Products Homeクイック接続型(アリ溝付き)小型垂直移動ステージ、移動量9 mm、クロスローラーベアリング
- 9 mm Vertical Travel Stage
- Integrated 2" Dovetails for Multi-Axis Construction
- Crossed-Roller Bearings for High Load Capacity and Low Angular Deviation
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XRNV1
Vertical Translation Stage
Application Idea
XRNV1 Stage Mounted on 2" Dovetail Rail for Coarse Linear Positioning
with HRS1015-P01 Retroreflector
Mounted via XRN25-RC2 Adapter
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| Specifications | |
|---|---|
| Bearing Type | Crossed-Roller Bearings |
| Drive Mechanism | Worm-Gear-Driven Lift Screw |
| Travel Range | 9.0 mm (0.35") |
| Working Height Range | 44.0 mm to 53.0 mm (1.73" to 2.08") |
| Adjustment per Knob Revolution | 0.25 mm (0.01") |
| Maximum Drive Resolution | 10 µm (0.0004") |
| Horizontal Load Capacitya | 22.2 N (5.0 lbs) |
| Inverted Load Capacitya | 6.67 N (1.50 lbs) |
| Angular Deviation | < 250 µrad |
| Straightness | < 10 µm |
| Backlash | < 5 µm |
| Spring Preload at 0 mm Travelb | 7.55 N (1.70 lbs) |
| Spring Preload at 13 mm Travelb | 21.73 N (4.89 lbs) |
| Dimensions (Including Base Plate) | 85.0 mm x 51.0 mm x 44.0 mmc (3.35" x 2.36" x 1.73"c) |
| Weight | 0.31 kg (0.68 lbs) |
| Material | Black-Anodized Aluminum |
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垂直移動ステージXRNV1/Mの主な特徴。上側の画像はステージを最も低くした状態、下側の画像はステージを最も高くした状態です。
特長
- 9 mmの垂直移動
- 上部と底部には、XRNシリーズのステージや幅50.7 mmのアリ溝式レールシステムに対応する幅50.7 mmのアリ溝
- 前面プレートには、クイック接続型レールプラットフォームの取付けが可能な幅50.7 mmのアリ溝(オス)
- 上部プレートと前面プレートにはM6およびM4タップ穴
- ステージの高さを示すmm単位の目盛
- コンパクトな設置面積:85.0 mm x 51.0 mm(取外し可能なベースプレートを含む)
- 幅50.7 mmのアリ溝を使用してステージやアクセサリを素早く接続
- コンポーネントの一覧については「クイック接続型ステージ」タブをご覧ください。
垂直移動ステージXRNV1/Mは、高さ44.0 mm～53.0 mmの範囲(調整幅：9.0 mm)で高さ調整ができます。調整ノブの1回転につき、高さが0.25 mm変化します。作業時に手が光路にかからないように、ノブはステージ背面のベース近くに配置されています。ステージの位置(高さ)は、側面にある固定ネジを2 mm六角レンチまたはボール(六角)ドライバで締めて固定します。スチール製クロスローラーベアリングにより精密移動と高耐荷重を実現しています。本体は、内部応力を最小化して安定性を向上させるために、アルミニウム鋳造材(Cast Tool and Jig Aluminum)から加工しています。
ステージの上部プレートには7個のM6 x 1.0取付け穴、さらに前面の垂直面には9個のM6 x 1.0取付け穴があります。 また、上部と側面にはM4 x 0.7タップ穴がそれぞれ4個ずつ付いており、それらによりクランプアームのPM3/MやPM4/M(どちらも別売り、下記参照)をご利用いただけます。ベースプレートには、M6キャップスクリュ用の取付けスロットが4つ付いています。ベースを取り外すとユニット底部のØ12.7 mm(Ø1/2インチ)取付けボスが露出し、それによりステージをベースプレートBA2E/Mまたは回転アダプタXRN-RB/Mに取り付けることができます。
ステージの上部と底部には幅50.7 mmのアリ溝が付いているため、当社のXRNシリーズのクイック接続型直線移動ステージや回転ステージと接続できます。それにより複数のステージを接続して多軸システムを容易に構築することができます。 当社ではさらに機能を追加できるように、幅50.7 mmの様々なアリ溝式レールコンポーネント(レール、レールキャリア、回転アダプタ、幅75.7 mmのアリ溝式コンポーネントへの取付け用アダプタなど)を取り揃えております。クイック接続型コンポーネントのラインナップは「クイック接続型ステージ」タブをご覧ください。
注:固定ネジが締め付けられている状態では、ステージの高さ調整は行わないでください。ステージが損傷したり、仕様を満たさなくなったりする可能性があります。
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手動リニアステージ
手動の移動ステージとして、最大移動量が6 mm以下から50 mmまでのステージをご用意しています。ステージの多くはXY軸やXYZ軸などの多軸構成での注文が可能です。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の手動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかにも、回転ステージ、ピッチ＆ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また、DCサーボモータ、ステッピングモータ、またはダイレクトドライブ技術を用いた電動移動ステージもご用意しています。
クロスローラーベアリングステージ
こちらの直線移動ステージの移動機構には、精密移動、高耐荷重、小角度偏差といった特性を有するクロスローラーベアリングが用いられています。LNRシリーズステージの本体はスチール製、LX、XRNおよびXRシリーズステージの本体はアルミニウム製です。当社ではクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージもご用意しております(下記参照)。
| Crossed-Roller Bearing Stages | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | LNR Series 25 mm Stages | LX Series 25 mm Stages | XRN Series 25 mm Stages | XR Series 25 mm Stages | XR Series 50 mm Stages | LNR Series 50.8 mm Stages |
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| Travel | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 50 mm (1.97") | 50.8 mm (2") |
| Drive Type | Multiple | Micrometer | Micrometer | Micrometer | Micrometer | Multiple |
| Platform Size | 2.34" x 2.36" (59.4 mm x 60.0 mm) | 2.56" x 2.56" (65.0 mm x 65.0 mm) | 2.00" x 3.35" (50.7 mm x 85.0 mm) | 2.98" x 4.33" (75.7 mm x 110.0 mm) | 2.98" x 5.51" (75.7 mm x 140.0 mm) | 3.94" x 3.94" (100.0 mm x 100.0 mm) |
| Possible Axis Configurations | X, XZ, XY, XYZ | X, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, XY, XYZ |
| Additional Details | ||||||
ボールベアリングステージ
こちらの移動ステージでは、精密移動と長寿命を実現するために、硬化スチール製リニアベアリングが用いられています。様々なアクチュエータが付いた製品や、1軸ステージや予め多軸ステージとして構築された製品をご用意しております。
| Ball Bearing Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | MS Series 1/4" Stages | T12 Series 1/2" Stages | MT Series 1/2" Stages | PT Series 1" Stages | LT Series 2" Stages |
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| Travel | 1/4" (6.4 mm) | 1/2" (12.7 mm) | 1/2" (12.7 mm) | 1" (25.4 mm) | 2" (50 mm) |
| Drive Type | Multiple | Thumbscrew | Multiple | Multiple | Differential Micrometer |
| Platform Size | 1.17" x 1.17" (29.7 mm x 29.7 mm) | 0.76" x 0.81" (19.3 mm x 20.6 mm) | 2.40" x 2.41" (61.0 mm x 61.2 mm) | 3.00" x 4.00" (76.2 mm x 101.6 mm) | 3.75" x 3.75" (95.3 mm x 95.3 mm) |
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ |
| Additional Details | |||||
アリ溝式ステージ
これらの小型ステージの移動機構にはアリ溝と送りネジが組み込まれています。一般的な移動制御用に適したステージです。
| Dovetail Stages | |||
|---|---|---|---|
| Product Family | DT Series 1/2" Stages | DTS Series 1" Stages (Vacuum-Compatible Version Available) | DTS Series 2" Stage |
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| Travel | 1/2" (12.7 mm) | 1" (25 mm) | 2" (50 mm) |
| Drive Type | Thumbscrew | Thumbscrew | Thumbscrew |
| Platform Size | 1.00" x 1.00" (25.4 mm x 25.4 mm) | 2.68" x 2.95" (68.0 mm 75.0 mm) | 2.68" x 3.74" (68.0 mm x 95.0 mm) |
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZa | X, XY, XYZ |
| Additional Details | |||
フレクシャーステージ
移動ステージNanoflex™には摩擦の無いフレクシャー機構が用いられており、ベアリングを用いた同様のステージと比較して位置決め性能と分解能が向上しています。ステージの移動は、取付けプラットフォームに取り付けられた連結部の弾性変形(たわみ)によって実現されています。多くのモデルには、微細な位置調整用にピエゾアクチュエータも付属します。
| Flexure Stages | ||||
|---|---|---|---|---|
| Product Family | Nanoflex™ 1.5 mm Stage | Nanoflex™ 5 mm Stages | ||
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| Travel | 1.5 mm (0.06") + 25 µm Piezo | 5 mm (0.20") | 5 mm (0.20") + 20 µm Piezo | |
| Drive Type | Thumbscrew and Piezo Actuator | Differential Micrometer | Differential Micrometer and Open-Loop Piezo Actuator | Differential Micrometer and Closed-Loop Piezo Actuator |
| Platform Size | 1.18" x 1.18" (30.0 mm x 30.0 mm) | 2.95" x 2.95" (75.0 mm x 75.0 mm) | ||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ |
| Additional Details | ||||
垂直移動ステージ
当社では精密移動用のクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージや、高荷重用の長距離垂直移動ステージもご用意しております。
| Vertical Stages | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | XRN Series 9 mm Vertical Stage | XR Series 14 mm Vertical Stage | MVS Series 1/2" Vertical Stage | MVS Series 1" Vertical Stage | VAP Series 4" Vertical Stage | VAP Series 10" Vertical Stage |
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| Travel | 9.0 mm (0.35") | 14.0 mm (0.55") | 1/2" (13.0 mm) | 1" (25.0 mm) | 4" (101.6 mm) | 10" (254 mm) |
| Drive Type | Worm-Gear Driven Lift Screw | Micrometer | Adjuster Knob and Coarse Manual Positioning | |||
| Platform Size | 2.00" x 2.00" (50.7 mm x 50.7 mm) | 2.98" x 2.98" (75.7 mm x 75.7 mm) | 2.36" x 2.36" (60.0 mm x 60.0 mm) | 3.00" x 6.00" (76.2 mm 152.4 mm) | ||
| Additional Details | ||||||
クイック接続用アリ溝
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Figure 107A ステージ底部のメス型アリ溝は他のステージのオス型アリ溝と結合できます。
XR & XRNシリーズのアリ溝付きステージおよびアクセサリ
当社のXRシリーズステージにはクイック接続型のアリ溝が付いており、取付けハードウェアを追加することなく多軸システムを構築できます。1つの固定用クランプの付いた共通のアリ溝機構を有することで、部品の取付け・取外しが素早く簡単にできるだけでなく、それらの直交性も維持されます。
当社の主なクイック接続型アリ溝付き製品は以下の通りです。
- 直線移動ステージ
- 積み重ね可能な1軸ステージ
- 組立て済みの2軸および3軸ステージ
- 回転ステージ
- 360°フラット回転型
- あおり調整(チップ＆チルト)可能なゴニオステージ
- アダプタ
- Z軸アセンブリーキット
- 幅50.7 mmおよび幅75.7 mmのアリ溝同士の平行取付けおよび直交取付け用アダプタ
- レールアクセサリ
- 固定型取付けプラットフォーム
- レールコンポーネント用ポジショナ
- ベースプレートおよびレール
ほとんどの製品はコンパクト型(幅50.7 mmアリ溝)とフルサイズ型(幅75.7 mmアリ溝)の両方をご用意しています。この2つのサイズを接続するためのアダプタもございます。ご提供可能な製品については下の表をご覧ください。
| Linear Translation Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
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| Items | Compact 25 mm Stages | Compact 9 mm Vertical Stage | Full-Size 25 mm Stages (Modular Motorized Also Available) | Full-Size 50 mm Stages | 14 mm Vertical Stage |
| Motion | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | Z (Vertical) | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | Z (Vertical) |
| Quick-Connect Dovetail | 2" Dovetail | 3" Dovetail | |||
| Additional Features |  | | | | |
| Rotation and Goniometric Stages | |||
|---|---|---|---|
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| Items | Compact Rotation Stage | Compact Goniometric Stages | Full-Size Rotation Stage |
| Motion | 360° Rotation | ±8° Tip/Tilt About Fixed Point Above Stage | 360° Rotation |
| Quick-Connect Dovetail | 2" Dovetail | 3" Dovetail | |
| Additional Features | | | |
| Stage Adapters | ||
|---|---|---|
| Z-Axis Assembly Kits |  |  |
| Compact Z-Axis Assembly Kits, 2" Dovetails | Full-Size Z-Axis Assembly Kits, 3" Dovetails | |
| Parallel Mounting Adapters |  |  |
| Parallel Mounting Adapter, Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail | Parallel Mounting Adapter, Male 3" Dovetail to Female 3" Dovetail | |
| Perpendicular Mounting Adapter |  | |
| Perpendicular Mounting Adapter Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail | ||
| Dovetail Accessories | ||
|---|---|---|
| Mounting Platforms |  |  |
| 2" Mounting Platforms | 3" Mounting Platforms | |
| Rail Positioners |  |  |
| 2" Rail Positioners | 3" Rail Positioners | |
| Dovetail Bases | |||
|---|---|---|---|
| Base Plates |  |  | |
| 2" Dovetail Base Plate | 3" Dovetail Base Plate with Rotational Adjustment | ||
| Rails / Extended Bases |  |  | |
| 2" Dovetail Rails | 3" Dovetail Rails | ||
ズーム
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Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)取付けボス
- 取付け面には16個のM6 x 1.0タップ穴と8個のM4 x 0.7タップ穴
- 他のXRNシリーズステージと組み合わせて多軸システムを構築可能
- 幅50.7 mmのアリ溝付きアクセサリに対応
こちらはZ軸の移動ステージで、当社のXRNシリーズのクイック接続型直線移動ステージや回転ステージと接続することができます。ステージの上部プレートと底部プレートには幅50.7 mmのアリ溝があり、それらを用いて他のステージと直接接続できるため、多軸システムを容易に構成できます。さらに、前面に付いている幅50.7 mmのアリ溝を利用して、クイック接続型レールプラットフォームを取付けることもできます。
ベースプレートを取り外すと、ステージ底部のØ12.7 mm(Ø1/2インチ)取付けボスがあらわれます(右の写真参照)。これを用いて、ステージをベースプレートBA2E/Mに取付けて設置面積を小さくしたり、回転アダプタXRN-RB/Mに取付けて角度の粗調整を行ったりすることができます。
ズーム| Mounting Adapter Compatibility | |||
|---|---|---|---|
| Item # | Orientation | Top Component | Bottom Component |
| XRN-A1 | Perpendicular | XRN25 Series XRNV1 Series XRNR1 Series XRNG1 Series | XR25 Series XR50 Series XRR1 Series XRV1 Series |
| XRN-A2 | Parallel | ||
- アダプタXRN-A1：幅50.7 mmのアリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネントの上にそれと直交する向きに取り付けられるようにします。
- アダプタXRN-A2：幅50.7 mmのアリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネントの上にそれと平行な向きに取り付けられるようにします。
- アダプタによりコンポーネントの高さが7.0 mm高くなります。
これらのアダプタを用いると、幅50.7 mmのアリ溝(メス)の付いたクイック接続型のクロスローラーベアリングステージやアクセサリを、幅75.7 mmのアリ溝(オス)の付いたコンポーネントに取り付けることができます。この2つの取付けアダプタは、取付け方向が互いに90°異なる製品です。
組み立てるには、まず上側のステージやアクセサリの端にあるアリ溝の固定ネジを緩めます。次に下側のステージやレールの上にアダプタを取付け、上側のコンポーネントをアダプタの上に適切に配置します。最後に上側のステージやアクセサリの端にあるアリ溝固定ネジを、アセンブリ全体が固定されるまで締め付けます(最大トルク:1.69 N･m)。なお、アダプタの側面の奥深くに付いているネジはお客様ご自身で調整するネジではありませんのでご注意ください。
ズーム
- ステージの取付け面にプリズムやキューブ型光学素子を固定
- ポストの上部と下部にM4 x 0.7ネジ付き
- 小型クランプアームPM3/M
- クランプ下のスペース：最大24.6 mm
- クランプネジはXRNV1/Mの取付け面の中心にきます。
- エクステンションポストPM3SP/Mの使用によりアームの高さが31.4 mm追加されます。
- 大型クランプアームPM4/M
- クランプ下のスペース：最大40.9 mm
- エクステンションポストPM4SP/Mの使用によりアームの高さが50.8 mm追加されます。
当社のクランプアームPM3/MとPM4/Mには、先端がナイロン製の2.0 mm六角止めネジ(セットスクリュ)が付いており、これを用いてプリズムやキューブ型光学素子を上記の垂直移動ステージの取付け面に固定できます。PM3/MおよびPM4/Mのクランプアームの下には、それぞれ最大で24.6 mmおよび40.9 mmのスペース(高さ)を確保できます。 アーム下のスペースは、エクステンションポストPM3SP/MやPM4SP/Mを使用してさらに高くすることができます。これらのエクステンションポストは、クランプアームのセットに含まれているポストと同じものです。
なお、PM3/Mではポストとナイロンチップ付き止めネジの中心間距離が17.5 mmであるため、これを用いた場合だけ止めネジをXRNV1/Mの取付け面の中心に一致させることができます。 PM4/Mの場合は、ポストとナイロンチップ付き止めネジの中心間距離は29.3 mmです。
すべてのクランプアームはフレクシャ機構でポストに保持されますが、これらは2 mmのボール(六角)ドライバや六角レンチを使って固定できます。ポストには貫通穴が付いており、この穴はポストを締め付けるときにトルクを加えるのに利用できます。詳細は上の図面をご覧ください。
垂直移動: 移動量9 mm