電動直線移動ステージ(リニアステージ)、移動量12 mm


  • 12 mm (0.47") of Travel per Axis
  • 1/4"-20 or M6 Tapped Holes for Mounting Standard Optomechanics
  • Sold in Single-Axis and XYZ Configurations

MT1-Z9

1-Axis Stage

MT401

Breadboard Mounting Adapter

MT405

Side-Mounted Actuator Adapter

MT3-Z9

3-Axis Stage

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Key Specificationsa
Travel Range12 mm (0.47")
Velocity (Max)b2.6 mm/s
Uncompensated Backlash13 µm
Residual Backlash After Compensationc0.7 µm
Min Repeatable Incremental Movement0.2 µm
Uncompensated/Compensated Bidirectional Repeatability±7 µm / ±0.7 µm
Horizontal Load Capacity (Max)20 lbs (9.0 kg)
Vertical Load Capacity (Max)dMotor Pushing Down: 4.4 lbs (2.0 kg)
Motor Pushing Up:
10 lbs (4.5 kg)
Included ActuatorZ912B
DC Motor
Cable Length485 mm (1.59 ft)
Recommended ControllerKDC101
  • こちらはステージMT1(/M)-Z9の仕様です。MT3(/M)-Z9は、3つのMT1(/M)-Z9ステージで構成されています。詳細は「仕様」タブをご覧ください。
  • 速度2.6 mm/sでは、速度リップルや加減速プロファイルの歪みが発生する可能性があります。制御性能を向上させたいときは、速度を2.3 mm/s以下に制限してください。
  • このシステムは、内側へ移動する場合、ターゲットを内側に300 µm超えてから目的の位置に到達します。
  • 3軸ステージMT3/M-Z9の垂直モータは、ステージを押し下げる向きに取り付けられています。
Motorized Linear Translation Stages
12 mmStandard
25 mmCompact
Standard
TravelMax
50 mmCompact
Direct-Drive Servo
TravelMax
Long Travel: 100 mm to 300 mm

特長

  • 移動量:12 mm
  • キャリッジにはM6のタップ穴が7個
  • ステージ位置は固定ネジで固定
  • ブレッドボードへの取付けやXY/XZ/XYZステージ構築のためのアダプタもご用意
  • DCサーボモーターアクチュエータ

電動移動ステージ(リニアステージ)を使用すると、電子制御により、精密に定められた軸に沿って直線移動をさせることができます。1軸移動ステージMT1/M-Z9の移動量は12 mmです。3軸移動ステージMT3/M-Z9は3次元での移動が可能です。3軸ステージは、3つの1軸ステージMT1/M-Z9、ベースプレートMT401、および直角ブラケットMT402で構成されています(別売りでもご用意、下記参照)。各ステージには7個のM6タップ穴が25.0 mm x 25.0 mmのマトリックス状に配置されており、標準的なオプトメカニクスを取り付けることができます。

可動プラットフォームにはアライメントピン用の穴が付いているため、ステージを他のステージに重ねたりアクセサリに接続したりするときに、それらの直交性を確保できます。水平方向の耐荷重9 kg、垂直方向の耐荷重2.0 kg(モータがステージを押し下げているとき)または4.5 kg(モータがステージを押し上げているとき)は、アクチュエータの67.49:1のインライン遊星ギアヘッドにより支持されています。3軸ステージMT3/M-Z9の場合は垂直のアクチュエータがステージを押し下げており、従って垂直方向の耐荷重は2.0 kgになります。このステージは、硬化スチール製のリニアベアリングを採用することで、精密な移動と長寿命を実現しています。

取付けアダプタとステージの組合せについて
当社では移動ステージMT1/M-Z9を光学テーブルやブレッドボードに取り付けたり、いくつかのステージを組み合わせてXY、XZ、またはXYZステージを構築したりできるように、アダプタープレートやブラケットをご用意しています。またアクチュエータの取付け位置を変えることで、ステージ全体を短くすることも可能です。アダプタの使用例については下の写真をご覧ください。

付属品および対応するアクチュエータについて
付属するDCサーボアクチュエータZ912Bには、長さ485 mmのケーブル、移動範囲を制限するリミットスイッチ、および分解能29 nmのエンコーダが付いています(詳細は「仕様」タブをご覧ください)。このアクチュエータは、Ø9.5 mm(Ø3/8インチ)バレルをフレクシャークランプで締め付けて移動ステージに取り付けられています。必要に応じて、Z912Bの代わりにステッピングモータ用アクチュエータや手動マイクロメータなど、Ø9.5 mm(Ø3/8インチ)バレルの付いた移動量12 mmの手動または電動のアクチュエータに交換することができます。

コントローラについて
MT1/M-Z9などの低電力ステージ用としては、DCサーボモーターコントローラKDC101をお勧めします。KDC101は1軸用のコントローラですが、PCの有無に関わらずお使いいただけます。このコントローラにはソフトウェアKinesis®が付属しており、これを用いれば製品到着後すぐにPCによるステージ制御が可能になります。また、このソフトウェアはLabVIEW、LabWindows、ActiveXなどの一般的なプログラミングインターフェイスもサポートしています。KDC101にはUSBケーブルが付属します。電源は別売りです。詳しくは下記をご覧ください。

Motor Specifications
Motor TypeDC Servo
Cable Length485 mm (1.59 ft)
Motor Drive Voltage6 VDC
FeedbackMotor-Mounted Rotary Encoder
Encoder Counts per Lead Screw Revolution34,555
Planetary Gear Head Ratio67.49:1

分解能の計算

Z912Bでは、モータ1回転あたりのエンコーダ出力は512カウントです。モータの出力軸はギア比67:49:1の遊星ギアヘッドに取り付けられています。従って、1.0 mmピッチの送りネジを1回転させるには、モータを67.49回転させる必要があります。送りネジを1.0 mm移動させる場合を考えると、エンコーダの1カウント毎のアクチュエータの直線移動量は以下のように計算できます。

送りネジ1回転あたりのエンコーダのカウント数は、512 x 67.49 = 34,555 になります。

従って、エンコーダの1カウントに対する送りネジの直線移動量は以下のように与えられます。

1.0 mm / 34,555 カウント = 2.9 x 10-5 mm (29 nm).

Stage Specifications
Translation
Travel Range12 mm (0.47")
Uncompensated Backlash13 µm
Residual Backlash After Compensationa0.7 µm
Min Repeatable Incremental Movement0.2 µm
Homing Repeatability±6 µm
Uncompensated/Compensated Bidirectional Repeatabilityb±7 µm / ±0.7 µm
Resolution29 nm (See Calculation at Right)
Motion Parameters
Velocity (Max)c2.6 mm/sec
Acceleration (Max)4 mm/s2
Max Load Capacity
Vertical LoaddMotor Pushing Down: 4.4 lbs (2.0 kg)
Motor Pushing Up: 10 lbs (4.5 kg)
Horizontal Load20 lbs (9.0 kg)
Orthogonality
Angular Deviation< 250 µrad
Absolute On-Axis Accuracy95 µm
Percentage Accuracy (Max)0.82%
Physical
Dimensionse7.78" x 2.41" x 0.81"
(197.7 mm x 61.2 mm x 20.6 mm)
  • このシステムは、内側に移動する場合、ターゲットの内側に300 µm超えてから目的の位置に到達します。
  • 設定位置に両方向から戻る場合の再現性の平均値です。
  • 速度2.6 mm/sでは、速度リップルや加減速プロファイルの歪みが発生する可能性があります。制御性能を向上させたいときは、速度を2.3 mm/s以下に制限してください。
  • 3軸ステージMT3/M-Z9の垂直モータは、ステージを押し下げる向きに取り付けられています。
  • ステージMT1/M-Z9の寸法です。

Z912Bコネクタピン配列

Dタイプオス

Schematic

PinDescriptionPinDescription
1Ground (Limit and Vcc)9Resistive Identification
2Forward Limit10Vcc (+5 V DC)
3Reverse Limit11Encoder Channel A
4Reserved for Future Use12Reserved for Future Use
5Motor (-)13Encoder Channel B
6Reserved for Future Use14Pin 2 Ident EEPROM
7Motor (+)15Pin 1 Ident EEPROM
8Reserved for Future Use

当社では幅広い種類のモーションコントローラを駆動できるよう、Kinesis® ソフトウェアパッケージと従来のAPT™(Advanced Positioning Technology)ソフトウェアパッケージの2種類のプラットフォームをご用意しております。どちらのパッケージも小型で低出力のシングルチャンネルドライバ(K-Cube™やT-Cube™など)から高出力でマルチチャンネルのモジュール式19インチラックナノポジショニングシステム(APTラックシステム)まで幅広い種類のモーションコントローラをカバーするKinesisシリーズのデバイスを制御できます。

Kinesisソフトウェアには、最新のC#、Visual Basic、LabVIEW™またはその他の.NETに対応する言語を使用してカスタムプログラムを作成するサードパーティの開発者向けに、.NETコントロールが付属しています。また、.NETフレームワークを使用しない用途向けに低級言語用のDLLライブラリも付いています。センターシーケンスマネージャが、当社の全てのモーションコントロールハードウェアの統合と同期をサポートします。

Kinesis Software
KinesisのGUIスクリーン
APT Software
APTのGUIスクリーン

当社従来のAPTシステムソフトウェアプラットフォームは、C#、Visual Basic、LabVIEWまたはその他のActive-Xに対応する言語を使用してカスタムプログラムを作成するサードパーティの開発者向けに、ActiveXをベースとしたコントロールが付属しています。また、ハードウェア無しでカスタムプログラムの開発を行うためのシミュレーターモードも付いています。

これらの共通のソフトウェアプラットフォームにより、あらゆるKinesisとAPTコントローラをシングルアプリケーションに簡単に組み込むことができます。ソフトウェアツールは1セット習得するだけで共通した操作が可能です。シングルチャンネルシステムからマルチチャンネルシステムまで、あらゆるコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが実現可能です。

このソフトウェアパッケージを使用するには2つの手段があります。GUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを使用したコントローラとの直接対話ならびに「out of the box」コントロール、またはご選択の開発言語でカスタム統合の位置決めやアライメントソリューションを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。

APTシステムソフトウェアをよりご理解いただけるために様々なチュートリアルビデオもご用意しております。ビデオではソフトウェアの概要とAPT Configユーティリティをご説明しています。また、ソフトウェアのシミュレーターモードを利用すると、コントローラを接続しないでソフトウェアを試すことができます。その方法を説明したビデオもあります。これらのビデオは「APTチュートリアル」タブ内のリンクからご覧いただけます。

ソフトウェア

Kinesis バージョン 1.14.47

このKinesisソフトウェアパッケージには、当社のKinesisならびにAPT™システムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております:

  • 通信プロトコル
Software Download

ソフトウェア

APT バージョン 3.21.6

このAPTソフトウェアパッケージには、当社のAPT™およびKinesisシステムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております:

  • 通信プロトコル
Software Download

こちらのページでご覧いただくAPTビデオチュートリアルは、付属のATPユーティリティに関する説明と、いくつかのプログラミング環境におけるAPTシステムのプログラミングに関する説明の2つの部分から構成されています。

免責事項:これらの動画は、当初はAdobe Flashによって作成されました。2020年のAdobe Flashのサポート終了後、これらのチュートリアルは再録画されています。各動画の下にはFlash Playerの操作ボタンが見えますが、機能はしません。

APTコントローラには、APTUserユーティリティとAPTConfigユーティリティが付いています。APTUserを用いると、直感的操作が可能なグラフィック制御パネルを介して、APTで制御するハードウェアに素早く簡単に接続することができます。APTConfigは「オフライン」ユーティリティで、メカニカルステージのタイプを事前に選択し、それらを特定のモーションコントローラに対応付けるなど、システム全体のさまざまな設定を行うことができます。

APT Userユーティリティ

下の左側の動画では、APTUserユーティリティの操作概要について説明しています。シングルチャンネルコントローラのOptoDriverは、制御用のPCが無くても前面パネルのコントローラを介して操作できます。前面パネルのコントローラに保存されている操作に関する設定は、APTUserユーティリティを使用して変更することができます。そのプロセスは下の右側の動画でご覧いただけます。

APT User - 概要
APT User - OptoDriverの設定


APT Configユーティリティ

シミュレートされたハードウェア構成のセットアップや、メカニカルステージの特定のモータードライブチャンネルへの対応付けなど、APT Configユーティリティを使用してAPTシステム全体の様々な設定ができます。下の最初の動画ではAPT Configの概要をご覧いただけます。シミュレートされたハードウェア構成の作成方法やステージと対応付ける方法についての詳細は、その右側の2つの動画でご覧いただけます。

APT Config - 概要
APT Config - シミュレータのセットアップ
APT Config - ステージとの対応付け


APTのプログラミング

APTソフトウェアシステムは、ActiveXコントロールのコレクションとして実装されています。ActiveXコントロールは言語に依存しないソフトウェアモジュールで、グラフィカルユーザーインターフェイスとプログラミングインターフェイスの両方を提供します。ハードウェアユニットのタイプごとにActiveXコントロールのタイプがあります。例えば、Motor ActiveXコントロールはすべてのタイプのAPTモーターコントローラ(DCまたはステッパ)の操作に対応します。ActiveXコントロールは多くのWindowsソフトウェア開発環境やソフトウェア言語で直接サポートされており、そのようなコントロールがカスタムアプリケーションに組み込まれると、そこに含まれるすべての機能が即座にアプリケーションで利用できるようになります。下の動画では、LabVIEW、Visual Basic、Visual C++によるAPT ActiveXコントロールの基本的な使用方法について説明しています。これ以外に、LabWindows CVI、C++ Builder、VB.NET、C#.NET、Office VBA、Matlab、HPVEEなどの多数の言語でもActiveXはサポートされています。これらの言語環境についてはチュートリアルのビデオでは特に取り上げていませんが、動画内の考え方の多くは他の言語環境でも適切に使用できます。

Visual Basic

Part 1ではVisual Basicで動作するAPT ActiveXコントロールを設定する方法について説明しており、Part 2では独自の位置決めシーケンスをプログラミングする方法について説明しています。

Visual BasicによるAPTプログラミング:Part 1
Visual BasicによるAPTプログラミング:Part 2


LabVIEW

LabVIEWはActiveXをフルサポートしています。下の一連のチュートリアルビデオでは、APTによる独自のモーションコントロールシーケンスを作製する際の基本的な構成要素を示しています。まずソフトウェア開発中にオンラインヘルプを呼び出す方法をご紹介します。Part 2ではAPT ActiveXコントロールの作成方法をご紹介します。ActiveXコントロールではメソッド(機能)とプロパティ(数値設定)の両方を設定できます。Part 3と4では、ActiveXコントロールで示されたメソッドとプロパティを作成してワイヤで接続する方法をご紹介します。最後に、Part 5では全体をまとめて、独自の移動シーケンスを実行するLabVIEWのプログラム例をご紹介します。

LabVIEWによるAPTプログラミング -
Part 1:オンラインヘルプへのアクセス方法
LabVIEWによるAPTプログラミング -
Part 2:ActiveXコントロールの作成方法
LabVIEWによるAPTプログラミング -
Part 3:ActiveXのメソッドの作成方法
LabVIEWによるAPTプログラミング -
Part 4:ActiveXのプロパティの作成方法
LabVIEWによるAPTプログラミング -
Part 5:ActiveXコントロールの開始方法


下のチュートリアルビデオでは、メソッドおよびプロパティのノードを作成する別の方法について説明しています。

LabVIEWによるAPTプログラミング -
ActiveXメソッドの作成方法(別の方法)
LabVIEWによるAPTプログラミング -
ActiveXプロパティの作成方法(別の方法)


Visual C++

Part 1ではVisualC++で動作するAPT ActiveXコントロールを設定する方法について説明しており、Part 2では独自の位置決めシーケンスをプログラミングする方法について説明しています。

Visual C++によるAPTプログラミング:Part 1
Visual C++によるAPTプログラミング:Part 2


MATLAB

当社のAPTポジショナにMATLABおよびActiveXコントロールを使用する場合は、こちらの資料をご覧ください。

プログラマー向けとして、LabVIEWでAPTソフトウェアをプログラミングする方法もこちらからご覧いただけます。


Posted Comments:
user  (posted 2022-09-13 13:28:34.57)
What is the lifetime of the 1-axis stage MT1/M-Z8? The piezo inertia translation stage has a specified lifetime of >10 billion steps, but how about the MT1/M-Z8? For example, how many continuous cycles of 3 mm travel forward and 3 mm reverse (at 3 mm/s), with say 100 g horizontal load, can MT1/M-Z8 perform in its lifetime. Thanks in advance!
cwright  (posted 2022-09-14 09:22:26.0)
Response from Charles at Thorlabs: Thank you for your query. We do not specify a lifetime for this stage as it is dependent on how the stage is used (payload, travel range, duty cycle, etc). Therefore there is no single data point for life expectancy. A lifetime would create an expectation of life which may not be achieved under a users specific operating conditions and maintenance schedule. To ensure good performance and prevent wear we would suggest regreasing every 50,000 cycles or every 6 months. If only a limited travel range is used then periodically run the full travel to redistribute the grease.
rubing Li  (posted 2022-08-01 21:44:38.197)
Kinesis version 1.14.33 is installed, but when I use it to move the Z812B stage, the distance displayed by the KDC101 is not the same as what the software displays.
DJayasuriya  (posted 2022-08-02 08:41:58.0)
Thank you for your inquiry. This maybe a rounding issue with the software and the firmware. We will get in touch with you directly to resolve this.
Tyler Fiebig  (posted 2021-12-09 17:47:40.54)
The vertical stage relies entirely on a spring to return it back after being pushed out. This is a huge problem if the stage has any amount of weight on it.
jgreschler  (posted 2021-12-14 09:57:06.0)
Thank you for reaching out to Thorlabs. The vertical load capacity of the MT3-Z8 stage is 10 lbs or 4.5 kgs. If your application requires a load greater than that I'd recommend MLJ150 as an alternative stage with 44 lbs or 20 kg load capacity.
Kim Hyeonjin  (posted 2021-02-16 11:27:28.353)
Hello, recently I found that the stage is not going straight, but rotates every 1mm. Can we fix this issue? Thank you very much.
asundararaj  (posted 2021-03-10 04:22:57.0)
Thank you for contacting Thorlabs. I have directly contacted you to troubleshoot via email.
Bryan Hennelly  (posted 2020-09-16 10:57:50.727)
Just wondering if there is a micromanager plugin for the controller. I know the older version did work with MM but I cant get this one to. If not can you please supply serial commands to the controller. Thanks.
llamb  (posted 2020-09-18 08:51:12.0)
Thank you for contacting Thorlabs. Since Micromanager plugins are not developed by Thorlabs, we unfortunately cannot thoroughly support its usage. Serial commands can certainly be used though, and can be found in the Communications Protocol document, downloadable from here: https://www.thorlabs.com/software_pages/viewsoftwarepage.cfm?code=Motion_Control. I have reached out to you directly by email as well.
Daniela Comelli  (posted 2020-03-23 11:09:25.363)
Dear sirs, I'm intersted in your MT1/M-Z8 linear translator. I would like to know how Thorlabs defines unidirectional and bidirectional repeatibility for its linear translator and which are the estimated value for this specific model. Similarly, how Thorlabs defined the backlash of its linear translator ? My inquiry is related with the fact that I thought that bidirectional repeatibility and backlash are the same parameters, but probably I'm wrong. Thanks in advance, best regards, Daniela Comelli
llamb  (posted 2020-03-24 04:33:42.0)
Hello Daniela, thank you for your feedback. Unidirectional repeatability is how close the stage can achieve the same position when commanded to approach that position in the same direction; bidirectional repeatability is defined the same way, but approaching that point from either direction. We unfortunately do not have a unidirectional repeatability spec for the Z812B motors used in the MT1/M-Z8 stages, though expect this to be smaller than the bidirectional repeatability spec. These repeatabiliity specs apply over the full travel range, while backlash is caused by clearance between gears or the lead screw. Backlash is always going to exist with these leadscrew-based motors, though using the backlash correction feature in our software will ensure that the commanded position is always approached from the same direction to avoid this backlash error.
user  (posted 2019-11-25 18:19:52.38)
Really need to upgrade your website in the "APT tutorials" section as most web browsers no longer support Adobe Flash Player.
llamb  (posted 2019-11-26 12:13:31.0)
Thank you for your feedback. We will look into updating our APT Tutorials.
user  (posted 2019-04-11 11:37:30.323)
Dear Sir/Madame, Are there Python drivers written for the motion controllers, or would I have to write my own? Kindest regards,
llamb  (posted 2019-04-12 08:37:21.0)
Thank you for contacting Thorlabs. While our motion control software can be used in Python, we do not officially support it at this time. However, we do have a few minimal working examples we can provide as a courtesy, including one in IronPython, one in CPython, and a serial command-based script. I will reach out to you directly with these examples.
chuanyaozhou  (posted 2018-04-02 16:06:53.94)
Dear Engineer, I am Chuanyao Zhou from Dalian Institute of Chemical Physics, China. I am interested in your MT products. I want to use them in a vacuum (better than 10^-5 torr) chamber. I am wondering whether they are vacuum compatible and can be used in our case. Thanks! best regards, Chuanyao
YLohia  (posted 2018-04-03 09:41:05.0)
Hello Chuanyao, thank you for your interest in our products. While the MT1/M-Z8 is not vacuum-compatible (due to black anodizing and lack of vacuum grease/epoxy etc.), we may be able to offer a vacuum-compatible version as a special to you. We will reach out directly to you to discuss this further.
hadi.abidin  (posted 2013-04-19 20:20:09.283)
How will this linear stage perform when mounted vertically under low vacuum(100mbar). Can you provide a quotation for a vacuum version of this stage
tcohen  (posted 2013-04-25 11:08:00.0)
Response from Tim at Thorlabs: The stage itself should be fine for this low vacuum. The motor, however, would likely require adding vacuum compatible greases. We will contact you with a quotation.
klee  (posted 2009-10-01 12:32:45.0)
A response from Ken at Thorlabs to kraghunath: The weight of the MT3-Z8 is about 3.2 lbs. The length of the motor cable is 0.5m. The length of the USB cable is 2m.
kraghunath  (posted 2009-10-01 06:54:43.0)
1. what is the total weight of the MT3-Z8 with base plate 2. what is the typical length of RS 232 cable provided for control from TDC001 to MT3-Z8. 3. what is the typical length of USB cable provided for PC control to TDC001. Raghunath
jens  (posted 2009-06-19 09:04:18.0)
A reply from Jens at Thorlabs: the calculated displacement is indeed 2.9 x 10-5mm which is the same as 29nm. The first number is given in millimeter which might be confusing so it is 2.9 x 10-8 meter.
kadri  (posted 2009-06-18 22:17:23.0)
I am thinking whether 29 nm or 29 micron is the correct value in the information below "The linear displacement of the actuator per encoder count is given by 512 x 67 = 34,304 encoder counts per revolution of the lead screw, whereas the linear displacement of the lead screw per encoder count is given by 1.0 mm / 34,304 counts = 2.9 x 10-5 mm (29 nm)."
jens  (posted 2009-05-27 08:32:31.0)
A reply from Jens at Thorlabs: the standard stage as offered on the web page is not designed for vaccuum application, we can however offer a custom version which will be unanodized, using vacuum compatible actuator, grease and epoxy. We will contact you with a quotation.
rafal.rakowski  (posted 2009-05-27 08:18:33.0)
Hello, My question is: will be work this stage under vacuum ? Thank you in advance for reply, Best regards, Rafal Rakowski, PhD *********************
Tyler  (posted 2008-06-05 15:56:03.0)
A response from Tyler at Thorlabs to gogabis: An application engineer attempted to simulate the situation you described and found that the stage functioned without any issues, even when oriented upside down. They will be contacting you with more details regarding the simulation. Thank you for your interest in our products.
gogabis  (posted 2008-06-05 06:10:20.0)
I have MT1/M-Z6 and planning load it with substanshial moment (2kg*0.10cm not load specified in yours specification) and main problem upside down is it possible ? Will it be backslash problem ?
stifout  (posted 2007-12-26 03:35:58.0)
Is it possible to request MT1/M Translation Stage eqquipped with a step motor instead of DC motor? If possible, how much such product will cost? Thanks, A. Stifutkin

電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。

Piezoelectric Stages
Product FamilyORIC®
PDXZ1 Closed-Loop
4.5 mm Vertical Stage
ORIC®
PD2 Open-Loop
5 mm Stage
ORIC®
PDX2 Closed-Loop
5 mm Stage
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Travel4.5 mm5 mm
Speed1 mm/s (Typ.)a10 mm/s (Typ. Max)b8 mm/s (Typ.)c
Drive TypePiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
45.0 mm x 42.0 mm13 mm x 13 mm
Additional Details
  • この仕様値は周波数20 kHzの閉ループモードで駆動したときの値です。
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時
Piezoelectric Stages
Product FamilyORIC®
PD1 Open-Loop
20 mm Stage
ORIC®
PD1D Open-Loop
20 mm Monolithic XY Stage
ORIC®
PDX1 Closed-Loop
20 mm Stage
ORIC®
PD3 Open-Loop
50 mm Stage
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Travel20 mm50 mm
Speed3 mm/s (Typ. Max)a20 mm/s (Typ. Max)b10 mm/sc
Drive TypePiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZXY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
30 mm x 30 mm80 mm x 30 mm
Additional Details
  • コントローラK-Cube KIM101使用時
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
Piezoelectric Stages
Product FamilyNanoflex™
20 µm Stage
with 5 mm Actuator
Nanoflex™
25 µm Stage
with 1.5 mm Actuator
Elliptec® 28 mm Stage Elliptec® 60 mm StageLPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel20 µm + 5 mm Manual25 µm + 1.5 mm Manual28 mm60.0 mm1.1 mm
Maximum Velocity-180 mm/s90 mm/s-
Drive TypePiezo with Manual ActuatorResonant Piezoelectric MotorAmplified Piezo
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZXZ
Mounting Surface Size75 mm x 75 mm30 mm x 30 mm15 mm x 15 mm21 mm x 21 mm
Additional Details

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。ステージの多くは多軸構成(PLSXY)や、多軸ステージ(PLSX、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)への組み込みが可能です。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。

Stepper Motor Stages
Product FamilyPLSX with and without PLST(/M) Top Plate
1" Stage
PLSXY with and without PLST(/M) Top Plate
1" Stage
LNR Series
25 mm Stage
LNR Series
50 mm Stage
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Travel1"25 mm50 mm
Maximum Velocity7.0 mm/s2.0 mm/s50 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XYX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
3" x 3"60 mm x 60 mm100 mm x 100 mm
Additional Details

Stepper Motor Stages
Product FamilyNRT Series
100 mm Stage
NRT Series
150 mm Stage
LTS Series
150 mm Stage
LTS Series
300 mm Stage
MLJ250
50 mm Vertical Stage
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Travel100 mm150 mm150 mm300 mm50 mm
Maximum Velocity30 mm/s50 mm/s3.0 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XY, XYZX, XY, XYZZ
Mounting
Surface Size
84 mm x 84 mm100 mm x 90 mm148 mm x 131 mm
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product FamilyMT Series
12 mm Stages
PT Series
25 mm Stages
MTS Series
25 mm Stage
MTS Series
50 mm Stage
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Travel12 mm25 mm25 mm50 mm
Maximum Velocity2.6 mm/s2.4 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
61 mm x 61 mm101.6 mm x 76.2 mm43 mm x 43 mm
Additional Details
DC Servo Motor Stages
Product FamilyM30 Series
30 mm Stage
M30 Series
30 mm Monolithic
XY Stage
M150 Series
150 mm XY Stage
KVS30
30 mm Vertical Stage
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Travel30 mm150 mm30 mm
Maximum Velocity2.4 mm/sX-Axis: 170 mm/s
Y-Axis: 230 mm/s
8.0 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, ZXY, XZXYZ
Mounting
Surface Size
115 mm x 115 mm272.4 mm x 272.4 mm 116.2 mm x 116.2 mm
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product FamilyDDS Series
50 mm Stage
DDS Series
100 mm Stage
DDS Series
220 mm Stage
DDS Series
300 mm Stage
DDS Series
600 mm Stage
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Travel50 mm100 mm220 mm300 mm600 mm
Maximum Velocity500 mm/s300 mm/s400 mm/s400 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XYX, XYXX
Mounting Surface Size60 mm x 52 mm88 mm x 88 mm120 mm x 120 mm
Additional Details
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電動移動ステージ、移動量12 mm

MT1(/M)-Z9 Drawing
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ミリ規格の1軸ステージの外形図
MT1-Z9 Drawing
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インチ規格の1軸ステージの外形図
  • 1軸および3軸の2種類のステージ
  • DCサーボアクチュエータZ912Bにより、1軸あたりの移動量は12 mm
  • ステージの積重ねやアクセサリの取付けに必要なアライメントピンが付属(1軸ステージに2本、3軸ステージに4本)
  • コントローラおよび電源は別売り

電動1軸移動ステージMT1/M-Z9は1次元での直線移動、3軸移動ステージMT3/M-Z9は3次元での直交移動が可能です。取付け面にはM6タップ穴が7個付いているため、様々なオプトメカニクスを用いたセットアップへの組込みが容易です。このステージは、硬化スチール製のリニアベアリングを採用することで、精密な移動と長寿命を実現しています。

各軸の操作には独立したコントローラと電源が必要です。当社ではモーターコントローラK-Cube™ KDC101のご使用をお勧めしています。その詳細は下記の製品紹介をご覧ください。

アクチュエータZ912Bに付いているモータ用ケーブルの長さは485 mmです。さらに長いケーブルが必要な場合は、延長ケーブルPAA632(2.5 m)のご使用をお勧めします。延長ケーブルについては、このページの下部をご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MT1-Z9 Support Documentation
MT1-Z91軸電動移動ステージ、移動量12 mm、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
¥155,594
7-10 Days
MT3-Z9 Support Documentation
MT3-Z93軸電動移動ステージ、移動量12 mm、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
¥488,069
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MT1/M-Z9 Support Documentation
MT1/M-Z91軸電動移動ステージ、移動量12 mm、M6タップ穴(ミリ規格)
¥155,594
7-10 Days
MT3/M-Z9 Support Documentation
MT3/M-Z93軸電動移動ステージ、移動量12 mm、M6タップ穴(ミリ規格)
¥488,069
7-10 Days
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ベースプレート、ブレッドボードおよび光学テーブル用

MT401
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ベースプレートMT401(/M)を使用して、ブレッドボードに2個重ねて取り付けられた単軸ステージMT1(/M)-Z9 
  • 単軸移動ステージMT1/M-Z9のブレッドボードまたは光学テーブルへの取付け用 
  • M6取付け穴が4個
  • アライメント穴によって平行性を確保
  • M6ザグリ穴スロットが4個

ベースプレートMT401/Mは、上記のステージを光学テーブルまたはブレッドボードに取り付ける際、ステージ中央のザグリ穴が利用できない場合に便利です。こちらのベースプレートには間隔が25 mmの取り付けフランジが付いています。単軸ステージの場合、このベースプレートに取り付けられたステージを、取付け穴にアクセスするために移動プラットフォーム上の既存のセットアップを取り外したりせずに、ブレッドボードに取付けることができます。

ベースプレートMT401/Mには、MTシリーズ取付け用にM6キャップスクリュ(5 mm六角)が2個付属しています。ステージMT1/M-Z9に付属する2個のアライメントピンはステージやベースプレートに整合するので、移動軸をプレートに対して平行にすることができます。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MT401 Support Documentation
MT401ベースプレート、MTシリーズ移動ステージ用、1/4"-20取付け穴(インチ規格)
¥3,684
Today
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MT401/M Support Documentation
MT401/MCustomer Inspired! ベースプレート、MTシリーズ移動ステージ用、M6取付け穴(ミリ規格)
¥3,684
Today
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直角ブラケット

MT402
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直角ブラケットMT402を使用してXYZ構成に取り付けた3つの単軸ステージMT1(/M)-Z9
  • 移動ステージMT1/M-Z9に垂直に取付け可能
  • XY、XZ、XYZステージ構築用に設計
  • 直交性を確保するアライメント穴付き
  • 取り付けに必要なネジなどのハードウェアが全て付属

直角ブラケットMT402を用いて、単軸移動ステージMT1/M-Z9を垂直面に取付けることにより、XY、XZ、XYZステージを構築することができます。この直角ブラケットには予め穴が加工されており、M6ネジと1/4”-20ネジが各4個付いているのでミリ規格とインチ規格の両方に対応します。ボール(六角)ドライバと六角レンチは別途こちらでご紹介しています。このベースプレートは、3軸ステージMT3/M-Z9に付属しています。

アセンブリの際には、まず移動ステージMT1/M-Z9に付属する2個のアライメントピンをステージのアライメント穴に取付けてください。 次に直角ブラケットのアライメント穴をステージのアライメントピンに合わせてください。 そしてブラケットをM6キャップスクリュで締め付けてください。 これでブラケットの垂直取付け面は移動ステージを水平に(XY用)または垂直に(XZまたはXYZ用)取り付けることができます。 詳しくは、13 mm(1/2インチ)移動ステージMT1シリーズのページ内、「XYZアセンブリ」タブをご覧ください。このページに記載されているアクチュエータは違う種類を使用していますが、アセンブリの方法は全く同じです。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
MT402 Support Documentation
MT402直角ブラケット、MTシリーズ移動ステージ用
¥8,220
Today
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側面取付けアクチュエータ用アダプタ

MT405
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アダプタMT405を使用してステージMT1(/M)-Z9の長さを短縮
  • MT1/M-Z9の長さを短縮
  • 取付け用ネジ(#4-40)が4個付属

側面取付けアクチュエータ用アダプタMT405をお使いいただくと、右図のように、ステージの背面から側面にアクチュエータを移動することができます。 このアダプタは、アクチュエータ用の固定機構が無いステージの側面に取り付け可能です。 これにより、ステージ全体の長さは30 mm短く、幅は18 mm増えます。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
MT405 Support Documentation
MT405側面取付けアクチュエーターキット、MTシリーズ移動ステージ用
¥9,238
Today
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フレクシャーステージアクセサリ用アダプタ

MT406
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垂直に取り付けられたフレクシャーステージアクセサリ用プレートMT406(/M)
  • MT1/M-Z9と共に用いるフレクシャーステージアクセサリ
  • 水平性を確保する2個のアライメント用ピンが付属
  • M6キャップスクリュが2個付属

フレクシャーステージアクセサリ用アダプタープレートMT406/Mは、当社のフレクシャーステージ用アクセサリの全製品に対応しており、基本的なファイバ入射システムを構築いただくのにお使いいただけます。 2個のM6キャップスクリュでMT1/M-Z9の上部に直接固定することが可能で、M3タップ穴が28個付いています。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MT406 Support Documentation
MT406アダプタープレート、MTシリーズ移動ステージ用、#6-32タップ穴(インチ規格)
¥6,350
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MT406/M Support Documentation
MT406/Mアダプタープレート、MTシリーズ移動ステージ用、M3タップ穴(ミリ規格)
¥6,350
7-10 Days
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K-Cube™ DCサーボモーターコントローラ

photo of power supply adapters
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K-CubeならびにT-Cube™モジュールを取り付けたUSBコントローラーハブKCH601(別売り)。(T-CubeにはアダプタKAP101が必要です。)
  • 前面パネルに電動ステージやアクチュエータ制御用の速度ホイールとデジタル表示画面
  • 2つの双方向トリガーポート(外部機器からの信号読み取りや外部機器の制御用)
  • 付属のUSBケーブルでPCに接続
  • Kinesis®ならびにAPT™ソフトウェアに完全対応
  • コンパクトな設置面積:60 mm x 60 mm x 49.2 mm
  • 電源は付属しません(下記参照)

当社のK-Cubeブラシ付きDCモーターコントローラKDC101は、1台のモータの回転軸を手動またはPCで制御します。上面のコントロールパネルには速度ホイールがあり、位置のプリセットに加えて、順方向ならびに逆方向のジョグ動作と双方向の4段階速度制御が可能です。上面パネルのデジタル表示にはバックライトが付いており、メニュー選択により暗くしたり消灯したりすることが可能です。ユニット前面には双方向のトリガーポートが2つあり、5 Vの外部ロジック信号を読み取ることや、5 Vロジック信号を出力して外部機器を制御することができます。それぞれのポートの機能は独立に設定することができます。

このユニットは当社の新しいKinesisソフトウェアパッケージならびに従来のAPTコントロールソフトウェアに対応します。詳細は「モーションコントロールソフトウェア」のタブをご覧ください。

このコントローラには電源が付属しませんのでご注意ください。対応可能な電源は下記のとおりです。詳細はDCサーボモーターコントローラKDC101の製品紹介ページでご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
KDC101 Support Documentation
KDC101K-Cubeブラシ付きDCサーボモーターコントローラ(電源別売り)
¥105,854
Today
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電源

photo of power supply options
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電源ユニットKPS201(日本国内向けアダプタと共に発送します)
  • 電源(単体)
    • KPS201: K-Cubes™ 、T-Cubes™ 用、3.5 mmジャック付き
  • 電源供給と通信機能を備えたUSBコントローラハブ
    • KCH301: 3台までのK-CubeまたはT-Cube用
    • KCH601: 6台までのK-CubeまたはT-Cube用

電源KPS201の出力電圧は+15 VDC、最大電流は2.66 Aで、3.5 mmジャックで1台のK-CubeまたはT-Cubeに電力を供給します。標準的な壁コンセントに接続して使用します。

USBコントローラーハブKCH301およびKCH601は次の2つの機能を有しています。1つはハブ機能で、最大3台(KCH301)または6台(KCH601)までのK-CubeまたはT-Cubeをサポートします。もう1つは電源機能で、標準的な壁コンセントに接続するだけで必要な電力の供給を行います。ただし、ハブが供給できる最大電流は10 Aです。お使いになる全Cubeの必要電流が合計で10 A以上にはならないことをお確かめください。 また、このハブに取り付けられたすべてのT-CubeやK-Cubeに対して、1本のUSBケーブルで接続することができます。

USBコントローラハブの詳細は、製品ページをご参照ください。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
KPS201 Support Documentation
KPS201K-Cube&T-Cube単体用電源、15 V、2.66 A、3.5 mmジャック付き
¥5,525
Today
KCH301 Support Documentation
KCH301USBコントローラーハブ&電源、K-CubeまたはT-Cube 3台用
¥82,012
Today
KCH601 Support Documentation
KCH601USBコントローラーハブ&電源、K-CubeまたはT-Cube 6台用
¥99,259
Today
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モータ用延長ケーブル

延長ケーブルPAA632の長さは2.5 mで、コネクタは当社の電動式アクチュエータ製品すべてに使用できる15ピンD‑サブコネクタです。 オス型のケーブル端はコントローラに、メス型はモータに接続します。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PAA632 Support Documentation
PAA632APT DCサーボモータ用ケーブル、Z9シリーズ用、DE15オス型-DE15メス型、2.5 m
¥9,032
Today