1軸フレクシャーステージ、移動量5 mm、手動型および手動-ピエゾハイブリッド型


  • Differential Adjusters
  • Optional 20 μm Piezo Drive for Open- or Closed-Loop Operation
  • Mounting Plate & Angle Bracket Accessories

NFL5DP20S

Shown with NFL5P1 Baseplate (Not Included)

NFL5P2

Angle Bracket

NFL5P1

Base Plate

Typical XZ
Configuration

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Please Wait
Key Specifications
Item #NFL5DNFL5DP20NFL5DP20S
Actuator(s)Differential
Micrometer
Diff. Micrometer &
Open-Loop Piezo
Diff. Micrometer &
Closed-Loop Piezo
Coarse Adjuster Travel5 mm (0.20")
Coarse Adjuster Resolution0.5 mm per Revolution
Fine Adjuster Travel300 µm
Fine Adjuster Resolution50 µm per Revolution
Load CapacityHorizontal: 1 kg (2.2 lbs)
Vertical: 0.5 kg (1.1 lbs)
Piezo TravelN/A20 µm20 µm
Piezo ResolutionN/A0.6 nm0.6 nmb
Piezo VoltageN/A0 - 75 V0 - 75 V
  • 詳細については「仕様」タブをご覧ください。
  • 歪ゲージ位置センサを使用した閉ループ動作
Single-Axis Flexure Stage Selection Guide
1.5 mm Travel
5 mm Travel

特長

  • 差動アジャスタ:移動量5 mm
  • 手動5 mm移動+20 μmピエゾ駆動のハイブリッドタイプもご用意
    • NFL5DP20/M:歪みゲージ無し、開ループ操作
    • NFL5DP20S/M:歪みゲージ有り、閉ループ操作
  • コンパクトサイズ:75 mm x 75 mm、厚さ30 mm
  • XYZ構成
  • ステージNFL5DP20/MはコントローラKPZ101とセットでもご提供(詳細については「セット内容」タブをご覧ください)

安定性が最重要条件で リニアベアリング特有のエラーが悪影響を与えうる用途のとき、移動量5 mmのNanoFlex™単軸フレクシャーステージを使用することで、極めて滑らかな移動が実現できます。複合的な対称フレクシャ設計を採用しているので、全移動距離に渡って、クロストークが0の真に直線の動作が実現できます。この動作は、接触による駆動を必要とする部品を使用しないことにより実現されています。すなわち、全ての動きは、移動マウントの中にある様々な構造部品のフレクシャ動作によって実現されています。これらの特性によって、この製品は厳しい環境下でも優れた性能を発揮します。

これらの直線移動ステージ(リニアステージ)は、 下記でご紹介しているオプションのベースプレートNFL5P1/Mや角度ブラケットNFL5P2/Mを使用することで、XY、XZおよびXYZ 構成が可能となります。移動ステージNFL5DP20/Mには長さ3 mのピエゾ駆動ケーブル(SMC-SMC)1本が、移動ステージNFL5DP20S/Mにはピエゾ駆動ケーブルに加えて長さ3 mのフィードバックケーブル(LEMO-LEMO)が付属します。コネクタの詳細は「ピン配列」タブをご参照ください。

接続可能なコントローラなどの詳細な情報については「仕様」タブをご参照ください。ステージNFLDP20/Mとコントローラを組み合わせたセットをご提供しております。単体でご購入いただくよりもお得となっています。セットの詳細については、「セット内容」のタブをご覧ください。電源は別売りとなっておりますので、対応する電源は下記にて別途ご用意しております。

Item #NFL5DNFL5DP20NFL5DP20S
Stage Specifications
Manual Travel Range5 mm (0.20")5 mm (0.20")5 mm (0.20")
Maximum Stage Load CapacityHorizontal: 1 kg (2.2 lbs)
Vertical: 0.5 kg (1.1 lbs)
Horizontal: 1 kg (2.2 lbs)
Vertical: 0.5 kg (1.1 lbs)
Horizontal: 1 kg (2.2 lbs)
Vertical: 0.5 kg (1.1 lbs)
Stage Mounting Surface Dimensions75 mm x 75 mm (2.95" x 2.95")75 mm x 75 mm (2.95" x 2.95")75 mm x 75 mm (2.95" x 2.95")
Stage Height30 mm (1.18")30 mm (1.18")30 mm (1.18")
Manual Drive Specifications
Drive TypeDifferential MicrometerDifferential MicrometerDifferential Micrometer
Coarse Adjustment Pitch0.5 mm0.5 mm0.5 mm
Fine Adjustment Range300 µm300 µm300 µm
Fine Adjustment Pitch50 µm50 µm50 µm
Piezo Specifications
Voltage N/A0 to 75 V0 to 75 V
Position Sensor for Closed-Loop OperationN/AN/AStrain Gauge
Travel RangeN/A20 µm20 µm
Theoretical ResolutionN/A0.6 nma0.6 nma (Closed-Loop Operation)
CapacitanceN/A3.6 µF3.6 µF
ConnectorN/AMale SMCMale SMC
Feedback ConnectorN/AN/AMale 7 Pin LEMO
Cable Length N/ASMC: 3 m (9.84')SMC: 3 m (9.84')
LEMO: 3 m (9.84')
Recommended ControllersN/AKPZ101, MDT694B, or MPZ601BPC301, MPZ601,
or KPZ101 and KSG101
  • コントローラKPZ101、BPC301またはMPZ601を使用して駆動した時の値

ピエゾ駆動入力

SMC オス

NFL5DP20およびNFL5DP20S

SMA Male

最大入力電圧(公称値): 75 V
最大入力電圧(絶対値): 100 V

PinDesignation
1+15 V
2Oscillator +
30 V
4Signal Out -
5Signal Out +
6-15 V
7Travel

変位センサ

7ピン LEMO オス

NFL5DP20Sのみ

LEMO Male

Item #KPZNFL5(/M)
NFL5DP20(/M) Stage Specifications
Drive TypeDifferential Micrometer & Piezo
Travel Range5 mm (0.20")
Load CapacityHorizontal: 1 kg (2.2 lbs)
Vertical: 0.5 kg (1.1 lbs)
Coarse Adjustment Pitch0.5 mm
Fine Adjustment Range300 µm
Fine Adjustment Pitch50 µm
Piezo Travel Range20 µm
Piezo Resolution0.6 nm
Piezo Voltage0 to 75 V
KPZ101 Controller Specifications
Drive Voltage0 to 150 V
Drive Current, Max, Continuous7.5 mA
Stability100 ppm Over 24 hrs
(After 30 min Warm-Up)
Noise< 2 mVRMS
Typical Piezo Capacitance1 to 10 µF
Bandwidth1 kHz (1 µF Load, 1 Vp-p)
External Input (SMA Male)0 to 10 V
Output Monitor (SMA Male)0 to 10 V
USB PortUSB 2.0a
  • USB 2.0マイクロBタイプコネクタを接続する際は、 こちらをクリックしてご覧いただける図の網掛け部分を使用します。 KPZ101にはAタイプ-MicroBタイプのUSB 3.0ケーブルが1本付属します。

ステージとコントローラのセット移動ステージとコントローラのセット

KPZNFL5/Mのセットには、NFL5DP20/Mのステージ、K-Cube ピエゾコントローラ KPZ101、USBケーブル、ピエゾ駆動ケーブルおよび取付プレートNFL5P1/Mが付属します。このステージの手動駆動による移動量は5 mmです。さらなる微調整が必要な場合は、ピエゾアクチュエータで20 µmの移動が可能で、分解能は 0.6 nmです。セットでご購入いただくと、単品よりもお求めやすい価格になります。

K-Cubeピエゾコントローラ

KPZ101は、上部パネルからの単体操作、もしくはPCインターフェイス経由での制御が可能です。KPZ101はmini USBポート経由でPCに接続し、当社のKinesis®ソフトウェア、もしくは旧世代のAPT™ソフトウェアを使用します。Kinesisソフトウェアの直観的に使用できるグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)によって、ユニットはPCで制御できるようになります。さらに高度な動作が必要な場合は、ActiveX®または .NETを利用してK-Cubeシリーズ用のソフトウェアをプログラミングすることができます。詳細は「モーションコントロールソフトウェア」のタブをご覧ください。

電源

用途に合わせて必要な電源が異なるので、KPZ101には電源が付属しません。 推奨される電源については、下記をご参照ください。

当社では幅広い種類のモーションコントローラを駆動できるよう、Kinesis® ソフトウェアパッケージと従来のAPT™(Advanced Positioning Technology)ソフトウェアパッケージの2種類のプラットフォームをご用意しております。どちらのパッケージも小型で低出力のシングルチャンネルドライバ(K-Cube™やT-Cube™など)から高出力でマルチチャンネルのモジュール式19インチラックナノポジショニングシステム(APTラックシステム)まで幅広い種類のモーションコントローラをカバーするKinesisシリーズのデバイスを制御できます。

Kinesisソフトウェアには、最新のC#、Visual Basic、LabVIEW™またはその他の.NETに対応する言語を使用してカスタムプログラムを作成するサードパーティの開発者向けに、.NETコントロールが付属しています。また、.NETフレームワークを使用しない用途向けに低級言語用のDLLライブラリも付いています。センターシーケンスマネージャが、当社の全てのモーションコントロールハードウェアの統合と同期をサポートします。

Kinesis Software
KinesisのGUIスクリーン
APT Software
APTのGUIスクリーン

当社従来のAPTシステムソフトウェアプラットフォームは、C#、Visual Basic、LabVIEWまたはその他のActive-Xに対応する言語を使用してカスタムプログラムを作成するサードパーティの開発者向けに、ActiveXをベースとしたコントロールが付属しています。また、ハードウェア無しでカスタムプログラムの開発を行うためのシミュレーターモードも付いています。

これらの共通のソフトウェアプラットフォームにより、あらゆるKinesisとAPTコントローラをシングルアプリケーションに簡単に組み込むことができます。ソフトウェアツールは1セット習得するだけで共通した操作が可能です。シングルチャンネルシステムからマルチチャンネルシステムまで、あらゆるコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが実現可能です。

このソフトウェアパッケージを使用するには2つの手段があります。GUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを使用したコントローラとの直接対話ならびに「out of the box」コントロール、またはご選択の開発言語でカスタム統合の位置決めやアライメントソリューションを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。

APTシステムソフトウェアをよりご理解いただけるために様々なチュートリアルビデオもご用意しております。ビデオではソフトウェアの概要とAPT Configユーティリティをご説明しています。また、ソフトウェアのシミュレーターモードを利用すると、コントローラを接続しないでソフトウェアを試すことができます。その方法を説明したビデオもあります。これらのビデオは「APTチュートリアル」タブ内のリンクからご覧いただけます。

ソフトウェア

Kinesis バージョン 1.14.30

このKinesisソフトウェアパッケージには、当社のKinesisならびにAPT™システムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております:

  • 通信プロトコル
Software Download

ソフトウェア

APT バージョン 3.21.5

このAPTソフトウェアパッケージには、当社のAPT™およびKinesisシステムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております:

  • 通信プロトコル
Software Download

Posted Comments:
Xing Lin  (posted 2021-03-13 16:44:41.733)
We bought NFL5DP20S, KPZ101 and KSG101. What is the accuracy of position readings from KSG101? Also, what is the on-axis accuracy if the whole system is operated in close-loop mode?
DJayasuriya  (posted 2021-03-19 05:43:49.0)
Thank you for you inquiry. We will get in touch with you directly to discuss your application further.
Leslie Deck  (posted 2020-10-22 16:43:35.1)
Can the NFL5D be upgraded later with a PZT drive?
DJayasuriya  (posted 2020-10-23 10:39:06.0)
thank you for your inquiry. Yes the NFL5D can be upgrade to a NFL5DP20 (5 mm Travel Translation Stage with Diff. Drive and 20 µm Piezo Actuator). Please get in touch with your local tech support team if you require this change, they will be happy to arrange it.
user  (posted 2020-08-31 13:03:36.61)
Does the horizontal load also allow a PULL force (i.e. mounted upside down with a hanging load)?
DJayasuriya  (posted 2020-09-02 03:51:05.0)
Thank you for your inquiry. The load capacity when mounted upside down should be lower than the 0.5 kg that we spec for the upright configuration. The limiting factor is the spring force and the flexure.
DJayasuriya  (posted 2020-09-02 03:51:05.0)
Thank you for your inquiry. The load capacity when mounted upside down should be lower than the 0.5 kg that we spec for the upright configuration. The limiting factor is the spring force and the flexure.
DJayasuriya  (posted 2020-09-02 03:51:05.0)
Thank you for your inquiry. The load capacity when mounted upside down should be lower than the 0.5 kg that we spec for the upright configuration. The limiting factor is the spring force and the flexure.
David Hoffman  (posted 2020-08-08 18:19:05.157)
Hello, What is the rms position fluctuation in the closed loop operation? Also what is the repeatability of the position command? Thank you
DJayasuriya  (posted 2020-08-21 09:31:52.0)
Thank you for your inquiry. The position fluctuations when used with closed loop is in the nano meter range theoretically (< 1 nm). The repeatability is similar to our Max stages 30 nm over 30 µm, 0.1 % over full travel range.
user  (posted 2020-05-25 06:10:53.02)
Hello. Is there any recommended direction when I use this stage vertically? In the usage picture, I can find its handle is upright. Can I put the handle downside?
DJayasuriya  (posted 2020-05-26 05:11:41.0)
Thank you for your inquiry. Yes you would be able to change the orientation of how the stage is mounted.
user  (posted 2019-12-19 17:07:03.207)
Hi, Probably a silly question. If I set the two micrometers, then how stable are they afterwards ? Will they drift while I use the piezo drive ? Is it possible to lock the micrometers to stop any drift ? Thanks !
cwright  (posted 2020-01-06 03:44:03.0)
Response from Charles at Thorlabs: Hello and thank you for contacting us. The micrometer on the NFL5DP20/M can be locked by use of a small thumbscrew but only for the course adjustment. The fine adjustment can not be locked on these devices. Unfortunately we do not have any data regarding drift of the micrometer during piezo operation but we would expect only thermal drift to be a factor.
ab177  (posted 2018-02-08 18:33:33.537)
Hello, I am assembling a multi-stack of translation stages where each has limited load capacity. Could you please tell me what is the weight of the NFL5DP20? Thanks, Art.
tfrisch  (posted 2018-02-09 04:22:39.0)
Hello, thank you for contacting Thorlabs. We list the weight in the drawing as 0.38kg. I will reach out to you to discuss this application.
chiwen.cheng  (posted 2017-09-25 17:43:03.733)
We have bought the NFL5DP20S/M and KPZ101. How could we get the relationship between voltage and displacement of Piezo? Do we need another strain gauge (KSG101) to read the real/absolute position? Many thanks
AManickavasagam  (posted 2017-09-26 05:38:12.0)
Response from Arunthathi at Thorlabs: Thank you for your question. Due to hysteresis you will not be able to achieve the Piezo versus displacement relationship. Hence you will need to buy the KSG101 which will measure the position accurately using the inbuilt strain gauge. Thanks.
jp  (posted 2014-06-16 15:31:43.27)
Hello, this is Junsong from Royal Institute of Technology, Sweden. How is the relationship between the voltage and the displacement of the Piezo? Is there a equation? For my experiment, I need to know the equation between them. Thanks very much.
rcapehorn  (posted 2014-06-17 11:32:34.0)
Response from Rob at Thorlabs: Thank you for your question. Due to the inherent nature of piezos having a hysteresis motion, the absolute position cannot be found from the voltage input. To achieve position information you would need to use one of the closed loop versions that uses a strain gauge, NFL5DP20S. I have emailed you with more details if you require.
dbcole  (posted 2014-03-07 10:03:24.203)
We’re looking to purchase this bundle and had a couple of questions. I’m not a piezo expert, so please forgive my incomplete knowledge. Can the piezo be driven by a sinusoidal signal in order to modulate the position sinusoidally? And if so, is there a maximum drive frequency? Also, can the device displacement be changed in a unidirectional manner over its 20um range at a given linear velocity?
cdaly  (posted 2014-03-07 11:52:42.0)
Response from Chris at Thorlabs: Thank you for your feedback. Yes, the piezo can be driven with a sinusoidal voltage in order to modulate the displacement, but this will require an input from a 0-10 V analog source such as a function generator or a DAQ card. The maximum frequency would depend on the depth of modulation required (peak to peak voltage) and the capacitance of the stage. For instance, if you were to modulate over the full 150 V (20 um) range of the stage, the maximum frequency would be roughly 8.8 Hz, This can be found using the equation f=I/(pi*V*C), where I is the max current for the controller (7.5mA), V is the voltage range of modulation and C is the capacitance of the stage (1800nF). This value may also be affected by the load present on the stage as well. The displacement of a piezo is inherently mostly linear, but there will be some deviation.
jlow  (posted 2012-12-13 09:27:00.0)
Response from Jeremy at Thorlabs: Unfortunately this is not possible on the NFL5D. The reason for this is because of the way this stage is designed (it does not have the typical barrel mount). If you are looking for a long travel piezo stage, how about adding on our PAS or PAZ series piezo actuator to our LNR50 series stages? You can find these at http://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=2295.
lbassett  (posted 2012-12-07 20:23:24.58)
Is it possible to replace the differential adjuster on the NFL5D with a longer-travel piezo actuator such as the DRV181 (80µm) or PAS015 (100µm)?
Greg  (posted 2009-01-26 11:31:06.0)
Response from Greg at Thorlabs to melsscal: Thank you for taking the time to ask us questions via our website. The PAA100 is a suitable cable for the piezo driver (SMC), while the PAA622 is the strain gauge cable (LEMO). The TPZNF5 (/M) and TSGNF5 (/M) come with the NF5P1 (/M) mounting plate. The T-Cubes come with mounting plates as well. I updated the webpage to clear this up. Also, the bundles are now detailed in tabs so that they are easier to learn about.
melsscal  (posted 2009-01-17 09:21:54.0)
Does the TSGNF5/M COMES WITH/INCLUDES THREE BASE PLATE LIKE NF5P2 - ONE EACH FOR NF5DP20S 5mm Travel Stage, TPZ001 Piezo Driver & TSG001 Strain Gauge Reader ?
melsscal  (posted 2009-01-17 08:25:03.0)
waht are the cables part no. which comes along with TSGN5/M as standard accessory ?we want to buy same extra as spare along with TSGN5/M.
melsscal  (posted 2009-01-17 08:16:26.0)
What are the part nos. of the suitable cables for SMC & LEMO ports of this stage ?

手動リニアステージ

手動の移動ステージとして、最大移動量が6 mm以下から50 mmまでのステージをご用意しています。ステージの多くはXY軸やXYZ軸などの多軸構成での注文が可能です。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の手動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかにも、回転ステージピッチ&ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また、DCサーボモータ、ステッピングモータ、またはダイレクトドライブ技術を用いた電動移動ステージもご用意しています。

クロスローラーベアリングステージ

こちらの直線移動ステージの移動機構には、精密移動、高耐荷重、小角度偏差といった特性を有するクロスローラーベアリングが用いられています。LNRシリーズステージの本体はスチール製、LX、XRNおよびXRシリーズステージの本体はアルミニウム製です。

Crossed-Roller Bearing Stages
Product FamilyLNR Series 25 mm Stages LX Series
25 mm Stages
XRN Series 25 mm StagesXR Series 25 mm Stages XR Series 50 mm Stages LNR Series 50 mm Stages
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Travel25 mm (0.98")25 mm (0.98")25 mm (0.98")25 mm (0.98")50 mm (1.97")50 mm (1.97")
Drive TypeMultipleMicrometerMicrometerMicrometerMicrometerMultiple
Platform Size2.34" x 2.36"
(59.4 mm x 60.0 mm)
2.56" x 2.56"
(65.0 mm x 65.0 mm)
2.00" x 3.35"
(50.7 mm x 85.0 mm)
2.98" x 4.33"
(75.7 mm x 110.0 mm)
2.98" x 5.51"
(75.7 mm x 140.0 mm)
3.94" x 3.94"
(100.0 mm x 100.0 mm)
Possible Axis
Configurations
X, XZ, XY, XYZX, XY, XZ, YZ, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Additional Details

ボールベアリングステージ

こちらの移動ステージでは、精密移動と長寿命を実現するために、硬化スチール製リニアベアリングが用いられています。様々なアクチュエータが付いた製品や、1軸ステージや予め多軸ステージとして構築された製品をご用意しております。

Ball Bearing Stages
Product FamilyMS Series 1/4" StagesT12 Series 1/2" StagesMT Series 1/2" StagesPT Series 1" StagesLT Series 2" Stages
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Travel1/4" (6.4 mm)1/2" (12.7 mm)1/2" (12.7 mm)1" (25.4 mm)2" (50 mm)
Drive TypeMultipleThumbscrewMultipleMultipleDifferential Micrometer
Platform Size1.17" x 1.17"
(29.7 mm x 29.7 mm)
0.76" x 0.81"
(19.3 mm x 20.6 mm)
2.40" x 2.41"
(61.0 mm x 61.2 mm)
3.00" x 4.00"
(76.2 mm x 101.6 mm)
3.75" x 3.75"
(95.3 mm x 95.3 mm)
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Additional Details

アリ溝式ステージ

これらの小型ステージの移動機構にはアリ溝と送りネジが組み込まれています。一般的な移動制御用に適したステージです。

Dovetail Stages
Product FamilyDT Series 1/2" StagesDTS Series 1" Stage DTS Series 2" Stage
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Travel1/2" (12.7 mm)1" (25 mm)2" (50 mm)
Drive TypeThumbscrewThumbscrewThumbscrew
Platform Size1.00" x 1.00" (25.4 mm x 25.4 mm)2.68" x 2.95" (68.0 mm 75.0 mm)2.68" x 3.74" (68.0 mm x 95.0 mm)
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Additional Details

フレクシャーステージ

移動ステージNanoflex™には摩擦の無いフレクシャー機構が用いられており、ベアリングを用いた同様のステージと比較して位置決め性能と分解能が向上しています。ステージの移動は、取付けプラットフォームに取り付けられた連結部の弾性変形(たわみ)によって実現されています。多くのモデルには、微細な位置調整用にピエゾアクチュエータも付属します。 

Flexure Stages
Product FamilyNanoflex™ 1.5 mm StageNanoflex™ 5 mm Stages
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Travel1.5 mm (0.06") + 25 µm Piezo5 mm (0.20")5 mm (0.20") + 20 µm Piezo
Drive TypeThumbscrew and Piezo ActuatorDifferential MicrometerDifferential Micrometer and
Open-Loop Piezo Actuator
Differential Micrometer and
Closed-Loop Piezo Actuator
Platform Size1.18" x 1.18" (30.0 mm x 30.0 mm)2.95" x 2.95" (75.0 mm x 75.0 mm)
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Additional Details

垂直移動ステージ

当社では精密移動用のクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージや、高荷重用の長距離垂直移動ステージもご用意しております。 

Vertical Stages
Product FamilyMVS Series 1/2" Vertical StageMVS Series 1" Vertical Stage VAP Series 4" Vertical StageVAP Series 10" Vertical Stage
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Travel1/2" (13.0 mm)1" (25.0 mm)4" (101.6 mm)10" (254 mm)
Drive TypeMicrometerAdjuster Knob and Coarse Manual Positioning
Platform Size2.36" x 2.36" (60.0 mm x 60.0 mm)3.00" x 6.00" (76.2 mm 152.4 mm)
Additional Details

電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージピッチ&ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

こちらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。移動ステージNanoflex™は、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータを使用しています。Z軸ステージLPS710E/Mには、ピエゾ移動に対する増幅機構が用いられており、それに適したコントローラが付属しています。ステージPD1/Mでは、移動量を得るために「スティック-スリップ」の摩擦特性を利用するピエゾ慣性アクチュエータが用いられています。Elliptec™シリーズのステージでは、共振による楕円形の動作を通じて可動プラットフォームを押したり引いたりする共振ピエゾモータを使用しています。

Piezoelectric Stages
Product FamilyNanoflex™ 20 µm Stage
with 5 mm Actuator
Nanoflex™ 25 µm Stage
with 1.5 mm Actuator
PD1 Open-Loop
20 mm Stage
PD1D Open-Loop
20 mm Monolithic XY Stage
PDX1 Closed-Loop
20 mm Stage
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Travel20 µm + 5 mm Manual25 µm + 1.5 mm Manual20 mm
Maximum Velocity-3 mm/s20 mm/s
Drive TypePiezo with Manual ActuatorPiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZXY, XYZX, XY, XYZ
Additional Details
Piezoelectric Stages
Product FamilyElliptec™ 28 mm Stage Elliptec™ 60 mm StageLPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel28 mm60.0 mm1.1 mm
Maximum Velocity180 mm/s90 mm/s-
Drive TypeResonant Piezoelectric MotorAmplified Piezo
Possible Axis ConfigurationsXZ
Additional Details

Stepper Motor Stages

These translation stages feature removable or integrated stepper motors and long travel ranges up to 300 mm. The MLJ150 stage also offers high load capacity vertical translation. The other stages can be assembled into multi-axis configurations.

Stepper Motor Stages
Product FamilyLNR Series
25 mm Stage
LNR Series
50 mm Stage
NRT Series
100 mm Stage
NRT Series
150 mm Stage
LTS Series
150 mm Stage
LTS Series
300 mm Stage
MLJ150
50 mm Vertical Stage
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Travel25 mm50 mm100 mm150 mm150 mm300 mm50 mm
Maximum Velocity2.0 mm/s50 mm/s30 mm/s50 mm/s3.0 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZZ
Additional Details

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用い、最大300 mmの長い移動が可能です。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。他のステージは多軸ステージの構築が可能です。

Stepper Motor Stages
Product FamilyLNR Series
25 mm Stage
LNR Series
50 mm Stage
NRT Series
100 mm Stage
NRT Series
150 mm Stage
LTS Series
150 mm Stage
LTS Series
300 mm Stage
MLJ150
50 mm Vertical Stage
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Travel25 mm50 mm100 mm150 mm150 mm300 mm50 mm
Maximum Velocity2.0 mm/s50 mm/s30 mm/s50 mm/s3.0 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZZ
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product FamilyMT Series
12 mm Stages
PT Series
25 mm Stages
MTS Series
25 mm Stage
MTS Series
50 mm Stage
M30XY
30 mm XY Stage
KVS30
30 mm Vertical Stage
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Travel12 mm25 mm25 mm50 mm30 mm30 mm
Maximum Velocity2.6 mm/s2.4 mm/s2.4 mm/s8.0 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZXY, XZZ
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product FamilyDDS Series
50 mm Stage
DDS Series
100 mm Stage
DDS Series
220 mm Stage
DDS Series
300 mm Stage
DDS Series
600 mm Stage
Click Photo to Enlarge
Travel50 mm100 mm220 mm300 mm600 mm
Maximum Velocity500 mm/s300 mm/s400 mm/s400 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XYX, XYXX
Additional Details

1軸フレクシャーステージ、移動量5 mm、手動型および手動-ピエゾハイブリッド型

ステージには差動マイクロメータが付属し、手動による粗調整と微調整が可能です。ピエゾアクチュエータ付きのハイブリッド型ステージもご用意しています。このピエゾアクチュエータは、閉ループまたは開ループ動作用にそれぞれ歪ゲージによるフィードバック有りと無しのバージョンがあります。NFL5シリーズのステージは、精密なナノポジショニングが必要とされる干渉分光法や顕微鏡法などの様々な用途に適します。

接続可能なコントローラについてなど詳細は上記の「仕様」タブ内をご参照ください。ステージNFLDP20/Mとコントローラを組み合わせたセットをご提供しております。単体でご購入いただくよりもお得となっています。対応する電源は下記にて別売りでご用意しております。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
NFL5D Support Documentation
NFL5DNanoFlex™5 mm移動ステージ、差動マイクロメータ付き(インチ規格)
¥111,415
5-8 Days
NFL5DP20 Support Documentation
NFL5DP20NanoFlex™5 mmハイブリッド型移動ステージ、差動マイクロメータ&ピエゾ付き(インチ規格)
¥135,611
5-8 Days
NFL5DP20S Support Documentation
NFL5DP20SNanoFlex™5 mmハイブリッド型移動ステージ、差動マイクロメータ&閉ループピエゾ付き(インチ規格)
¥182,737
5-8 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
NFL5D/M Support Documentation
NFL5D/MNanoFlex™5 mm移動ステージ、差動マイクロメータ付き(ミリ規格)
¥111,415
5-8 Days
NFL5DP20/M Support Documentation
NFL5DP20/MNanoFlex™5 mmハイブリッド型移動ステージ、差動マイクロメータ&ピエゾ付き(ミリ規格)
¥135,611
5-8 Days
NFL5DP20S/M Support Documentation
NFL5DP20S/MNanoFlex™5 mmハイブリッド型移動ステージ、差動マイクロメータ&閉ループピエゾ付き(ミリ規格)
¥182,737
5-8 Days

1軸ステージと開ループコントローラのセット

  • NanoFlex™フレクシャーステージNFL5DP20/M、ピエゾドライバ、およびベースプレートのセット
  • USBおよびSMCケーブル付属 
  • 電源は別売り(下記参照) 
  • 単体でのご購入よりもお得 

KPZNFL5/MのセットにはNFL5DP20/Mの駆動に適したK-Cube™ピエゾドライバKPZ101と、ピエゾ位置決め用の開ループシステムに必要なケーブルが含まれております。KPZNFL5/Mにはまた、ベースプレートNFL5P1/Mが付属します。KPZ101に対応する電源は別売りです(下記参照)。 

セットの詳細については、「セット内容」のタブをご覧ください。 

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
KPZNFL5 Support Documentation
KPZNFL5NanoFlex™ 5 mm移動ステージ&ピエゾドライバKPZ101(インチ規格)
¥200,040
5-8 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
KPZNFL5/M Support Documentation
KPZNFL5/MNanoFlex™ 5 mm移動ステージ&ピエゾドライバKPZ101(ミリ規格)
¥200,040
Today

NFL5シリーズ取付けアダプタ

NFL5P1/M およびNFL5P2/M は、NFL5シリーズの移動ステージ用のアダプタープレートです。NFL5P1/Mは汎用ベースプレートで、その両側にスロットがあるので、光学ブレッドボードに簡単に取付けできます。このベースは、XYまたはXYZ の多軸構成で、ステージ中央のザグリ穴が使用できない時に利用できます。

NFL5P2/Mは直角ブラケットで、NFL5シリーズのステージを2軸または3軸構成で垂直に取り付けられます。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
NFL5P1 Support Documentation
NFL5P1NanoFlex™NFL5Dシリーズベースプレート(インチ規格)
¥6,612
5-8 Days
NFL5P2 Support Documentation
NFL5P2NanoFlex™NFL5Dシリーズ直角ブラケット(インチ規格)
¥13,646
5-8 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
NFL5P1/M Support Documentation
NFL5P1/MNanoFlex™NFL5Dシリーズベースプレート(ミリ規格)
¥6,612
Today
NFL5P2/M Support Documentation
NFL5P2/MNanoFlex™NFL5Dシリーズ直角ブラケット(ミリ規格)
¥13,646
5-8 Days

使用可能な電源

  • ±15 V/5 V電源
    • TPS002: 最大2台までのMini-DIN入力端子付きK-Cube™またはT-Cube™*
  • USBコントローラーハブによって電源供給と通信が可能
    • KCH301: 3台までのK-CubeまたはT-Cube用
    • KCH601: 6台までのK-CubeまたはT-Cube用

TPS002では最大2台までのK-Cube*やT-Cubeに電源を供給できます。K-CubeやT-CubeをPCへ接続するには、個別のUSBケーブルが必要です。

USBコントローラKCH301は3台、KCH601は6台までのK-CubeやT-Cubeをサポートするハブ部分と、壁コンセントに差し込むだけでハブとハブに接続された全てのCubeに電力を供給する電源部分から構成されています。ハブが供給できる最大電流は10 Aですので、お使いになるCubeの合計電流が10 A以上にならないことをご確認ください。こちらのハブをご使用いただくことで、1つのUSB接続によって、複数のK-CubeやT-CubeとのUSB接続が実現します。

接続用USBコントローラーハブについての詳細は、こちらからご覧いただけます。

*電源ユニットTPS002は、電流リミット値が超えないよう1台のKNA-VISまたはKNA-IRのみの電源供給にご使用ください。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
TPS002 Support Documentation
TPS002Mini-DIN入力端子付き±15 V/5 V電源、最大2台までのK-CubeまたはT-Cube用
¥15,192
Today
KCH301 Support Documentation
KCH301USBコントローラーハブ&電源、K-CubeまたはT-Cube 3台用
¥68,228
Today
KCH601 Support Documentation
KCH601USBコントローラーハブ&電源、K-CubeまたはT-Cube 6台用
¥82,576
Today