Kinesis® XY移動ステージ(リニアステージ)、移動量30 mm、コントローラー内蔵、ブラシ付きDCサーボモーター


  • 30 mm Travel Along X and Y Axes at Speeds up to 2.4 mm/s
  • Integrated DC Servo Motors and Control Electronics
  • Bidirectional Repeatability of ±1.0 µm

M30XY

30 mm XY Translation Stage

The unit features connections for PC control and external triggering.

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Key Specificationsa
Travel30 mm x 30 mm
(1.18" x 1.18")
Load (Max)Horizontal: 5.0 kg (11.02 lbs)
Vertical: 2.0 kg (4.41 lbs)
Speed (Max)2.4 mm/s (All Loads)
Bidirectional
Repeatability
±1.0 µm
Pitch Angular Deviation±100 µrad
Yaw Angular Deviation±50 µrad
Dimensions115 mm x 115 mm x 40 mm
(4.53" x 4.53" x 1.57")
  • 詳しい仕様については「仕様」タブをご覧ください。
Vertical Translation Stage
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上部に3軸ステージMAX313D(/M)取り付けたXYステージM30XY(/M)
Vertical Translation Stage
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上部に回転ステージDDR100(/M)を取り付けたXYステージM30XY(/M)

特長

  • 高精度電動XYステージ
  • USBを介したPCによるリモート操作
  • I/Oポートを介した双方向の外部トリガ(5 V TTL)
  • DCサーボ駆動による滑らかな線形移動
  • Kinesis® 制御用ソフトウェア一式が付属
  • M6タップ穴付きの大型の取付けプラットフォーム
  • 日本国内用の電源が付属
  • XZ移動ステージとするための垂直取付け用ブラケットM30A2/M(別売り)

電動XY移動ステージ(リニアステージ)M30XY/Mは、駆動回路が内蔵されたDCサーボ駆動の2軸自動ステージです。全移動範囲にわたり、安定した精密直線移動で位置調整ができます。このステージのモータは、ピッチ方向とロール方向の偏差を最小限に抑えながら、115 mm x 115 mmの大型プラットフォームに取付けられた最大5.0 kgまでの荷重を移動させることができます。再循環ベアリングと光学式リニアエンコーダにより、高い位置決め精度と再現性が得られます。仕様の詳細については、「仕様」タブをご参照ください。

上部プレートには、光学サブアセンブリを取り付けるための25個のM6タップ穴が25.0 mm間隔で開いています。各ユニットのベースにはM6ネジに対応した貫通穴が4つあり、これでステージをブレッドボードに取り付けます。日本国内用の電源が付属します。ユニット側面に付いているコネクタは、不用意に接続が外れないよう、クランプM30A1を使用して固定することができます。これらは、このステージを垂直方向に取り付けたり、あるいはほかのステージやアセンブリの上に取り付けるときに便利です。なお、電源(PSU)をコンセントの差込口に接続する前に、PSUとステージを接続しておいてください。ステージをPC制御するためのUSBケーブルも付属しています。

ステージ側面のUSBポートを介してPCに接続し、当社のKinesis®ソフトウェアを使用して制御することができます。このソフトウェアでは新しい.NETコントロールを使用できるため、最新のC#、Visual Basic、LabVIEW、あるいはその他の.NET対応言語を使用してカスタムプログラムを作成することもできます。パラメータはPC上で調整して設定でき、またそれをユニット内の不揮発性メモリに保存できます。次にユニットが作動したときには、それらの設定が自動的に適用されます。詳細については「Kinesisソフトウェア」または「Kinesisチュートリアル」のタブをご覧ください。また、ユニットの2つのI/Oポートを使用することで、双方向での外部トリガが可能です。

Specifications
Travel30 mm x 30 mm (1.18" x 1.18")
Max Speed2.4 mm/s
Acceleration5.0 mm/s2
Bidirectional Repeatability±1.0 µm
Unidirectional Repeatability±0.75 µm
BacklashaN/A
Min Incremental Movement2.5 µm
Home Location Accuracy±1.75 µm
Max LoadHorizontal Mounting: 5.0 kg (11.02 lbs)
Vertical Mounting: 2.0 kg (4.41 lbs)
Accuracy8 µm
Pitch Angular Deviation±100 µrad
Yaw Angular Deviation±50 µrad
Horizontal Straightness±2.5 µm
Vertical Straightness±2.5 µm
Limit SwitchesX and Y as Standard
Bearing TypeHigh Rigidity Recirculating Precision Linear Bearing
Motor TypeBrushed DC Motor
Motor Output
Motor Drive Voltage±15 V
Motor Drive Current150 mA (Continuous)
> 250 mA (Peak)
Control AlgorithmDigital PID Filter (16 Bit)
Position Counter32 Bit
Velocity ProfieTrapezoidal
Input Power Requirements
Voltage15 V Regulated DC
Current500 mA (Peak)
General Data
Operating Temperature5 to 40 °C
Dimensions (W x D x H)
at Mid Travel
115 mm x 115 mm x 40 mm
(4.53" x 4.53" x 1.57")
Weight1.2 kg (2.65 lbs)
  • エンコーダでステージの絶対位置が測定されるため、バックラッシュの影響はありません。

PC接続

USB 2.0
USB 2.0 Mini-ABコネクタ

I/O 1

MMCXメス

I/O 2

MMCXメス

SMC MaleSMC Male
+5 V TTL+5 V TTL
これらのコネクタを外部トリガ信号(5 V TTLレベル)の入力に使用するか、あるいは出力に使用するかはそれぞれコネクタごとに設定できます。
入力モードにおいては、1.5 V以下の電圧はLowレベル、3.5 V以上の電圧をHighレベルとして認識します。入力端は弱くプルアップされているため、何も接続されていない入力端はデフォルトではHighレベルになります。弱くプルアップされているため、メカニカルスイッチなどのパッシブ型のデバイスを直接入力端子に接続することができます。
出力モードでは、ポートは5 Vのプッシュプル動作(最大電流8 mA)を行います。

電源

Power Jack

3.15 mmジャックコネクタ

ステージM30XY/Mには下記が含まれます。

  • 2軸移動ステージ
  • MMCXオス-BNCオスケーブル(2本)、長さ1.8 m、50 Ω
  • USB2.0 A-Mini-Bケーブル、1.5 m、黒
  • 15 VDC電源(国内用)

当社のKinesis®ソフトウェアはKinesisおよびAPT™シリーズのデバイスの制御にご使用いただけます。小型で低出力のシングルチャンネルドライバ(K-CubeやT-Cubeなど)から高出力でマルチチャンネルの19インチラックナノポジショニングシステム(APTラックシステム)まで幅広い種類のモーションコントローラに対応しています。

Kinesisソフトウェアでは新しい.NETコントロールが使用でき、最新のC#、Visual Basic、LabVIEW™、あるいはその他の.NETに対応する言語を使用してカスタムプログラムを作成するようなサードパーティの開発者も利用することができます。また、.NETフレームワークを使用しないアプリケーション用にローレベルのDLLライブラリも含まれています。Central Sequence Managerは、当社のすべてのモーションコントロール用ハードウェアの統合と同期をサポートしています。

これらの共通のソフトウェアプラットフォームにより、1種類のソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるAPTおよびKinesisコントローラを1つのアプリケーションの中で簡単に組み合わせることができます。低出力の1軸システムから高出力の多軸システムまでのあらゆるコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御できます。

このソフトウェアパッケージには2つの使い方があります。1つはGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを用いる方法で、商品到着後すぐにコントローラの直接的な操作と制御を行なうことができます。もう1つは一連のプログラミングインターフェイスを用いる方法で、ご希望の開発言語によりカスタム仕様の位置決めやアライメント用のプログラムを簡単に作成することができます。

Software Download

ソフトウェア

Kinesisバージョン1.14.30

このKinesisソフトウェアパッケージには、KinesisおよびAPT™システムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております。

  • 通信プロトコル
APTConfig
Kinesis用GUI画面

Kinesis®ソフトウェアでは新しい.NETコントロールが使用でき、最新の最新のC#, Visual Basic, LabVIEW™、ほかの.NET対応言語を使用する開発者がカスタムにプログラムを作成することもできます。

C#
このプログラミング言語はマルチプログラミングパラダイムやマルチプログラミング言語が使用可能となるよう設計されているため、複雑な問題が簡単かつ効率的に解決できます。型付け、命令型、宣言型、関数型、ジェネリック、オブジェクト指向、そしてコンポーネント指向が含まれます。 この共通のソフトウェアプラットフォームにより、1セットのソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるKinesisコントローラを簡単に組み合わせることができます。このようにして1軸システムのコントローラから多軸システムのコントローラまで、様々なコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが可能となりました。

Kinesisシステムソフトウェアを使用するには2つの手段があります。コントローラを直接つないで制御を行なう付属のGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティ、またはご希望の開発言語でカスタム仕様の位置決めやアライメントを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。

Kinesisモーションコントロールライブラリの構築の参考となる実行可能なプロジェクト機能拡張例については下のリンクをクリックしてください。なお、Quick Startのプロジェクト例の実行には別の統合開発環境(IDE)(Microsoft Visual Studioなど)が必要です。C#のプロジェクト例はKinesisソフトウェアパッケージに付属する.NETコントロールで実行可能です(詳細は「Kinesisソフトウェア」タブをご覧ください)。

C Sharp IconClick Here for the Kinesis with C# Quick Start Guide
Click Here for C# Example Projects
Click Here for Quick Start Device Control Examples
C Sharp Icon

LabVIEW
LabVIEWは、.Netコントロールを介してKinesisまたはAPTベースのコントローラとの通信に使用できます。LabVIEWでは、ツールとオブジェクトでフロントパネルとして知られるユーザーインターフェイスを構築した後、グラフィカル表記の関数を使ってコードを追加し、フロントパネルのオブジェクトを制御します。下記のLabVIEWチュートリアルでは.Netコントロールを使用してLabVIEW内KinesisまたはAPT駆動デバイス用の制御GUIを作成するための情報をご提供しています。 LabVIEWでコントローラを制御する基本的な方法や、LabVIEW GUIを用いてデバイスを操作する前に行うべき設定の手順についても解説しています。

Labview IconClick Here to View the LabVIEW Guide
Click Here to View the Kinesis with LabVIEW Overview Page
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電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージピッチ&ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

こちらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。移動ステージNanoflex™は、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータを使用しています。Z軸ステージLPS710E/Mには、ピエゾ移動に対する増幅機構が用いられており、それに適したコントローラが付属しています。ステージPD1/Mでは、移動量を得るために「スティック-スリップ」の摩擦特性を利用するピエゾ慣性アクチュエータが用いられています。Elliptec™シリーズのステージでは、共振による楕円形の動作を通じて可動プラットフォームを押したり引いたりする共振ピエゾモータを使用しています。

Piezoelectric Stages
Product FamilyNanoflex™ 20 µm Stage
with 5 mm Actuator
Nanoflex™ 25 µm Stage
with 1.5 mm Actuator
PD1 Open-Loop
20 mm Stage
PD1D Open-Loop
20 mm Monolithic XY Stage
PDX1 Closed-Loop
20 mm Stage
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Travel20 µm + 5 mm Manual25 µm + 1.5 mm Manual20 mm
Maximum Velocity-3 mm/s20 mm/s
Drive TypePiezo with Manual ActuatorPiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZXY, XYZX, XY, XYZ
Additional Details
Piezoelectric Stages
Product FamilyElliptec™ 28 mm Stage Elliptec™ 60 mm StageLPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel28 mm60.0 mm1.1 mm
Maximum Velocity180 mm/s90 mm/s-
Drive TypeResonant Piezoelectric MotorAmplified Piezo
Possible Axis ConfigurationsXZ
Additional Details

Stepper Motor Stages

These translation stages feature removable or integrated stepper motors and long travel ranges up to 300 mm. The MLJ150 stage also offers high load capacity vertical translation. The other stages can be assembled into multi-axis configurations.

Stepper Motor Stages
Product FamilyLNR Series
25 mm Stage
LNR Series
50 mm Stage
NRT Series
100 mm Stage
NRT Series
150 mm Stage
LTS Series
150 mm Stage
LTS Series
300 mm Stage
MLJ150
50 mm Vertical Stage
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Travel25 mm50 mm100 mm150 mm150 mm300 mm50 mm
Maximum Velocity2.0 mm/s50 mm/s30 mm/s50 mm/s3.0 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZZ
Additional Details

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用い、最大300 mmの長い移動が可能です。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。他のステージは多軸ステージの構築が可能です。

Stepper Motor Stages
Product FamilyLNR Series
25 mm Stage
LNR Series
50 mm Stage
NRT Series
100 mm Stage
NRT Series
150 mm Stage
LTS Series
150 mm Stage
LTS Series
300 mm Stage
MLJ150
50 mm Vertical Stage
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Travel25 mm50 mm100 mm150 mm150 mm300 mm50 mm
Maximum Velocity2.0 mm/s50 mm/s30 mm/s50 mm/s3.0 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZZ
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product FamilyMT Series
12 mm Stages
PT Series
25 mm Stages
MTS Series
25 mm Stage
MTS Series
50 mm Stage
M30XY
30 mm XY Stage
KVS30
30 mm Vertical Stage
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Travel12 mm25 mm25 mm50 mm30 mm30 mm
Maximum Velocity2.6 mm/s2.4 mm/s2.4 mm/s8.0 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZXY, XZZ
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product FamilyDDS Series
50 mm Stage
DDS Series
100 mm Stage
DDS Series
220 mm Stage
DDS Series
300 mm Stage
DDS Series
600 mm Stage
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Travel50 mm100 mm220 mm300 mm600 mm
Maximum Velocity500 mm/s300 mm/s400 mm/s400 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XYX, XYXX
Additional Details

電動XYステージ

Vertical Translation Stage Schematic
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ステージの図面
  • XY移動、30 mm
  • 双方向再現性:±1.0 µm
  • 最小移動量:2.5 µm
  • USB経由でPCによるリモート制御
  • I/Oポートを介した双方向の外部トリガ(5 V TTL)

こちらのXY移動ステージは、再現性の高い滑らかな動作により、安定した精密調整が可能です。115 mm x 115 mmの大型のプラットフォームは、最大5.0 kgまでの荷重を搭載して、最大速度2.4 mm/sで移動できます。

USBコネクタを介して、Kinesis®制御用ソフトウェアによるPC制御が可能です。2つのI/Oポートにより、双方向での外部トリガ(5 V TTL)が可能です。こちらのステージにはケーブルCA3272が2本付属します。交換用のケーブルは別売りでご提供しています(下記参照)。ステージには日本国内用電源が付属します。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
M30XY Support Documentation
M30XYCustomer Inspired! Kinesis®XY移動ステージ、移動量30 mm、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
¥559,000
Lead Time
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
M30XY/M Support Documentation
M30XY/MCustomer Inspired! Kinesis®XY移動ステージ、移動量30 mm、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)
¥559,000
5-8 Days

垂直取付け用アダプタとケーブルクランプ

Cable Retention Clamp
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ケーブルクランプM30A1を取付けたステージM30XY(/M)(それぞれ別売りです)
  • XZ移動にするための垂直取付け用ブラケットM30A2/M
  • ケーブル保持用クランプM30A1

直角ブラケットM30A2/MはステージM30XY/Mを垂直に取り付けるために設計されています。各ステージのベースの四隅に取付穴が付いており、4本のM6 x 1.0キャップスクリュで取付ブラケットに固定できます。精密にアライメントできるように、各面にはØ3 mm位置決めピン用の穴があります。XYステージは、コネクタが上を向いた状態で直角ブラケットに取り付ける必要があります。垂直方向に取り付けるときには、接続されたケーブルの支持用にケーブルクランプM30A1を使用することをお勧めします。なお、M30XY/Mを垂直移動用に取り付けた場合は、耐荷重は2.0 kgに減少します。

ケーブルクランプM30A1は、ステージM30XY/Mに接続されたケーブルをサポートして保持します。ステージを垂直方向に取り付けたり、ほかのステージやアセンブリの上に取り付けたりするときには、このケーブルクランプの使用を推奨します。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
M30A2 Support Documentation
M30A2直角ブラケットアダプタ、ステージM30XY用(インチ規格)
¥20,800
5-8 Days
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
M30A1 Support Documentation
M30A1ケーブルクランプ、ステージM30XY/M用(ミリ・インチ規格共用)
¥8,450
5-8 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
M30A2/M Support Documentation
M30A2/M直角ブラケットアダプタ、ステージM30XY/M用(ミリ規格)
¥20,800
5-8 Days

同軸ケーブル、MMCXコネクタ付き

  • 移動ステージM30XY/Mのトリガーポート用ケーブル
  • MMCXオスコネクタとBNCまたはSMAのオスコネクタ付き
  • 周波数範囲:DC~6 GHz
  • インピーダンス: 50 Ω
  • 最大動作電圧: 170 V

こちらのケーブルを使用して、ステージM30XY/MにI/Oポート経由で外部トリガ信号の入出力が可能です。ケーブルCA3339(長さ1 m)およびCA3272(長さ1.8 m)にはBNCオスコネクタ、CA3439(長さ1 m)にはSMAオスコネクタが付いています。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
CA3339 Support Documentation
CA3339RG-174同軸ケーブル、MMCXオス-BNCオス、1 m
¥3,185
Today
CA3272 Support Documentation
CA3272RG-174同軸ケーブル、MMCXオス-BNCオス、1.8 m
¥3,770
5-8 Days
CA3439 Support Documentation
CA3439RG-174同軸ケーブル、MMCXオス-SMAオス、1 m
¥3,640
Today