ステッピングモーター直線移動ステージ(リニアステージ)：移動量25 mm、クロスローラーベアリング

ソフトウェア

Kinesisバージョン1.14.52

このKinesisソフトウェアパッケージには、当社のKinesisシステムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております。

• 通信プロトコル

Figure 58A  KinesisソフトウェアのGUI画面

当社のKinesisソフトウェアパッケージを用いて、当社の様々なモーションコントローラを駆動することができます。このソフトウェアは小型で低出力のシングルチャンネルドライバ(K-Cube^®など)から、高出力でマルチチャンネルのベンチトップ型ユニットやモジュール型の19インチラックナノポジショニングシステム(ラックシステムMMR60x)まで、当社Kinesisシリーズの様々なモーションコントローラの制御用にご使用いただけます。

Kinesisソフトウェアでは.NETコントロールを使用できるため、最新のC#、Visual Basic、LabVIEW™、あるいはその他の.NET対応言語を使用してカスタムプログラムを作成することができます。.NETフレームワークの使用を想定していないアプリケーションのために、ローレベルのDLLライブラリも含まれています。中央シーケンスマネージャ(Central Sequence Manager)は、当社のすべてのモーションコントロール用ハードウェアの統合と同期の機能をサポートしています。

この共通のソフトウェアプラットフォームにより、ユーザは単一のソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるモーションコントロールデバイスを1つのアプリケーション内で組み合わせて使用することができます。このように1軸システム用から多軸システム用までのあらゆるコントローラを組み合わせ、それら全てを1台のPCの統合されたソフトウェアインターフェイスから制御できます。

このソフトウェアパッケージには2つの使い方があります。1つはGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを用いる方法で、コントローラの到着後すぐに直接的な操作と制御を行なうことができます。もう1つは一連のプログラミングインターフェイスを用いる方法で、ご希望の開発言語によりカスタム仕様の位置決めやアライメント用のプログラムを簡単に作成することができます。

電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC^®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。当社のモジュール式クイック接続型移動ステージXR25シリーズは、同じ原理で動作するピエゾ慣性アクチュエータPIA25で駆動できます。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec^®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。

Piezoelectric Stages
Product Family	ORIC® PDXZ1 Closed-Loop 4.5 mm Vertical Stage	ORIC® PD2 Open-Loop 5 mm Stage	ORIC® PDX2 Closed-Loop 5 mm Stage	ORIC® PDX4 Closed-Loop 12 mm Stage
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Travel	4.5 mm	5 mm		12 mm
Speed	1 mm/s (Typ.)a	10 mm/s (Typ. Max)b	8 mm/s (Typ.)c	15 mm/s (Typ.)a
Drive Type	Piezoelectric Inertia Drive
Possible Axis Configurations	Z	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	45.0 mm x 42.0 mm	13.0 mm x 13.0 mm		13.0 mm x 23.0 mm
Additional Details

• この仕様値は周波数20 kHzの閉ループモードで駆動したときの値です。
• ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube^® KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
• ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時

Piezoelectric Stages
Product Family	ORIC® PD1 Open-Loop 20 mm Stage	ORIC® PD1D Open-Loop 20 mm Monolithic XY Stage	ORIC® PDX1 Closed-Loop 20 mm Stage	ORIC® PD3 Open-Loop 50 mm Stage	Compact Modular XRN25X 25 mm Stage	Modular XR25X 25 mm Stage
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Travel	20 mm			50 mm	25 mm
Speed	3 mm/s (Typ. Max)a		20 mm/s (Typ. Max)b	10 mm/sc	≤3.6 mm/mind	≤3.6 mm/mind
Drive Type	Piezoelectric Inertia Drive
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, YZ, XZ, XYZ
Mounting Surface Size	30.0 mm x 30.0 mm			80.0 mm x 30.0 mm	85.0 mm x 50.7 mm	110.0 mm x 75.7 mm
Additional Details

• 表脚注コントローラK-CubeKIM101使用時
• ベンチトップ型コントローラPDXCまたはPDXC2
• ベンチトップ型コントローラPDXCまたはPDXC2使用時。コントローラK-Cube^® KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージ PD2/Mまたは PD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
• Kinesisで与えられた設定に対して、各デバイスが1方向に移動している間のステップサイズは最大20%変動する可能性があり、また一般にその再現性もありません。開ループ型であるため、コンポーネントのバラツキ、移動方向および使用条件などにより、この変動がさらに大きくなる可能性があります。
• ピエゾ慣性アクチュエータPIA25は、高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適しています。
• 光学式エンコーダENCXR25(別売り)をご使用いただくと、精度10.0 µmでの位置の読み出しが可能になります。

Piezoelectric Stages
Product Family	Nanoflex™ 20 µm Stage with 5 mm Actuator	Nanoflex™ 25 µm Stage with 1.5 mm Actuator	Elliptec® 28 mm Stage	Elliptec® 60 mm Stage	LPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel	20 µm + 5 mm Manual	25 µm + 1.5 mm Manual	28.0 mm	60.0 mm	1.1 mm
Speed	-		180 mm/s (Max)	90 mm/s (Max)	-
Drive Type	Piezo with Manual Actuator		Resonant Piezoelectric Motor		Amplified Piezo
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X		Z
Mounting Surface Size	75.0 mm x 75.0 mm	30.0 mm x 30.0 mm	15.0 mm x 15.0 mm		21.0 mm x 21.0 mm
Additional Details

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。これらのステージの多くは多軸移動機能を有していたり(PLSXY)、あるいは多軸ステージを組み立てることが可能であったりします(PLSX、クイック接続型XR25シリーズ、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。

Stepper Motor Stages
Product Family	MVSN1(/M) 13 mm Vertical Stage	PLS Series 1" Stages	Modular XR25 Series 25 mm Stage	LNR Series 25 mm Stage	LNR Series 50 mm Stage
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Travel	13 mm	1" (25.4 mm)	25 mm	25 mm	50 mm
Maximum Velocity	5.0 mm/s	7.0 mm/s	2.0 mm/s	2.0 mm/s	50 mm/s
Possible Axis Configurations	Z	X, XY	X, XY, YZ, XZ, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	24.5 mm x 50.0 mm	3" x 3" (76.2 mm x 76.2 mm)	110.0 mm x 75.7 mm	60 mm x 60 mm	100 mm x 100 mm
Additional Details

Stepper Motor Stages
Product Family	NRT Series 100 mm Stage	NRT Series 150 mm Stage	LTS Series 150 mm Stage	LTS Series 300 mm Stage	MLJ250 50 mm Vertical Stage
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Travel	100 mm	150 mm	150 mm	300 mm	50 mm
Maximum Velocity	30 mm/s		50 mm/s		3.0 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X, XY, XYZ		Z
Mounting Surface Size	84 mm x 84 mm		100 mm x 90 mm		148 mm x 131 mm
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product Family	MT Series 12 mm Stages	PT Series 25 mm Stages	Compact Modular XNR25X 25 mm Stage	Modular XR25X 25 mm Stage	M30 Series 30 mm Stage	M30 Series 30 mm Monolithic XY Stage
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Travel	12 mm	25 mm	25 mm		30 mm
Max Speed	2.6 mm/s		2.6 mm/sa		2.4 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X, XY, YZ, XZ, XYZ		X, Z	XY, XZ
Mounting Surface Size	61.0 mm x 61.0 mm	101.6 mm x 76.2 mm	85.0 mm x 50.7 mm	110.0 mm x 75.7 mm	115.0 mm x 115.0 mm
Additional Details

• 速度を2.6 mm/sまで上げると、速度リップルや加減速プロファイルの歪みが発生する可能性があります。制御性能を向上させるには、最大速度を2.3 mm/s以下に制限してください。

DC Servo Motor Stages
Product Family	MTS Series 25 mm Stage	MTS Series 50 mm Stage	MTS Series 100 mm Stage	M150 Series 150 mm XY Stage	KVS30 30 mm Vertical Stage
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Travel	25 mm	50 mm	100 mm	150 mm	30 mm
Max Speed	2.4 mm/s			X-Axis: 170 mm/s Y-Axis: 230 mm/s	8.0 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ			XY	Z
Mounting Surface Size	43.0 mm x 43.0 mm			272.4 mm x 272.4 mm	116.2 mm x 116.2 mm
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product Family	DDS Series 50 mm Stage	DDS Series 100 mm Stage	DDS Series 220 mm Stage	DDS Series 300 mm Stage	DDS Series 600 mm Stage
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Travel	50 mm	100 mm	220 mm	300 mm	600 mm
Maximum Velocity	500 mm/s		300 mm/s	400 mm/s	400 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY		X, XY	X	X
Mounting Surface Size	60 mm x 52 mm		88 mm x 88 mm	120 mm x 120 mm
Additional Details