Products HomeZ軸直線移動ステージ、移動量増幅機構付きピエゾモーター駆動
- 2 nm Resolution in Open Loop Operation
- Travel Range: 1100 µm in Open Loop; 800 µm in Closed Loop
- 300 g Load Capacity
LPSA1
Optional Microscope Slide Holder
(Slide Not Included)
LPS710E
Linear Piezo Stage
with Included Controller
Engraved Arrow Indicates
Direction of Travel
LPSA4
Optional Mounting Plate
Please Wait
| Key Specificationsa | ||
|---|---|---|
| Drive Voltage Range (Max) | -25 V to 150 V | |
| Travel | Open Loop | 1100 µm ± 10% |
| Closed Loop | 800 µm | |
| Resolution | Open Loop | 2 nm |
| Closed Loop | 6 nm | |
| Accuracy | Closed Loop | ±0.06% (Over Full Travel Range) |
| Bidirectional Repeatability | Closed Loop | ±0.03% (Over Full Travel Range) |
| Maximum Loadb | 300 g (0.66 lbs) | |
| Outer Dimensions (L x W x H) | 130 mm x 28 mm x 30 mm (5.1" x 1.1" x 1.2") | |
特長
- 長距離のピエゾ駆動移動
- 開ループ時1100 µm
- 閉ループ時800 µm
- 高精密コントローラと静電容量式フィードバックセンサの組み合わせによる高分解能の位置決め
- 開ループ時の分解能2 nm
- 閉ループ時の分解能6 nm
- 独立型Kinesis®ならびにAPT™インターフェイス、ThorImage®LSとの統合、外部電圧による制御
- 多用途性を高めるアクセサリ(オプション)
- 試料位置決めやZ-Stack用顕微鏡スライドホルダ
- レーザ共振器、干渉計、分光計に使用できるØ7 mmミラーマウント
- 幅3 mmのキー溝とM4ならびにM3タップ穴付きの取付けプレート
LPS710E/MはZ軸直線移動ステージで、静電容量式位置決めフィードバックセンサ内蔵の増幅機構付きピエゾアクチュエータにより駆動されます。工場で校正、整合された高精密ピエゾコントローラがセットに含まれており、高い位置確度が実現します。この設計はサブミクロンの再現性とナノメートルの位置分解能、そしてミリ秒単位と高速な応答時間と整定時間を有し、ピエゾ駆動で長距離移動が必要な用途に適しています。レーザ走査型顕微鏡法、分光法、干渉法などの用途でご活用いただけます。 さらにオプションとしてステージの多用途性を高めることができるスライドホルダやミラーマウント、そして取付けプレートもご用意しております(下記参照)。
ステージは多段チップ型ピエゾアクチュエータによって駆動されます。ピエゾアクチュエータは硬化スチール製のフレクシャ構造内に納められており、予め荷重が印加されています。デバイスの変位はピエゾアクチュエータの変位量の約10倍に増幅されます。これにより、全体の変位量は閉ループ時800 µm、開ループ時1100 µmとなります。また最大耐荷重は300 gです。内蔵の静電容量式フィードバックセンサと当社の高精密ピエゾコントローラにより、閉ループ動作時の分解能は6 nmで、短期および長期ドリフトをアクティブに補正します。開ループで使用時のコントローラは2 nmの分解能でステージを駆動します。 ユニットの側面にある矢印の刻印は移動方向を示しています。
ステージ上部の21.0 mm x 21.0 mmの取付け面には、深さが4.8 mmのM3取付け穴(止まり穴)が4つあります。オプションのアクセサリであるスライドホルダ、固定式光学マウント、または取付けプレート(すべて下記参照)のほか、M3ネジ付きの部品の取り付けに使用できます。
ステージの底面にはM6キャップスクリュ用のスロットが2つ、M3キャップスクリュ用のスロットが4つあり、ステージを光学テーブルやブレッドボードに固定可能です。さらにステージの底面と側面にはM3取付け穴が2つずつあり、右上の写真のように当社のミニシリーズ部品をステージの固定に使用することもできます。
ステージは、校正済みのピエゾコントローラと組み合わせた状態で出荷されます。ピエゾ制御は、付属のKinesisならびにAPT GUI、ThorImage®LS画像取得ソフトウェア、外部供給の制御電圧のいずれかにより行うことができます。詳細については「ソフトウェア＆外部制御」のタブをご参照ください。コントローラにはPC制御用のUSBおよびRS-232インターフェイス、正弦波、鋸波、矩形波の駆動信号用のBNC入力端子、スキャナに内蔵の静電容量センサからの位置フィードバック信号またはピエゾ駆動電圧の比例信号用BNC出力端子に対応するコネクタが付いています。また、DB15コネクタは、外部機器との同期信号用です。
| Piezo Stage Specifications | |
|---|---|
| Open-Loop Travel Range (-25 V to 150 V) | 1100 µm ± 10% |
| Closed-Loop Travel Range | 800 µm |
| Open-Loop Resolution | 2 nm |
| Closed-Loop Resolution | 6 nm |
| Maximum Loada | 300 g (0.66 lbs) |
| Feedback Transducer Type | Capacitive |
| Resonant Frequency (15 g Load) | Primary: 185 Hz ± 15% Secondary: 115 Hz ± 15% |
| Pull Force (Increasing Voltage) | 55 N ±15% |
| Push Force (Decreasing Voltage) | 45 N ±15% |
| Accuracy (Closed Loop - Over Full Travel Range) | ±0.06% |
| Bidirectional Repeatability (Closed Loop - Over Full Travel Range) | ±0.03% |
| Angular Error (Closed Loop - Over Full Travel Range) | ±40 µrad |
| Stiffness | 0.1 N/µm ±20% |
| Capacitance | 16 µF ± 15% |
| Cable Length | 2 m (6' 7") |
| Connector | Male 15-Way Mixed Signal Combination D-Sub |
| Dimensionsb | 130 mm x 28 mm x 30 mm (5.1" x 1.1" x 1.2") |
| Dimensions (Excluding Mounting Plate) | 130 mm x 28 mm x 28.5 mm (5.1" x 1.1" x 1.12") |
| Weightc | 180 g (0.40 lbs) |
| Operating Temperature Range | 5 to 40 °C |
| Controller Specifications | ||
|---|---|---|
| Piezoelectric Output | ||
| Drive Voltage Range | -25 V to +150 V | |
| Drive Voltage Stability | 100 ppm over 24 Hours (After 30-Minute Warm-Up) | |
| Drive Voltage Noise | ＜0.5 mV (RMS)a | |
| Output Current | 150 mA | |
| External Input (BNC) | ||
| Input Voltage Rangeb | -10 V to +10 V | |
| Input Voltage for Full Range | 10 V DC ± 2% | |
| Input Impedance | 10 kΩ | |
| Absolute Maximum Input Voltage | ±20 VDC | |
| External Output (BNC) | ||
| Output Voltage Range | 0 V to +10 V Nominal for Full Range (Output can Swing Negative in Certain Scenarios) | |
| Output Impedance | 100 Ω | |
| Minimum Recommended Output Impedance | 10 kΩ | |
| Physical Specifications | ||
| Input Powerc | Input Voltage | 24 VDC ± 5% |
| Input Current | ＜2 A | |
| Dimensions | 205.0 mm x 147.0 mm x 68.3 mm (8.07" x 5.79" x 2.69") | |
| Weight | 1.65 kg (3.63 lbs) | |
| Operating Temperature Range | 5 to 40 °C | |
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ピエゾステージLPS710Eのターゲット位置における位置確度。こちらの試験ではステージは閉ループで動作しています。ターゲット位置が設定され、位置誤差が測定されます。順方向ならびに逆方向のどちらの移動も測定されています。 データの取得にはRenishaw社のレーザ干渉計XL-80を使用しました。
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ピエゾステージLPS710Eの駆動電圧に対する変位です。 これらの試験ではまず電圧を0 Vから150 Vまで上げ、その後-25 Vまで下げてから0 Vに戻しました。ヒステリシスにより、初期位置と最終位置には若干のずれがあります。 データの取得にはRenishaw社のレーザ干渉計XL-80を使用しました。
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ピエゾステージLPS710Eの共振周波数の負荷に対する依存を表しています。直線方向の共振(Linear、赤色)は、取り付けた負荷が上部の取付け穴に対し対称、または「軸上」にあるときに発生します。角度方向の共振(Angular、青色)は、取り付けた負荷が上部の取付け穴に対し非対称、または「軸外」にあるときに発生します。 角度方向の共振モードを最小化するために、負荷の質量中心をできるだけ上部の取付け穴の近くに保持してください。
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LPS710Eの移動特性を経時的に測定しました。こちらの試験では、ステージを当社のAPT™ソフトウェアで、0.1 µmの間隔でジョグに設定して制御しました。ステージは閉ループ、移動の中間附近(400 µm)で動作しており、負荷は14 gです。データの取得にはRenishaw社のレーザ干渉計XL-80を使用しました。
ソフトウェア
APTバージョン 3.21.6
APTソフトウェアパッケージには、ステージを制御するためのGUIが付属しています。
下記もご用意しております
- 通信プロトコル
ソフトウェア
Kinesisバージョン 1.14.50
Kinesisソフトウェアには、ステージを制御するためのGUIが付属しています。
下記もご用意しております
- 通信プロトコル
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ThorImage®LSの画像取り込み設定タブ内のZ Controlパネル
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ThorImageLSの画像取り込みタブ内のFast Zパネル
ステージは、独立型Kinesis® GUI、APT™ GUI、Bergamo®IIIおよび共焦点顕微鏡用ThorImage®LSソフトウェア、外部供給の制御電圧を使用して駆動できます。 また、DB15コネクタは、外部機器との同期に使用可能な信号を提供しています。制御についての詳細はLPS710E/MのKinesisおよびAPT用マニュアル(各PDFリンク)をご参照ください。
開ループ動作と閉ループ動作
ステージを位置制御する際は、開ループと閉ループの2種類のモードから選択できます。開ループ動作時、対物レンズの位置制御はピエゾの駆動電圧の設定で行われ、移動量が1100 µm ± 10%となっています。印加された動作電圧はステージのある程度の変位量に相当します。ピエゾ素子の場合、この変位量は印加電圧に対して線形変化ではなく、非線形性とヒステリシスを示しています。従って、印加電圧は単純にステージの位置に転換されません。従って、印加電圧は単純にステージの位置に転換されません。開ループ動作時、変位量の測定はステージのコントローラと内蔵されている静電容量センサにより2 nmの分解能で行うことが可能です。
閉ループ動作時、ステージの位置制御は変位量(µm)の設定で行われ、移動量が800 µmとなっています。内蔵されている6 nmの分解能(閉ループ動作時)を有する静電容量センサはステージの位置を測定する際に使用されています。
独立型KinesisおよびAPT GUI
KinesisおよびAPT GUIは、開ループおよび閉ループ動作の両方をサポートします。ピエゾ駆動電圧または対物レンズの変位量は直接入力したり、出力ノブをドラッグして変更(APTのみ)することによって、ユーザ定義値を増加または減少させたりすることができます。
また、GUIはソフトウェアベースのPIDループチューニングも可能です。初期設定では、安定して駆動できるようになっていますが、特定の実験で使用される対物レンズの場合、PIDループやノッチフィルタを微調整することで、対物レンズの設定位置付近でのオーバーシュートやリンギングを低減することができるようになります。
左のスクリーンショットをご参照ください。
ThorImageLSイメージ取得ソフトウェア
ThorImageLSは、閉ループ動作をサポートしています。このソフトウェアにより、ステージの作動を当社のBergamo IIおよび共焦点顕微鏡と同じインターフェイスから制御できるため、実験用のシステムを大幅に簡素化できます。ステージの制御は、Capture SetupならびにCaptureタブの両方で行うことができるので便利です。右のスクリーンショットをご参照ください。
ThorImageLSソフトウェアはKinesis GUIと連動して動きます。そのため、IO Control Modeではステージ制御の前に「Software + External BNC」に設定してください。
外部制御電圧
このモードでは、ステージは開ループおよび閉ループ動作の両方をサポートします。この電圧は外部入力BNCコネクタを使用してコントローラに供給されます。入力電圧によって決定する駆動電圧またはステージの変位量は、APT GUIの設定値に追加されます。合計電圧が-25 V～+150 V の駆動電圧範囲を超えても、制限によりこの範囲外の出力ができません。
通常、外部入力BNCコネクタには、正弦波、鋸波または矩形波の駆動信号を入力します。印加信号の最大周波数は波形に依存します。周期の大きな波形(つまり、合計変位量＞200 µmの正弦波)の推奨駆動周波数は以下のようになります。
- 50 gまでの負荷: 40 Hz以下
- 50 g～150 gの負荷: 30 Hz以下
- 150 g～300 gの負荷: 20 Hz以下
ステップサイズ50 µm以下の階段波形の場合、ステップの最低間隔は整定時間の典型値である25 msとなります。
DB15コネクタ
光刺激や電気生理学、オプトジェネティクスの用途において、コントローラ上のDB15コネクタは数種類の電気信号を提供させて、ピエゾステージの動作を多光子イメージング用レーザ、パッチクランプ電極またはLED光源などの装置の動作と同期させます。このコネクタの詳細は、KinesisおよびAPT用マニュアル(各PDFリンク)内のAppendix A.2に記載されています。
ピエゾコントローラのピン配列
ステージコネクタ
| Pin | Description | Pin | Description |
|---|---|---|---|
| 1 | HV Ground (Return) | 8 | HV Ground (Return) |
| 2 | Not Used | 9 | Not Used |
| 3 | Not Used | 10 | Stage IDb |
| 4 | Sine Wave Drive Output | 11 | Low Voltage Ground |
| 5 | Not Used | 12 | Low Voltage Ground |
| 6 | +15 V (Preamp Supply)a | 13 | Piezo ID (Legacy Stages)b |
| 7 | Low Voltage Ground | 14 | Position Sense Input (Strain Gauge) |
| Coaxial Male | Position Sense Input (Capacitive) | 15 | -15 V (Preamp Supply)a |
| Coaxial Female | HV Output |
ユーザーコネクタa
メス型 DB15
| Pin | Description | Return | Pin | Description | Return |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Digital Output 1 | 5, 9, 10 | 9 | Digital Ground | - |
| 2 | Digital Output 2 | 5, 9, 10 | 10 | Digital Ground | - |
| 3 | Digital Output 3 | 5, 9, 10 | 11 | For Future Use (Trigger Out) | 5, 9, 10 |
| 4 | Digital Output 4 | 5, 9, 10 | 12 | For Future Use (Trigger In)b | 5, 9, 10 |
| 5 | Digital Ground | - | 13 | Digital Input 4 | 5, 9, 10 |
| 6 | Digital Input 1 | 5, 9, 10 | 14 | 5 V Supply Output | 5, 9, 10 |
| 7 | Digital Input 2 | 5, 9, 10 | 15 | 5 V Supply Output | 5, 9, 10 |
| 8 | Digital Input 3 | 5, 9, 10 |
RS-232を介したPC制御
オス型 DB9
| Pin | Description | Pin | Description |
|---|---|---|---|
| 1 | Not Connected | 6 | Not Connected |
| 2 | RX (Controller Input) | 7 | Not Connected |
| 3 | TX (Controller Output) | 8 | Not Connected |
| 4 | Not Connected | 9 | Not Connected |
| 5 | Ground |
USBを介したPC制御
USB B型(メス型)
外部入力
BNC メス型
入力電圧: -10 V to +10 V
入力インピーダンス: 10 kΩ
外部出力
BNC メス型
出力電圧: 0 V to +10 V
出力インピーダンス: 100 Ω
最小推奨
出力インピーダンス: 10 kΩ
ジョイスティックコネクタ
メス型ミニDIN
| Pin | Description | Pin | Description |
|---|---|---|---|
| 1 | RX (Controller Input) | 4 | +5 V, 100 mA Supply for Joystick |
| 2 | Ground | 5 | TX (Controller Output) |
| 3 | Ground | 6 | Ground |
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LPS710E(/M)に付属するアイテム(写真には北米対応の電源ケーブルが表示されていますが、日本では日本国内用の電源ケーブルになります。)
LPS710E/Mには以下のアイテムが含まれます。
- ステージLPS710/M
- ピエゾコントローラPPC001
- 電源と電源ケーブル(日本国内用)
- PC接続用USBケーブル
- ステージほかすべてのオプションアクセサリ用スロット付き収納ケース
顕微鏡用スライドホルダ、ミラーマウント、取付けプレートは別売りです。ステージLPS710/Mを収納する箱には顕微鏡用スライドホルダ、ミラーマウントと取付けプレート用の収納部もあります。
| Posted Comments: | |
user
(posted 2023-06-08 21:44:09.553) Hi, is it compatible with rough vacuum (~0.1 Torr)? do'neill
(posted 2023-06-12 08:50:27.0) Response from Daniel at Thorlabs. No part of this stage has been tested for vacuum compatibility and unfortunately we can not say if it will work at any vacuum as there are several components that will outgas. petermarkwell
(posted 2018-03-29 12:21:33.01) Hi I'm looking to possibly purchase this as part of uni project. I want to know if travel distance can be lowered to for example 250um and resonant frequency can be lowered to for example 10Hz? YLohia
(posted 2018-03-30 05:13:52.0) Response from Yashasvi at Thorlabs USA: Hello, thank you for contacting Thorlabs. The travel distance can be chosen in the GUI settings to values much lower than 250µm, so you will be able to select your positioning with very high precision. The resonance frequency of a piezo is a physical value that cannot controlled by software setting; it requires changing the dimensions and layer design of the piezo stack. The value can be changed by adjusting the load on the piezo, with an increase in weight equating to a lower resonance frequency. We suggest limiting the weight to a maximum of roughly 3N for this stage (LPS710E). Please note that we do not recommend operating piezos at resonance as this produces significant heat build-up, which can quickly destroy the piezo. |
電動リニアステージ
電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。
ピエゾステージ
これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。
| Piezoelectric Stages | ||||
|---|---|---|---|---|
| Product Family | ORIC® PDXZ1 Closed-Loop 4.5 mm Vertical Stage | ORIC® PD2 Open-Loop 5 mm Stage | ORIC® PDX2 Closed-Loop 5 mm Stage | |
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| Travel | 4.5 mm | 5 mm | ||
| Speed | 1 mm/s (Typ.)a | 10 mm/s (Typ. Max)b | 8 mm/s (Typ.)c | |
| Drive Type | Piezoelectric Inertia Drive | |||
| Possible Axis Configurations | Z | X, XY, XYZ | ||
| Mounting Surface Size | 45.0 mm x 42.0 mm | 13 mm x 13 mm | ||
| Additional Details | ||||
| Piezoelectric Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | ORIC® PD1 Open-Loop 20 mm Stage | ORIC® PD1D Open-Loop 20 mm Monolithic XY Stage | ORIC® PDX1 Closed-Loop 20 mm Stage | ORIC® PD3 Open-Loop 50 mm Stage | |
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| Travel | 20 mm | 50 mm | |||
| Speed | 3 mm/s (Typ. Max)a | 20 mm/s (Typ. Max)b | 10 mm/sc | ||
| Drive Type | Piezoelectric Inertia Drive | ||||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | |
| Mounting Surface Size | 30 mm x 30 mm | 80 mm x 30 mm | |||
| Additional Details | |||||
| Piezoelectric Stages | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | Nanoflex™ 20 µm Stage with 5 mm Actuator | Nanoflex™ 25 µm Stage with 1.5 mm Actuator | Elliptec® 28 mm Stage | Elliptec® 60 mm Stage | LPS710E 1.1 mm Vertical Stage | |
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| Travel | 20 µm + 5 mm Manual | 25 µm + 1.5 mm Manual | 28 mm | 60.0 mm | 1.1 mm | |
| Maximum Velocity | - | 180 mm/s | 90 mm/s | - | ||
| Drive Type | Piezo with Manual Actuator | Resonant Piezoelectric Motor | Amplified Piezo | |||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X | Z | |||
| Mounting Surface Size | 75 mm x 75 mm | 30 mm x 30 mm | 15 mm x 15 mm | 21 mm x 21 mm | ||
| Additional Details | ||||||
ステッピングモーターステージ
こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。ステージの多くは多軸構成(PLSXY)や、多軸ステージ(PLSX、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)への組み込みが可能です。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。
| Stepper Motor Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | PLSX with and without PLST(/M) Top Plate 1" Stage | PLSXY with and without PLST(/M) Top Plate 1" Stage | LNR Series 25 mm Stage | LNR Series 50 mm Stage | |
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| Travel | 1" | 25 mm | 50 mm | ||
| Maximum Velocity | 7.0 mm/s | 2.0 mm/s | 50 mm/s | ||
| Possible Axis Configurations | X, XY | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | ||
| Mounting Surface Size | 3" x 3" | 60 mm x 60 mm | 100 mm x 100 mm | ||
| Additional Details | |||||
| Stepper Motor Stages | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | NRT Series 100 mm Stage | NRT Series 150 mm Stage | LTS Series 150 mm Stage | LTS Series 300 mm Stage | MLJ250 50 mm Vertical Stage | |
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| Travel | 100 mm | 150 mm | 150 mm | 300 mm | 50 mm | |
| Maximum Velocity | 30 mm/s | 50 mm/s | 3.0 mm/s | |||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | Z | |||
| Mounting Surface Size | 84 mm x 84 mm | 100 mm x 90 mm | 148 mm x 131 mm | |||
| Additional Details | ||||||
DCサーボモーターステージ
脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。
| DC Servo Motor Stages | ||||
|---|---|---|---|---|
| Product Family | MT Series 12 mm Stages | PT Series 25 mm Stages | MTS Series 25 mm Stage | MTS Series 50 mm Stage |
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| Travel | 12 mm | 25 mm | 25 mm | 50 mm |
| Maximum Velocity | 2.6 mm/s | 2.4 mm/s | ||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | ||
| Mounting Surface Size | 61 mm x 61 mm | 101.6 mm x 76.2 mm | 43 mm x 43 mm | |
| Additional Details | ||||
| DC Servo Motor Stages | ||||
|---|---|---|---|---|
| Product Family | M30 Series 30 mm Stage | M30 Series 30 mm Monolithic XY Stage | M150 Series 150 mm XY Stage | KVS30 30 mm Vertical Stage |
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| Travel | 30 mm | 150 mm | 30 mm | |
| Maximum Velocity | 2.4 mm/s | X-Axis: 170 mm/s Y-Axis: 230 mm/s | 8.0 mm/s | |
| Possible Axis Configurations | X, Z | XY, XZ | XY | Z |
| Mounting Surface Size | 115 mm x 115 mm | 272.4 mm x 272.4 mm | 116.2 mm x 116.2 mm | |
| Additional Details | ||||
ダイレクトドライブステージ
こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。
| Direct Drive Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | DDS Series 50 mm Stage | DDS Series 100 mm Stage | DDS Series 220 mm Stage | DDS Series 300 mm Stage | DDS Series 600 mm Stage |
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| Travel | 50 mm | 100 mm | 220 mm | 300 mm | 600 mm |
| Maximum Velocity | 500 mm/s | 300 mm/s | 400 mm/s | 400 mm/s | |
| Possible Axis Configurations | X, XY | X, XY | X | X | |
| Mounting Surface Size | 60 mm x 52 mm | 88 mm x 88 mm | 120 mm x 120 mm | ||
| Additional Details | |||||
ズーム
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ピエゾステージ図面例
- 「発送リスト」タブ内に記載されている全アイテムが付属
- オプションのアクセサリもご用意(下記参照)
ピエゾステージLPS710/MならびにピエゾコントローラPPC001は、工場で校正、組み合わせを行い、型番LPS710E/Mとして販売しております。両方に同一のシリアル番号がラベル表記されています。ピエゾステージを別のコントローラで操作することはお勧めしません。
周期の大きな波形(つまり、合計変位量> 200 µmの正弦波)の推奨駆動周波数は以下のようになります。
- 50 gまでの負荷: 40 Hz以下
- 50 g～150 gの負荷: 30 Hz以下
- 150 g～300 gの負荷: 20 Hz以下
ズーム
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スライドホルダLPSA1(/M)と顕微鏡スライドを取り付けたLPS710(/M)
- 付属の皿ネジでステージLPS710/Mに取り付け可能
- 長さ73.1 mm～76.5 mmで、最大厚さ1.4 mm、最大幅25.4 mmまでの顕微鏡スライドを保持
- スライドの脱着が簡単なリトラクタブルマウント
- 高速Zスタックの取得やレーザ走査型顕微鏡に最適
顕微鏡スライドホルダLPSA1/Mは移動量増幅機構付きピエゾステージLPS710E/Mに直接取り付けられるように設計されており、この組み合わせは高速Zスタックの取得やレーザ走査型顕微鏡に適しています。顕微鏡スライドやテストターゲットのほか、長さが73.1 mm～76.5 mmで最大厚さ1.4 mm、最大幅25.4 mmまでのあらゆる長方形光学素子に対応します。
スライドホルダをステージLPS710/Mの取付け面に取り付けるためのM3キャップスクリュ(皿ネジ)が2つ付属します。スライドホルダの取り付け後は、右端の写真のように赤いバネ付きのプランジャを後方に引っ張って、スライドをホルダ内に取り付けます。なお、スライドホルダには透過用のポートがないため、透過型顕微鏡には使用することができません。
ズーム
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Ø7 mmのミラーPF03-03-P01
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ミラーPF03-03-P01を接着剤で取り付けたミラーマウントLPSA5(/M)とLPS710(/M)
- 付属の皿ネジでステージLPS710/Mに取り付け可能
- Ø7 mmのミラー用に設計された固定式マウント
- 接着方式と窪みのある取付けセルにより光学歪みを最小化
接着固定式光学マウントLPSA5/Mは窪みのある光学素子用取付けセルが特長で、光学素子の位置を接着剤で固定できます。軽量(約3 g)かつコンパクトに設計されており、ステージは高い周波数で動作できます。光学素子を接着剤で取り付けるために光学素子表面の歪みが小さく、従って干渉計やレーザ共振器のような敏感な用途に適しています。マウントは保護膜付き銀ミラーPF03-03-P01などØ7 mmミラー(下記参照)を保持できるよう設計されています。マウントに光学素子を取り付ける接着剤としてはNorland光学接着剤61(型番NOA61、下記参照)のご使用をお勧めします。
上の写真のようにLPSA5/MをステージLPS710/Mの取付け面に取り付けるためのM3キャップスクリュ(皿ネジ)が2つ付属します。
| Mirror Specifications | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Item # | Diameter | Thickness | Reflectance (Average) | Reflectance Plot | Substrate | Surface Flatness | Surface Quality | Parallelism | Clear Aperture | |
| 12° AOI | 45° AOI | |||||||||
| PF03-03-P01 | 7 mm (0.28") +0.0 mm / -0.1 mm | 2.0 mm (0.08") ±0.2 mm | ＞97.5% for 450 nm - 2 µm ＞96% for 2 - 20 µm |  |  | Fused Silica | λ/10 @ 633 nm | 40-20 Scratch-Dig | ＜3 arcmin | ＞90% of Diameter |
ズーム
Click to Enlarge LPSA4(/M)を使用してレンズマウントHCS209のようなファイバーアライメント用部品をLPS710(/M)に取り付け可能
- 付属のM3キャップスクリュでステージLPS710/Mに取り付け可能
- 中央にある幅3 mmの直交するキー溝にファイバーアライメント用アクセサリを取り付け可能
- クランプや止め具に対応する8個のM3タップ穴
- 一般的な部品を取り付け可能な4個のM4タップ穴
上部プレートLPSA4/Mには中心線に沿って幅3 mmのキー溝が十字状に2本付いています。ファイバーアライメント用アクセサリを使用した素早いステージ構成が可能で、ファイバ入射の用途に適しています。また、付属のM3キャップスクリュをザグリ穴に挿入してLPS710/Mに固定できます。当社のポストアセンブリを使用してデッキ高を約62.5 mmに引き上げることで、ピエゾステージや取付けプレートをNanomax™、Microblock™、Rollerblock™などの3軸ステージと一緒に使用できるようになり、ファイバーアライメントの用途にご活用いただけます。ファイバーアライメント用アクセサリは8個のM3タップ穴のうちの2個に止め具を使用して固定できます(右写真参照)。 4個のM4取付け用タップ穴は追加で部品を取り付ける場合にお使いいただけます。
取付けプレート(20 g)と取り付けた部品の重量がLPS710/Mの許容重量である300 gを超えないようにご注意ください。
ズーム推奨光学接着剤
ガラスと金属の接着に優れた接着性を発揮し、低応力で取り付け可能なNOA61を推奨しています。ただし、短い硬化時間または急激な環境温度変化に柔軟性を有するその他の接着剤もご使用いただけます。詳細についてはこちらをご覧ください。
- 低収縮率(1.5%)で低応力
- 光学素子への使用に適したガラスと金属を強力接着
- 推奨UV硬化照射強度：＞2 mW/cm2 @ 365 nm
光学接着剤NOA61は、透明で溶剤を含まない一液型接着剤です。UV光に当てると数秒でゲル化し、数分で強靭かつ弾性のある接着が得られるまで完全に硬化します。光学素子を最小の応力で金属に接着できるよう最適化されています。 光学接着剤の硬化にUV光を当てる必要があります。当社では、最大で600 mW/cm2の照射強度が得られるUV硬化システムをご用意しています。
光学接着剤NOA61はガラス面の接着に非常に適しており、硬化後に研磨が可能です。この接着剤は光学接着剤に対する米連邦規格MIL-A-3920を満たしていて、米国政府からも認定を受けています。NOA61は金属、ガラス繊維、ガラス繊維入りプラスチックなどに優れた接着力を発揮します。
有効期限
こちらのUV硬化接着剤の有効期限は約8か月です。製造元でパッケージされてからの期限となります。当社では、お届け時に有効期限が最低でも3か月以上ある製品を発送しております。
| Item # | Adhesion | Viscosity @ 25 °C | na | Tensile Strength | Shore D Hardness | Net Weightb | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Glass | Metal | Plastic | ||||||
| NOA61 | Excellent | Excellent | Fair | 300 CPS | 1.56 | 3,000 psi | 85 | 1 ± 0.07 oz (28 ± 2 g) |
垂直移動: 移動量1100 µmピエゾモータ