クイック接続型(アリ溝付き)小型直線移動ステージ(リニアステージ)、移動量25 mm、クロスローラーベアリング

25 mm Travel Range in an Ultra-Compact Design
Low Angular Deviation and High Load Capacity
Integrated 2" Dovetails for Multi-Axis Construction
Side- or End-Mounted Micrometer Options

XRN25C

Compact 25 mm Stage with
End-Mounted Micrometer

The XRN25P (left) is considerably more compact than the XR25P (right), but both provide a travel range of 25 mm.

Application Idea

XRN25P-K2 XYZ Stage Kit
with LP126CU Low-Profile Camera
Attached Using XR25-RC1 Adapter

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概要
マイクロメータ位置の変換
電動ステージへの変換チュートリアル
Feedback
手動ステージ
クイック接続型ステージ

Stage Specifications
Travel	25 mm
XY Stacked Orthogonality	< 25 µrad
Angular Deviation	< 150 µrad
Platform Size	3.35" x 2.00" (85.0 mm x 50.7 mm)
Mounting Holes	17 x 1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps
Mating Dovetail Width	2"
Horizontal Load Capacity (Max)	170 lbs (77.1 kg)
Vertical Load Capacity (Max)^a	8.8 lbs (4.0 kg)
Bearing Type	Crossed-Roller Bearings
Micrometer Specifications
Micrometer Item #	150-801ME-H
Resolution	500 µm per Revolution
Travel	25 mm
Micrometer Barrel Size	Ø3/8" (Ø9.5 mm)

マイクロメータにより制限されます。

Quick Links
Single-Axis Stages
Multi-Axis Stages
Optional Accessories
Z-Axis Stage Assembly Kits
Mounting Adapters
Base Plate
Micrometer Mount Conversion Kits

特長

クロスローラーベアリングにより、高耐荷重と小さな角度偏差を実現
マイクロメータの搭載位置は次の2種類から選択可能
- コンパクトになるサイドタイプ
- 調整が容易なセンタータイプ
組み立て済みXYおよびXYZステージ(マイクロメータ位置はサイド)もご用意
幅50.7 mmのアリ溝を使用してステージやアクセサリを素早く接続
- コンポーネントの一覧については「クイック接続型ステージ」タブをご覧ください。

XRN25シリーズ小型直線移動ステージ(リニアステージ)の移動量は25 mmで、その全移動範囲にわたりピッチ方向とヨー方向の偏差は150 µrad未満です。スチール製のクロスローラーベアリングを用いて精密移動と高耐荷重を実現しています。上部および底部プレートは、内部応力を最小化して安定性を向上させるためにアルミニウム鋳造材(Cast Tool and Jig Aluminum)から加工しています。

各ステージの上部と底部プレートにはクイック接続型のアリ溝が付いており(Figure 1.1参照)、ほかの機構部品を使用することなく多軸システムを素早く構築できます。ステージの位置は固定プレートで固定できますが、その際は2.0 mm六角レンチまたはボール(六角)ドライバを使用できます。Video 1.2で、この仕組みを利用して多軸システムを素早く構築する方法をご覧いただけます。XRN25シリーズステージの幅50.7 mmのアリ溝は、当社の回転ステージXRNR1/Mのアリ溝に直接取り付けることができます。当社では、電動化するためのアクチュエータやアクチュエータ用マウントが付属していない、モジュール型の直線移動ステージXR25X/Mもご用意しています。

アクセサリ
多軸アセンブリーキット、レールキャリア、回転アダプタ、レール、マイクロメータ位置変換キットなどのアクセサリを豊富にご用意しており、様々な機能を追加することができます。コンパクトな幅50.7 mmのアリ溝付きステージを、幅75.7 mmのアリ溝付きステージに取り付けるアダプタープレートもご用意しています。当社のクイック接続型ステージに関連するコンポーネントについては「 クイック接続型ステージ」タブをご覧ください。

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Figure 1.1 ステージ底部(写真では上側)の幅50.7 mmのメス型アリ溝と、別のステージのオス型アリ溝を結合して、XYステージを構築できます。写真左側のメス型アリ溝は、後方に引き込めるタイプのクランプアーム上にあるので、ステージを適当な位置にはめ込むことができます。

多軸ステージを素早く構築
Video 1.2 各ステージの上部プレートと底部プレートには幅50.7 mmのアリ溝が付いており、多軸システムを素早く構築できます。上部プレートを貫通して挿入するような位置決めピンやネジは必要ありません。従ってXYステージを構築する際に、上のステージに取り付けられたコンポーネントを外す必要がありません。また、上のステージはアリ溝に沿ってどの場所でも固定でき、粗い位置決めができます。

Video 2.1 マイクロメータ取り付け位置の変換方法

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Figure 2.2 側面のマイクロメータとロッキングプレートを交換すれば、右手系、左手系どちらのステージも構築可能です。

マイクロメータ取り付け位置の変換
Video 2.1では変換キットXRN25-C1を使用して、マイクロメータ位置がセンターにあるステージ(XRN25C/M)を、サイドにあるステージ(XRN25P/M)に変換する方法をご紹介しています。ステージのサイドのマイクロメータをセンターに変換するには、変換キットXRN25-C2を使用してこの方法を逆に行ってください。

注:マイクロメータを取り外す前に、2 mm六角レンチを用いてスチール製のロッキングプレートのトラスヘッドネジを締め付け、ステージを固定します。

マイクロメータの位置を反対側のサイドの取り付ける方法
Figure 2.2のようにロッキングプレートの位置を入れ替える場合は、プレートからトラスヘッドネジを取り外す前に、マイクロメータを読み値が25 mmとなる位置まで戻してください。そうしないと、マイクロメータを取り外した際にステージが急激に初期位置に戻って、機構が破損する場合があります。

Video Insight(How-To動画):XR直線移動ステージ(リニアステージ)に電動アクチュエータを取り付ける方法

この動画では、当社のXR直線移動ステージの手動アクチュエータを、リモート操作が可能となる電動アクチュエータに交換する方法のデモがご覧いただけます。交換する際には、電動アクチュエータの移動距離と取付バレルがXR直線移動ステージに適合しているかどうかご確認ください。電動アクチュエータの取付方法の詳細が、こちらでご覧いただけます。

そのほかにも実験室でお使いいただけるヒント、工夫や方法などの動画がこちらからご覧いただけます。また、ウェビナーでは、当社製品を実用的かつ理論的にご紹介しています。

Posted Comments:

Samuli Siltanen (posted 2024-04-27 13:09:54.92)

I have two of these stages in a YZ configuration. Now the Y stage is traveling only half of the range: between the center and the other extreme. It stops in the middle when I rotate the knob. Can I fix this?

cdolbashian (posted 2024-05-06 10:44:24.0)

Thank you for reaching out to us with this inquiry. I would not expect the travel to become stuck halfway though the motion. I have reached out to you directly to discuss your experience with the goal of finding a solution for you.

user (posted 2019-05-13 20:16:48.25)

I only have an earlier version of solidworks - would it be possible for you to share a solidworks model of XRN25P-K2 that is compatible with SW2017?

llamb (posted 2019-05-16 04:40:57.0)

Since Solidworks does not offer the option to save a file as a previous version, you may download and open the Step file in a blank existence of your Solidworks 2017 instead.

chris.freitag (posted 2018-02-16 15:10:53.92)

Is it possible to convert the XRN25 stages to differential micrometer screws?

llamb (posted 2018-03-01 08:24:57.0)

Hello Chris, thank you for contacting Thorlabs. Yes, it is possible to convert the XRN25 stages to have differential micrometers, as long as the differential micrometers have a Ø3/8" (Ø9.5 mm) mounting barrel. Side-mounted micrometers, like on the XRN25P(/M), will have limited mounting space. I will reach out to you directly to discuss this further.

手動リニアステージ

手動の移動ステージとして、最大移動量が6 mm以下から50 mmまでのステージをご用意しています。ステージの多くはXY軸やXYZ軸などの多軸構成での注文が可能です。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の手動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかにも、回転ステージ、ピッチ＆ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また、DCサーボモータ、ステッピングモータ、またはダイレクトドライブ技術を用いた電動移動ステージもご用意しています。

クロスローラーベアリングステージ

こちらの直線移動ステージの移動機構には、精密移動、高耐荷重、小角度偏差といった特性を有するクロスローラーベアリングが用いられています。LNRシリーズステージの本体はスチール製、LX、XRNおよびXRシリーズステージの本体はアルミニウム製です。当社ではクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージもご用意しております(Table 140E参照)。

Table 140A Crossed-Roller Bearing Stages
Product Family	LNR Series 25 mm Stages	LX Series 25 mm Stages	XRN Series 25 mm Stages	XR Series 25 mm Stages	XR Series 50 mm Stages	LNR Series 50.8 mm Stages
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Travel	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	50 mm (1.97")	50.8 mm (2")
Drive Type	Multiple	Micrometer	Micrometer	Micrometer	Micrometer	Multiple
Platform Size	2.34" x 2.36" (59.4 mm x 60.0 mm)	2.56" x 2.56" (65.0 mm x 65.0 mm)	2.00" x 3.35" (50.7 mm x 85.0 mm)	2.98" x 4.33" (75.7 mm x 110.0 mm)	2.98" x 5.51" (75.7 mm x 140.0 mm)	3.94" x 3.94" (100.0 mm x 100.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XZ, XY, XYZ	X, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

ボールベアリングステージ

こちらの移動ステージでは、精密移動と長寿命を実現するために、硬化スチール製リニアベアリングが用いられています。様々なアクチュエータが付いた製品や、1軸ステージや予め多軸ステージとして構築された製品をご用意しております。

Table 140B Ball Bearing Stages
Product Family	MS Series 1/4" Stages	T12 Series 1/2" Stages	MT Series 1/2" Stages	PT Series 1" Stages	LT Series 2" Stages
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Travel	1/4" (6.4 mm)	1/2" (12.7 mm)	1/2" (12.7 mm)	1" (25.4 mm)	2" (50 mm)
Drive Type	Multiple	Thumbscrew	Multiple	Multiple	Differential Micrometer
Platform Size	1.17" x 1.17" (29.7 mm x 29.7 mm)	0.76" x 0.81" (19.3 mm x 20.6 mm)	2.40" x 2.41" (61.0 mm x 61.2 mm)	3.00" x 4.00" (76.2 mm x 101.6 mm)	3.75" x 3.75" (95.3 mm x 95.3 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

アリ溝式ステージ

これらの小型ステージの移動機構にはアリ溝と送りネジが組み込まれています。一般的な移動制御用に適したステージです。

Table 140C Dovetail Stages
Product Family	DT Series 1/2" Stages	DTS Series 1" Stages (Vacuum-Compatible Version Available)	DTS Series 2" Stage
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Travel	1/2" (12.7 mm)	1" (25 mm)	2" (50 mm)
Drive Type	Thumbscrew	Thumbscrew	Thumbscrew
Platform Size	1.00" x 1.00" (25.4 mm x 25.4 mm)	2.68" x 2.95" (68.0 mm 75.0 mm)	2.68" x 3.74" (68.0 mm x 95.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ^a	X, XY, XYZ
Additional Details

XYZステージを構築するためのアルマイト加工済み直角ブラケットDTSA03は、真空対応ステージDTS25V/Mにもご使用いただけますが、真空には対応しておりません。
移動量25 mmのDTSシリーズには、アルマイト加工されたステージDTS25(/M)と、10^-6 Torrまでの真空に対応するDTS25V(/M)がございます。

フレクシャーステージ

移動ステージNanoflex™には摩擦の無いフレクシャー機構が用いられており、ベアリングを用いた同様のステージと比較して位置決め性能と分解能が向上しています。ステージの移動は、取付けプラットフォームに取り付けられた連結部の弾性変形(たわみ)によって実現されています。多くのモデルには、微細な位置調整用にピエゾアクチュエータも付属します。　

Table 140D Flexure Stages
Product Family	Nanoflex™ 1.5 mm Stage	Nanoflex™ 5 mm Stages
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Travel	1.5 mm (0.06") + 25 µm Piezo	5 mm (0.20")	5 mm (0.20") + 20 µm Piezo
Drive Type	Thumbscrew and Piezo Actuator	Differential Micrometer	Differential Micrometer and Open-Loop Piezo Actuator	Differential Micrometer and Closed-Loop Piezo Actuator
Platform Size	1.18" x 1.18" (30.0 mm x 30.0 mm)	2.95" x 2.95" (75.0 mm x 75.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

垂直移動ステージ

当社では精密移動用のクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージや、高荷重用の長距離垂直移動ステージもご用意しております。　

Table 140E Vertical Stages
Product Family	XRN Series 9 mm Vertical Stage	XR Series 14 mm Vertical Stage	MVS Series 1/2" Vertical Stage	MVS Series 1" Vertical Stage	VAP Series 4" Vertical Stage	VAP Series 10" Vertical Stage
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Travel	9.0 mm (0.35")	14.0 mm (0.55")	1/2" (13.0 mm)	1" (25.0 mm)	4" (101.6 mm)	10" (254 mm)
Drive Type	Worm-Gear Driven Lift Screw		Micrometer		Adjuster Knob and Coarse Manual Positioning
Platform Size	2.00" x 2.00" (50.7 mm x 50.7 mm)	2.98" x 2.98" (75.7 mm x 75.7 mm)	2.36" x 2.36" (60.0 mm x 60.0 mm)		3.00" x 6.00" (76.2 mm 152.4 mm)
Additional Details

Build Multi-Axis Configurations

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Figure 107B Z-axis assembly kits allow stages to be mounted in vertical orientations.

Quick-Connect Dovetails

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Figure 107A The XR and XRN stages feature female dovetails on the bottom of the stage that mate with the male dovetails on another. The left female dovetail is on a retractable clamping arm, allowing stages to be dropped into place.

XR & XRN Dovetail Stages and Accessories

Our XR series manual stages feature quick-connect dovetails that allow for the construction of multi-axis systems without the need for additional hardware. The common dovetail feature with a single locking clamp makes it quick and simple to swap parts in and out while preserving excellent orthogonality.

Our selection of products with a quick-connect dovetail includes:

Linear Translation Stages:
- Stackable 1-Axis Stages
- Pre-Assembled 2- and 3-Axis Configurations
- 25 mm Motorized Actuator Options: Piezo Inertia, Stepper, or DC Servo
Rotational Stages:
- 360° Flat Rotation
- Tip/Tilt Goniometers
Adapters:
- Z-Axis Assembly Kits
- Parallel and Perpendicular Mounting between 2" and 3" Dovetails
Rail Accessories:
- Stationary Mounting Platforms
- Rail Component Positioners
Base Plates and Rails

Most items are available in compact (2" dovetail) and full-size (3" dovetail) varieties. Adapters are available to interface between the two sizes. See tables 107F and 107G for all available options.

Linear Translation Stages

Thorlabs' Quick-Connect Linear Translation Stages feature 2 inch or 3 inch dovetails for which the female dovetail on the bottom of one stage mates to the male dovetail on another as shown in Figure 107A. Many of these stages have micrometers that can be switched between end-mounted and side-mounted configurations (see Figures 107C and 107D). We also offer vertical translation stages that feature graduated scales to indicate the amount of translation. In Figure 107E, the base plate of a vertical stage is removed to expose the mounting boss which enables additional mounting configurations. The stages featuring 25 mm of travel can also be paired with motors. For specific information on our Quick-Connect Linear Translation stages please see Table 107F.

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Figure 107C Stages are available with either a side- or end-mounted micrometer. The stage can be converted from one configuration to the other using our Micrometer Conversion Kits and a standard set of hex keys or balldrivers.

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Figure 107D Stages with micrometers can have them mounted on either side. The side-mounted micrometer can be swapped with the locking plate to create a left- or right-handed stage.

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Figure 107E The base plate on our vertical stages can be removed to access a mounting boss on the bottom of the stage. This allows the stage to be mounted on a base plate for a smaller footprint or a rotation adapter for coarse angular positioning.

Table 107F Linear Translation Stages
Product Pages	Compact 25 mm Stages (Modular Motorized Also Available)	Compact 9 mm Vertical Stage	Full-Size 25 mm Stages (Modular Motorized Also Available)	Full-Size 50 mm Stages	14 mm Vertical Stage
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Motion	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	Z (Vertical)	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	Z (Vertical)
Travel	25 mm	9 mm	25 mm	50 mm	14 mm
Resolution	500 µm per Revolution	0.25 mm per Revolution	500 µm per Revolution		0.25 mm per Revolution
Quick-Connect Dovetail	2" Dovetail		3" Dovetail
Additional Details

Rotation and Goniometric Stages

Thorlabs' Quick-Connect Rotation Stages provide 360° of continuous manual rotation and are offered with 2" or 3" dovetails. Our Goniometric stages provide ±8° of precise rotation about a fixed point in space and come with 2" dovetails. More information on Thorlabs' Quick-Connect Rotation stages and the XRNG Series Goniometers can be found in Table 107G.

Table 107G Rotation and Goniometric Stages
Product Pages	Compact Rotation Stage	Compact Goniometric Stages	Full-Size Rotation Stage
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Motion	Coarse: 360° Rotation, Fine: ± 5°	±8° Tip/Tilt About Fixed Point Above Stage	Coarse: 360° Rotation, Fine: ± 5°
Quick-Connect Dovetail	2" Dovetail		3" Dovetail
Additional Details

Quick-Connect Dovetail Accessories

Thorlabs also offers adapter kits, mounting platforms, positioners, and base plates for our Quick-Connect Dovetail Stages.

Stage Adapters
Z-Axis Assembly Kits
Z-Axis Assembly Kits	Compact Z-Axis Assembly Kits, 2" Dovetails	Full-Size Z-Axis Assembly Kits, 3" Dovetails
Parallel Mounting Adapters
Parallel Mounting Adapters	Parallel Mounting Adapter, Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail	Parallel Mounting Adapter, Male 3" Dovetail to Female 3" Dovetail
Perpendicular Mounting Adapter
Perpendicular Mounting Adapter	Perpendicular Mounting Adapter Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail

Dovetail Accessories
Mounting Platforms
Mounting Platforms	2" Mounting Platforms	3" Mounting Platforms
Rail Positioners
Rail Positioners	2" Rail Positioners	3" Rail Positioners

Dovetail Bases
Base Plates
Base Plates	2" Dovetail Base Plate	3" Dovetail Base Plate with Rotational Adjustment
Rails / Extended Bases
Rails / Extended Bases	2" Dovetail Rails	3" Dovetail Rails

クイック接続型(アリ溝付き)小型25 mm移動ステージ

ズーム

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Figure G1.1 側面のマイクロメータとロッキングプレートの位置は交換可能で、右手系、左手系どちらのステージも構築可能です。詳しくは「マイクロメータ位置の変換」タブをご覧ください。

マイクロメータの位置：サイドまたはセンター
取付け面には深さ7.6 mmのM6ネジ穴(止まり穴)が17個
アリ溝の固定ネジを使用して多軸ステージを構築可能

付属のアリ溝固定用ネジの最大トルク:1.69 N・m

幅50.7 mmのアリ溝付きのアクセサリに対応

ステージXRN25P/MならびにXRN25C/Mは、当社のクイック接続型XR25ステージシリーズの小型版です。移動量は25 mmで、1回転あたりの変位量が500 µmのマイクロメータが、サイドあるいはセンターに搭載されています。マイクロメータの位置がサイドにあるステージは省スペースに適しており、センターにあるステージは調整がしやすくなっております。ステージは側面にあるプレートでロックすることができ、その際は2.0 mm六角レンチを使用します。各ステージの上部プレートにはM6ネジ穴(止まり穴)が配列されています。

ステージは幅50.7 mmのアリ溝を使用して簡単に積み重ね、固定することができます。ステージは、5 mm六角レンチを用いて、アリ溝のロック機構により固定します。Table G1.2のようにほかの構成の多軸ステージも構築可能です。組み立てる際には、Z軸ステージを下方向に最大限移動させてもほかの部品と衝突しないようにご注意ください。表内のProduct Listをクリックすると、各構成に必要な製品が表示されます。ご希望の場合はそのままカートに製品を追加して、お見積依頼に進んでいただくことも可能です。これらの多軸ステージもアダプタープレートXRN-A1(別売り、下記参照)を使用して当社の幅75.7 mmのアリ溝付きステージ (25 mmおよび50 mm)に取り付けることができます。

マイクロメータの位置をサイドからセンターに、あるいはセンターからサイドに変換するのにご使用いただけるマイクロメータ位置変換キットもご用意しています(下記参照)。

Table G1.2 Sample Multi-Axis Configurations^a

XZ^b

YZ^b

XYZ^b

Z^b

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Micrometer
Options

All Side-
Mounted

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^c
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型番	数量	Description
XRN25P	2	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：サイド、1/4"-20 タップ穴(インチ規格)
XRN-XZ	1	XZステージアセンブリ用キット、幅2インチアリ溝付きステージ用、1/4"-20タップ穴(インチ規格)

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型番	数量	Description
XRN25P/M	2	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：サイド、M6 x 1.0 タップ穴(ミリ規格)
XRN-XZ/M	1	XZステージアセンブリ用キット、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)

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型番	数量	Description
XRN25P	2	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：サイド、1/4"-20 タップ穴(インチ規格)
XRN-YZ	1	YZステージアセンブリ用キット、幅2インチアリ溝付きステージ用、1/4"-20タップ穴(インチ規格)

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型番	数量	Description
XRN25P/M	2	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：サイド、M6 x 1.0 タップ穴(ミリ規格)
XRN-YZ/M	1	YZステージアセンブリ用キット、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)

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型番	数量	Description
XRN25P	3	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：サイド、1/4"-20 タップ穴(インチ規格)
XRN-YZ	1	YZステージアセンブリ用キット、幅2インチアリ溝付きステージ用、1/4"-20タップ穴(インチ規格)

^c
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型番	数量	Description
XRN25P/M	3	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：サイド、M6 x 1.0 タップ穴(ミリ規格)
XRN-YZ/M	1	YZステージアセンブリ用キット、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)

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型番	数量	Description
XRN25P	1	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：サイド、1/4"-20 タップ穴(インチ規格)
XRN-XZ	1	XZステージアセンブリ用キット、幅2インチアリ溝付きステージ用、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
XRN-B1	1	ベースプレート、幅2インチアリ溝付きステージ用、インチ規格スロット

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型番	数量	Description
XRN25P/M	1	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：サイド、M6 x 1.0 タップ穴(ミリ規格)
XRN-XZ/M	1	XZステージアセンブリ用キット、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)
XRN-B1/M	1	ベースプレート、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、ミリ規格スロット

All End-
Mounted

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型番	数量	Description
XRN25C	2	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：センター、1/4”-20 タップ穴(インチ規格)
XRN-XZ	1	XZステージアセンブリ用キット、幅2インチアリ溝付きステージ用、1/4"-20タップ穴(インチ規格)

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型番	数量	Description
XRN25C/M	2	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：センター、M6 x 1.0 タップ穴(ミリ規格)
XRN-XZ/M	1	XZステージアセンブリ用キット、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)

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型番	数量	Description
XRN25C	2	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：センター、1/4”-20 タップ穴(インチ規格)
XRN-YZ	1	YZステージアセンブリ用キット、幅2インチアリ溝付きステージ用、1/4"-20タップ穴(インチ規格)

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型番	数量	Description
XRN25C/M	2	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：センター、M6 x 1.0 タップ穴(ミリ規格)
XRN-YZ/M	1	YZステージアセンブリ用キット、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)

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型番	数量	Description
XRN25C	3	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：センター、1/4”-20 タップ穴(インチ規格)
XRN-YZ	1	YZステージアセンブリ用キット、幅2インチアリ溝付きステージ用、1/4"-20タップ穴(インチ規格)

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型番	数量	Description
XRN25C/M	3	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：センター、M6 x 1.0 タップ穴(ミリ規格)
XRN-YZ/M	1	YZステージアセンブリ用キット、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)

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型番	数量	Description
XRN25C	1	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：センター、1/4”-20 タップ穴(インチ規格)
XRN-XZ	1	XZステージアセンブリ用キット、幅2インチアリ溝付きステージ用、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
XRN-B1	1	ベースプレート、幅2インチアリ溝付きステージ用、インチ規格スロット

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型番	数量	Description
XRN25C/M	1	小型25 mm直線移動ステージ、マイクロメータ位置：センター、M6 x 1.0 タップ穴(ミリ規格)
XRN-XZ/M	1	XZステージアセンブリ用キット、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)
XRN-B1/M	1	ベースプレート、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、ミリ規格スロット

写真ではマイクロメータの位置がサイドにあるステージとセンターにあるステージを組み合わせてご紹介していますが、Product Listではサイドタイプのみ、あるいはセンタータイプのみの組み合わせとなっております。なお、XY構成のステージ以外ではアセンブリーキットが必要で、それらのキットは該当する構成のProduct Listに記載されています。
組み立てる際には、Z軸ステージを下方向に最大限移動させてもほかの部品と衝突しないようにご注意ください。
組み立て済みの製品をご用意しております。上記をご覧ください。

組み立て済み2軸および3軸小型ステージ、マイクロメータ位置:サイド

ズーム

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Figure G2.1 XYZ構成に組み立て済みのステージキットXRN25P-K2(/M)

XYまたはXYZ構成用に組み立て済みのXRN25P/Mシリーズステージ
マイクロメータ位置がサイドのため狭いスペースでの調整に便利
付属のアリ溝固定用ネジの最大トルク:1.69 N・m

XRN25P/Mシリーズステージは、XYおよびXYZ構成用に予め組み立てられています。XYステージXRN25P-K1/Mは、XY構成に組み立てられた2つのステージXRN25P/Mから成っています。XYZステージXRN25P-K2/Mは、アセンブリキットXRN-XZ/Mを使用してXYZ構成用に組み立てられた3つのステージXRN25P/Mから成っています。XRN25P-K2/Mは、下記の多軸ステージアセンブリ用キットを購入して手動で組み立てる必要がありません。

各ステージの側面にはミリ規格マイクロメータが搭載されており、1回転につき500 µm移動し、全移動量は25 mmとなっています。XRN25P/MにはM6タップ穴が配列されています。このマイクロメータは、マイクロメータ取付け用マウントとスチール製のロッキングプレートを付け替えることで、ステージの反対側に移動させることも可能です。詳細については、「マイクロメータ位置の変換」タブをご覧ください。マイクロメータの位置をサイドからセンターに、あるいはセンターからサイドに変換するのにご使用いただけるマイクロメータ位置変換キットもご用意しています(下記参照)。

+1 数量資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日

XRN25P-K1/M 小型25 mm移動ステージ、組み立て済みXY構成、マイクロメータ位置：サイド、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)

￥137,604

Today

XRN25P-K2/M 小型25 mm移動ステージ、組み立て済みXYZ構成、マイクロメータ位置：サイド、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)

￥229,112

7-10 Days

+1 数量資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日

XRN25P-K1 小型25 mm移動ステージ、組み立て済みXY構成、マイクロメータ位置：サイド、1/4"-20タップ穴(インチ規格)

￥137,604

7-10 Days

XRN25P-K2 小型25 mm移動ステージ、組み立て済みXYZ構成、マイクロメータ位置：サイド、1/4"-20タップ穴(インチ規格)

￥229,112

7-10 Days

Z軸ステージ用アセンブリーキット

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Figure G3.2 アセンブリーキットXRN-XZ(/M)を使用してXZステージアセンブリを構築

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Figure G3.1 アセンブリーキットXRN-YZ(/M)を使用してYZステージアセンブリを構築

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Figure G3.4 アセンブリーキットXRN-YZ(/M)を使用してXYZステージを構築

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Figure G3.3 アセンブリーキットXRN-XZ(/M)とベースプレートXRN-B1(/M)(下記参照)を使用して構築したX軸ステージ(垂直方向)

直角ブラケットとZ軸取付けプレートのキット
X、Z、XZ、YZ、XYZ軸構成に対応
幅50.7 mmのアリ溝付きステージに対応
付属のアリ溝固定用ネジの最大トルク:1.69 N・m

当社ではXRN25シリーズステージを互いに垂直に取り付けるためのアセンブリーキットを2種類ご用意しております。アセンブリーキットXRN-XZ/Mには取付けプレートと直角ブラケットが含まれており、Z軸プラットフォームの取り付け面がX軸ステージの移動方向と平行になるように組み立てることができます(XZ構成)。アセンブリーキットXRN-YZ/Mにも取付けプレートと直角ブラケットが含まれており、Z軸プラットフォームの取り付け面がY軸ステージの移動方向に対して垂直になるように組み立てることができます(YZ構成)。組み立てる際には、Z軸ステージを下方向に最大限移動させてもほかの部品と衝突しないようにご注意ください。

どちらの構成もステージXRN25C/MまたはXRN25P/Mが合計で2つ必要です。組み合わせは自由でどちらのアセンブリーキットもご使用いただけます。直角ブラケットの一方の面のメス型アリ溝とXまたはYステージ用のタップ穴付きプラットフォームのオス型アリ溝を結合し、直角ブラケットの他方の面のメス型アリ溝とZ軸ステージ用のタップ穴付きプラットフォームのオス型アリ溝を結合します。Z軸ステージにはXRN-XZ/MまたはXRN-YZ/Mに付属のタップ穴付き取付けプレートを取り付けます。取り付けにはプレートのオス型アリ溝とステージのメス型アリ溝を結合します(Figure G3.1とG3.2参照)。Z軸ステージをこの方法で取り付けることで、マイクロメータは重力と内部バネの双方の力を受け止めることになります。

Z軸ステージの構成
Z軸のみの移動ステージを構築する場合は、直角ブラケットXRN-XZ/MとXRN-YZ/Mのどちらの場合も直接ベースプレートXRN-B1/M(Table G1.2参照)に固定します。構成イメージは上記の構成例でご覧いただけます。

X軸ステージの構成
Z軸ステージの構成にX軸移動ステージを垂直方向に取り付ける場合、直角ブラケットXRN-XZ/Mをご使用いただけます。Figure G3.3のようにX軸ステージを直角ブラケットXRN-XZ(/M)に固定し、直角ブラケットを直接ベースプレートXRN-B1/M(Table G1.2参照)に固定します。

XYZ構成
XYZ構成を構築するには、まず上記の構成例の写真のようにXYステージを構築します。その後、アセンブリーキットXRN-XZ/MでZ軸ステージを追加します。XYZ構成はアセンブリーキットXRN-YZ/Mでも構築可能です。XRN-XZ/Mで構築した構成とではX軸ステージとY軸ステージが入れ替わっただけで機能は同じです。アセンブリーキットXRN-YZ(/M)を使用して構築されたXYZ構成はFigure G3.4でご覧いただけます。

取付けアダプタ

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アダプタXRN-A1：幅50.7 mmのアリ溝付き部品を、幅75.7 mmのアリ溝付き部品の上に垂直方向に取り付けます。
アダプタXRN-A2：幅50.7 mmのアリ溝付き部品を、幅75.7 mmのアリ溝付き部品の上に平行方向に取り付けます。
アダプタにより部品の高さが7.0 mm高くなります。

こちらのアダプタは、幅50.7 mmのメス型アリ溝付きのクイック接続型クロスローラーベアリングステージやアクセサリを、幅75.7 mmのオス型アリ溝付き部品に取り付けます(Figure G4.1と4.2参照)。アダプタXRN-A1は垂直方向の取付け、アダプタXRN-A2は平行方向の取付けを可能にします。Figure G4.2の構成では、取り付けられたステージを拡張ベースプレートに沿って平行に移動させることができます。

組み立てるには、まず上側のステージやアクセサリの端にあるアリ溝の固定ネジを緩めます。下側のステージまたはベースプレート上にアダプタをセットし(Figure G4.1と4.2参照)、さらにアダプタ上に上側のステージをセットします。最後に上側のステージの端にあるアリ溝固定ネジ(最大トルク:1.69 N･m)を、アセンブリ全体が固定されるまで締め付けます。なお、アダプタの側面の奥深くに付いているネジは調整可能なネジではありませんのでご注意ください。

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Figure G4.2 アダプタXR25-A2を使用してベースプレートXR25DRに取り付けたステージXRN25P(/M)

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Figure G4.1 アダプタXRN-A1を使用してステージXR25P(/M)に取り付けた小型ステージXRN25C(/M)

Mounting Adapter Compatibility
Item #	Orientation	Top Component	Bottom Component
XRN-A1	Perpendicular	XRN25X Stage XRN25 Series XRNV1 Stage XRNR1 Stage XRNG Series	XR25X Stage XR25 Series XR50 Series XRR1 Stage XRV1 Stage
XRN-A2	Parallel		XR25X Stage XR25 Series XR50 Series XRR1 Stage XRV1 Stage

ステージ用ベースプレート

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Figure G5.1 XRN-B1(/M)上部の直交するアリ溝により、ステージは2方向のどちら向きにも取り付けられます。

取り付けの柔軟性を高める長さ32.0 mmのM6ザグリ穴スロット
直交するオス型アリ溝によりステージを2つの異なる角度に設置可能
幅50.7 mmのアリ溝付きステージに対応

ベースプレートXRN-B1/Mを使用することで、セットアップ内で移動ステージの位置の粗調整が柔軟にできるようになります。長さ32.0 mmの3つのM6ザグリ穴スロットにより、ステージの粗い移動調整が可能になります。 XRN-B1/M上部の直交するアリ溝により、ステージは2方向のどちら向きにも取り付けられます。中央のスロットは2個のM6キャップスクリュで光学テーブルまたはブレッドボードに固定できるよう設計されており、ステージはテーブルまたはブレッドボードの穴配列に沿う方向にセットされます。

Z軸ステージの構成
Z軸のみの移動ステージを構築する場合は、直角ブラケットXRN-XZ/MまたはXRN-YZ/Mのどちらか(上記参照)を直接ベースプレートに固定します。

X軸ステージの構成
Z軸ステージの構成にX軸移動ステージを垂直方向に取り付ける場合、直角ブラケットXRN-XZ/M(上記参照)をご使用いただけます。直角ブラケットXRN-XZ/Mは、ベースプレートXRN-B1/Mに直接固定できます。

マイクロメーターマウント位置変換キット

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Figure G6.1 XRN-C2を使用してマイクロメータの位置をサイドからセンターに変換

XRN25シリーズステージに対応
マイクロメータの位置を変換するキット
- XRN-C1:センターからサイドへ
- XRN-C2:サイドからセンターへ

XRN-C1ならびにXRN-C2はマイクロメーターヘッドを取り外し、それぞれステージのサイドまたはセンターに取り付け直します。変換方法の詳細は「マイクロメータ位置の変換」タブでご覧いただけます。

Item #	LNR25D(/M), LNR25M(/M)	LX10(/M), LX20(/M), LX20XZ(/M), LX20YZ(/M), LX30(/M)	XRN25P(/M), XRN25C(/M), XRN25P-K1(/M), XRN25P-K2(/M)	XR25P(/M), XR25C(/M), XR25P-K1(/M), XR25P-K2(/M)	XR50P(/M), XR50C(/M)	LNR50DD(/M), LNR50M(/M)
Resolution	Down to 0.025 mm/rev (Dependent on Drive)	0.5 mm/rev	0.5 mm/rev	0.5 mm/rev	0.5 mm/rev	Down to 0.05 mm/rev (Dependent on Drive)
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 17 Places	1/4"-20 (M6), 22 Places	1/4"-20 (M6), 26 Places	1/4"-20 (M6), 13 Places
Load Capacity	Horizontal: 44 lbs / 20 kg Vertical: 17.6 lbs / 8 kg	Horizontal: 90 lbs / 41 kg Vertical: 8.8 lbs / 4 kg	Horizontal: 170 lbs / 77.1 kg Vertical: 8.8 lbs / 4.0 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 8.8 lbs / 4.0 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 8.8 lbs / 4.0 kg	Horizontal: 66 lbs / 30 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg

Item #	MS1(/M), MS1S(/M), MS3(/M)	T12X(/M), T12XY(/M), T12XZ(/M), T12XYZ(/M)	MT1(/M), MT1A(/M), MT1B(/M), MT3(/M), MT3A(/M)	PT1(/M), PT1A(/M), PT1B(/M), PT3(/M), PT3A(/M)	LT1(/M), LT3(/M)
Resolution	Down to 0.25 mm/rev (Dependent on Chosen Drive)	0.25 mm/rev	Down to 0.025 mm/rev (Dependent on Chosen Drive)	Down to 0.025 mm/rev (Dependent on Chosen Drive)	Coarse: 0.055" / rev Fine: 0.010" / rev
Mounting Holes	#4 (M3) Counterbore, 2 Places 4-40 (M3), 2 Places 8-32 (M4), 5 Places	2-56 (M2), 4 Places	Top: 1/4"-20 (M6), 7 Places Bottom: 1/4"-20 (M6), 7 Places and 8-32 (M4), 4 Places	1/4"-20 (M6), 16 Places	1/4"-20 (M6), 24 Places
Load Capacity	Horizontal: 7 lbs / 3.2 kg Vertical: 2.5 lbs / 1.1 kg	Horizontal: 5 lbs / 2.2 kg Vertical: N/A	Horizontal: 90 lbs / 41 kg Vertical: 4.4 lbs / 2 kg	Horizontal: Up to 90 lbs / 41 kg Vertical: Up to 8.8 lbs / 4.0 kg (Dependent on Chosen Drive)	Horizontal: 70 lbs / 31 kg Vertical: 40 lbs / 18 kg

Item #	DT12(/M), DT12XY(/M), DT12XZ(/M), DT12XYZ(/M)	DTS25(/M) DTS25V(/M)^b	DTS50(/M)
Resolution	0.35 mm/rev	1.0 mm/rev
Mounting Holes	8-32 (M4), 1 Place	1/4"-20 (M6), 13 Places	1/4"-20 (M6), 17 Places
Load Capacity	Horizontal: 2.5 lbs / 1.2 kg Vertical: 0.55 lbs / 0.25 kg	Horizontal: 88 lbs / 40 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg

Item #	NF15AP25(/M)	NFL5D(/M)	NFL5DP20(/M)	NFL5DP20S(/M)
Resolution	Manual: 0.25 mm/rev Piezo: 0.76 nm (Theoretical)	Coarse: 0.5 mm/rev Fine: 50 µm/rev	Coarse: 0.5 mm/rev Fine: 50 µm/rev Piezo: 0.6 nm (Theoretical)
Mounting Holes	4-40 (M2), 5 Places 8-32 (M4), 1 Place	6-32 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 4 Places 1/4"-20 (M6), 4 Places
Load Capacity	Horizontal: 1.1 lbs / 0.5 kg Vertical: 0.55 lbs / 0.25 kg	Horizontal: 2.2 lbs / 1 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg

Item #	XRNV1(/M)	XRV1(/M)	MVS05(/M)	MVS1(/M)	VAP4(/M)	VAP10(/M)
Precision	0.01" (0.25 mm) per Adjuster Revolution		0.025" (0.5 mm) per Adjuster Revolution		0.05" (1.27 mm) per Adjuster Revolution
Mounting Holes	6-32 (M4), 8 Places 1/4"-20 (M6), 16 Places		8-32 (M4), 12 Places 1/4"-20 (M6), 13 Places		8-32 (M4), 31 Places 1/4"-20 (M6), 33 Places
Load Capacity	Horizontal: 22.2 N (5.0 lbs) Inverted: 6.67 N (1.50 lbs)	Horizontal: 44.5 N (10.0 lbs) Inverted: 8.9 N (2.0 lbs)	4.4 lbs / 2 kg		50 lbs / 23 kg (Max Moment: 150 in-lbs / 16.9 N•m)

Micrometer Conversion	Side- or End-Mounted Left- or Right-Handed	-	Side- or End-Mounted Left- or Right-Handed		-
Mounting Boss	-	Ø1/2″	-	-	Ø1″
Graduated Scale	-	0.5 mm Increments	-	-	0.5 mm Increments
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 17 Places (Click for Details)	Top: 6-32 (M4), 4 Places, 1/4"-20 (M6), 7 Places Front: 6-32 (M4), 4 Places, 1/4"-20 (M6), 9 Places (Click for Details)	1/4"-20 (M6), 22 Places (Click for Details)	1/4"-20 (M6), 0.30" (7.6 mm) Thread Depth 24 Places 1/4"-20 (M6), 0.28" (7.0 mm) Thread Depth 2 Places (Click for Details)	Top: 6-32 (M4), 4 Places, 1/4"-20 (M6), 7 Places Front: 6-32 (M4), 4 Places, 1/4"-20 (M6), 9 Places (Click for Details)
Load Capacity	Horizontal: 170 lbs (77.1 kg) Vertical: 8.8 lbs (4.0 kg)	Horizontal: 22.2 N (5.0 lbs) Inverted: 6.67 N (1.50 lbs)	Horizontal: 180 lbs (81.9 kg) Vertical: 8.8 lbs (4.0 kg)		Horizontal: 44.5 N (10.0 lbs) Inverted: 8.9 N (2.0 lbs)

Resolution	Coarse: 1°, Fine: 8.33 mrad/rev (0.477°/rev)	Knob: 0.9°/rev (0.015 rad/rev) Vernier Scale: 10 arcmin (0.167°)	Coarse: 1°, Fine: 5.78 mrad/rev (0.331°/rev)
Mounting Holes	Imperial Metric	1/4"-20 (M6), 7 Places 8-32 (M4), 2 Places (Click for Details)	Imperial Metric
Load Capacity	Overall: 30 lbs (13.6 kg) Fine Adjustment: 10 lbs (4.54 kg)	Individual Stages: 3.5 lbs (1.59 kg) Stacked XRNG-K1: 2.8 lbs (1.25 kg)	Overall: 50 lbs (22.7 kg) Fine Adjustment: 15 lbs (6.80 kg)