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小型移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング


  • 25 mm Travel Provided by Metric Micrometers
  • Crossed-Roller Bearings for Superior Angular Deviation and Load Capacity
  • Each Stage Ships with Individual Test Data Certificate
  • 1-, 2-, or 3-Axis Versions

LX10

Single-Axis Stage

LX20YZ

YZ Stage

LX30

XYZ Stage

LX20

XY Stage

LX20XZ

XZ Stage

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Specifications
Item #LX10(/M)LX20(/M)LX20XZ(/M)LX20YZ(/M)LX30(/M)
Translation AxesXXYaXZaYZaXYZa
Travel25 mm
Angular Deviationb< 125 µrad
Vertical Straightnessb,c< 10.0 µm
Platform Size2.56" x 2.56" (65.0 mm x 65.0 mm)2.55" x 2.56" (64.8 mm x 65.0 mm)
Top Plate Mounting HolesSeven 1/4"-20 (M6 x 1.0)
Bottom Plate Mounting HolesFour 1/4" (M6) Counterbores
Four Ø0.095" (Ø2.4 mm) Alignment Holes
Deck Height0.98"
(25.0 mm)
1.50"
(38.0 mm)
-
Horizontal Load Capacity41 kg (90 lbs) Max-
Vertical Load Capacity4 kg (8.8 lbs) Maxd
Bearing TypeCrossed-Roller Bearings
Micrometer Specifications
Micrometer Item #150-801ME-H
Resolution500 µm Translation Per Revolution
Travel25 mm
Micrometer Barrel SizeØ3/8" (Ø9.5 mm)
  • これらの多軸ステージは分解して1軸ステージとしてご使用いただくことはできませんのでご注意ください。
  • 1軸について全移動範囲を移動したときの値
  • 垂直真直度(Vertical Straightness)は1軸直線移動における最大直線偏差を表し、移動する面に垂直な面で測定されます。
  • マイクロメータによって制限されています。

特長

  • マイクロメーターマウント付きステージ
  • クロスローラーベアリングにより、高耐荷重と小さな角度偏差を実現
  • 1軸、2軸、3軸ステージをご用意
  • M6×1.0取付け穴が7個
  • 側面にØ3/8インチ(Ø9.5 mm)バレルのミリ規格マイクロメータ
  • 各ステージは個別に検査され、検査データとともに発送されます。
  • 光学テーブルへの取り付け用に4つのM6ザグリ穴

小型移動ステージLXシリーズの直線移動量は25 mmで、その全移動範囲にわたりピッチ方向とヨー方向の偏差は125 µrad未満です。設置面積はコンパクトで、またスチール製のクロスローラーベアリングを用いて精密移動と高耐荷重を実現しています。モノリシック構造の上部および底部プレートとマイクロメーターマウントはそれぞれ一体化されており、また安定性の向上と内部応力の最小化のためアルミニウム鋳造材(Cast Tool and Jig Aluminum)から加工されています。

各ステージの製造後には、移動の直線性に関するピッチ偏差、ヨー偏差、および垂直真直度の検査を行っています。これにより個々のステージが全移動範囲において仕様値を満たすことを保証しています。検査結果の概要は各ステージに添付される個別のデータシートに記載されています(サンプルデータシートはこちらからご覧ください。LX10LX20LX30)

取付け面にはM6タップ穴が12.5 mm間隔で7つ付いています。ステージの各軸は側面の固定用ブラケットと2 mm六角ネジで固定でき、これは位置ずれ防止用として使用できます。 

Quick Connect Translation Stages
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こちらのステージは底部プレートにあるザグリ穴を使用してブレッドボードに固定できます。ザグリ穴は、上のステージLX10(/M)の写真のように、プラットフォームを移動させることで利用できます。

ステージは、4つのM6用ザグリ穴を用いて直接光学テーブルに固定可能です。ザグリ穴は、左の写真のように上側のプレートを動かすと見えます。XYおよびXYZステージの場合は、取り付けられているマイクロメータが取付け穴の1つを塞いでしまうため、その取付け穴を使用するには、まず該当するマイクロメータを取り外す必要があります。各ステージの底部には、Ø2.4 mmのアライメント用の穴(3/32インチ位置決めピン用)が4つ付いています。

すべてのステージにはミリ規格のマイクロメーターヘッドが付いており、その1回転あたりの移動量は500 µmです。マイクロメータはローレット加工されたノブで動かせますが、より細かな移動には2.0 mm六角レンチを使用できます。マイクロメータは、側面のフレクシャークランプを2.0 mm六角レンチで緩めると、取り外して交換することができます。このフレクシャークランプは、Ø3/8インチ(Ø9.5 mm)取付けバレルが付いたマイクロメータであれば保持することができます。

これらのステージは特定の軸数を有する独立したステージとして設計されています。そのため、1軸のステージを組み合わせて多軸ステージにしたり、多軸ステージを分解して1軸ステージにしたりすることはできません。モジュール式の多軸ステージについては、当社のクイック接続型のアリ溝付き25 mmステージとそのコンパクトタイプの25 mmステージをご覧ください。

注:マイクロメータの取り外しは、固定用ブラケットが完全に締め付けられているか、または送りネジを完全に後退させてステージの可動部に噛み合ってないことを確認してから行ってください。そうしないと、ステージが損傷したり、仕様性能を満たすために再校正が必要になったりする場合があります。

Insights:光学実験のベストプラクティス

こちらのページでは下記について説明しています。

  • ベースは、アンダーカットのある面を下向きに置くと安定します

このほかにも実験・実習や機器に関するヒントをまとめて掲載しています。こちらからご覧ください。

 

ベースは、アンダーカットのある面を下向きに置くと安定します

アンダーカットはBA2/Mのようなベースの下側の面に機械加工されます(図1と2)。アンダーカットによりパッドと呼ばれる脚ができます。最大限の安定性を得るため、パッドがテーブルやブレッドボードに接触するようにベースを置いてください。

ベースの上側の面にはアンダーカットは無く、部品取付け用の面になっています。

ベースを上下逆に取り付けると、ベースがテーブルやブレッドボード上で動いたり、その他の機械的な不安定性が生じたりする場合があります。

パッドの平面度
パッドの平面度を向上させる鍵はアンダーカットです。パッドは、アンダーカットの加工後に平面加工されます。

この工程で生じる摩擦熱でパッドが加熱され、平面度はそれによって影響をうけます。アンダーカットでパッドの表面積を小さくすることで、この工程での発熱量が抑えられます。

機械加工においては、発生する熱を最小限に留めることは有益です。金属は加熱されると膨張しますが、機械加工中に発生する不均一な加熱により、部品の寸法が歪む場合があります。加工中に部品の寸法が歪むと、冷却後の部品には高いスポットやその他の望ましくない形状が残る可能性があります。そのような部品を使用すると、不安定性やミスアライメントにつながる場合があります。

精密な機器やデバイスのパッド
パッドの付いたほかの例として、図3の直線移動ステージLX10(/M) があります。

LX10 with Undercut Indicated, Bottom
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図3:当社のデバイスに付いているパッドは、ボルトで固定したときに安定性が向上します。パッドは非常に平坦で、アンダーカット(赤で表示)から突き出た形になっています。アンダーカットによりテーブルやブレッドボードとの接触面積が制限されます。
BA2 with Undercut Indicated, Bottom
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図2:この図はベースの下側を示しており、赤く表示された箇所がアンダーカットです。この部分を切除することで、極めて平坦なパッドを実現できます。
BA2 with Undercut Indicated, Top
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図1:適切な安定性を得るため、ベースはアンダーカットがある面を光学テーブルまたはブレッドボードに向けて取り付けてください。

最終更新日:2019年12月9日


Posted Comments:
Craig Brideau  (posted 2019-10-03 16:19:18.107)
Would an XZ or YZ configuration be possible?
YLohia  (posted 2019-10-04 12:10:57.0)
Hello, thank you for contacting Thorlabs. I have posted your request on our internal product engineering forum for further consideration.
user  (posted 2019-07-04 03:02:10.527)
i can t dowload your product
mmcclure  (posted 2019-07-05 04:25:10.0)
Hello, thank you for contacting us. We have corrected an issue with the STEP file, which can now be downloaded properly. I have reached out to you directly to discuss if the issue you mention is resolved.
mojtaba.zamani.a  (posted 2017-06-01 16:34:01.73)
can these stages work used at xyz configuration?
tfrisch  (posted 2017-06-22 09:40:00.0)
Hello, thank you for contacting Thorlabs. XY and XYZ versions are in development. I will reach out to you directly. I can assist with XYZ solutions until these monolithic stages are released.

1軸移動ステージ

  • 移動量25 mmの1軸ステージ
  • デッキ高:25 mm
  • マイクロメータ1回転の移動量:500 µm

ステージLX10/Mは、X軸に沿った移動量が25 mmとなっております。ステージにはマイクロメータ150-801ME-Hが付属します。なお、こちらのステージは多軸ステージLX20/Mよりもデッキ高が13 mm低くなっておりますのでご注意ください。ステージを交換する際には、他の部品の再調整も必要となる場合があります。 

詳細については上の仕様表をご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LX10 Support Documentation
LX10小型移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
¥68,959
3-5 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LX10/M Support Documentation
LX10/M小型移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング、M6タップ穴(ミリ規格)
¥68,959
Today

XY軸移動ステージ

XY Translation Stage Mounting
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底部の取付け穴の1つは、使用するとき上側のマイクロメータを取り外す必要があります。
  • XおよびY軸方向の移動量:25 mm 
  • デッキ高:38.0 mm
  • マイクロメータ1回転の移動量:500 µm
  • 優れた性能を実現するためのコンパクトなモノシリック構造

ステージLX20/MはXおよびY軸に沿った移動量が25 mmとなっております。ステージにはマイクロメータ150-801ME-Hが2個付属します。なお、こちらのステージは1軸ステージLX10/Mよりもデッキ高が13 mm高くなっておりますのでご注意ください。ステージを交換する際には、他の部品の再調整も必要となる場合があります。 

このステージは、ステージの上のプレートを移動させると見える4つのM6ザグリ穴を使用して、光学テーブルに直接ボルトで固定することができます。ただし、この中の1つの取付け穴が取り付けられているマイクロメータで塞がれてしまいます。この取付け穴を使用する場合は、まず該当するマイクロメータを取り外す必要があります(右の写真参照)。各ステージの底部には、Ø2.4 mmのアライメント用穴(3/32インチ位置決めピン用)が4つ付いています。

注: マイクロメータの取り外しは、送りネジがステージの移動部と完全に離れてからか、または固定ブラケットが完全に締め付けられている状態で行ってください。そうしないと、ステージが損傷したり、仕様性能を満たすために再校正が必要になったりする場合があります。

詳細については上の仕様表をご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LX20 Support Documentation
LX20小型XY移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
¥117,163
3-5 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LX20/M Support Documentation
LX20/M小型XY移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング、M6タップ穴(ミリ規格)
¥117,163
Today

XZ軸移動ステージ

  • X軸およびZ軸方向の移動量:25 mm
  • マイクロメータ1回転あたりの移動量:500 µm
  • 優れた性能を実現するためのコンパクトなモノシリック構造

ステージLX20XZ/MのX軸およびZ軸方向の移動量は25 mmで、X軸の移動軸はZ軸ステージの面に対して平行です。ステージにはマイクロメータ150-801ME-Hが2個付属します。なお、こちらのステージは3軸ステージLX30/Mよりも12.9 mm低くなっておりますのでご注意ください。ステージを交換する際には、他の部品の再調整も必要となる場合があります。

このステージは4つのM6ザグリ穴を使用して光学テーブルに直接固定できますが、これらのザグリ穴は中間にあるプレートを適切な位置に移動させることによってアクセスできるようになります。各ステージの底部には、Ø2.4 mmのアライメント用穴(3/32インチ位置決めピン用)が4つ付いています。

注:マイクロメータの取り外しは、固定用ブラケットが完全に締め付けられているか、または送りネジが完全に引っ込められており、ステージの可動部に噛み合ってないことを確認してから行ってください。そうしないと、ステージが損傷したり、仕様性能を満たすために再校正が必要になったりする場合があります。

詳細については上の仕様表をご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LX20XZ Support Documentation
LX20XZNEW!Customer Inspired! 小型XZ移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
¥156,000
3-5 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LX20XZ/M Support Documentation
LX20XZ/MNEW!Customer Inspired! 小型XZ移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング、M6タップ穴(ミリ規格)
¥156,000
3-5 Days

YZ軸移動ステージ

  • Y軸およびZ軸方向の移動量:25 mm
  • マイクロメータ1回転あたりの移動量:500 µm
  • 優れた性能を実現するためのコンパクトなモノシリック構造 

ステージLX20YZ/MのY軸およびZ軸方向の移動量は25 mmで、Y軸の移動軸はZ軸ステージの面に対して垂直です。ステージにはマイクロメータ150-801ME-Hが2個付属します。なお、こちらのステージは3軸ステージLX30/Mよりも12.9 mm低くなっておりますのでご注意ください。ステージを交換する際には、他の部品の再調整も必要となる場合があります。 

このステージは4つのM6ザグリ穴を使用して光学テーブルに直接固定できますが、これらのザグリ穴は中間にあるプレートを適切な位置に移動させることによってアクセスできるようになります。各ステージの底部には、Ø2.4 mmのアライメント用穴(3/32インチ位置決めピン用)が4つ付いています

注:マイクロメータの取り外しは、固定用ブラケットが完全に締め付けられているか、または送りネジが完全に引っ込められており、ステージの可動部に噛み合ってないことを確認してから行ってください。そうしないと、ステージが損傷したり、仕様性能を満たすために再校正が必要になったりする場合があります。

詳細については上の仕様表をご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LX20YZ Support Documentation
LX20YZCustomer Inspired! 小型YZ移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
¥156,000
3-5 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LX20YZ/M Support Documentation
LX20YZ/MCustomer Inspired! 小型YZ移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング、M6タップ穴(ミリ規格)
¥156,000
3-5 Days

XYZ軸移動ステージ

XYZ Translation Stage Mounting
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底部の取付け穴の1個は、真ん中の位置のマイクロメータを取り外すことで使用できるようになります。
  • XYZ軸方向の移動量:25 mm
  • マイクロメータ1回転あたりの移動量:500 µm
  • 優れた性能を実現するためのコンパクトなモノシリック構造

ステージLX30/MのXYZ軸に沿った移動量は、それぞれ25 mmです。ステージにはマイクロメータ 150-801ME-Hが3個付いています。こちらのステージは3軸ステージLX20YZ/Mよりも12.9 mm高くなっておりますのでご注意ください。ステージを交換する際には、他の部品の再調整も必要となる場合があります。

このステージは、ステージの下部プレートを移動させると見える4つのM6ザグリ穴を使用して、光学テーブルに直接ボルトで固定することができます。ただし、この中の1つの取付け穴が取り付けられているマイクロメータで塞がれてしまいます。この取付け穴を使用する場合は、まず該当するマイクロメータを取り外す必要があります(右の写真参照)。各ステージの底部には、Ø2.4 mmのアライメント用穴(3/32インチ位置決めピン用)が4つ付いています。

注:マイクロメータの取り外しは、送りネジがステージの移動部と完全に離れてからか、または固定ブラケットが完全に締め付けられている状態で行ってください。そうしないと、ステージが損傷したり、仕様性能を満たすために再校正が必要になったりする場合があります。

詳細については上の仕様表をご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LX30 Support Documentation
LX30小型XYZ移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
¥200,850
3-5 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LX30/M Support Documentation
LX30/M小型XYZ移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング、M6タップ穴(ミリ規格)
¥200,850
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