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MicroBlock™3軸コンパクトフレクシャーステージ


  • 4 mm of Travel per Axis
  • Differential or Thumbscrew Drives
  • Thermally Stable Design Minimizes Drift

MBT602

Compact Flexure Stage
Thumbscrew Drives

MBT616D

Compact Flexure Stage
Differential Micrometer Drives
US Patent 6,186,016

RB13P1

Additional Top Plate for Off-Center and General Optics Mounting

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Common Specifications
Travel4 mm
Travel MechanismParallel Flexure
Deck Height (Nominal)62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacitya (Max)1 kg (2.2 lbs)
Crosstalk <20 µm/mm
Thermal Stability1 µm/°C
Top Plate
Mounting

Holes
Imperial Plate
(Item # MMP1)
Metric Plate
(Item # MMP1/M)
  • 上面プレートの中央に荷重を加えた場合

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上面プレートMMP1(/M)の代わりに拡張上面プレートAMA003(/M)を取り付けています。

特長

  • XYZ方向への移動量: 4 mm
  • フレクシャ設計による滑らかな連続動作と長期安定性
  • コンパクトサイズ:77.5 mm x 74.0 mm(アクチュエータは含まず)
  • 上面プレートの溝により 多軸ステージアクセサリをアライメント可能
  • アジャスタをすべてベースに接続したことによりクロストークを最小限に抑制
  • フレクシャ機構は、ローラーベアリング設計に比べ、低ドリフトで摩擦が発生しにくくなっています。

当社のMicroBlock™3軸コンパクトフレクシャーステージは、ファイバ結合システムなどのミクロンの分解能が必要な用途に適しています。平行フレクシャ設計により、従来のベアリングベースのステージで見られる静摩擦や動摩擦のない、3自由度を有する直交線形移動が可能です。 入れ子構造のフレクシャープレートを使用しているため、位置決め装置内でのドリフトの原因となるような潤滑材を使う必要がありません。

各製品の移動量はXYZ方向に4 mm、最大耐荷重は1 kgです。 ステージの公称デッキ高は62.5 mmで当社のRollerBlock長距離移動ステージの高さとも合います。 アダプタープレートをご利用になれば、このステージを長距離移動式の様々な直線型移動ステージに取り付けできます。


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対物レンズ用マウントHCS013ならびに簡単脱着式ファイバークランプ HFF001(/M)を、クランプAMA010(/M)を用いて上面プレートおよびブラケットAMA009(/M)に取り付けてファイバ結合用ステージを構成

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ライザーブロック(高さ調整ブロック)AMA554(/M)を用いてデッキ高を112.5 mmに上げ、6軸NanoMaxステージに合わせることができます。

精密アクチュエータ
ステージMBT616D/Mには小型の差動アジャスタが付いており、1回転につき50 µmで300 µmの微調整が可能です。一方、MBT602/Mには0.5 mm間隔の調整用つまみネジが付いています。 3軸NanoMax™ならびにRollerBlock™ステージとは異なり、アクチュエータの取り外しや交換はできません。

アクセサリを簡単にアライメント
上面プラットフォームにはM2取付け穴が4個、M3穴が16個、M4穴が9個、そして中心線に沿って幅3 mmのキー溝が2本付いており、アクセサリのアライメントを維持しながらシステムを迅速に再構成することが可能です(左の写真参照)。 取付け穴の配置については右表の青いインフォアイコン()をクリックしてください。

溝が十字に交差するパターンなのでステージを右利き、左利き用、どちらにも方向転換ができます。 幅広いアクセサリをご用意しており、顕微鏡の対物レンズ、コリメーターパッケージ、導波路やファイバなどが取り付けられます。 部品を中心からずらして取り付けたい場合には、溝付き上面プレートの代わりにアダプタープレートRB13P1/Mがご使用になれます(下記参照)。このアダプタープレートには、M6とM4の取付け穴が並んでいます。

ステージMBT616D/Mは、当社のファイバ入射システム製品に組み込まれています。


Posted Comments:
user  (posted 2019-08-14 16:46:12.71)
I'd like to see some holes for dowel pins in the bottom of this unit so it could be positioned more accurately in an assembly than just with the clearance slots for the mounting screws.
AManickavasagam  (posted 2019-08-16 03:58:15.0)
Response from Arunthathi at Thorlabs: Thanks for your feedback. I have contacted you directly for extra details.
Hoang Nguyen  (posted 2019-07-08 19:50:16.353)
Hi, One screw on my 3-axis stage MBT602 is stuck. Where can I buy a replacement for that screw? Thanks.
AManickavasagam  (posted 2019-07-09 09:43:14.0)
Response from Arunthathi at Thorlabs: Thanks for reaching out to us. We will contact you directly to get further details and send you a replacement screw.
serjsmor  (posted 2014-12-08 04:02:11.393)
And what if I want to move the stage in 3 axes : X,Y,Z ? What product I should use ?
serjsmor  (posted 2014-12-06 09:23:59.863)
Is it possible to program the stage to move programatically ?
msoulby  (posted 2014-12-08 03:45:26.0)
Response from Mike at Thorlabs: Yes it is possible to program the stage, the most simply way would be to use the move sequencer in the APT User program, this is ideal if you only have 1 axis or stage to control and you can enter a series of moves that will be executed sequentially. Alternatively you can use a third party program such as Labview or Matlab we have contacted you directly with more information on using these applications with APT.
msoulby  (posted 2014-12-08 04:21:21.0)
Response from Mike at Thorlabs: Apologies the MBT stage is a manual stage and cannot be automated. If you would like a 3 axis automated stage then pleas consider our MAX300 range, specifically the MAX343/M 3-Axis NanoMax with Stepper Motors, please visit http://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=2386 for more information. if you use this stage then our APT User program can be used to operate all of the axes of the stage and if you need to synchronise all three axes then a third party program such as Labview or Matlab can be used.
user  (posted 2010-04-16 11:25:43.0)
A response from Oli at Thorlabs to day: Unfortunately because of the mechanical design of the stage it cannot handle 1Kg in this orientation. However the stage can certainly be mounted like this to actuate light optics etc.
day  (posted 2010-04-16 10:27:13.0)
Is the load capacity still 1kg if the stage is mounted vertically (i.e. if the stage breadboard is vertical)? Can the stage be used in this orientation?
klee  (posted 2009-08-06 16:33:30.0)
A response from Ken at Thorlabs: It is a theoretical number. It is the smallest possible move a human hand can move the differential adjusters.
iain  (posted 2009-08-04 22:29:44.0)
Is the resolution of the MBT616 stage really 50 nm? Looking at the differential micrometers it looks more like 500 nm. Can you clarify how you define the resolution?

多軸ステージセレクションガイド


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上の使用例では、NanoMaxシリーズの3軸フレクシャーステージを6軸ステージの前に置き、高さ調整アダプタAMA554(/M)を使用してデッキ高112.5 mmに整合させています。

3軸ステージ
当社では3種類の3軸ステージをご用意しております。NanoMaxフレクシャーステージ、MicroBlockコンパクトフレクシャーステージ、RollerBlock長距離移動ステージです。どのステージも公称デッキ高は62.5 mmです。NanoMaxシリーズの3軸ステージでは、内蔵型の閉ループまたは開ループのピエゾアクチュエータのほかに、ステッピングモータや差動アク チュエータ、その他のピエゾアクチュエータなどのモジュール型駆動オプションをご用意しております。MicroBlockステージには、差動マイクロメー ターアクチュエータや精密つまみネジが付いていますが、それらのアクチュエータは取り外しができません。RollerBlockステージのアクチュエータ は、Ø9.5 mmの取付けバレルが付いたアクチュエータであれば交換可能です。

4軸ならびに5軸ステージ
当社の4軸ならびに5軸ステージは、3軸ならびに6軸の高性能アライメントステージと比較した場合、導波路や複雑な光学素子の静的な位置決めにより適しています。5軸ステージの公称高さは、62.5 mmまたは112.5 mmになります。3軸または4軸ステージの高さを5軸MicroBlockあるいは6軸NanoMaxステージに合わせて112.5 mmに上げたい場合には、ライザーブロック(高さ調整ブロック)AMA554(/M)をご使用いただけます。

6軸ステージ
当社のNanoMax 6軸ナノポジショナは複雑な多軸ポジショニングシステムに適しており、公称デッキ高は112.5 mmです。こちらのステージは共通の回転中心を有しています。また特許取得済みの平行フレクシャ設計により、すべてのアクチュエータがベースに直接結合 し、システム内の不要な動きを最小限に抑えています。ピエゾ素子はオプションで閉ループでも開ループでも組み込めます。モジュール型設計のためアクチュ エータを交換することができ、すべての軸で手動式、またはピエゾ素子による電動式にすることが可能です。アクチュエータが付属しないタイプについては、右 手系、左手系のどちらの構成でもご用意しております。 3軸ステージの高さを112.5 mmに上げたい場合には、右の写真のように高さ調整アダプタAMA554(/M)のご使用をお勧めいたします。

当社の多軸ステージのラインナップならびに比較は下の表でご覧ください。

 

3軸ステージ

Item #MAX313DMAX312DMAX311DMAX383MAX381MAX303MAX302MAX301MBT602MBT616DRB13MRBL13D
Stage TypeNanoMax Flexure StagesMicroBlock Compact
Flexure Stages
RollerBlock Long Travel Stages
Included DrivesDRV3 Differential MicrometersDRV208 Stepper Motor ActuatorsN/AFine Thread ThumbscrewsDifferential Micrometers148-801ST
Micrometer Drives
DRV304
Differential Micrometers
Built-in PiezosN/AOpen
Loop
Closed LoopN/AClosed LoopN/AOpen LoopClosed LoopN/AN/A
Travel (X, Y, Z)4 mm (0.16")13 mm (0.51")
Deck Height (Nominal)62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)1 kg (2.2 lbs)4.4 kg (9.7 lbs)
Thermal Stability1 µm/°C-
Weight1.00 kg (2.20 lbs)0.64 kg (1.40 lbs)0.59 kg (1.30 lbs)

4軸ステージ

Item #MBT401D
MBT401D/M
MBT402D
MBT402D/M
Stage Type4-Axis Thin-Profile MicroBlock Device Stage4-Axis Low-Profile MicroBlock Device Stage
Included DrivesDifferential Micrometers
Built-in PiezosN/A
TravelHorizontal Axis (Y)a13 mm (0.51")
Vertical Axis (Z)6 mm (0.24")
Pitch (θy)±5°
Yaw (θz)±5°
Deck Height (Nominal)62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)0.5 kg (1.1 lbs)
  • 光軸(X)に対して垂直

5軸ステージ

Item #MBT401D (MBT401D/M) or
MBT402D (MBT402D/M) with
MBT501
PY005
Stage Type5-Axis MicroBlock Device Platform SystemCompact 5-Axis Platform
Included DrivesDifferential Micrometers100 TPI Actuators
Built-in PiezosN/A
TravelOptical Axis (X)13 mm (0.51")3 mm (0.12")
Horizontal Axis (Y)13 mm (0.51")3 mm (0.12")
Vertical Axis (Z)6 mm (0.24")3 mm (0.12")
Pitch (θy)±5°±3.5°
Yaw (θz)±5°±5°
Deck Height (Nominal)112.5 mm (4.43")62.5 mm (2.46")a
Optical Axis Height (Nominal)125 mm (4.92")75 mm (2.95")a
Load Capacity (Max)0.5 kg (1.1 lbs)0.23 kg (0.5 lbs)
  • 公称デッキ高は62.5 mmと光軸高さ75 mmを得るには高さ調整アダプタPY005A2(/M)ならびに取付けプレートMMP1(/M)を使用してください。

6軸ステージ

Item #MAX601D
MAX601D/M
MAX602D
MAX602D/M
MAX603D
MAX603D/M
MAX681
MAX681/M
MAX682
MAX682/M
MAX683
MAX683/M
MAX607
MAX607/M
MAX607La
MAX607L/Ma
MAX608
MAX608/M
MAX608La
MAX608L/Ma
MAX609
MAX609/M
MAX609La
MAX609L/Ma
Stage Type6-Axis NanoMax Flexure Stage
Included DrivesDRV3 Differential MicrometersDRV208 Stepper Motor ActuatorsN/A
Built-in PiezosN/AOpen LoopClosed LoopN/AOpen LoopClosed LoopN/AOpen LoopClosed Loop
TravelX, Y, Z4 mm (0.16")
θx, θy, θz
Deck Height (Nominal)112.5 mm (4.43")
Optical Axis Height (Nominal)125 mm (4.92")
Load Capacity (Max)1.0 kg (2.2 lbs)
  • 左手系のバージョン

調整用つまみネジ付き3軸MicroBlockステージ

Item #MBT616D(/M)
Deck height62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)1 kg (2.2 lbs)
Drive Specifications
Travel Range4 mm (0.16")
Coarse Adjustment
500 μm/rev

当社のつまみネジアクチュエータ付きのMicroBlock小型フレクシャーステージの移動量(粗動)は4 mm、1回転あたりの調整範囲は500 μm/revです。 ステージのこれらの分解能と移動範囲は、シングルモードファイバや導波路のアライメントシステムにおける結合効率の最適化に便利です。 当社のNanoMax™およびRollerBlock™ステージとは異なり、ステージからドライバを外すことはお勧めいたしません。

このステージにはプレートMMP1/Mが付属します。 この取付けプレートには中心線に沿ってキー溝が付いており、「概要」タブ内に掲載されているアクセサリすべてを簡単に、かつ高い再現性でアライメントすることができます。 中心からずらして取り付けたり、ブレッドボードを取り付ける必要がある用途には上面プレートRB13P1/Mをご用意しております。 上面プレートMMP1/MならびにRB13P1/Mについての詳細は下記に掲載しております。

このステージは ファイバ入射システム用の様々なオプトメカニクスと組み合わせてご使用いただけます。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MBT602 Support Documentation
MBT602MicroBlock 3軸ポジショニングシステム、精密つまみネジ付き (インチ規格)
¥110,149
3-5 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MBT602/M Support Documentation
MBT602/MMicroBlock 3軸ポジショニングシステム、精密つまみネジ付き (ミリ規格)
¥110,149
Today

小型差動アジャスタ付き3軸MicroBlockステージ

Item #MBT616D(/M)
Deck height62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)1 kg (2.2 lbs)
Drive Specifications
Travel RangeCoarse4 mm (0.16")
Fine300 μm
ResolutionCoarse500 μm/rev
Fine50 μm/rev

当社の差動マイクロメータ付きのMicroBlock小型フレクシャーステージの移動量(粗動)は4 mm、移動量(微動)は300 µmです。1回転ごとの調整範囲は粗調整で500 μm/rev、また微調整では50 μm/revとなっております。ステージのこれらの分解能と移動範囲は、シングルモードファイバや導波路のアライメントシステムとして、高い結合効率を実現します。 また目盛が付いていますので、基準点が明確でシステム内での絶対位置がわかります。 当社のNanoMax™およびRollerBlock™ステージとは異なり、 ステージからアクチュエータを外すことはお勧めいたしません。

このステージにはプレートMMP1/Mが付属します。 この取付けプレートには中心線に沿ってキー溝が付いており、「概要」タブ内に掲載されているアクセサリすべてを簡単に、かつ高い再現性でアライメントすることができます。 中心からずらして取り付けたり、ブレッドボードを取り付ける必要がある用途には上面プレートRB13P1/Mをご用意しております。 上面プレートMMP1/MならびにRB13P1/Mについての詳細は下記に掲載しております。

この ステージは ファイバ入射システム用の様々なオプトメカニクスと組み合わせてご使用いただけます。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MBT616D Support Documentation
MBT616DMicroBlock 3軸ポジショニングシステム、差動マイクロメータ付き (インチ規格)
¥154,040
Today
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MBT616D/M Support Documentation
MBT616D/MMicroBlock 3軸ポジショニングシステム、差動マイクロメータ付き (ミリ規格)
¥154,040
Today

タップ穴付き上面プレート


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フレクシャーステージMAX311D(/M)上に、十字溝付きプレートMMP1(/M)の代わりに上面プレートRB13P1(/M)を設置
Item #RB13P1RB13P1/MMMP1MMP1/M
Mechanical
Drawing
  • アダプタープレートRB13P1/Mは汎用的なアクセサリ、部品として使用可能
    • 13個のM6タップ穴と12個のM4タップ穴
  • MMP1/Mは標準型の3軸ステージ用上面プレート(すべての3軸ステージに付属)
    • 中心線に沿った2本の幅3 mmのキー溝が多軸ステージアクセサリをアライメント
    • クランプ取付け用M3タップ穴が16個
    • M2タップ穴が4個
    • M4タップ穴が9個

アダプタープレートRB13P1/Mは、上記ステージに付属する標準型の溝付き上面プレートMMP1/Mの代替品として設計されています。 M3ネジに対応する4つのザグリ穴によって上記ステージに取り付けられます。 取付け面のサイズは60 mm x 60 mmで、上記ステージに付属する上面プレートMMP1/Mと同じです。 この上面プレートの寸法やタップ穴の詳細などの詳細については、右の図面をご覧ください。

上面プレートMMP1/Mは上記のステージに付属していますが、別途ご購入も可能です。 このプレートには中心線に沿って幅3 mmのキー溝が十字状に2本付いています。アクセサリのアライメントを保ちながら素早いステージ構成が可能なため、ファイバ入射の用途に適しています。 「十字溝」の設計によりNanoMaxステージを左利き用、右利き用のどちらでも使用できます。 プレートにはM2、M3、M4タップ穴が並んでおり、様々な部品の固定や取り付けが可能です。 この上面プレートの寸法やタップ穴の位置などの詳細については、右の図面をご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
RB13P1 Support Documentation
RB13P1アダプタープレート、1/4”-20&#8-32タップ穴付き(インチ規格)
¥7,175
Today
MMP1 Support Documentation
MMP1交換用プレート、フレクシャーステージ用、#8-32、#6-32、#4-40タップ穴付き(インチ規格)
¥8,275
3-5 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
RB13P1/M Support Documentation
RB13P1/Mアダプタープレート、M6&M4タップ穴付き(ミリ規格)
¥7,175
Today
MMP1/M Support Documentation
MMP1/M交換用プレート、フレクシャーステージ用、M4、M3、M2タップ穴付き(ミリ規格)
¥8,275
Today
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