ブラシレスDCモーター駆動XYステージ

- 150 mm (5.91") of Travel Along X- and Y-Axes
- Integrated Brushless DC Servo Motors
- 10 kg (22.0 lbs) Horizontal Load Capacity
M150XY
Brushless DC Motor Driven XY Stage
150 mm X- and Y-Axis Travel
MJC2
2-Axis Microscopy Joystick
BBD302
2-Channel Brushless
DC Servo Controller

Please Wait
| M150XY(/M) Key Specificationsa | ||
|---|---|---|
| Travel Range | 150 mm (5.91") | |
| Speed | X-Axis | 170 mm/s |
| Y-Axis | 230 mm/s | |
| Acceleration (Max)b | 1000 mm/s2 | |
| Bidirectional Repeatability | ±0.30 μm | |
| Straightness / Flatness | ±2.5 μm | |
| Horizontal Load Capacityc | 10 kg (22.0 lbs) | |
| Min Incremental Movement | 100 nm | |
| Absolute On-Axis Accuracy | ±10 μm | |
| Actuator Type | Brushless DC Linear Motor | |
| Dimensions (L x W X H) | 272.4 mm x 272.4 mm x 70.1 mm (10.72" x 10.72" x 2.76") | |

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Figure 1.1 ステージM150XYの両軸を中立位置から正の最大移動量である+75.0 mmまで動かした様子
特長
- XおよびY軸移動範囲:150 mm
- ブラシレスDCサーボモータ内蔵
- 高剛性かつ高精度のリニアベアリングおよびリニア光学式エンコーダ
- 水平耐荷重10 kg
- 軸上確度±10 µmにおける加速度 1000 mm/s2
- M6 x 1.0 mmタップ穴付き取付プラットフォーム
当社のブラシレスDCモータ駆動XYステージは、XY両軸方向に150 mmの移動が可能で、最大速度はX軸方向で170 mm/s、Y軸方向で230 mm/sとなっています。この自動ステージは、自動アライメント、表面検査、マッピング、プロービングをはじめとする高速および正確な位置決めが必要な用途に適しています。
ブラシレスリニアDCモータを内蔵した薄型設計を採用したことで、移動プラットフォームにアクセスする際の妨げの原因となる外部筐体を取り除きました。ブラシレスリニアDCモータのダイレクトドライブ技術は送りネジを必要としないのでバックラッシュがなくなります。精密溝付きの2つのリニアベアリングにより、優れた剛性と軸上精度(±10 µm)の高い線形性が得られます。バックラッシュのない動作と、高分解能の光学式フィードバックにより、±0.30 μmの最小限の双方向再現性を実現しています。
上部プレートには、光学サブアセンブリを取り付けるためのM6 x 1.0 mmタップ穴が25.0 mm間隔で117個あります。各ユニットのベースにはM6ネジに対応した4つの貫通スロットがあり、これによりステージをブレッドボードやワークステーションに取り付けられます。ステージM150XY/Mには制御ケーブルが2セット内蔵されており、ステージの移動中にケーブルの引っ掛かりを最小限に抑えながら各軸を独立して制御できます。コネクタの詳細は「ピン配列」タブをご参照ください。
注:このステージは垂直方向(Z軸)の移動には適していません。
推奨コントローラ
ステージM150XY/Mには、当社のブラシレスDCモーターコントローラBBD30xシリーズ、および19インチラック搭載用のモジュール型ラックシステムMMR60xに取り付けたモジュール型コントローラMBD602をご使用いただけますが、最もコンパクトで2軸制御の可能な2チャンネルブラシレスDCモーターコントローラBBD302のご使用を推奨します。BBD30xシリーズのコントローラには、当社のKinesisおよびXAの両ソフトウェアが共に完全対応しており、到着後すぐにご使用いただけます。いずれのマルチチャンネルコントローラ*も、ステージの2つの軸を同期させて制御することができます。両軸を独立して同時に制御するには、1軸コントローラBBD301が2台必要になりますのでご注意ください。 コントローラBBD30xはS字形または台形の加減速プロファイルを設定できるため、振動や衝撃を与えることなく、高速で滑らかな位置決めが実現できます。詳細は下記をご覧ください。
*3チャンネルコントローラBBD303を使用してステージM150XY/Mを駆動する場合は、最良の性能を得るために3軸目の同時接続は避けてください。
モーションコントロールソフトウェア
コントローラBBD30xをM150XYに使用するときは、当社のKinesisまたはXAのどちらかのソフトウェアを選択してご使用いただけます。コントローラMBD602にはまだXAソフトウェアは対応しておりませんが、Kinesisソフトウェアは完全対応しています。詳細は「Kinesis & XA ソフトウェア」タブをご参照ください。
ジョイスティック
MJC2を用いると、遠隔での正確な位置決め制御が可能になります。詳細は下記をご覧ください。
| M150XY(/M) Stage | ||
|---|---|---|
| Axis Travel Direction | X-Axis | Y-Axis |
| Travel Range | 150 mm (5.91") | |
| Maximum Speed | 170 mm/s | 230 mm/s |
| Maximum Accelerationa | 1000 mm/s2 | |
| Bidirectional Repeatability | ±0.30 μm | |
| Backlashb | N/A (No Lead Screw) | |
| Encoder Resolution | 50 nm | |
| Minimum Incremental Motion | 100 nm | |
| Horizontal Load Capacityc | 10 kg (22.0 lbs) | |
| Absolute On-Axis Accuracy | ±10 μm | |
| Straightness / Flatness | ±2.5 μm | |
| Pitch | ±80 μrad | ±40 μrad |
| Yaw | ±65 μrad | ±65 μrad |
| Continuous Motor Force | 10.0 N | 10.0 N |
| Peak Motor Force (2 Second) | 20.0 N | 20.0 N |
| Cable Length | 2970 mm (116.92") | 2700 mm (106.29") |
| General | ||
| Bearing Type | High-Rigidity Recirculating Precision Linear Bearing | |
| Limit Switches | Magnetic Sensor at Each End of Stage | |
| Operating Temperature Ranged | 5 to 40 °C (41 to 104 °F) | |
| Motor Type | Brushless DC Linear Motor | |
| Dimensions (Mid Travel) L x W x H | 10.72" x 10.72" x 2.76" (272.4 mm x 272.4 mm x 70.1 mm) | |
| Weight (Excluding Cables) | 8.9 kg (19.6 lbs) | |

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Figure 2.2 M150XY/Mの機械的特長

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Figure 2.1 M150XYの機械的特長
M150XY(/M)のステップ

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Figure 2.3 上のグラフはステージM150XY(/M)のX軸における最小ステップを示しています。最小ステップは50 nmです。表示されている位置は、各動作後の2秒の滞在時間にわたる平均値として取得されています。

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Figure 2.4 上のグラフはステージM150XY/MのY軸における最小ステップを示しています。最小ステップは50 nmです。表示されている位置は、各動作後の2秒の滞在時間にわたる平均値として取得されています。

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Figure 2.5 上のグラフはステージM150XY/MのX軸における100 nmステップの移動を示しています。表示されている位置は、各動作後の2秒の滞在時間にわたる平均値として取得されています。
Click to EnlargeFigure 2.6 上のグラフはステージM150XY/MのY軸における100 nmステップの移動を示しています。表示されている位置は、各動作後の2秒の滞在時間にわたる平均値として取得されています。

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Figure 3.1 ステージM150XY/Mと付属するアクセサリ
M150XY(/M)には以下のアクセサリが付属します。
- ブラシレスDCモータ駆動XYステージ
- T字型移動用ハンドル 2個
- 運搬用ブラケット 2個
- M6 x 1.0 mm皿頭六角ソケットネジ(運搬用ブラケットをステージに取り付けるために使用) 2個
- マニュアルおよびソフトウェアダウンロード用カード
- 開梱ガイド
ステージM150XY/Mを運搬する際は、必ず付属のT字型ハンドルと運搬用ブラケットをご使用ください。運搬用ブラケットの取付位置は、ミリ規格ステージM150XY/Mとインチ規格ステージM150XYでは異なります(Figure 4.3と4.4参照)。T字型ハンドルまたは運搬用ブラケットを取り付ける際はネジを締め付けすぎないようにしてください。
ステージM150XY/Mを運搬する際は、運搬用ブラケットとT字型ハンドルを使用し、ステージは水平(XY軸)方向に保持してください。 ステージは垂直(Z軸)方向への移動や取付け用には設計されていません。

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Figure 4.1 ステージM150XY/Mを上から見た図。運搬用ブラケットとT字型ハンドルが取り付けられています。

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Figure 4.2 ステージM150XY上の運搬用ブラケットとT字型ハンドル。赤い点線は、運搬用ブラケットにT字型ハンドルを挿入してステージ上部に固定するための穴を示しています。穴の位置はミリ規格インチ規格ステージともに同じで、どちらもM6 x 1.0 mmのネジを使用します。

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Figure 4.3 付属の運搬用ブラケットを取り付けたステージM150XYを上から見た図。1/4"-20皿頭六角ソケットネジをステージ上部の対応する1/4"-20タップ穴に使用して、運搬用ブラケットの位置を固定しています。

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Figure 4.4 付属の運搬用ブラケットを取り付けたステージM150XY/Mを上から見た図。M6 x 1.0 mm皿頭六角ソケットネジをステージ上部の対応するM6 x 1.0 mmタップ穴に使用して、運搬用ブラケットの位置を固定しています。
各軸には、BBD30xシリーズコントローラを接続するための15ピンD型コネクタと8ピンDIN型コネクタが付いています。X軸ケーブルの長さは2970.0 mm、Y軸ケーブルの長さは2700.0 mmとなっています。これは、ステージの動作中にワイヤが巻き込まれる可能性を最小限に抑えるためにステージ内部で使用されているダクトによるものです。
| Pin | Description | Pin | Description |
|---|---|---|---|
| 1 | Not Connected | 9 | Ground |
| 2 | Ground | 10 | Limit Switch + |
| 3 | Not Connected | 11 | Limit Switch - |
| 4 | Enc Index - | 12 | Enc Index + |
| 5 | QB - | 13 | QB + |
| 6 | QA - | 14 | QA + |
| 7a | 5 V | 15 | Not Connected |
| 8a | 5 V |
ソフトウェア
Kinesisバージョン1.14.58
XAバージョン1.6.0
KinesisおよびXAソフトウェアパッケージには、当社のモーションコントローラを制御するためのGUIが含まれています。
下記もご利用いただけます。
- ファームウェア更新ユーティリティ
- 通信プロトコル

Figure 789A Kinesis GUI画面
当社では、様々なモーションコントローラを駆動するためのプラットフォームとして、XAソフトウェアパッケージと、今後段階的に終了していくKinesisソフトウェアパッケージの2種類をご用意しています。Kinesisソフトウェアは、当社の全てのモーションコントロール製品に対応しています。XAソフトウェアは開発者向けに改良されたプラットフォームですが、現在のところ定番のモーションコントロール製品の一部に対応している状況です(製品リストはこちらをご覧ください)。このソフトウェアは、継続して重点的に開発が進められており、最終的には当社の全てのモーションコントロール製品に対応する予定です。XAソフトウェアアプリケーションは、2040年までフルサポートを行います。
Kinesis モーションコントロールソフトウェア
Kinesisソフトウェアでは.NETコントロールを使用できるため、最新のC#、Visual Basic、LabVIEW™、あるいはその他の.NET対応言語を使用してカスタムプログラムを作成することができます。また、.NETフレームワークを使用しないアプリケーション用に、ローレベルのDLLライブラリも付属しています。中央シーケンスマネージャ(Central Sequence Manager)は、当社のすべてのモーションコントロール用ハードウェアの統合と同期をサポートしています。
この共通のソフトウェアプラットフォームにより、1種類のソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるKinesisコントローラを簡単に組み合わせて使用することができます。このように1軸システム用から多軸システム用までのあらゆるコントローラを組み合わせ、それら全てを1台のPCの統合されたソフトウェアインターフェイスから制御できます。

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Figure 789B ブラシ付きDCサーボモーターコントローラKDC101用のXA GUI
このソフトウェアパッケージには2つの使い方があります。1つはGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを用いる方法で、この場合はコントローラの到着後すぐに直接的な操作と制御を行なうことができます。もう1つは一連のプログラミングインターフェイスを用いる方法で、ご希望の開発言語によりカスタム仕様の位置決めやアライメント用のプログラムを簡単に作成することができます。
XAモーションコントロールソフトウェア:開発者向けに改良されたプラットフォーム
XAはその基本から理解しやすいように設計されており、スレッドセーフで言語パラダイムに依存しないC、C++、C#/.NETのアプリケーションプログラミングインターフェイスを提供します。また、ネイティブ、.NET言語、PythonまたはLabVIEWアプリケーションに簡単に統合できる言語ラッパーも用意されています。これは前述のKinesisにおけるソフトウェア開発キット(SDK)と同じ機能を果たす一方で、開発者に対してはより効率化されたツールキットを提供します。このソフトウェアは、付属の開発者用ガイドとSDK内のコード例を組み合わせて、複雑でカスタマイズされたアプリケーションとインターフェースを作成しようとするユーザー向けに設計されています。完全なAPIドキュメントはネイティブCライブラリ用に提供されており、.NETラッパーのドキュメントは現在開発中です。.NETラッパーの詳細については当社までお問い合わせください。
XAはKinesisと同等のGUIを備えているだけでなく、デバイスの状態を保存する機能の追加や、異なる種類のデバイス間インテーフェイスにおける一貫性の向上など、利用者のための様々な改善や工夫が実装されています。Kinesisソフトウェアは段階的に終了となりますが、XAは更に改善を進めるとともに、2040年までフルサポートしていく計画です。現行バージョンのXAソフトウェアは、まだ当社のモーションコントローラの一部にのみ対応している状況です。しかし、このソフトウェアは、継続して重点的に開発が進められており、最終的には当社の全てのモーションコントロール製品に対応する予定です。ソフトウェアの適合性に関する情報は、XAのユーザーガイドに記載されています。また、サポートしているデバイスのリストなど、ソフトウェアのその他の詳細情報はこちらをご覧ください。
Kinesisソフトウェアでは新しい.NETコントロールが使用でき、最新の最新のC#, Visual Basic, LabVIEW™、ほかの.NET対応言語を使用する開発者がカスタムにプログラムを作成することもできます。
C#
このプログラミング言語はマルチプログラミングパラダイムやマルチプログラミング言語が使用可能となるよう設計されているため、複雑な問題が簡単かつ効率的に解決できます。型付け、命令型、宣言型、関数型、ジェネリック、オブジェクト指向、そしてコンポーネント指向が含まれます。 この共通のソフトウェアプラットフォームにより、1セットのソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるKinesisコントローラを簡単に組み合わせることができます。このようにして1軸システムのコントローラから多軸システムのコントローラまで、様々なコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが可能となりました。
Kinesisシステムソフトウェアを使用するには2つの手段があります。コントローラを直接つないで制御を行なう付属のGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティ、またはご希望の開発言語でカスタム仕様の位置決めやアライメントを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。
Kinesisモーションコントロールライブラリの構築の参考となる実行可能なプロジェクト機能拡張例については下のリンクをクリックしてください。なお、Quick Startのプロジェクト例の実行には別の統合開発環境(IDE)(Microsoft Visual Studioなど)が必要です。C#のプロジェクト例はKinesisソフトウェアパッケージに付属する.NETコントロールで実行可能です(詳細は「Kinesisソフトウェア」タブをご覧ください)。
![]() | Click Here for the Kinesis with C# Quick Start Guide Click Here for C# Example Projects Click Here for Quick Start Device Control Examples | ![]() |
LabVIEW
LabVIEWは、.Netコントロールを介してKinesisベースのコントローラとの通信に使用できます。LabVIEWでは、ツールとオブジェクトでフロントパネルとして知られるユーザーインターフェイスを構築した後、グラフィカル表記の関数を使ってコードを追加し、フロントパネルのオブジェクトを制御します。下記のLabVIEWチュートリアルでは.Netコントロールを使用してLabVIEW内Kinesis駆動デバイス用の制御GUIを作成するための情報をご提供しています。 LabVIEWでコントローラを制御する基本的な方法や、LabVIEW GUIを用いてデバイスを操作する前に行うべき設定の手順についても解説しています。
![]() | Click Here to View the LabVIEW Guide Click Here to View the Kinesis with LabVIEW Overview Page | ![]() |
| Posted Comments: | |
user
 (posted 2024-11-08 15:23:35.96) Is there a way to limit the stage's motion?
E.g. by moving the limit-switches physically inwards? dnewnham
 (posted 2024-11-15 09:01:45.0) Thank you for your inquiry I am going to reach out to you to discuss this further. Manuel V.
 (posted 2024-10-03 08:06:53.72) Can each axis be controlled with KBD101 K-Cube Brushless DC Servo Motor Controllers? I'm asking this since we have already some of those controllers and we would like to improve our current setup with the XY configuration. Thanks do'neill
 (posted 2024-10-08 10:01:22.0) Thank you for reaching out. The M150XY(/M) can not be controlled by the KBD101, it requires either the BBD30X benchtop controller, RBD201 Rack mounted controller, or MMR60X and MBD602 rack system to control this stage. I will email you directly to discuss your application. user
 (posted 2023-10-06 16:41:09.463) We like to use it to mount a cryostat, but there are metal hose connections to it. May I know what is the maximum drag force (from the hoses to our cryostat) can the stage withstands? do'neill
 (posted 2023-10-30 06:27:42.0) Response from Daniel at Thorlabs. I will reach out to you directly to discuss your application as this will depend on exactly what you are trying to do, for example, which axis you will be looking at, the speed you are driving it, etc. user
 (posted 2023-09-11 08:21:27.41) 2" or 3" versions, ideally vacuum compatible, would be very useful in confined spaces. Keeping total system cost under $10k would make it easier for some groups to purchase (stage + controller + joystick). |
電動リニアステージ
電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。
ピエゾステージ
これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。
| Piezoelectric Stages | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | ORIC® PDXZ1 Closed-Loop 4.5 mm Vertical Stage | ORIC® PD2 Open-Loop 5 mm Stage | ORIC® PDX2 Closed-Loop 5 mm Stage | ORIC® PDX4 Closed-Loop 12 mm Stage | ORIC® PD1 Open-Loop 20 mm Stage | ORIC® PD1D Open-Loop 20 mm Monolithic XY Stage |
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| Travel | 4.5 mm | 5 mm | 12 mm | 20 mm | ||
| Speed | 1 mm/s (Typ.)a | 10 mm/s (Typ. Max)b | 8 mm/s (Typ.)c | 15 mm/s (Typ.)a,c | 3 mm/s (Typ. Max)d | |
| Drive Type | Piezoelectric Inertia Drive | |||||
| Possible Axis Configurations | Z | X, XY, XYZ | XY, XYZ | |||
| Mounting Surface Size | 45.0 mm x 42.0 mm | 13.0 mm x 13.0 mm | 13.0 mm x 23.0 mm | 30.0 mm x 30.0 mm | ||
| Additional Details | ||||||
| Piezoelectric Stages | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | ORIC® PDX1 Closed-Loop 20 mm Stage | ORIC® PDX1A Closed-Loop 20 mm Stage Low-Profile | ORIC® UDX1 Ultrasonic Closed-Loop 20 mm Stage | ORIC® PD3 Open-Loop 50 mm Stage | ORIC® PDX3 Closed-Loop 50 mm Stage | |
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| Travel | 20 mm | 50 mm | ||||
| Speed | 20 mm/s (Typ. Max)a | 10 mm/s (Typ.)b | 100 mm/s (Typ. Max)c | 10 mm/sd | 10 mm/s (Typ. Max)b | |
| Drive Type | Piezoelectric Inertia Drive | Ultrasonic Piezoelectric Drive | Piezoelectric Inertia Drive | |||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | |||||
| Mounting Surface Size | 30.0 mm x 30.0 mm | 80.0 mm x 30.0 mm | ||||
| Additional Details | ||||||
| Piezoelectric Stages | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | Nanoflex™ 20 µm Stage with 5 mm Actuator | Nanoflex™ 25 µm Stage with 1.5 mm Actuator | Compact Modular XRN25X 25 mm Stage | Modular XR25X 25 mm Stage | Elliptec® 28 mm Stage | Elliptec® 60 mm Stage | LPS710E 1.1 mm Vertical Stage |
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| Travel | 20 µm + 5 mm Manual | 25 µm + 1.5 mm Manual | 25 mm | 28 mm | 60.0 mm | 1.1 mm | |
| Maximum Velocity | - | ≤3.6 mm/mina | 180 mm/s | 90 mm/s | - | ||
| Drive Type | Piezo with Manual Actuator | Piezoelectric Inertia Drive | Resonant Piezoelectric Motor | Amplified Piezo | |||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, YZ, XZ, XYZ | X | Z | |||
| Mounting Surface Size | 75 mm x 75 mm | 30 mm x 30 mm | 85.0 mm x 50.7 mm | 110.0 mm x 75.7 mm | 15 mm x 15 mm | 21 mm x 21 mm | |
| Additional Details | |||||||
ステッピングモーターステージ
こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。これらのステージの多くは多軸移動機能を有していたり(PLSXY)、あるいは多軸ステージを組み立てることが可能であったりします(PLSX、クイック接続型XR25シリーズ、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。
| Stepper Motor Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | PLSX with and without PLST(/M) Top Plate 1" Stage | PLSXY with and without PLST(/M) Top Plate 1" Stage | LNR Series 25 mm Stage | LNR Series 50 mm Stage | |
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| Travel | 1" | 25 mm | 50 mm | ||
| Maximum Velocity | 7.0 mm/s | 2.0 mm/s | 50 mm/s | ||
| Possible Axis Configurations | X, XY | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | ||
| Mounting Surface Size | 3" x 3" | 60 mm x 60 mm | 100 mm x 100 mm | ||
| Additional Details | |||||
| Stepper Motor Stages | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | NRT Series 100 mm Stage | NRT Series 150 mm Stage | LTS Series 150 mm Stage | LTS Series 300 mm Stage | LTS Series 450 mm Stage | MLJ250 50 mm Vertical Stage | |
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| Travel | 100 mm | 150 mm | 150 mm | 300 mm | 400 mm | 50 mm | |
| Maximum Velocity | 30 mm/s | 50 mm/s | 3.0 mm/s | ||||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY | Z | |||
| Mounting Surface Size | 84 mm x 84 mm | 100 mm x 90 mm | 148 mm x 131 mm | ||||
| Additional Details | |||||||
DCサーボモーターステージ
脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。
| DC Servo Motor Stages | ||||
|---|---|---|---|---|
| Product Family | MT Series 12 mm Stages | PT Series 25 mm Stages | MTS Series 25 mm Stage | MTS Series 50 mm Stage |
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| Travel | 12 mm | 25 mm | 25 mm | 50 mm |
| Maximum Velocity | 2.6 mm/s | 2.4 mm/s | ||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | ||
| Mounting Surface Size | 61 mm x 61 mm | 101.6 mm x 76.2 mm | 43 mm x 43 mm | |
| Additional Details | ||||
| DC Servo Motor Stages | ||||
|---|---|---|---|---|
| Product Family | M30 Series 30 mm Stage | M30 Series 30 mm Monolithic XY Stage | M150 Series 150 mm XY Stage | KVS30 30 mm Vertical Stage |
| Click Photo to Enlarge | ![]() | ![]() | ![]() | ![]() |
| Travel | 30 mm | 150 mm | 30 mm | |
| Maximum Velocity | 2.4 mm/s | X-Axis: 170 mm/s Y-Axis: 230 mm/s | 8.0 mm/s | |
| Possible Axis Configurations | X, Z | XY, XZ | XY | Z |
| Mounting Surface Size | 115 mm x 115 mm | 272.4 mm x 272.4 mm | 116.2 mm x 116.2 mm | |
| Additional Details | ||||
ダイレクトドライブステージ
こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。
| Direct Drive Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | DDS Series 50 mm Stage | DDS Series 100 mm Stage | DDS Series 220 mm Stage | DDS Series 300 mm Stage | DDS Series 600 mm Stage |
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| Travel | 50 mm | 100 mm | 220 mm | 300 mm | 600 mm |
| Maximum Velocity | 500 mm/s | 300 mm/s | 400 mm/s | 400 mm/s | |
| Possible Axis Configurations | X, XY | X, XY | X | X | |
| Mounting Surface Size | 60 mm x 52 mm | 88 mm x 88 mm | 120 mm x 120 mm | ||
| Additional Details | |||||


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Figure G1.1 精密なファイバーアライメント用に6軸ステージNanoMax MAX601Dを取り付けたステージM150XY(/M)
- XY軸両方向に150 mmの移動が可能
- 最大移動速度:
- X軸: 170 mm/s
- Y軸: 230 mm/s
- 最小ステップは100 nmです。
- 双方向再現性:±0.30 µm
当社のブラシレスDCモータ駆動XYステージM150XY/Mは、XおよびY軸両方向に最大150 mmで精密かつ安定に移動し、高い再現性を実現します。大型の272.4 mm x 272.4 mmステージには、117個のM6 x 1.0 mmタップ穴が250 mm x 250 mmの格子位置に25.0 mm間隔で開いています。ステージM150XY/Mは、最大10 kgまでの荷重を搭載可能で、X軸方向に最大170 mm/s、Y軸方向に最大230 mm/sで移動できます。XYステージM150XY/Mは、2つの1軸ステージに分解することはできません。
2セットの15ピンD型および8ピンDINコネクターケーブルがあるため、BBD30xシリーズコントローラに接続して、ステージM150XY/Mの各軸を独立に制御できます。ステージをBBD30xシリーズコントローラに接続すると、8ピンDIN型コネクタのEEPROM内に保存されている初期設定が、スタートアップ時にコントローラにロードされます。ステージM150XY/Mには当社のすべてのBBD30xシリーズのブラシレスDC モーターコントローラをご使用いただけますが、コンパクトな設置面積で両軸を制御可能な2チャンネルコントローラBBD302をお勧めします。

- BBD302:ステージM150XY/M用として推奨される2チャンネルコントローラ
- MJC2: 2軸遠隔制御用ジョイスティック
ステージM150XY/Mの駆動用として、2チャンネルブラシレスDCサーボコントローラBBD302を推奨しています。こちらのコントローラは、2軸を同時に制御でき、自由に設定可能なS字加減速により、振動や衝撃の無い高速でスムーズな位置決めが可能です。また、高速(数百mm/s)で高いエンコーダ分解能が求められる動作の制御にも適しています。当社のKinesisまたはXAソフトウェアーインターフェイスを使用してコントローラを操作し、自動モーションコントロール用途に簡単に組み込むことができます。柔軟性をより高くするため、PCとの通信にはコントローラのUSBまたはRS232インターフェイスをご使用いいただけます。
コントローラにはソフトウェア開発キット(SDK)が付属し、他の顕微鏡自動制御アクセサリとステージ操作を連動させたい場合に役に立ちます。SDKは、Windowsの主な開発環境(LabVIEW、C++、MATLAB等)をサポートし、標準的なDynamic Link Library(DLL)で提供されます。ブラシレスDCモーターコントローラBBD30xの詳細は、こちらでご覧いただけます。
ジョイスティックMJC2は、ステージM150XY/MのXY両軸の位置を、手動で正確にリモート制御する必要がある用途にご使用いただけます。ほとんどの用途では、BBDシリーズコントローラにデフォルト値として保存されたパラメータの設定が利用できるので、ユーザ自身による設定が不要です。これによりホストPCに接続する必要がない真のリモート操作が実現できます。ジョイスティックMJC2は当社のベンチトップ型ブラシレスコントローラ、ラックマウント型ブラシレスコントローラ、ブラシレスDCモーターコントローラーモジュール 、ステッピングモータ用コントローラに対応しています。
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ブラシレスDCモータ駆動XYステージ