°の広い範囲の角度調整が可能です。ピエゾアジャスタはK-Cube™慣性モーターコントローラ KIM001またはKIM101(別売り)で駆動します。アクチュエータPIM05/Mの端には2 mmの六角穴があり、またその側面にはØ2.3 mmの貫通穴が2つあります。そのため、つまみネジHKTS-5/64、サイドホール調整ツール SA1、または5/64インチの六角レンチやボールドライバを使用して、アクチュエータを手動で調整できます。アジャスタPIM1/Mには、2 mm六角穴付きの調整ノブが付いています。Ø12 mm~Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)およびØ25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子用のピエゾ慣性マウントをご用意しております。

30 mmケージシステム対応のキネマティックミラーマウント、ピエゾアジャスタ付き
当社のケージシステム対応のピエゾミラーマウントには、30 mmケージアセンブリに取り付けるための貫通穴が付いています。このマウントは微細な角度調整を繰り返し求められるケージシステムに適しています。各マウントのピエゾによる角度調整範囲は、KC1-P/MおよびKC1T-P/Mでは±275 µrad、KC1-PZ/MおよびKC1-T-PZ/Mでは±73 µradとなっています。これらのピエゾマウントの機械的な角度調整範囲は±5°です。光学素子の取付け穴には、Ø25.4 mmのネジ切り無しタイプとSM1内ネジ付きのタイプがございます。各マウントはM4タップ穴を用いてØ12 mm~Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)ポストに取付け可能です。KC1-PZ/MおよびKC1-T-PZ/Mは、3軸すべての電子制御が可能な3チャンネルピエゾコントローラMDT693Bとセットでもご用意しております。

ピエゾアジャスタ付きジンバル式ミラーマウント
PGM1SE/Mは、2つの回転軸をもつ電動式のØ25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子用ジンバル式マウントです。 開ループモード時の各軸の角度範囲は30 mrad、分解能は0.05 µradです。 内蔵の歪みゲージフィードバックにより閉ループモード動作も可能です。角度範囲は20 mrad、分解能は0.14 µradとなります。マウントはKinesis® およびAPT™モーションコントロールソフトウェアをサポートし、工場で校正済みのコントローラとともに発送されます。

Polarisキネマティックミラーマウント、ピエゾアジャスタ付き
ピエゾアジャスタ付きのPolarisキネマティックミラーマウントは、アライメントに対して厳しい長期安定性が求められる用途に適しています。 熱処理済みのステンレススチールから機械加工されたPolarisマウントには精密に整合されたアジャスタが採用されており、またボール接触とサファイアシートにより滑らかなキネマティック調整を行うことができます。これらのPolarisマウントでは、モノリシック構造のフレクシャーアーム、またはフレクシャーバネと止めネジの組み合わせで光学素子を保持します。この設計は光学歪みを最小限に抑えながら、高い保持力とビームポインティングの安定性をもたらします。ピエゾアジャスタ付きPolarisマウントのピエゾによる角度調整範囲は280 µrad(最小値)、機械的な角度調整範囲は±3.4°(最小値)です。2軸ミラーマウントとしては、Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)、Ø25.4 mm(Ø1インチ)、およびØ50.8 mm(Ø2インチ)ミラー用をご用意しています。3軸ミラーマウントとしては、Ø25.4 mm(Ø1インチ)ミラー用をご用意しています。詳細についてはPolarisキネマティックミラーマウント、ピエゾアジャスタ付きの製品ページをご覧ください。

Motorized Kinematic Mirror Mount with Active Stabilization
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閉ループシステムに用いられたピエゾコントローラ

ビーム安定化セットアップに用いられるピエゾコントーラ

実験用のセットアップでは、ビームドリフト(意図しないビーム偏差)を補正するため、アクティブなビームの安定化はよく行われております。 ドリフトは、取り付けが不確実な光学素子や、レーザ光源の不安定性、オプトメカニクスのセットアップ内の熱変動によって起こることがあります。 セットアップエラーを修正することに加えてビームをアクティブに安定化させることは、レーザーキャビティ内の高出力の維持や、光学テーブル上で長時間常に一定の光照射を必要とする実験に、良く行われております。 アクティブにビーム安定化を図ることは長い光路があるセットアップにも有効です。小さな角度偏差も長い光路の先では著しい変位につながるからです。

ビーム安定化のセットアップ例を左の概略図で示しております。 光路に置かれたビームスプリッタにより、ビームの一部がクォドラント位置センサに送られます。クォドラント位置センサは、ディテクタの中央に対するビーム変位をモニタリングします(適切な安定化のためにビームスプリッタはできるだけディテクタの近くに配置してください)。 クォドラントディテクタはビーム変位量に比例したXならびにY位置にエラー信号を出力します。 各エラー信号はピエゾコントローラのチャンネルに送られ、ピエゾコントローラはクォドラントセンサの中央にビームを導きます。

こちらに描かれたセットアップは空間の点状のビームを安定化しています。 光路にわたってビームを安定化させるには、独立した出力チャンネルが4つ(つまりピエゾコントローラは最低2つ)、ピエゾアジャスタ付きのミラーマウントが2つ、位置センサが2つ、ならびに位置センサーコントローラが2つ必要です。 ビーム安定化のセットアップに推奨する部品は下記の表に記載されています。

Suggested Components
DescriptionItem #
Mirror Mount with Piezo Adjusters
(Choose One)
KC1-PZ(/M) Mirror Mount,
KC1-T-PZ(/M) Mirror Mount with SM1-Threaded Bore,
POLARIS-K1S3P Polaris® Mirror Mount with 3 Adjusters,
or POLARIS-K05P2POLARIS-K1S2P, POLARIS-K2S2P
Polaris® Mirror Mount with 2 Adjusters
Piezoelectric ControlleraMDT693B Three-Channel Benchtop Controller
MDT694B Single-Channel Benchtop Controllersb,
or KPZ101 K-Cube™ Piezo Controllersb
Quadrant Position DetectorPDP90A (320 - 1100 nm),
PDQ80A (400 - 1050 nm),
or PDQ30C (1000 - 1700 nm)
K-Cube™ Position Sensor ControllerKPA101
  • コントローラは別売りです。
  • 制御軸1つにつき1つのコントローラが必要です。

ミラーマウントPIM05(/M)、PIM1(/M)

SMCメス型

SMC female
入力電圧:85~125 V

キネマティックミラーマウントKC1(-T)-PZ(/M)

BNCオス型

BNC Male
入力電圧:0~150 V

KC1(T)-P(/M)およびPolaris
キネマティックミラーマウント

SMBオス型

SMB Male
入力電圧:0~150 V

 

3チャンネル型ピエゾコントローラMDT693B

ピエゾ出力

BNCメス型

BNC Female

出力電圧: 0~150 V
出力インピーダンス(最大):150 Ω、1.0 nF

外部電圧制御用端子

BNCメス型

BNC Female

入力電圧: 0~10 V
入力インピーダンス: 10 kΩ

外部PC制御用端子

タイプB USBメス型

DB9 Female

ピエゾアクチュエータの帯域幅に関するチュートリアル

多くの高速用途では、ピエゾ素子の形状変化する速度を知ることが必須となります。 ピエゾコントローラとピエゾ積層の帯域幅は、下記の数値がわかることで、計算で求められるようになります。

  1. コントローラが供給可能な最大電流量。下記で例としてとりあげられているBPCシリーズのピエゾコントローラでは、この数値は0.5 Aです。
  2. ピエゾ素子の負荷容量。容量が大きいほどシステムは遅くなります。
  3. 信号振幅の最適値(V)。この振幅がピエゾ素子の伸長寸法を決定します。
  4. ドライバの最大帯域幅。この数値は駆動負荷に依存しません。

出力コンデンサを駆動する際には、帯電と放電にそれぞれ電流が必要です。 帯電電荷の変化dV/dtはスルーレートと呼ばれています。 静電容量が大きいほど、必要とされる電流量は大きくなります。

Piezo Equation 1

例えば100 µmのピエゾ積層において静電容量が20 µFで、最大電流量が0.5 AのBPCシリーズピエゾコントローラで駆動されるとき、スルーレートは下記の数式で求められます。

Piezo Equation 2

したがって電圧が瞬間的に0 V から75 Vに変化するとき、出力電圧が75 Vに達するには3 msかかります。

注記: これらの計算式においては、ドライバの最大帯域幅は計算によって得られる帯域幅よりもずっと大きな値であり、ドライバの帯域幅は制限要因とならないことを前提としています。 なおこれらの数式が、開ループシステムにしか適用できない点にご注意ください。 閉ループモードでは、フィードバックループの応答の遅延がさらに帯域幅を制限します。

正弦波信号

システムの帯域幅は、通常は所定の振幅の正弦信号に対するシステムの応答により規定します。 正弦信号のピーク振幅がA、ピーク‐ピーク電圧がVpp、そして周波数がfの条件で駆動されているピエゾ素子については、以下の数式が成立します。

Piezo Equation 3

右の図は、時間の経過とともに変化する電圧を表しています。 スルーレートの最大値、または電圧の最大の変化は、t = 2nπ, (n=0, 1, 2,...)が成立する時点となり、右図では点 aで示されています。

Piezo Equation 4

上記の数式から下記が導出できます:

Piezo Equation 5

それゆえに下記が成立します:
Piezo Equation 6

上記の例では最大電圧(75 V)での帯域幅は下記の値になることがわかります:

Piezo Equation 7

ピエゾが小さく、静電容量が1/10になると、結果は10倍向上して約1060 Hzとなります。 また、積層が100 µmのままであっても、ピーク‐ピーク電圧が7.5 V(10% の最大振幅値)であれば、結果は同様に10倍向上して約1060 Hzとなります。

三角波信号

ピエゾアクチュエータが三角波で駆動される場合、最大電圧がVpeakで、最小電圧が 0の時、スルーレートは勾配もしくは下記に等しくなります:

Piezo Equation 8

あるいはf = 1/Tであるので、下記が導出できます:

Equation 9

 

矩形波信号

ピエゾアクチュエータが矩形波で駆動される場合、最大電圧がVpeakで、最小電圧が 0の時、スルーレートが最小の立ち上がりと立ち下がりの数値を制限します: この条件では、信号の立ち上がりまたは立ち下がりの途中では、スルーレートは勾配に等しくなります。 trが最小立ち上がり時間であるとき、下記の数式が成り立ちます:

Equation 11

この式により、下記の数式が成立することもわかります。

Equation 12

 ピエゾの動作や理論についてはピエゾ素子のチュートリアルをご参照ください。


Posted Comments:
user  (posted 2020-02-04 15:56:53.933)
As a driver for POLARIS-K1S2P, MDT694B and KPZ101 are recommended. Is there a criteria to choose which is suitable? The bandwidth and the maximum driver current are different. The controller software is different. Is there any other important difference, in particular, in the hardware spec? Is there any plan to discontinue one of them?
asundararaj  (posted 2020-02-05 08:25:38.0)
Thank you for contacting Thorlabs. The selection of a Piezo Controllers would depend on the required piezo drive voltage as well as the bandwidth. I have contacted you directly via email to discuss this further.
mbisram  (posted 2018-08-20 17:02:51.667)
Is there any documentation on how much angular deflection occurs for different voltages? Also, is the deflection standard across the mirrors? I have a thor piezo optic mirror, I am just unsure what type it is.
llamb  (posted 2018-09-24 09:42:37.0)
Thank you for contacting Thorlabs. We do not currently have documentation on the displacement vs. voltage for these piezos, though the angular deflection is standard across each product group. You can find the angular step sizes of each piezo mount provided in the specifications tables under the Overview tab. Keep in mind that the step size may vary because of piezo hysteresis, among other factors. While these mounts do not have a feedback mechanism, this variation can be improved by implementing an external closed loop feedback mechanism.
user  (posted 2015-10-30 12:53:25.307)
Can we unplug the built-in 3' (91.4 cm) cable with the male BNC connector from the mount, or will it be damaged?
besembeson  (posted 2015-11-04 05:21:58.0)
Response from Bweh at Thorlabs USA: No this can't be unplugged. Contact me at techsupport@thorlabs.com if you need a different cable length or have any other desired modifications.
tpschwab  (posted 2013-06-10 17:00:54.437)
To Thorlabs, I have a few questions regarding the performance of the PZ631 Controller and KC1-PZ Piezoelectric Kinematic Mount: 1) What is the maximum allowable mass to be placed on the mount? 2) Once a desirable position, for the stage, is found, is it possible to return to this position by setting it as the default orientation?
cdaly  (posted 2013-06-12 16:47:00.0)
Response from Chris at Thorlabs: Thank you for using our feedback tool. We do not really have a well defined limit for the load spec of this mount, but we anticipate this can handle at most 1-2 pounds, but this will need to be kept at a very short moment from the mounting face of the KC1-PZ. As for the question on returning to a position, the device is simply driven by a voltage input. If you note the voltages which correspond to the desired position, you can simply apply these voltage again late to return, provided you have no moved the actuator screws.
jlow  (posted 2012-09-26 16:17:00.0)
Response from Jeremy at Thorlabs: Thank you very much for your feedback. We will look into the possibility of implementing your suggestion.
user  (posted 2012-09-22 00:12:33.0)
Would be great to label the 3 adjusters, and the three cables.
bdada  (posted 2012-03-15 13:36:00.0)
Response from Buki at Thorlabs: Thank you for your feedback. KC1-PZ piezo mount has BNC connectors while the ASM003 has SMC connectors. Our MDT693 piezo controller has BNC connectors on the rear panel and also includes BNC to SMC adapters for the ASM003 mount. On the other hand, our BPC series piezo controller has an SMC male output, so you would need an adapter, T4292, BNC to SMC female, to be able to use it with the KC1-PZ. For reference, below is a link to our selection of compatible piezo controllers. http://www.thorlabs.com/Navigation.cfm?Guide_ID=2085 We will expand on the compatibility issue on our website. Thank you again for your feedback. Please contact TechSupport@thorlabs.com if you have any questions.
user  (posted 2012-03-07 19:08:07.0)
There is mention of compatibility with T-cube piezo control, but little guidance on what makes it compatible.
tor  (posted 2011-01-06 23:06:33.0)
Response from Tor at Thorlabs to sema: I apologize for the inconvenience. I will send you an updated drawing; we will be including this drawing on the web shortly.
sema  (posted 2011-01-06 14:26:18.0)
Dear Inge, please define "within the next couple of weeks". We just bought a KC1-PZ/M, and we can neither find the cable configuration. The CAD drawings (in the package and here on the web) are still rev. E from 96.
Greg  (posted 2010-04-16 14:51:39.0)
A response from Greg at Thorlabs to jlarchibald: Thank you for pointing this out! I have corrected the web presentation for it.
Adam  (posted 2010-04-16 14:42:01.0)
A response from Adam at Thorlabs to jlarchibald: You are correct, the adjusters are 1/4-80 threaded. We will correct the typo that is on the website.
jlarchibald  (posted 2010-04-16 14:36:14.0)
On this webpage: http://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=231 theres a part that claims it has 1/4"-20 Adjusters. Im pretty sure theyre 1/4"-80 Adjusters. Its listed correctly in other places. Best, James
inge  (posted 2008-08-12 14:53:57.0)
That is a very good point. We will change the drawings within the next couple of weeks.
ghegenbart  (posted 2008-08-11 06:44:45.0)
Unfortunately the ESDs of the KC1-PZ(/M) and KC1-T-PZ(/M) do not contain any information about which cable belongs to which actuator.

ピエゾ慣性モーターアジャスタ付きミラーマウント、Ø12 mm~Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)およびØ25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)用

Key Specificationsa
Item #PIM05(/M)PIM1(/M)
Optic SizeØ1/2"Ø1"
Minimum Optic Thickness3 mm
Total Angular Rangeb±2°
Typical Step Sizec0.5 µrad
Typical Angular Velocity0.05 rad/min
Piezo Resonant Frequency125 kHz
Piezo Control Voltage85 to 125 V
Piezo ConnectorsSMC Female
(Channel 1 and 2 Drive Cables Attached)
Compatible ControllerdKIM001 or KIM101e
AdjustersManually Adjustable 80 TPI Screws with
Integrated Piezoelectric Inertia Elements
Post Mounting Features8-32 (M4) Mounting Taps
Dimensions
(L x W x H)
2.17" x 1.66" x 2.17"
(55.0 mm x 42.1 mm x 55.0 mm)
2.17" x 1.70" x 2.17"
(55.0 mm x 43.1 mm x 55.0 mm)
  • 詳細についてはマニュアルをご参照ください。
  • ピエゾによる調整と機械的な調整を合計した全調整範囲
  • 開ループのシステムであり、ピエゾ素子のヒステリシス、部品のバラツキ、使用条件などによってシステムのステップ幅は20%程度変動する可能性があります。
  • コントローラは別売りです。
  • これらのマウントは従来のT-Cube™コントローラTIM101でも制御可能です。
  • Ø12 mm~Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)またはØ25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)ミラーに対応
  • ピエゾ慣性モータにより広い角度範囲にわたり高分解能での調整が可能
  • 電源が供給されていない時もアクチュエータの位置を保持
  • 光学素子はネジ切りの無い取付け穴にナイロンチップ付き止めネジで固定
  • 別売りのコントローラKIM001またはKIM101による制御用のSMCケーブル付き
  • ポスト取付け用M4タップ穴

ミラーマウントPIM05/MおよびPIM1/Mには、ピエゾ慣性アクチュエータが内蔵されたアジャスタが2つ付いています。これらのアクチュエータはコンパクトなパッケージながら、ピエゾ制御による高分解能な長距離移動を実現しています。ピエゾによる調整と手動による調整とを合計したマウントの全角度調整範囲は±2°です。ピエゾモータの典型的なステップ幅は0.5 µradですが、開ループのシステムであり、ピエゾ素子のヒステリシス、部品のバラツキ、使用条件などによって20%程度変動する可能性があります。

このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるので、サブマイクロラジアンレベルの分解能と長期にわたるアライメントの安定性が要求される場合に、その位置決め・保持用として適しています。ピエゾ素子の駆動中以外は、いつでも手動調整を行うことができます。 PIM05/Mアジャスタの端には2 mmの六角穴があり、またその側面にはØ2.3 mmの貫通穴が2つあります。そのため、つまみネジHKTS-5/64、サイドホール調整ツールSA1、または5/64インチの六角レンチやボールドライバを使用して、アジャスタを手動で調整できます。アジャスタPIM1/Mには、2 mm六角穴付きの調整ノブが付いています。

これらのマウントは当社のK-Cube™ピエゾ慣性アクチュエーターコントローラ(別売り)を使用して駆動します。1チャンネルコントローラKIM001または4チャンネルコントローラKIM101の2種類からお選びいただけます。マウントには各軸に対応するSMCメス型コネクタの付いたピエゾ駆動用ケーブルが付いています。アジャスタおよび駆動用ケーブルにはそれぞれのチャンネル番号がラベル表示されています。

PIM05/MはØ12 mm~Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子、PIM1/MはØ25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子をそれぞれ保持します。各マウントには2 mmの六角穴止めネジ(ナイロンチップ付き)が付いており、厚さ3 mm以上の光学素子を固定できます。マウント側面には3つのM4タップ穴があり、ポストに対して右手系、左手系のどちらの向きにも取り付けることができます。

Inertia Motor
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慣性ピエゾアクチュエータの動作概要図

ピエゾ慣性「スリップスティック」モータ

Aシステムの慣性と摩擦係数を利用して適切に設計すると、送りネジの回転軸に対して垂直に取り付けた積層ピエゾ素子で送りネジを動かすことができるようになります。分離された2本のアーム(クランプ)がピエゾ素子の両側に付いています。これらのアームは、右の図のように送りネジの上部と底部を挟む形で伸びています。

ピエゾ素子は特殊な鋸歯状の電圧波形に応答して伸縮します。この波形は非対称で、ある電圧まで緩やかに上昇した後、ナノセカンドの時間スケールでゼロまで急落します。右の下側の図のように、電圧が緩やかに上昇している間は、アームは送りネジに押し付けられ(「スティック」)、ちょうどネジを親指と人差し指で回しているようなかたちになります。一方、ナノセカンドの時間スケールで電圧が急落すると、アームはネジの慣性と摩擦係数の変化により「スリップ」し、元の位置に戻ります。このような「スリップスティック」特性を得るために非常に短いパルス幅を使用するので、アクチュエータを連続的にステップさせると60~70 dBレベルの可聴ノイズが発生します。このメカニズムにより、1つのピエゾ素子で送りネジをその長さ全体にわたって動かすことができます。

使用条件やピエゾ素子のヒステリシス、部品のバラツキ、軸方向の負荷などの様々な要因によってステップ幅は変動し、またその再現性もありません。この変動を克服するには、外部フィードバックシステムが必要になります。また、用途によってはステッピングモーターアクチュエータでも代用可能な場合があります。

単体のピエゾ慣性アクチュエータはこちらからご覧いただけます。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PIM05 Support Documentation
PIM05Ø12 mm~Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)用ピエゾ慣性モーターアジャスタ付きミラーマウント、#8-32タップ穴(インチ規格)
¥162,742
5-8 Days
PIM1 Support Documentation
PIM1Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)用ピエゾ慣性モーターアジャスタ付きミラーマウント、#8-32タップ穴(インチ規格)
¥162,742
5-8 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PIM05/M Support Documentation
PIM05/MØ12 mm~Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)用ピエゾ慣性モーターアジャスタ付きミラーマウント、M4タップ穴(ミリ規格)
¥162,742
5-8 Days
PIM1/M Support Documentation
PIM1/MØ25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)用ピエゾ慣性モーターアジャスタ付きミラーマウント、M4タップ穴(ミリ規格)
¥162,742
5-8 Days

Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)キネマティックミラーマウント、ピエゾアジャスタ付き、ピエゾ角度調整範囲±275 µrad

Key Specifications
Piezo Specifications
Integrated Piezo Item #POLARIS-P20
Resonant Frequency69 kHz
Piezo Angular Range±275 µrad
Piezo Linear Travel±9.7 µm
Minimum Step Size0.37 µrad per 0.1 V Step
Piezo Control Voltage0 to 150 V
Piezo ConnectorsMale SMB
(Three PAA236R SMB-to-BNC Cables Included)
Mechanical Specifications
Optic SizeØ1" (Ø25.4 mm)
Optic ThicknessKC1-P(/M): 0.12" (3.0 mm) (Min)
KC1T-P(/M): 0.12" (3.0 mm) (Max)
Mechanical Angular Range±5° (±87 mrad)
Mechanical Linear Travel±3 mm
Adjusters100 TPI Screws with Integrated Piezos
Post Mounting Features8-32 (M4) Mounting Taps
Cage System CompatablityCage Rod Clearance Holes for 30 mm Cage Rods
5/64" (2 mm) Hex Locking Screws
  • Ø25.0 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)ミラーに対応
  • 中央の取付け穴は、ネジ無し、またはSM1ネジ付きの2タイプ
  • 4隅の貫通穴で30 mmケージシステムへの組込みが可能
  • SMBコネクタには最大150 Vまでの制御電圧を入力可能
  • SMB-BNCケーブルPAA236Rが3本付属
  • 黒色アルマイト加工
  • ポスト取付け用M4タップ穴

こちらのミラーマウントは、ミラーマウントKC1/Mがベースとなっており、手動または内蔵のピエゾ素子で3軸の調整が可能です。光学素子の取付け穴にネジの無いマウントKC1-P/Mの場合は、光学素子は5/64"六角レンチを使ってナイロンチップ付き止めネジで固定しますが、その厚さは5.8 mm以上である必要があります。 SM1ネジ付きマウントKC1T-P/Mの場合は、光学素子は付属の2個の固定リングSM1RRで固定しますが、その厚さは3 mmまでに制限されます。

止めナットの付いた3個の100 TPIの手動アジャスタは、手または12 mmの薄型オープンエンド六角レンチで締めることができます。各アクチュエータは、付属する3本のSMB-BNCケーブルのうちの1本を使用して、対応するコントローラに接続します。ピエゾアクチュエータの駆動には当社のベンチトップ型またはKinesis K-Cube™ピエゾコントローラのご使用をお勧めいたします。

Suggested Piezo Controllersa
MDT693B Three-Axis Benchtop Controller
MDT694B Single-Axis Benchtop Controller
KPZ101 Single-Axis K-Cube Controller
  • こちらのマウントは、当社の閉ループコントローラともお使いいただけますが、フィードバック機構は備えていません。

これらのマウントは30 mmケージシステムに取り付け可能です。ケージロッドは2 mmの六角固定ネジを使用して固定します。マウントの3辺にある、取り付け用M4タップ穴の1つを使用してポストに取り付けることもできます。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
KC1-P Support Documentation
KC1-PØ1インチ光学素子用マウント、移動量±9.7 µm、ネジ無し取付け穴、#8-32タップ穴(インチ規格)
¥115,851
5-8 Days
KC1T-P Support Documentation
KC1T-PØ1インチ光学素子用マウント、移動量±9.7 µm、SM1ネジ付き取付け穴、#8-32タップ穴(インチ規格)
¥117,230
5-8 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
KC1-P/M Support Documentation
KC1-P/MØ25 mm~Ø25.4 mm光学素子用マウント、移動量±9.7 µm、ネジ無し取付け穴、M4タップ穴(ミリ規格)
¥115,851
5-8 Days
KC1T-P/M Support Documentation
KC1T-P/MØ25 mm~Ø25.4 mm光学素子用マウント、移動量±9.7 µm、SM1ネジ付き取付け穴、M4タップ穴(ミリ規格)
¥117,230
5-8 Days

Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)キネマティックミラーマウント、ピエゾアジャスタ付き、ピエゾ角度調整範囲±73 µrad

Key Specifications
Piezo Specifications
Integrated Piezo Item #AE0505D08Fa
Resonant Frequency138 kHz
Piezo Angular Range±73 µrad
Piezo Linear Travel±4 µm
Minimum Step Size0.3 µrad
Piezo Control Voltage0 to 150 V
Piezo ConnectorsIntegrated BNC Cables
(Click for Cable Diagram)
Mechanical Specifications
Optic SizeØ1" (Ø25.4 mm)
Optic ThicknessKC1-PZ(/M): 0.12" (3.0 mm) (Min)
KC1-T-PZ(/M): 0.12" (3.0 mm) (Max)
Mechanical Angular Range±5° (±87 mrad)
Mechanical Linear Travel±3 mm
AdjustersManually Adjustable 80 TPI Screws with
Integrated Piezoelectric Elements
Post Mounting Features8-32 (M4) Mounting Taps
Cage System CompatablityCage Rod Clearance Holes for 30 mm Cage Rods
0.05" (1.3 mm) Hex Locking Screws
  • こちらの旧製品は販売を終了しています。
  • Ø25.0 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)ミラーに対応
  • 中央の取付け穴は、ネジ無しまたはSM1ネジ付きの2タイプ
  • 4隅の貫通穴で30 mmケージシステムへの組込みが可能
  • 内蔵型BNCケーブルは、最大150 Vまでの制御電圧が使用可能
  • 黒色アルマイト加工
  • 3軸のコントローラ(下記参照)もご提供可能
  • ポスト取付け用M4タップ穴

こちらのミラーマウントは、ミラーマウントKC1/Mがベースとなっており、手動または内蔵のピエゾ素子で3軸の調整が可能です。SM1シリーズのネジ穴なしのバージョン(型番KC1-PZ/M)では、先端がナイロン製のM4止めネジ(セットスクリュ)を利用して厚さ5.8 mm以上のミラーを固定できます。SM1シリーズのネジ穴付きバージョン(型番KC1-T-PZ/M)では、付属の2つの固定リングSM1RRを利用することで、厚さ3mmまでのミラーを固定できます。

1/4"-80手動アジャスタは、アジャスタ上の#8-32止めネジで位置固定できます。それぞれのピエゾアジャスタは、オス型BNCコネクタの付いた91.4 cm(3フィート)のケーブルに接続されており、その最大制御電圧は150 Vです。こちらのマウントは、3チャンネルピエゾコントローラMDT693Bとセットでも販売しています。セットにはマウントの開ループ制御に必要な部品がすべて揃っています。

Suggested Piezo Controllersa
MDT693B Three-Axis Benchtop Controller
MDT694B Single-Axis Benchtop Controller
KPZ101 Single-Axis K-Cube™ Controller
  • こちらのマウントは、当社の閉ループコントローラともお使いいただけますが、フィードバック機構は備えていません。

これらのマウントは30 mmケージシステムに取り付け可能です。ケージロッドは1.3 mmの六角固定ネジを使用して固定します。また、3つのM4取付け用タップ穴のうちの1つを使用してポストに取り付けることもできます。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
KC1-PZ Support Documentation
KC1-PZØ1インチ光学素子用マウント、移動量±4 µm、ネジ無し取付け穴、#8-32タップ穴(インチ規格)
¥89,470
5-8 Days
KC1-T-PZ Support Documentation
KC1-T-PZØ1インチ光学素子用マウント、移動量±4 µm、SM1ネジ付き取付け穴、#8-32タップ穴(インチ規格)
¥89,610
5-8 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
KC1-PZ/M Support Documentation
KC1-PZ/MØ25 mm~Ø25.4 mm光学素子用マウント、移動量±4 µm、ネジ無し取付け穴、M4タップ穴(ミリ規格)
¥89,470
Today
KC1-T-PZ/M Support Documentation
KC1-T-PZ/MØ25 mm~Ø25.4 mm光学素子用マウント、移動量±4 µm、SM1ネジ付き取付け穴、M4タップ穴(ミリ規格)
¥89,610
5-8 Days

ピエゾアジャスタ付きØ25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)キネマティックミラーマウントとピエゾコントローラのセット

3-Channel Piezo Controller
Click for Details
コントローラの前面パネル
  • ミラーマウントKC1-PZ/MまたはKC1-T-PZ/M(上記参照)のいずれかが付属します。
  • セットのコントローラMDT693Bには以下の機能があります。
    • BNCコネクタが付いた3つの出力チャンネル。出力電圧は150 Vまで。
    • 前面パネルからの直接操作か、BNCもしくはコマンドラインからの遠隔操作が可能。
    • 全てのチャンネルを1つの信号で操作可能。

このセットには、ピエゾアジャスタ付き3軸キネマティックミラーマウントの開ループ操作に必要な全てのコンポーネントおよびケーブルが付属します。 セット内容は、3軸ピエゾコントローラMDT693B、ミラーマウントKC1-PZ/MまたはKC1-T-PZ/M(ミラーマウントのオプションについては上記参照)、およびAC電源コード(日本国内用)になります。

ピエゾコントローラMDT693Bには、3つの出力チャンネルがあり、それらは精密、低ノイズで、単独操作が可能です。これによりピエゾミラーマウントは最大150 Vまでの電圧で操作が可能です。制御は、前面パネルの回転式つまみを回すか、外部信号をBNCまたはUSB2.0を経由して送ることで行うことができます。 ドライバには3軸全てを1つの信号で操作できるマスタースキャンモードもついています。 詳しい内容については、MDT693Bの製品紹介ページをご参照ください。

Key Controller Specifications
Item #InfoaNumber of ChannelsOutput VoltagebOutput Voltage ResolutionBandwidth (-3 dB)Connectors
MDT693Binfo30 - 75 V1.1 mV9 kHz (No Load, Small Signal)
8.5 kHz (No Load, 150 Vpp)c
200 Hz (1.4 µF Piezo, 150 Vpp)c
BNC (Three BNC-to-SMC Adapters Included)
0 - 100 V1.5 mV
0 - 150 V2.2 mV
  • 仕様の詳細については、infoアイコンをクリックしてください。
  • 背面のスイッチで選択
  • ランプ波形を仮定した概算値。帯域幅は負荷に強く依存するので、実物の値での計算が必要です。
+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PZ630B Support Documentation
PZ630BミラーマウントKC1-PZ&ピエゾコントローラMDT693B(インチ規格)
¥369,695
5-8 Days
PZ631B Support Documentation
PZ631BSM1ネジ付きミラーマウントKC1-T-PZ&ピエゾコントローラMDT693B(インチ規格)
¥369,695
5-8 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PZ630B/M Support Documentation
PZ630B/MミラーマウントKC1-PZ/M&ピエゾコントローラMDT693B(ミリ規格)
¥369,695
5-8 Days
PZ631B/M Support Documentation
PZ631B/MSM1ネジ付きミラーマウントKC1-T-PZ/M&ピエゾコントローラMDT693B(ミリ規格)
¥369,695
Lead Time

Ø25.0 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子用ピエゾアジャスタ付きジンバル式ミラーマウント、コントローラ付き

Key Specifications
Piezo Specifications
Resonant Frequency (7.0 g Load)360 Hz ± 15%
Piezo Angular Range30 mrad (Open Loop)
20 mrad (Closed Loop)
Angular Resolution0.05 µrad (Open Loop)
0.14 µrad (Closed Loop)a
Piezo Control Voltage-25 to 150 V
Piezo Drive ConnectorsMale SMCb
Strain Gauge ConnectorsMale 7-Pin LEMOb
Mechanical Specifications
Optic SizeØ1.00" (Ø25.4 mm)
Optic Thickness2 mm (0.08") Min
7.5 mm (0.30") Max
Post Mounting Features8-32 (M4) Mounting Taps
Cage System CompatibilityFour 4-40 Taps for 30 mm Cage Rods
  • 付属のピエゾコントローラを使用したときの、駆動電圧の最小ステップサイズによって定義しています。
  • このマウントには、2つのピエゾチャンネル用のピエゾ駆動電圧入力およびフィードバック信号出力のためのケーブル束が付属します。
  • 閉ループ動作用の歪みゲージフィードバックセンサ
  • 付属のコントローラと組み合わせて使用
  • 取り付けた光学素子の中心が移動しないジンバル回転
  • 広い角度範囲:30 mrad(開ループ時)または20 mrad(閉ループ時)
  • Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子に対応するSM1ネジ付き内孔 
  • 4隅の貫通穴で30 mmケージシステムへの組込みが可能 

ピエゾアジャスタ付きジンバル式ミラーマウントPGM1SE/Mは、取り付けられた光学素子を、その中心位置を動かさずに2つのジンバル軸周りに回転させます。開ループモードでは、ピエゾにより軸ごとに30 mradの広い角度範囲を0.05 µradの分解能で走査できます(閉ループモードでの走査角度範囲は20 mrad 、分解能は0.14 µrad)。

光学素子用のSM1ネジ付き内孔には、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)の光学素子を付属のSM1固定リングで固定します。厚さ2 mm~7.5 mmの光学素子を保持できますが、それらの光学素子はマウントの背面から取り付けるため、厚さに関わらずその表面がジンバル軸と一致します。ネジにSM1レンズチューブを取り付けるとジンバル素子に過度なトルクがかかるためお勧めいたしません。

マウント上にはM4タップ穴が6つあり、Ø12 mm~Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)ポストに取付け可能です。また、マウントの両側の内孔周囲には30 mmケージシステムに取付けられる#4-40タップ穴が4つあります。

ステージにはピエゾコントローラが付属しますが、これらはそれぞれのステージ用に工場で校正され、-25~+150 VDCの電圧を供給します。ピエゾの制御はペアになっているコントローラを用いて、付属のKinesis®または APT™ GUIでローカルに行うか、あるいは外部から制御電圧を加えて行うことができます。詳細については「ソフトウェア&外部制御」のタブをご参照ください。コントローラにはPC制御用のUSBおよびRS-232インターフェイス、外部から駆動信号を入力するためのBNC入力端子、マウント内蔵の静電容量センサからの位置フィードバック信号またはピエゾ駆動電圧に比例する信号を出力するBNC出力端子が付いています また、DB15コネクタからは、外部機器との同期に使用可能な信号を出力することができます。そのほか、USB 2.0(A-B)ケーブルが付属します。

ピエゾアジャスタ付きジンバル式マウントの詳細についてはこちらの製品ページをご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PGM1SE Support Documentation
PGM1SEØ1インチ光学素子用ピエゾアジャスタ付きジンバル式ミラーマウント、歪みゲージフィードバックセンサ付き、#8-32タップ穴(インチ規格)
¥728,000
5-8 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PGM1SE/M Support Documentation
PGM1SE/MØ25 mm~Ø25.4mm光学素子用ピエゾアジャスタ付きジンバル式ミラーマウント、歪みゲージフィードバックセンサ付き、M4タップ穴(ミリ規格)
¥728,000
5-8 Days

Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)、Ø25.4 mm(Ø1インチ)、Ø50.8 mm(Ø2インチ)Polaris®キネマティックミラーマウント、ピエゾアジャスタ付き

Key Specificationsa
Optic SizeØ1/2"Ø1"Ø2"
Number of Adjusters22 or 32
Optic Thickness (Min)0.08" (2 mm)0.14" (3.5 mm)
Mechanical Angular Range±5°±4°±3.4°
Piezoelectric Angular Range> 490 µrad> 500 µrad> 280 µrad
AdjustersManually Adjustable 100 TPI Screws
with Integrated Piezoelectric Elements
Minimum Step Size~0.5 µrad~0.18 µrad
Piezo Control Voltage0 to 150 V
Piezo ConnectorsMale SMB
(SMB-to-BNC Cables Included)
Beam Deviation after
Temperature Cyclingb
< 6 µrad< 1 µrad< 2 µrad
MountingTwo #8 (M4) CounterboresFour #8 (M4)
Counterbores
  • 詳細については、こちらのページの「仕様」タブをご覧ください。
  • Polarisマウントとピエゾコントローラの接続を物理的に切断(ゼロバイアス)し、周囲温度を15°C上昇させた後に室温に戻したときの偏差。詳細は、こちらのページの「試験データ」タブをご覧ください。
  • Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)、Ø25.4 mm(Ø1インチ)、Ø50.8 mm(Ø2インチ)のミラーに対応
  • 手動およびピエゾアジャスタを直列に配置
  • SMBコネクタには、最大150 Vまでの制御電圧を入力可能
  • 真空ならびに高出力レーザ共振器の用途に適した、不動態化処理済みのステンレススチール製
  • SMB-BNCケーブル付属
  • カスタム仕様のマウントについては当社までお問い合わせください。
  • ポスト取付け用のM4ザグリ穴
  • 当社のすべてのピエゾコントローラに対応

ピエゾアジャスタ付きPolarisキネマティックミラーマウントは、閉ループシステムにおいて長期的に安定したアライメントを実現するよう設計されております。ピエゾアジャスタの0.1 Vステップに対応する角度分解能は、Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)とØ25.4 mm(Ø1インチ)マウントでは約0.5 µrad、Ø50.8 mm(Ø2インチ)マウントでは約0.18 µradと大変優れております。 ピエゾアクチュエータの駆動は当社のベンチトップ型あるいはKinesis K-Cubeピエゾコントローラの使用をお勧めいたします。

Polarisマウントはアジャスタと本体に整合性を持たせるように設計されているため、Polarisマウント以外の製品に比べて優れた耐性と熱的性能を備えています。フレクシャーバネと止めネジ(セットスクリュ)の組み合わせは、温度の変動に敏感なナイロンチップ付きの止めネジとは異なり、温度の影響をあまり受けずに光学素子を保持することができます。フレクシャーバネの止めネジを調整するには、Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)ミラーマウントには1.5 mm六角レンチ、Ø25.4 mm(Ø1インチ)とØ50.8 mm(Ø2インチ)ミラーマウントには1.3 mm六角レンチを使用します。光学素子を固定するときは、光学表面の歪みを防ぎかつ熱安定性を向上させるために、トルクドライバのご使用をお勧めします。

Suggested Piezo Controllersa
MDT693B Three-Axis Benchtop Controller
MDT694B Single-Axis Benchtop Controller
KPZ101 Single-Axis K-Cube™ Controller
  • こちらのマウントは、当社の閉ループコントローラともお使いいただけますが、フィードバック機構は備えていません。

こちらのミラーマウントには2つ、あるいは3つのアジャスタ用止めナットが付属しており、アジャスターノブを押さえながら手で軽く締めることができます。あるいはØ12.7 mm(Ø1/2インチ)ミラーマウントには11 mmの、 Ø25.4 mm(Ø1インチ)およびØ50.8 mm(Ø2インチ)ミラーマウントには12 mmの薄型オープンエンド六角レンチを用いて締めることもできます。止めナットはおよそ0.03~0.06 N·mのトルクで軽く締めるだけで十分です。この止めナットは手動調整を固定するものであり、ピエゾ素子による微調整に影響を及ぼすものではありません。ポスト取り付け用にM4ザグリ穴があり、右手系でも左手系でも構成することができます。 マウントによっては取付け用ザグリ穴の周りにØ2 mmのアライメント用ピンホールがあり、その場合にはPolarisミラーマウント用ポストを使用することでより精密なアライメントが可能になります。

詳細についてはPolarisキネマティックミラーマウント、ピエゾアジャスタ付きの製品ページをご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
POLARIS-K05P2 Support Documentation
POLARIS-K05P2Polaris®Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)ミラーマウント、2ピエゾアジャスタ型、ケーブル付属
¥114,088
5-8 Days
POLARIS-K1S3P Support Documentation
POLARIS-K1S3PPolaris®Ø25.4 mm(Ø1インチ)ミラーマウント、3ピエゾアジャスタ型、ケーブル付属
¥151,158
Lead Time
POLARIS-K1S2P Support Documentation
POLARIS-K1S2PPolaris®Ø25.4 mm(Ø1インチ)ミラーマウント、2ピエゾアジャスタ型、ケーブル付属
¥118,470
Today
POLARIS-K2S2P Support Documentation
POLARIS-K2S2PCustomer Inspired! Polaris®Ø50.8 mm(Ø2インチ)ミラーマウント、2ピエゾアジャスタ型、ケーブル付属
¥137,917
5-8 Days
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Last Edited: Sep 20, 2013 Author: Dan Daranciang