小型直線移動ステージ(リニアステージ)、2軸手動式、移動量25 mm、クロスローラーベアリング
- 25 mm Travel Provided by Metric Micrometers
- Crossed-Roller Bearings for Superior Angular Deviation and Load Capacity
- Each Stage Ships with Individual Test Data Certificate
LX20
XY Stage
The two included locking brackets guard against accidental movement. One is engraved with a unique serial number.
LX20YZ
YZ Stage
LX20XZ
XZ Stage
LXP1
Grooved Mounting Plate
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Specifications | ||||||
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Item # | LX20 | LX20/M | LX20XZ | LX20XZ/M | LX20YZ | LX20YZ/M |
Translation Axes | XYa | XZa | YZa | |||
Travel | 25 mm | |||||
Angular Deviationb | < 125 µrad | |||||
Vertical Straightnessb,c | < 10.0 µm | |||||
Deck Height | 1.50" | 38.0 mm | - | |||
Platform Size | 2.56" x 2.56" (65.0 mm x 65.0 mm) | 2.55" x 2.56" (64.8 mm x 65.0 mm) | ||||
Top Plate Mounting Holes | Seven 1/4"-20 | Seven M6 x 1.0 | Seven 1/4"-20 | Seven M6 x 1.0 | Seven 1/4"-20 | Seven M6 x 1.0 |
Bottom Plate Mounting Holes | Four 1/4" (M6) Counterbores Four Ø0.095" (Ø2.4 mm) Alignment Holes | |||||
Horizontal Load Capacity | 41 kg (90 lbs) Max | - | ||||
Vertical Load Capacity | 4 kg (8.8 lbs) Maxd | |||||
Bearing Type | Crossed-Roller Bearings | |||||
Micrometer Specifications | ||||||
Micrometer Item # | 150-801ME-H | |||||
Resolution | 500 µm Translation Per Revolution | |||||
Travel | 25 mm | |||||
Micrometer Barrel Size | Ø3/8" (Ø9.5 mm) |
特長
- XY、XZまたはYZ構成
- マイクロメーターマウント付きステージ
- クロスローラーベアリングにより、高耐荷重と小さな角度偏差を実現
- M6 ×1.0取付け穴が7個
- 側面にØ3/8インチ(Ø9.5 mm)バレルのミリ規格マイクロメータ
- 各ステージは個別に検査され、検査データとともに発送されます。
- 光学テーブルへの取り付け用に4つのM6ザグリ穴
- キー溝用アクセサリに対応する溝付きの取付プレート
この小型2軸直線移動ステージ(リニアステージ)の移動量は25 mmで、その全移動範囲にわたりピッチ方向とヨー方向の偏差は125 µrad未満です。 スチール製のクロスローラーベアリングを用いて精密移動を実現しています。モノリシック構造の上部および底部プレートとマイクロメーターマウントはそれぞれ一体化されており、また安定性の向上と内部応力の最小化のためアルミニウム鋳造材(Cast Tool and Jig Aluminum)から加工されています。
各ステージの製造後には、移動の直線性に関するピッチ偏差、ヨー偏差、および垂直真直度の検査を行っています。これにより個々のステージが全移動範囲において仕様値を満たすことを保証しています。検査結果の概要は各ステージに添付される個別のデータシートに記載されています。 こちらをクリックするとLX20のサンプルデータがご覧いただけます。
取付け面にはM6タップ穴が12.5 mm間隔で7つ付いています。ステージの各軸は側面の固定用ブラケットと2 mm六角ネジで固定でき、これは位置ずれ防止用として使用できます。ステージは、上側のプレートを移動すると見える4つのM6用ザグリ穴を用いて光学テーブルに直接固定することができます。ステージLX20/Mの場合、プレートに取り付けられているマイクロメータが取付け穴の1つを塞いでしまうため、使用するネジや六角ドライバによっては、まずこのマイクロメータを取り外す必要があります。各ステージの底部には、Ø2.4 mmのアライメント用の穴(Ø3/32インチ位置決めピン用)が4つ付いています。
これらのステージの各軸にはミリ単位の目盛が付いたマイクロメーターヘッドが付いており、その1回転あたりの移動量は500 µmです。マイクロメータはローレット加工されたノブで動かせますが、より細かな調整には2.0 mm六角レンチを使用できます。マイクロメータは、側面のフレクシャークランプを2.0 mm六角レンチで緩めると、取り外して交換することができます。このフレクシャークランプは、Ø3/8インチ(Ø9.5 mm)取付けバレルが付いたマイクロメータであれば保持することができます。
これらのステージは特定の軸数を有する独立したステージとして設計されています。そのため、1軸のステージを組み合わせて多軸ステージにしたり、多軸ステージを分解して1軸ステージにしたりすることはできません。当社では同様なタイプの1軸や3軸のステージもご用意しております。モジュール式の多軸ステージについては、当社のクイック接続型のアリ溝付き25 mmステージとそのコンパクトタイプの25 mmステージをご覧ください。
当社のキー溝用アクセサリに対応する3 mmの「十字溝」が付いた取付プレートLXP1/Mもございます。アクセサリはクランプAMA010/MをM3タップ穴に使用して固定できます。 M4タップ穴は、当社の調整機能付きクランプアームに対応します。
注:マイクロメータの取り外しは、固定用ブラケットが完全に締め付けられているか、または送りネジを完全に後退させてステージの可動部に噛み合ってないことを確認してから行ってください。そうしないと、ステージが損傷したり、仕様性能を満たすために再校正が必要になったりする場合があります。
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底部の取付け穴の1つは、使用するとき上側のマイクロメータを取り外す必要があります。
- XおよびY軸方向の移動量:25 mm
- デッキ高:38.0 mm
- マイクロメータ1回転の移動量:500 µm
- 優れた性能を実現するためのコンパクトなモノシリック構造
ステージLX20/MはXおよびY軸に沿った移動量が25 mmとなっております。ステージにはマイクロメータ150-801ME-Hが2個付属します。なお、こちらのステージは1軸ステージLX10/Mよりもデッキ高が13 mm高くなっておりますのでご注意ください。ステージを交換する際には、他の部品の再調整も必要となる場合があります。
このステージは、ステージの上のプレートを移動させると見える4つのM6ザグリ穴を使用して、光学テーブルに直接ボルトで固定することができます。ただし、この中の1つの取付け穴が取り付けられているマイクロメータで塞がれてしまいます。この取付け穴を使用する場合は、まず該当するマイクロメータを取り外す必要があります(右の写真参照)。各ステージの底部には、Ø2.4 mmのアライメント用穴(3/32インチ位置決めピン用)が4つ付いています。
注: マイクロメータの取り外しは、送りネジがステージの移動部と完全に離れてからか、または固定ブラケットが完全に締め付けられている状態で行ってください。そうしないと、ステージが損傷したり、仕様性能を満たすために再校正が必要になったりする場合があります。
詳細については上の仕様表をご覧ください。
- X軸およびZ軸方向の移動量:25 mm
- マイクロメータ1回転あたりの移動量:500 µm
- 優れた性能を実現するためのコンパクトなモノシリック構造
ステージLX20XZ/MのX軸およびZ軸方向の移動量は25 mmで、X軸の移動軸はZ軸ステージの面に対して平行です。ステージにはマイクロメータ150-801ME-Hが2個付属します。なお、こちらのステージは3軸ステージLX30/Mよりも12.9 mm低くなっておりますのでご注意ください。ステージを交換する際には、他の部品の再調整も必要となる場合があります。
このステージは4つのM6ザグリ穴を使用して光学テーブルに直接固定できますが、これらのザグリ穴は中間にあるプレートを適切な位置に移動させることによってアクセスできるようになります。各ステージの底部には、Ø2.4 mmのアライメント用穴(3/32インチ位置決めピン用)が4つ付いています。
注:マイクロメータの取り外しは、固定用ブラケットが完全に締め付けられているか、または送りネジが完全に引っ込められており、ステージの可動部に噛み合ってないことを確認してから行ってください。そうしないと、ステージが損傷したり、仕様性能を満たすために再校正が必要になったりする場合があります。
詳細については上の仕様表をご覧ください。
- Y軸およびZ軸方向の移動量:25 mm
- マイクロメータ1回転あたりの移動量:500 µm
- 優れた性能を実現するためのコンパクトなモノシリック構造
ステージLX20YZ/MのY軸およびZ軸方向の移動量は25 mmで、Y軸の移動軸はZ軸ステージの面に対して垂直です。ステージにはマイクロメータ150-801ME-Hが2個付属します。なお、こちらのステージは3軸ステージLX30/Mよりも12.9 mm低くなっておりますのでご注意ください。ステージを交換する際には、他の部品の再調整も必要となる場合があります。
このステージは4つのM6ザグリ穴を使用して光学テーブルに直接固定できますが、これらのザグリ穴は中間にあるプレートを適切な位置に移動させることによってアクセスできるようになります。各ステージの底部には、Ø2.4 mmのアライメント用穴(3/32インチ位置決めピン用)が4つ付いています
注:マイクロメータの取り外しは、固定用ブラケットが完全に締め付けられているか、または送りネジが完全に引っ込められており、ステージの可動部に噛み合ってないことを確認してから行ってください。そうしないと、ステージが損傷したり、仕様性能を満たすために再校正が必要になったりする場合があります。
詳細については上の仕様表をご覧ください。
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LXP1/Mの穴パターン
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LXP1の穴パターン
- 数多くのキー溝用アクセサリに対応する2つの直交する3 mmの溝
- 多くのタップ穴があるため、さまざまな方法で取り付けが可能
- 2つのザグリ穴はM6 x 1.0ネジ用
- ミリ規格のプレート
- 20個のM3タップ穴
- 15個のM4タップ穴
- インチ規格のプレート
- 24個の#6-32タップ穴
- 11個の#8-32タップ穴
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取付プレートLXP1(/M)を用いてステージLX10(/M)にマウントHCS013を取り付けた様子
溝付き取付プレートLXP1/Mを使用することで、LXシリーズの25 mm移動ステージ上における取付方法を追加できます。3 mmの溝設計が数多くのキー溝用アクセサリに対応します(RMSネジ付きフレクシャーステージHCS013の取付け例を左の写真で示しています)。
この3 mmの溝に加えて、プレートにはM3およびM4タップ穴も配列されており、幅広い用途に対応可能です。M4タップ穴を利用して当社のクランプアームを取り付け可能です(右下の写真参照)。残りのM3タップ穴には取付け用クランプAMA010/Mを用いて、キー溝用アクセサリを固定できます。取付プレートをLXシリーズステージに取り付けられるよう、M6ネジが4個付属します。