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マイクロメータヘッド、アクチュエータ、アジャスタおよび振動子(トランスデューサー)
/ ピエゾ(圧電)アクチュエーター
ピエゾ(圧電)アクチュエーター
ピエゾアクチュエータのラインナップには、チップ型のほかに共焼成積層型や多段チップ型のピエゾアクチュエータ、また閉ループ操作の可能なひずみゲージ付きピエゾアクチュエータなどがございます。ほかにも貫通穴付きアクチュエータ、せん断アクチュエータ、屈曲アクチュエータ(ピエゾベンダー)、リング型アクチュエータなどをご用意しています。単結晶によるチップ型および多段チップ型のピエゾアクチュエータは、当社の標準的なセラミック製ピエゾ部品と比較してヒステリシスが小さくなります。リングチップ型超音波ピエゾ素子は、超音波振動の発生用として設計されており、共振周波数で使用することも可能です。
チップ型ピエゾアクチュエータ:移動量0.7~6.1 µm
単結晶ピエゾアクチュエータ、チップ型&多段チップ型
円形ピエゾアクチュエータ、チップ型&多段チップ型
共焼成積層型アクチュエータ、移動量4.6~20.0 µm
多段チップ型アクチュエータ、移動量>5.2 µm
ハーメチックシール済み
ピエゾアクチュエータ
ひずみゲージ付きピエゾアクチュエータ
チップ型アクチュエータ、貫通穴付き、移動量1.8~3 µm
多段チップ型アクチュエータ、貫通穴付き
リング型アクチュエータ、
移動量2.6 µm~15.0 µm
リングチップ型超音波ピエゾ素子、26 kHzまたは35 kHz
ピエゾ振動アクチュエータ
ピエゾ屈曲アクチュエータ
(ピエゾベンダ)
チューブ型ピエゾアクチュエータ
チップ型せん断アクチュエータ、1軸~3軸用ポジショナ
ピエゾアクチュエータ
組み込み用(OEM用) ピエゾモータ
ピエゾ素子の製造能力
ピエゾ素子のチュートリアル
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