共焼成積層型ピエゾアクチュエーター、移動量4.6 µm~20.0 µm


  • Free-Stroke Displacement Options from 4.6 µm to 20.0 µm
  • On-Stack Insulation with Full-Width Internal Electrodes
  • Sub-Millisecond Response Times with No Load
  • Low 150 V Maximum Drive Voltage

PC4R10M

9.5 µm Stroke
Ø11.0 mm x 10.0 mm

PC4GMH6

9.5 µm Stroke,
8.5 mm x 8.5 mm x 10.0 mm

PC4QR

20.0 µm Stroke
6.5 mm x 6.5 mm x 20.0 mm

PC4WL

4.6 µm Stroke
3.5 mm x 4.5 mm x 5.0 mm

 

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info icon下記の表内にある青いInfoアイコンをクリックすると、各製品の仕様がご覧いただけます。
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Piezo Manufacturing
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特長

  • 機械的・化学的な汚染から保護するエポキシ樹脂のコーティング
  • 積層構造を1つのモノリシック構造に焼結した共焼成型
  • 最大変位量:4.6 µm~20.0 µm
  • 最大駆動電圧:150 V
  • 断面形状:四角形、貫通穴付き四角形、円形
  • 応答時間:共振周波数の1/3
  • 積層上絶縁(On-Stack Insulation)により全幅にかかる内部電極

当社の共焼成積層型ピエゾアクチュエータは、電極で分離されたPZT層が積層された構造になっており、その電極は各PZT層の表面全体を覆っています。電極とPZT層は交互に積み重ねられたのち、焼結されて1つのモノリシック構造になっています。こちらのピエゾアクチュエータは、電気エネルギを精密制御された機械的変位量に変換します。この製品は、ナノメータやマイクロメーターレベルで、迅速かつ精密に位置を変化させる必要のある用途に適しています。

共焼成積層型ピエゾアクチュエータは、多段チップ型ピエゾアクチュエータとは絶縁および導電体の設計が異なります。共焼成積層型ピエゾアクチュエータでは、すべての内部電極が反対の極性の電源電極から絶縁されるよう、積層の側面にガラスフィラメントが精密に配置されています。この絶縁により、連続する各層の正極と負極(またはバイアス電圧と接地)への接続を交互に切り替えることができます。 多段チップ型ピエゾアクチュエータにおける絶縁ギャップを用いた方法と比較すると、この設計では接触面積が大きくなり、またPZTとしてアクティブに機能する体積の割合も大きくなるため、内部応力の低減につながります。2つのピエゾアクチュエータの絶縁方法に関する詳細な説明や図などについては、「取扱い」タブをご参照ください。

この多層デバイスは、ナノ・マイクロポジショニングに適しています。アクチュエータに印加される電圧が0から最大駆動電圧まで上がるにつれ、ピエゾ素子は縦方向に伸長します。こちらの開ループピエゾアクチュエータの最大変位量は4.6 µm~20.0 µmです。このアクチュエータのようなピエゾ素子デバイスはヒステリシスも示すので、変位量は印加電圧のみに依存するものではありません。アクチュエータの変位量の正確な制御が必要な場合には、 歪みゲージ付きピエゾアクチュエータをお勧めしています。

組み込み
ピエゾアクチュエータPC4シリーズは内部応力を最小に抑えるためのアクセサリ、半球状エンドプレートやエンドカップ の取り付けが可能です。製品毎の互換性については青いInfoアイコン(info icon)をご参照ください。PC4シリーズのピエゾアクチュエータに負荷を取り付ける場合は、Loctite® Hysol®9340など、80 °C以下の温度で硬化するエポキシ樹脂接着剤のご使用をお勧めします。ピエゾアクチュエータに機械的な負荷を取り付ける場合、トルクを発生させないために、負荷がアクチュエータの端面の中央にかかるようにすることが重要です。また、ピエゾアクチュエータには、力がアクチュエータの軸に沿って伝達されるように外部負荷を取り付けることが必要です。アクチュエータを組み込む設計でプリロードが要求される場合、その大きさは規定のクランプ力の50%を超えないように設定することをお勧めします。 詳細については上記の「取扱い」タブをご覧ください。

ピエゾアクチュエータの緑のリード線は、アクチュエータ駆動に使用する電圧源の高圧側に必ず接続してください。逆バイアス電圧での駆動はピエゾアクチュエータに損傷を与える恐れがあります。ピエゾアクチュエータは、液体の中、あるいは可燃性のガスまたは液体があるところでは使用しないでください。また、有機溶剤での洗浄はしないでください。

注:駆動後のピエゾアクチュエータには電荷が蓄積しています。緑色と白色のワイヤを直接接続すると放電し、火花の発生や、さらには故障する危険性もあります。この電荷を解放するために、当社では緑色と白色のワイヤの間に抵抗(>1 kΩ)を挿入することをお勧めしています。

当社では移動量5.2 µm~100.0 µmの多段チップ型ピエゾアクチュエータ移動量0.7 µm~3.6 µmの低電圧チップ型ピエゾアクチュエータなど、OEM用途に適した75 V、100 V、150 Vのピエゾアクチュエータもご用意しております。また、より大きな変位量が求められる場合は、移動量220 µm~1500 µmの増幅機構付きピエゾアクチュエータをご用意しております。

使用上の注意


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図1: ピエゾアクチュエータの絶縁方法:
(a)チップ型および多段チップ型ではチップ内部(In-Chip)で絶縁
(b)共焼成積層型アクチュエータでは積層上(On-Stack)で絶縁

共焼成チップ型、共焼成積層型、多段チップ型ピエゾアクチュエータ
当社の共焼成チップ型と共焼成積層型のアクチュエータは、一般的には同様の構造をしています。どちらも電極層と焼結前のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)のピエゾ層を交互に積み上げています。積み上げられた構造はその後1つのモノリシックユニットに焼結されます。極性の異なる電源電極は互いに反対側に取り付けられています。各層ごとの内部電極は、隣り合う内部電極が同じ極性を持たないように、電源電極のどちらか一方と接続されます。共焼成チップ型と共焼成積層型のピエゾアクチュエータの最も大きな違いは、内部電極を極性が反対の電源電極から絶縁する方法です。これらの絶縁方法はアクチュエータの機械的特性に影響します。2つの異なる方法で作られたアクチュエータを図1に示します。

チップ型(In-Chip Insulation)の場合、反対の極性の内部電極が交互に積み重ねられています。内部電極層はピエゾ層の全幅より短くなっています。極性が同じ電極端はチップの一方の端に揃えられており、もう1つの極性の電極端はチップの反対側の端に揃えられています。電極が反対側の端まで達していないため、電極の先の部分はPZTのみになります。電極の先を囲むPZTは絶縁体であり、それにより反対の極性の電源電極から絶縁されます。この電極の絶縁方法では、電極の端に応力の発生する領域が生じます。応力は両電極端での厚みの急激な変化と、電極間のPZTが駆動電圧信号に応答しても電極の先の絶縁体であるPZTが応答しない場合に生じる引張応力によって発生します。この応力により、この手法を用いて作られるチップの最大高さは制限されます。チップの高さは、発生する内部応力が小さく、チップの寿命や性能に影響を及ぼさない範囲に制限されます。チップは、エポキシ樹脂コーティングよりも優れた耐湿性と耐熱性のあるセラミック層で封じられています。

チップの高さ、つまりピエゾアクチュエータの最大ストロークを大きくする方法として、多段チップ型でピエゾアクチュエータを作る方法があります。この方法では複数のチップをガラスビーズとエポキシを使用して接着します。多段チップ型は共焼成チップ型ならびに積層型に比べて長く作ることができるため、サブミリ秒の応答時間と低電圧駆動を保持したまま、大きな変位量を得ることができます。チップ構成全体がセラミックバリア層内に密閉されているため、多段チップ型の方がエポキシ樹脂コーティングで密閉された共焼成チップ型よりも湿度と熱への耐性に優れています。

共焼成積層型(On-Stack Insulation)の場合、電極はPZT層の全幅にかかります。電極は、反対極性の電源電極の側面も含めて、アクチュエータの全側面まで伸びています。内部電極の端はアクチュエータの側面にあるガラスのフィラメントにより電源電極から絶縁されます。精密に局所化されたガラスフィラメントは、内部電極を電源電極から絶縁するとともに、フィラメントで覆われる表面も最小限に抑えています。そのため、電源電極から内部電極への接続性能を低下させることなく、またアクチュエータの動作にも影響を与えません。電極が全幅をカバーするこの絶縁方法を使用したピエゾアクチュエータでは、発生する内部応力が均一であるという特徴があります。共焼成積層型では、従ってIn-Chip Insulation方法を使用して作られるチップ型よりも高く積層したアクチュエータを作ることができます。共焼成積層型は、ガラスビーズエポキシによる不活性な接着層がある多段チップ型よりもアクティブなPZTの割合が高くなっています。これらはエポキシ樹脂でコーティングされています。

電源接続
このデバイスには、電極に接続されたワイヤを使用して正バイアスを印加する必要があります。正の極性のワイヤに正のバイアスを印加し、もう一方のワイヤは接地してください。デバイスに負のバイアスを印加すると機械的故障につながる可能性があります。正のバイアスを印加するワイヤは赤色または緑色、接地用のワイヤは白色になっています。

注:駆動後のピエゾアクチュエータには電荷が蓄積しています。緑色と白色のワイヤを直接接続すると放電し、火花の発生や、さらには故障する危険性もあります。この電荷を解放するために、当社では緑色と白色のワイヤの間に抵抗(>1 kΩ)を挿入することをお勧めしています。

ピエゾアクチュエータへの負荷の取付け
ピエゾセラミックは脆弱で、許容張力も高くはありません。アクチュエータに対して横方向の力や曲げの力がかからないようにしてください。圧縮方向の外部負荷でも、それに曲げモーメントが伴う場合、ピエゾデバイス内部に高い引っ張り応力が発生することがあります。そのように負荷のかけ方が正しくない場合には、ピエゾアクチュエータには破損の原因となるような内部応力が容易に発生します。破損を防ぐには、アクチュエータにかかる荷重がアクチュエータの軸に沿って伝達されるように外部負荷を取り付けることが必要です。負荷はできる限りアクチュエータの取付け面の中心部にかかるようにし、また取付け面に対してできるだけ均一にかかるようにしてください。平坦な取付け面の付いたアクチュエータに平坦な面を有する負荷を取り付ける場合は、2つの面が十分に平坦で滑らかであること、また取付けの平行性も十分であることを確認してください。外部負荷の方向とアクチュエータの軸に角度がある場合は、半球状のエンドプレートまたはフレクシャージョイントを装着したアクチュエータを使用して、アクチュエータに対して安全に荷重がかかるようにしてください。

共焼成積層型ピエゾアクチュエータに負荷を取り付ける場合、接着剤として、Loctite® Hysol®9340など、80 °C以下の温度で硬化するエポキシ樹脂のご使用をお勧めします。負荷は必ずピエゾアクチュエータの変位する面に取り付けてください。この面にはコーティングがありません。当社の共焼成積層型ピエゾアクチュエータのコーティングされた面は変位せず、この面に負荷を取り付けるとアクチュエータの機械的故障につながる恐れがあります。ピエゾアクチュエータPC4シリーズは、負荷取付け時の内部応力を最小化するために、半球状エンドプレートやエンドカップの取り付けが可能です。各製品の互換性については下記の青いInfoアイコン(info icon)でご確認ください。以下では、エンドプレートを取り付けたピエゾアクチュエータに負荷を取り付ける際の正しい方法と誤った方法について説明しています。


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図2: 平面プレート(A、誤)と半球状のプレート(B、正)をそれぞれ装着したピエゾアクチュエータを使用してレバーアームを動かしている様子

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図3: 負荷をPZTアクチュエータに取り付ける正しい方法と誤った方法

図2では、レバーアームを動かす際の誤った方法(A、左側の図)と正しい方法(B、右側の図)を示しています。正しい方法では半球状のエンドプレートが使用され、レバーアームの角度にかかわらず荷重は分散されてアクチュエータ全体に伝達されます。左側の図はピエゾアクチュエータとレバーアームの誤った取付け方法で、全ての荷重がピエゾアクチュエータの一端にかかっています。このような不均一な負荷は、曲げモーメントのようなアクチュエータにとって危険な応力を発生する可能性があります。

図3では、ピエゾアクチュエータに平坦な底面を有する軸外負荷を取り付ける際の誤った方法(左側の図、A)と3つの正しい方法を示しています。AならびにBは、左の図で示されている、誤った方法と正しい方法に似ています。正しい方法であるCでは、取付け面としてPKFCUPのような円錐形のエンドカップを使用しています。負荷とは平面で接し、凹面がエンドプレートの半球状のドームに接しています。正しい方法のDでは、フレクシャーマウントで軸外負荷とアクチュエータのそれぞれのフラットな取付け面を接続しています。フレクシャーマウントにより、負荷がアクチュエータのプレート表面に均一に分散され、荷重はアクチュエータ全体にかかっています。

高い周波数で動作させる場合
高い周波数で動作させるには、外部に温度制御システムを取り付けてデバイスを冷やす必要がある場合があります。高い周波数でピエゾ素子を動作させると、デバイスの内部温度が上昇します。デバイス温度の駆動周波数に対する依存性については、下記の赤いアイコン()をクリックしたのち、Spec Sheetでご覧いただけます。デバイスの温度は、仕様の最大動作温度を超えてはいけません。

負荷荷重と共振周波数の関係
多くの用途において、ピエゾアクチュエータの長さがどの程度の速度で変化するかということは重要なパラメータです。長さが変化する速度は、ピエゾアクチュエータの帯域幅(共振周波数)、ドライバの最大帯域幅(スルーレート)、ピエゾアクチュエータの静電容量、駆動信号の振幅など、様々な要因に依存します。電圧によって伸びる長さ(伸長値)は、アクチュエータ駆動電圧とピエゾアクチュエータの長さの関数になります。静電容量が大きくなるほど、アクチュエータの長さの変化は遅くなります。

印加電圧が急激に変化すると、ピエゾアクチュエータの長さも急速に変化します。印加電圧の大きさによりピエゾアクチュエータの伸長値が決定されます。駆動電圧信号がステップ関数の場合、アクチュエータの長さ変化の開始から終了までの最小時間Tminは、共振周波数の周期のおよそ1/3となります。ピエゾに負荷がかかっていない場合、共振周波数をƒoとすると、最小応答時間は以下の式で表わすことができます。

公称伸長値に達すると、この長さの近傍でアクチュエータが減衰振動します。振動を軽減するためのコントローラを組み込むこともできますが、それによりアクチュエータの応答性は低下します。

アクチュエータに負荷を加えると、ピエゾアクチュエータの共振周波数は低下します。負荷無しのアクチュエータの共振周波数が与えられている場合には、ピエゾアクチュエータの質量m、負荷の質量Mを用いて、負荷のある場合の共振周波数(ƒo')を以下の式で求めることができます。


Posted Comments:
Adolf Canillas  (posted 2020-03-04 06:32:13.32)
Hi. I have PC4QR piezoelectric actuators, could you please tell me the thickness of an individual chip (0.1 mm?) and the kind of PZT used (THP42...)?
nbayconich  (posted 2020-03-05 02:22:23.0)
Thank you for contacting Thorlabs. PC4QR is a co-Fired piezo, we use hundreds of ceramic films during manufacturing. The thickness of these films is about 0.1mm. The PZT material THP51 is used in these actuators.
peter.staaf  (posted 2017-04-27 10:53:16.663)
Hi Are there any official insulation properties between endcaps and terminals? A cad drawing of just those parts would be helpful to determine insulation.
nbayconich  (posted 2017-05-17 05:46:08.0)
Thank you for contacting Thorlabs. The top and bottom end caps of these actuators are inactive piezoelectric material. This is the same material used for the stack but without the electrodes with a typical thickness of 1-1.5mm. A techsupport representative will contact you directly with more information.
user  (posted 2017-01-08 22:05:14.633)
Hello. I have 2 questions about PZS001. 1)What is the response time of it? 2)what is d33 and s33 of it? (piezoelectric material specification) thank you. best regards.
tfrisch  (posted 2017-01-11 10:31:17.0)
Hello. Thank you for contacting Thorlabs. The response time will be limited by the feedback loop for closed loop applications, and for open loop, you can see the Piezo Bandwidth tab for details on the expected response. I will reach out to you directly about the material specifications.
everardo_flores  (posted 2014-03-27 20:56:42.24)
Which is the resolution (in nm) of the PZS001 used with the T-Cube (TPZ001). Thanks!
msoulby  (posted 2014-03-28 09:54:18.0)
Response from Mike at Thorlabs: The resolution of these actuators is largely dependent on the voltage source that you use. Ideally you would use a high voltage source that has low voltage noise; generally the lower this noise the better the resolution. With our TPZ001 controller, which has a noise value of <2mVRMS you will be able to achieve around 20-30nm of resolution if operated in open loop mode. However in open loop mode with no strain gauge feedback the piezo will likely drift over time. By using the strain gauge with our TSG001 reader you will be able to remove this drift and also improve you resolution by a factor of 2 or 3.
sjf1e12  (posted 2013-07-17 12:30:26.94)
I'm looking to buy a piezoelectric actuator. I want to actuate it at up to around 100kHz. Is it required to use a specialist piezo controller, also available from this site? If we have a function generator and a power source could we control it using this? Many thanks
cdaly  (posted 2013-07-18 15:57:00.0)
Response from Chris at Thorlabs: Thank you for your feedback. No special controller is required. It's just a matter of applying a voltage across the leads, so any modulated voltage source can be used that matched the necessary specs. The issue is going to be the slew rate of your setup. The AE0203D04F can be driven at 100kHz, but the limiting factor is going to be the max current output of your source. A larger displacement is going to require a larger current. For example if you want to drive at 100kHz at the full range of 0-150V, you are going to need a source which can output around 2.7A max current. And can be modulated between 0-150V at 100kHz. These will scale linearly with the max voltage/displacement you choose, so for example if you were only going up to 50V, 0.9A would be the max required current. Please note that the resonant frequency for this actuator is 261 kHz, but this will decease as load is added.
hadmack  (posted 2013-07-10 19:24:21.967)
Do you stock the NEC AE1010D16F piezo as well? Can I special order this?
jlow  (posted 2013-07-11 08:19:00.0)
Response from Jeremy at Thorlabs: The AE1010D16F is not a piezo that we stock. We will get in contact with you on special ordering this.
jlow  (posted 2013-01-14 13:44:00.0)
Response from Jeremy at Thorlabs: The spec sheet for the AE0505D18F can be found at http://www.thorlabs.com/Thorcat/8600/AE0505D18F-SpecSheet.pdf. The maximum drive voltage for this is +100V. Do not apply a negative voltage to this. The resonant frequency is dependent on the mechanical load that you are putting on the piezo. With no mechanical load, the resonant frequency is at 69kHz. The piezo bandwidth will most likely be limited by the slew rate of the driver. We have a small tutorial for this located at http://www.thorlabs.com/NewGroupPage9.cfm?ObjectGroup_ID=61, under the "Piezo Bandwidth" tab.
eomjonghyun  (posted 2013-01-11 01:31:36.36)
Hi My name is Jeremy belonging into GIST in Korea. I am testing the vibration of PZT. I have PZT, the model number is AE0505D18F. I drive this PZT with AC signal from my function generator and PZT driver(MDT694A). I wonder which conditions driving PZT are required, such as frequency, dirving voltage(for PZT diriver and Vpeak of AC signal from function generator) Would you recommend the appropriate conditions for PZT driving? Best, Jeremy
jjurado  (posted 2011-08-17 09:15:00.0)
Response from Javier at Thorlabs to last poster: We currently do not have experimental data regarding the minimum achievable incremental movement that can be achieved when using the PZS001 piezo stack with the AMP001 amplifier and the TSG001 strain gauge reader. Testing this would require measurement equipment with resolution better than the nanometer-level feedback that can be achieved with the TSG001. Please contact us at techsupport@thorlabs.com if you have any further questions or comments.
user  (posted 2011-08-11 11:49:04.0)
What is the minimum displacement that strain guage can measure for PZS001. (Using AMP001 & TSG001).
jjurado  (posted 2011-02-25 10:05:00.0)
Response from Javier at Thorlabs to hadmack: Thank you for submitting your request. Our piezo stacks are not rated for operation in vacuum, and we currently cannot offer special vacuum-compatible versions. Eegarding the strain gauge feedback, it is not recommended to wire two gauges in parallel, as it would not be possible to get a stable feedback from such a system. However, you could use use one strain gage and have one piezo act as the closed feedback loop and the other stack as a slave. I will contact you directly for further support.
hadmack  (posted 2011-02-23 23:31:35.0)
Are these piezo stacks vacuum compatible? Is it possible to order a vacuum compatible version? Do you offer any smaller piezos with a strain gauge? If I need double the 17um range of the PZS001 I could stack two in series and wire in parallel. But what about the strain gauges? Can these be wired in parallel as well or should I only employ one piezo for half of the total stack and allow this to compensate the linearity of the combined stack? Thanks.
Thorlabs  (posted 2010-12-07 10:13:43.0)
Response from Javier at Thorlabs to qinyanding: The PZS001 uses an AE0505D16F piezo electric actuator. You can click on the "Specs" tab to view all the specs for this item. I will contact you directly in case you have any additional questions.
qinyanding  (posted 2010-12-07 11:05:55.0)
Ive got three PZS001 for my laborary. As I want to do some simulation about the piezo stack together with my application, I need to know all the specifications and parameters about the piezo material. Would you please do me a favor by telling me the material of PZS001, so that I can look its parameters up in our database? Or, if possible, would you please directly send me all the piezo parameters? Thanks!
TechnicalMarketing  (posted 2007-10-17 10:59:32.0)
Thank you for informing us of the difficulties you had when looking for piezo stacks. We have implemented some changes that should make this easier. Please feel free to contact us if you have any further issues.
acable  (posted 2007-10-15 16:39:38.0)
When i searched on "piezo stack" these products didnt come up. I then guessed at the part number and got the search result to send me to the last page for that product (the page that comes up when i click on the part number in the price box). My problem was that i then didnt see a "View Other Products in this Family" link, i had to go out and come through the visual navigation which is a lot of clicks.
technicalmarketing  (posted 2007-09-10 10:35:58.0)
Dear hrglnabi In order to monitor the strain gauge on the PZS001 with the TSG001 you need an amplification circuit. Thorlabs has recently released an AMP001 amplification circuit for this purpose. The AMP001 web presentation has not been completed yet, but information about the product can be found on page 403 of the volume 19 catalog and the part can be purchased by contacting one of our sales representatives. The manual included with the AMP001 includes a circuit schematic detailing how to connect the PZS001 to the TSG001 with the use of the AMP001.
hrglnabi  (posted 2007-09-09 10:37:08.0)
Dear Sir/Madam Is there any documentation that clearly explains how to connect the PZS001 to TSG001. Thanks
norman.lippok  (posted 2007-08-30 22:44:33.0)
How accurate can the AE0505D18 Piezo be employed? How much displacement for 1V...is it 0.15um/V? Whats the smallest displacement for this Piezo? Thank you.

150 Vピエゾアクチュエータ、四角形

  • 四角の断面形状
  • 最大駆動電圧:150 V
  • 長さ公差: ±5 µm
  • 動作温度:-25~110 °C
Item #aInfoDisplacement
(Free Stroke)b
Stack DimensionscResonant
Frequency
(No Load)b,d
Recommended
Preloade
CapacitancefBlocking
Force @ 150 V
PC4WLinfo4.6 µm ± 15%3.5 mm x 4.5 mm x 5.0 mm235 kHz ± 10%<100 N (< 22.5 lbs)60 nF ± 15%250 N (55 lbs)
PC4FLinfo4.6 µm ± 15%5.0 mm x 5.0 mm x 5.0 mm240 kHz ± 10%< 200 N (< 45 lbs)125 nF ± 15%500 N (110 lbs)
PC4QMinfo9.1 µm ± 15%6.5 mm x 6.5 mm x 10.0 mm115 kHz ± 10%< 400 N (< 90 lbs)650 nF ± 15%1000 N (220 lbs)
PC4WMinfo9.5 µm ± 15%3.5 mm x 4.5 mm x 10.0 mm115 kHz ± 10%< 100 N (< 22.5 lbs)180 nF ± 15%250 N (55 lbs)
PC4QQinfo18.0 µm ± 12%6.5 mm x 6.5 mm x 18.0 mm65 kHz ± 10%< 400 N (< 90 lbs)1350 nF ± 15%1000 N (220 lbs)
PC4GQinfo19.0 µm ± 11%8.5 mm x 8.5 mm x 18.0 mm64 kHz ± 10%< 800 N (< 180 lbs)2500 nF ± 15%2000 N (440 lbs)
PC4QRinfo20.0 µm ± 11%6.5 mm x 6.5 mm x 20.0 mm59 kHz ± 10%< 400 N (< 90 lbs)1400 nF ± 15%1000 N (220 lbs)
PC4GRinfo20.0 µm ± 11%8.5 mm x 8.5 mm x 20.0 mm59 kHz ± 10%< 800 N (< 180 lbs)2800 nF ± 15%2000 N (440 lbs)
  • 特記のない限りすべて25 °Cにおける仕様値
  • 負荷なしでの仕様値
  • リード線は含みません。
  • 最大周波数は共振周波数に近い値になりますが、この周波数はピエゾアクチュエータに機械的負荷がかかると変化します。負荷に応じた共振周波数を推定する方法については「取扱い」タブをご覧ください。ピエゾアクチュエータを高い周波数で動作させる場合、オーバーヒートを防ぐため十分な冷却が必要です。
  • プリロードは、構造的な故障の原因となる張力からピエゾを保護するために使用されます。また、慣性によって生じる動的な力を補償するために用いられる場合もあります。変位量は負荷によって変化し、推奨するプリロードの範囲を超えると減少します。可能な限り低いプリロードを選択するのが一般的です。
  • 1 kHz、1 VRMSでの値
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PC4WL Support Documentation
PC4WL共焼成積層型ピエゾアクチュエータ、最大移動量4.6 μm、3.5 mm x 4.5 mm x 5.0 mm
¥9,433
Volume Pricing
Today
PC4FL Support Documentation
PC4FL共焼成積層型ピエゾアクチュエータ、最大移動量4.6 μm、5.0 mm x 5.0 mm x 5.0 mm
¥10,482
Volume Pricing
Today
PC4QM Support Documentation
PC4QM共焼成積層型ピエゾアクチュエータ、最大移動量9.1 μm、6.5 mm x 6.5 mm x 10.0 mm
¥18,850
Volume Pricing
Today
PC4WM Support Documentation
PC4WM共焼成積層型ピエゾアクチュエータ、最大移動量9.5 µm、 3.5 mm x 4.5 mm x 10.0 mm
¥11,465
Volume Pricing
Today
PC4QQ Support Documentation
PC4QQ共焼成積層型ピエゾアクチュエータ、最大移動量18.0 µm、6.5 mm x 6.5 mm x 18.0 mm
¥21,424
Volume Pricing
Today
PC4GQ Support Documentation
PC4GQ共焼成積層型ピエゾアクチュエータ、最大移動量19.0 µm、8.5 mm x 8.5 mm x 18.0 mm
¥30,623
Volume Pricing
5-8 Days
PC4QR Support Documentation
PC4QR共焼成積層型ピエゾアクチュエータ、最大移動量20.0 µm、6.5 mm x 6.5 mm x 20.0 mm
¥22,086
Volume Pricing
Today
PC4GR Support Documentation
PC4GR共焼成積層型ピエゾアクチュエータ、最大移動量20.0 µm、8.5 mm x 8.5 mm x 20.0 mm
¥31,721
Volume Pricing
5-8 Days

150 Vピエゾアクチュエータ、四角形、貫通穴付き

  • 四角の断面形状、Ø2.5 mm(直径公差+1.0/-0 mm)の貫通穴付き
  • 最大駆動電圧:150 V
  • 長さ公差:±5 µm
  • 動作温度:-25~110 °C
Item #aInfoDisplacement
(Free Stroke)b
Stack DimensionscResonant
Frequencyb,d
Recommended
Preloade
CapacitancefBlocking
Force @ 150 V
PC4GMH6info9.5 µm ± 15%8.5 mm x 8.5 mm x 10.0 mm107 kHz< 700 N (160 lbs)1.00 µF ± 15%1750 N (400 lbs)
  • 特記のない限り、すべて25 °Cでの値
  • 負荷なしでの仕様値
  • リード線は含みません。
  • 最大周波数は共振周波数に近い値になりますが、この周波数はピエゾアクチュエータに機械的負荷がかかると変化します。負荷に応じた共振周波数を推定する方法については「取扱い」タブをご覧ください。ピエゾアクチュエータを高い周波数で動作させる場合、オーバーヒートを防ぐために十分な冷却が必要です。
  • プリロードは、構造的な故障の原因となる張力からピエゾを保護するために使用されます。また、慣性によって生じる動的な力を補償するために用いられる場合もあります。変位量は負荷によって変化し、推奨するプリロードの範囲を超えると減少します。可能な限り低いプリロードを選択するのが一般的です。
  • 1 kHz、1 VRMSでの値
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PC4GMH6 Support Documentation
PC4GMH6共焼成積層型ピエゾアクチュエータ、Ø2.5 mm貫通穴付き、150 V、移動量9.5 µm、8.5 mm x 8.5 mm x 10.0 mm
¥31,872
Volume Pricing
5-8 Days

150 Vピエゾアクチュエータ、円形

  • 円形の断面形状
  • 最大駆動電圧:150 V
  • 長さ公差: ±5 µm
  • 動作温度:-25~110 °C
Item #aInfoDisplacement
(Free Stroke)b
Stack DimensionscResonant
Frequency
(No Load)b,d
Recommended
Preloade
CapacitancefBlocking Force
@ 150 V
PC4R10Minfo9.5 µm ± 15%Ø11.0 mm x 10.0 mm104 kHz ± 10%<1200 N (270 lbs)1.95 µF ± 15%3000 N (675 lbs)
  • 特記のない限りすべて25 °Cにおける仕様値
  • 負荷なしの仕様値
  • リード線は含みません。
  • 最大周波数は共振周波数に近い値になりますが、この周波数はピエゾアクチュエータに機械的負荷がかかると変化します。負荷に応じた共振周波数を推定する方法については「取扱い」タブをご覧ください。ピエゾアクチュエータを高い周波数で動作させる場合、オーバーヒートを防ぐため十分な冷却が必要です。
  • プリロードは、構造的な故障の原因となる張力からピエゾを保護するために使用されます。また、慣性によって生じる動的な力を補償するために用いられる場合もあります。変位量は負荷によって変化し、推奨するプリロードの範囲を超えると減少します。可能な限り低いプリロードを選択するのが一般的です。
  • 1 kHz、1 VRMSでの値
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PC4R10M Support Documentation
PC4R10M共焼成積層型ピエゾアクチュエータ、最大移動量9.5 µm、Ø11.0 mm x 10.0 mm
¥63,115
Volume Pricing
5-8 Days