電動直線移動ステージ(リニアステージ)、移動量50 mm、クロスローラーベアリング


  • 50 mm (1.97") of Travel
  • Horizontal Load Capacity of 48 kg (105 lbs)
  • Rigid, Durable, Thermally Matched Steel Construction
  • Available With or Without an Optical Encoder

LNR502E

Optically Encoded Version

LNR502

Standard Version

LNR50P2

LNR50P3

Mounting Adapters Used to
Create an XYZ TravelMax™
Stage Configuration

ENCLNR50

Stage Position Encoder
Attached to LNR502 Stage
(Each Sold Separately)

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Key Specificationsa
Item #LNR502(/M)LNR502E(/M)
Travel Range50 mm (1.97")
Velocity (Max)50 mm/s
Min Achievable Incremental Movementb,c0.05 µm
Min Repeatable Incremental Movementb,c1 µm0.1 µm
Bidirectional Repeatabilityd±3.9 µm±0.75 µm
Backlashe< 6 µm
Horizontal Load Capacity (Max)48 kg (105 lbs)
Vertical Load Capacity (Max)10 kg (22 lbs)
Included ActuatorDRV250 Stepper Motor
Cable Length0.5 m (1.64 ft)
Recommended ControllerAPT™ Stepper Motor Controllers
  • 詳しい仕様については、「仕様」タブをご参照ください。
  • ステージで移動できる最小ステップ量です。
  • コントローラBSC201、BSC202、BSC203を使用した場合
  • 双方向から設定位置に戻る場合の再現性の平均値です。
  • ステージがある位置に移動した後、元の位置に戻す際、親ネジ機構のため移動量が小さくなることがあります。この移動量のズレはバックラッシュと呼ばれています。
Motorized Linear Translation Stages
12 mmStandard
25 mmCompact
Standard
TravelMax™
50 mmCompact
Direct-Drive Servo
TravelMax
Long Travel: 100 mm to 300 mm

特長

  • 移動量:50 mm
  • 頑丈で熱特性が同一のスチール構造と高耐荷重クロスローラーベアリング
  • 可動プラットフォームにはM6タップ穴が13個
  • 台形親ネジ付きのステッピングモータではより汚れが少なく、また摩耗の少ない動作が実現
  • ブレッドボードやXY/XZ/XYZ軸取付用のアダプタもご用意
  • リニアエンコーダ付き、または無しのご提供

移動量50 mmの電動直線移動ステージ(リニアステージ)は、安定な長距離移動かつ高耐荷重の自動ステージが必要な用途向けに設計されています。水平方向の耐荷重は48 kg、垂直方向の耐荷重は10 kgです。ステージの可動プラットフォームにはM6タップ穴が13個あり、標準的なオプトメカニクスが取り付け可能です。

可動プラットフォームにはアライメント用のピン穴が付いているので直交してステージを他のステージと積み重ねたり、アクセサリに接続したりすることができます。頑丈で熱特性が同一のスチール製の構造と高耐荷重クロスローラーベアリングが、精密な動作と長寿命を実現します。

エンコーダ無しの移動ステージLNR502/Mの繰り返し可能な最小移動量は1 µm、双方向再現性は±3.9 µmです。さらに精密な移動が必要な場合にはエンコーダ付きの移動ステージLNR502E/Mもご用意しております。 LNR502/Mにリニアエンコーダを組み合わせたステージで、繰り返し可能な最小移動量は0.1 µm、双方再現性は±0.75 µmと向上します。

エンコーダ(別売り)
光学式エンコーダENCLNR50をエンコーダの付いていない移動ステージLNR502/M(やエンコーダ付きステージLNR502E/M)に取付けることで、1.0 µmの分解能と10.0 µmの確度で位置情報を表示させることができます(単位はミリまたはインチ)。

取付用アダプタならびにステージの組合せ部品
当社ではこれらのステージに様々な部品が柔軟に取り付けられるよう3種類のアダプタープレートをご用意しております。直角ブラケットLNR50P2/MならびにスペーサープレートLNR50P3/Mにより、右手系あるいは左手系のXY、XZ、またはXYZシステムの構築が簡単にできます。ステージとステッピングモーターアクチュエータDRV250が作動する面との干渉を防ぐベースプレートが各ステージに付属します。

付属アクチュエータ
こちらのページの移動ステージにはステッピングモーターアクチュエータDRV250が付属します。微細な位置決めが必要な用途には、ステージのモーターアクチュエータを止める役割を果たす取り外し可能な静的ピンの代わりにピエゾアクチュエータを取り付けることもできます。 標準的なステッピングモーターアクチュエータにピエゾアクチュエータを組み合わせることにより長距離移動と微調整が可能となります。開ループまたは閉ループのピエゾアクチュエータがご提供可能です。どちらも移動量は20 µm~100 µmで、最小分解能は5 nmです。

コントローラの選択
移動ステージLNR502/MならびにLNR502E/Mに付属するステッピングモータには、ステッピングモータ用コントローラBSC201、BSC202、BSC203をお勧めいたします。これらのコントローラは別売りです。

当社では、アクチュエータ内蔵型の電動移動ステージMTS50-Z8もご用意しており、全体のパッケージサイズを小さくできます。

モータの仕様

ParameterValue
Motor TypeDRV250 2-Phase Stepper Motor
Cable Length0.5 m (1.64 ft)
Maximum Pushing Forcea180 N
Microsteps per Revolution409 600
Leadscrew Pitch1.0 mm
Limit SwitchesHall Effect
Maximum Speed50 mm/s
Full Step Angle1.8°
Rated Phase Current0.85 A
Phase Resistance3.6 Ω
Phase Inductance4.6 mH
Holding Torque0.2 N•m
Rotor Inertia24 x 10-7 kg•m2
  • ユニットが適切に機能するにはプリロードが必要です。また荷重を押すためだけに使用してください。引くためには使用しないでください。

ステージの仕様

Item #LNR502(/M)LNR502E(/M)
Translation
Travel Range50 mm (1.97")
Bidirectional Repeatabilitya±3.9 µm±0.75 µm
Unidirectional Repeatability±1.6 µm±0.36 µm
Backlashb< 6 µm
Min Achievable Incremental Movementc,d0.05 µm
Min Repeatable Incremental Movementd,e1 µm0.1 µm
Home Location Accuracy±1.0 µm
Motion Parameters
Velocity (Max)50 mm/s
Velocity Stability±0.4 mm/s
Acceleration (Max)50 mm/s2
Load Capacity
Vertical LoadRecommended: ≤10 kg (22 lbs)
Max: 10 kg (22 lbs)
Horizontal LoadRecommended: ≤25 kg (55 lbs)
Max: 48 kg (105 lbs)
Orthogonality
Pitch0.03° (524 µrad)
Yaw0.015° (262 µrad)
Bidirectional Accuracy35 µm6 µm
Physical
Dimensionsf10.49" x 5.39" x 2.01"
(266.7 mm x 136.8 mm x 51.0 mm)
Weight2.8 kg (6.17 lbs)3.1 kg (6.83 lbs)
  • 双方向から設定位置に戻る場合の再現性の平均値です。
  • ステージがある位置に移動した後、元の位置に戻す際、親ネジ機構のため移動量が小さくなることがあります。この移動量のズレはバックラッシュと呼ばれています。
  • ステージで移動できる最小ステップ量です。
  • コントローラBSC201、BSC202、BSC203を使用した場合
  • ステージが標準誤差内で繰り返し行うことができる最小ステップ量です。
  • アクチュエータDRV250を完全に伸長させたとき

お手持ちのコントローラを電動移動ステージTravelMax™にご使用になるときは、下記をご参照ください。

ステッピングモータアクチュエータDRV250のコネクタピン

Schematic
高密度コネクタDE-15、オス型
PinDescriptionPinDescription
1Limit Grounda9Ident (for Future Use)
2CCW Limit Switch10+5 V
3CW Limit Switch11Reserved for Future Use
4Motor Phase B-12Reserved for Future Use
5Motor Phase B+13+5 V
6Motor Phase A-14Reserved for Future Use
7Motor Phase A+15Ground
8Reserved for Future Use--
  • リミットスイッチの接地ワイヤはモータ本体に接続されています。
Connectors Terminating the Converter Cable
Click to Enlarge

高密度コネクタDE-15、オス型

当社では幅広い種類のモーションコントローラを駆動できるよう、Kinesis® ソフトウェアパッケージと従来のAPT™(Advanced Positioning Technology)ソフトウェアパッケージの2種類のプラットフォームをご用意しております。どちらのパッケージも小型で低出力のシングルチャンネルドライバ(K-Cube™やT-Cube™など)から高出力でマルチチャンネルのモジュール式19インチラックナノポジショニングシステム(APTラックシステム)まで幅広い種類のモーションコントローラをカバーするKinesisシリーズのデバイスを制御できます。

Kinesisソフトウェアには、最新のC#、Visual Basic、LabVIEW™またはその他の.NETに対応する言語を使用してカスタムプログラムを作成するサードパーティの開発者向けに、.NETコントロールが付属しています。また、.NETフレームワークを使用しない用途向けに低級言語用のDLLライブラリも付いています。センターシーケンスマネージャが、当社の全てのモーションコントロールハードウェアの統合と同期をサポートします。

Kinesis Software
KinesisのGUIスクリーン
APT Software
APTのGUIスクリーン

当社従来のAPTシステムソフトウェアプラットフォームは、C#、Visual Basic、LabVIEWまたはその他のActive-Xに対応する言語を使用してカスタムプログラムを作成するサードパーティの開発者向けに、ActiveXをベースとしたコントロールが付属しています。また、ハードウェア無しでカスタムプログラムの開発を行うためのシミュレーターモードも付いています。

これらの共通のソフトウェアプラットフォームにより、あらゆるKinesisとAPTコントローラをシングルアプリケーションに簡単に組み込むことができます。ソフトウェアツールは1セット習得するだけで共通した操作が可能です。シングルチャンネルシステムからマルチチャンネルシステムまで、あらゆるコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが実現可能です。

このソフトウェアパッケージを使用するには2つの手段があります。GUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを使用したコントローラとの直接対話ならびに「out of the box」コントロール、またはご選択の開発言語でカスタム統合の位置決めやアライメントソリューションを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。

APTシステムソフトウェアをよりご理解いただけるために様々なチュートリアルビデオもご用意しております。ビデオではソフトウェアの概要とAPT Configユーティリティをご説明しています。また、ソフトウェアのシミュレーターモードを利用すると、コントローラを接続しないでソフトウェアを試すことができます。その方法を説明したビデオもあります。これらのビデオは「APTチュートリアル」タブ内のリンクからご覧いただけます。

ソフトウェア

Kinesis バージョン 1.14.47

このKinesisソフトウェアパッケージには、当社のKinesisならびにAPT™システムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております:

  • 通信プロトコル
Software Download

ソフトウェア

APT バージョン 3.21.6

このAPTソフトウェアパッケージには、当社のAPT™およびKinesisシステムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております:

  • 通信プロトコル
Software Download

こちらのページでご覧いただくAPTビデオチュートリアルは、付属のATPユーティリティに関する説明と、いくつかのプログラミング環境におけるAPTシステムのプログラミングに関する説明の2つの部分から構成されています。

免責事項:これらの動画は、当初はAdobe Flashによって作成されました。2020年のAdobe Flashのサポート終了後、これらのチュートリアルは再録画されています。各動画の下にはFlash Playerの操作ボタンが見えますが、機能はしません。

APTコントローラには、APTUserユーティリティとAPTConfigユーティリティが付いています。APTUserを用いると、直感的操作が可能なグラフィック制御パネルを介して、APTで制御するハードウェアに素早く簡単に接続することができます。APTConfigは「オフライン」ユーティリティで、メカニカルステージのタイプを事前に選択し、それらを特定のモーションコントローラに対応付けるなど、システム全体のさまざまな設定を行うことができます。

APT Userユーティリティ

下の左側の動画では、APTUserユーティリティの操作概要について説明しています。シングルチャンネルコントローラのOptoDriverは、制御用のPCが無くても前面パネルのコントローラを介して操作できます。前面パネルのコントローラに保存されている操作に関する設定は、APTUserユーティリティを使用して変更することができます。そのプロセスは下の右側の動画でご覧いただけます。

APT User - 概要
APT User - OptoDriverの設定


APT Configユーティリティ

シミュレートされたハードウェア構成のセットアップや、メカニカルステージの特定のモータードライブチャンネルへの対応付けなど、APT Configユーティリティを使用してAPTシステム全体の様々な設定ができます。下の最初の動画ではAPT Configの概要をご覧いただけます。シミュレートされたハードウェア構成の作成方法やステージと対応付ける方法についての詳細は、その右側の2つの動画でご覧いただけます。

APT Config - 概要
APT Config - シミュレータのセットアップ
APT Config - ステージとの対応付け


APTのプログラミング

APTソフトウェアシステムは、ActiveXコントロールのコレクションとして実装されています。ActiveXコントロールは言語に依存しないソフトウェアモジュールで、グラフィカルユーザーインターフェイスとプログラミングインターフェイスの両方を提供します。ハードウェアユニットのタイプごとにActiveXコントロールのタイプがあります。例えば、Motor ActiveXコントロールはすべてのタイプのAPTモーターコントローラ(DCまたはステッパ)の操作に対応します。ActiveXコントロールは多くのWindowsソフトウェア開発環境やソフトウェア言語で直接サポートされており、そのようなコントロールがカスタムアプリケーションに組み込まれると、そこに含まれるすべての機能が即座にアプリケーションで利用できるようになります。下の動画では、LabVIEW、Visual Basic、Visual C++によるAPT ActiveXコントロールの基本的な使用方法について説明しています。これ以外に、LabWindows CVI、C++ Builder、VB.NET、C#.NET、Office VBA、Matlab、HPVEEなどの多数の言語でもActiveXはサポートされています。これらの言語環境についてはチュートリアルのビデオでは特に取り上げていませんが、動画内の考え方の多くは他の言語環境でも適切に使用できます。

Visual Basic

Part 1ではVisual Basicで動作するAPT ActiveXコントロールを設定する方法について説明しており、Part 2では独自の位置決めシーケンスをプログラミングする方法について説明しています。

Visual BasicによるAPTプログラミング:Part 1
Visual BasicによるAPTプログラミング:Part 2


LabVIEW

LabVIEWはActiveXをフルサポートしています。下の一連のチュートリアルビデオでは、APTによる独自のモーションコントロールシーケンスを作製する際の基本的な構成要素を示しています。まずソフトウェア開発中にオンラインヘルプを呼び出す方法をご紹介します。Part 2ではAPT ActiveXコントロールの作成方法をご紹介します。ActiveXコントロールではメソッド(機能)とプロパティ(数値設定)の両方を設定できます。Part 3と4では、ActiveXコントロールで示されたメソッドとプロパティを作成してワイヤで接続する方法をご紹介します。最後に、Part 5では全体をまとめて、独自の移動シーケンスを実行するLabVIEWのプログラム例をご紹介します。

LabVIEWによるAPTプログラミング -
Part 1:オンラインヘルプへのアクセス方法
LabVIEWによるAPTプログラミング -
Part 2:ActiveXコントロールの作成方法
LabVIEWによるAPTプログラミング -
Part 3:ActiveXのメソッドの作成方法
LabVIEWによるAPTプログラミング -
Part 4:ActiveXのプロパティの作成方法
LabVIEWによるAPTプログラミング -
Part 5:ActiveXコントロールの開始方法


下のチュートリアルビデオでは、メソッドおよびプロパティのノードを作成する別の方法について説明しています。

LabVIEWによるAPTプログラミング -
ActiveXメソッドの作成方法(別の方法)
LabVIEWによるAPTプログラミング -
ActiveXプロパティの作成方法(別の方法)


Visual C++

Part 1ではVisualC++で動作するAPT ActiveXコントロールを設定する方法について説明しており、Part 2では独自の位置決めシーケンスをプログラミングする方法について説明しています。

Visual C++によるAPTプログラミング:Part 1
Visual C++によるAPTプログラミング:Part 2


MATLAB

当社のAPTポジショナにMATLABおよびActiveXコントロールを使用する場合は、こちらの資料をご覧ください。

プログラマー向けとして、LabVIEWでAPTソフトウェアをプログラミングする方法もこちらからご覧いただけます。


Posted Comments:
Kresten Yvind  (posted 2021-08-09 07:24:18.253)
I have some old LN50SE stages with a BSC102 controller (which have been idle for many years) which I have started to use in encoder mode. Unfortunately they tend to freeze up (often) and then get very warm. Cycling the power on the controller is needed. Any solution to this? Is it most likely the stages or controller and will new parts be compatible with the older versions?
cwright  (posted 2021-08-09 09:33:08.0)
Response from Charles at Thorlabs: Thank you for your query. This is most likely due to some incorrect setting, such as the encoder constant constant or selected stage. We will reach out to you to discuss which software is being used and how we can narrow down the source of the issue.
Fedor Talantov  (posted 2021-06-15 19:48:14.517)
Does the Horizontal and vertical load capacities apply for the stage being hung upside down? i.e. if a load is suspended from it, rather than placed on top of it?
cwright  (posted 2021-06-21 08:08:56.0)
Response from Charles at Thorlabs: Unfortunately, we have not tested its load capacity in this orientation. With that being said, the vertical load capacity when mounted upside down should be lower than the spec for the upright configuration. The limiting factor is the spring force. When used horizontally, since the bearings are symmetrical and so there is no specification on the bearings for which way is ‘up’, the load capacity should be the same for the conventional orientation vs upside down with a hanging weight.
CHEOL HONG MIN  (posted 2021-01-21 00:17:33.41)
Can APT user (APT driver) program or Micro-manager be installed with window 2000 OS? I'd like to use the LNR502 with win 2000 OS, because of the old school microscope operating application.
cwright  (posted 2021-01-21 10:12:21.0)
Response from Charles at Thorlabs: Thank you for your query. Unfortunately APT was not designed for Windows 2000 OS. I can see from Micromanager's website that they also do not support Windows 2000. You should still be able to communicate with these stages using serial commands listed in the APT communications protocol: https://www.thorlabs.com/Software/Motion%20Control/APT_Communications_Protocol.pdf
wenzel.jakob  (posted 2017-12-08 12:56:50.187)
Can rigid stands (e.g. MP100) be mounted on top of the TravelMax translation stages?
bwood  (posted 2017-12-13 11:15:42.0)
Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your feedback. The counterbored slots (appropriate for both 2" and 50mm hole spacing) of the MP100 match with four of the holes on the LNR50. Therefore I am pleased to say you can mount a rigid stand on an LNR50.
rayotte  (posted 2017-08-25 11:11:50.04)
We have been using the LNR50S for several years. It is beginning to squeal now. Is there a recommended or suggested lubrication and application method available? Thanks.
bwood  (posted 2017-09-05 10:27:26.0)
Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your feedback. There are some ways to lubricate the LNR and attached motor. I will be in direct contact with you to identify the cause of the noise, and the appropriate responce.
Sdm314  (posted 2017-01-19 11:09:31.643)
Is there a minumum velocity for these stages? We are looking for a stage that can reliably move at speeds of 5-100 um/s.
bwood  (posted 2017-01-20 04:10:49.0)
Response from Ben at Thorlabs: The theoretical minimum velocity is that which can be commanded by our motion control software, that velocity range is achievable. However, at low velocities the motion of any 2 -phase stepper motor will become unstable. As you reduce the velocity of the stage, the movement may seem to microscopically ‘stop-start’ depending on the application’s requirements. This is due to the time between motor phases increasing to produce this ultra-low velocity which consequently leads to the motor stalling if there are torque hotspots, where say the pitch of the leadscrew is not perfect. This will vary between each model as at this slow speed any irregularities in the stage are emphasised. This would also be heavily dependent upon the load employed.
ludoangot  (posted 2016-11-17 09:29:32.267)
Ben, thank you. You propose the DDSM50 which I had also considered but from its characteristics (direct drive with no inertia) I understood it is not suitable for z-axis translation (I specified a 600g load on the z-axis). I may be mistaken. How to set up / control the DDSM50 for z-axis translation?
bwood  (posted 2016-11-17 04:23:23.0)
Response from Ben at Thorlabs: Yes, you are correct, direct drive stages are not recommended for z-axis translation. Apologies if my comment caused any confusion. The LNR50S is probably the best option for the specifications you gave, however if you would like to further discuss your requirements it may be more convient if you email me at techsupport.uk@thorlabs.com
ludoangot  (posted 2016-11-10 17:20:30.033)
The LNR50S fits my requirements in terms of velocity, what absolute position accuracy can I expect from this non-encoded version and why isn't this accuracy not specified (it may be because it can't be guaranteed?)? Also, I don't need 50mm travel, 12~20mm is ample, but your other travelMax (LNR25ZFS) has a velocity of only 2mm/s. In the hope of finding a less expensive solution, do you offer a 12~20mm travel motorized stage with at least a 10mm/s velocity and better than 5um position accuracy (load would be about 600g, in the z-axis)?
bwood  (posted 2016-11-11 05:58:22.0)
Response from Ben at Thorlabs:Thank you for your question. We specify the absolute on-axis accuracy for the LNR50S as 10µm. From the specifications you have given, I think another option you may want to consider is the DDSM50. This stage offers up to 500 mm/s velocities, ±5µm accuracy and has a 0.9kg load capacity. It can be found on our website here: https://www.thorlabs.hk/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=8535
christopher.jones  (posted 2016-05-06 15:51:36.013)
Hello. I am interested in the LNR50 series, esp. LNR50SE/M. Do you stock an adapter plate (or combination) to mount these stages onto your X95 rail system? We use the X95 rail system as a gantry and need to support a sensor with z motion off the gantry crossbar.
bwood  (posted 2016-05-09 11:32:28.0)
Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your question. We have many possible mounting solutions available in this circumstance, and we will be in contact with you directly to discuss your options here.
2yongmoon  (posted 2016-04-02 02:38:51.073)
I'm using LNR50S/M with TST101 controller. Since the available power of TST101 is lower than theat of BSC series, sometimes it cause problem at the end of stage(at the maximumly stretched position of spring). But, the steeper actuator(DRV014) make the scarpe of iron at the position, also. So I think it can be solved by smoothing them. So, can I use grease at the part of the contact, or is there some solutions for this problem?
msoulby  (posted 2016-04-07 04:15:25.0)
Response from Mike at Thorlabs: The DRV014 is a larger motor it requires more power to drive the motor therefore the recommended driver for the DRV014 is the BSC20x benchtop stepper controller. If you use the TST101 with the DRV014 then due to the lower output the controller may not be able to supply enough current to drive the stage correctly especially if the stage is loaded. The sound you are hearing is likely the motor stalling due to the TST101 not being able to supply enough current to drive the motor against the load. As there is less torque available then one possible solution would be to significantly reduce the velocity at which you drive the DRV014 with the TST101.
hhj5443  (posted 2014-07-21 12:26:54.54)
Hello. I have a question. I want to do a cyclic test with PDMS. As you know, this linear translation stage's maximum load is 30kg (nearly 300MPa) But 2.3~2.5MPa is enough to stretch the PDMS so I think 300MPa seems to be too large for testing PDMS. So I want to know the minimum load that is sensible.
bhallewell  (posted 2014-07-25 05:57:20.0)
Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your question. The LNR50S range holds no minimum load spec. The stage will function to specification between zero load & the orientation-dependent max load specs outlined.
jjurado  (posted 2011-07-12 16:15:00.0)
Response from Javier at Thorlabs to ax4solid: Thank you for contacting us. You can certainly use LabVIEW to control the LNR50SE/M stage. Our APT software is built on the ActiveX platform, so it can be imported into LabVIEW without the need for drivers. The installation package also contains tutorial videos, a help file with method descriptions, and basic, intermediate, and advanced sample vi's. We also offer a guide for programming the APT software in LabVIEW, which you can find in the BSC101 controller page: http://www.thorlabs.com/NewGroupPage9.cfm?ObjectGroup_ID=1704 (click on the APT Tutorials Tab) I will contact you directly for further support.
ax4solid  (posted 2011-07-12 10:44:44.0)
Good day, I would like to inquire about the mentioned device and the controller. I would like to know if Labview could be used to run the controller and if so, would the SDK be provided for use when purchased. Thank you. cheers. Solomon Idinyang
jens  (posted 2009-12-15 09:21:08.0)
A reply from Jens at Thorlabs: we can customize all of the bundles we show on the web, the price will need to be determined case by case depending on the combination of parts which is required. We will contact you with a quotation right away.
yuhjen_cheng  (posted 2009-12-15 01:41:52.0)
Hello, there, Can you also offer 10% bundle discount per axis for NRT100 series when bought with BSC101-103 (like LNR50S does)? Sincerely, Yuh-Jen Cheng

電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。

Piezoelectric Stages
Product FamilyORIC®
PDXZ1 Closed-Loop
4.5 mm Vertical Stage
ORIC®
PD2 Open-Loop
5 mm Stage
ORIC®
PDX2 Closed-Loop
5 mm Stage
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Travel4.5 mm5 mm
Speed1 mm/s (Typ.)a10 mm/s (Typ. Max)b8 mm/s (Typ.)c
Drive TypePiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
45.0 mm x 42.0 mm13 mm x 13 mm
Additional Details
  • この仕様値は周波数20 kHzの閉ループモードで駆動したときの値です。
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時
Piezoelectric Stages
Product FamilyORIC®
PD1 Open-Loop
20 mm Stage
ORIC®
PD1D Open-Loop
20 mm Monolithic XY Stage
ORIC®
PDX1 Closed-Loop
20 mm Stage
ORIC®
PD3 Open-Loop
50 mm Stage
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Travel20 mm50 mm
Speed3 mm/s (Typ. Max)a20 mm/s (Typ. Max)b10 mm/sc
Drive TypePiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZXY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
30 mm x 30 mm80 mm x 30 mm
Additional Details
  • コントローラK-Cube KIM101使用時
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
Piezoelectric Stages
Product FamilyNanoflex™
20 µm Stage
with 5 mm Actuator
Nanoflex™
25 µm Stage
with 1.5 mm Actuator
Elliptec® 28 mm Stage Elliptec® 60 mm StageLPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel20 µm + 5 mm Manual25 µm + 1.5 mm Manual28 mm60.0 mm1.1 mm
Maximum Velocity-180 mm/s90 mm/s-
Drive TypePiezo with Manual ActuatorResonant Piezoelectric MotorAmplified Piezo
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZXZ
Mounting Surface Size75 mm x 75 mm30 mm x 30 mm15 mm x 15 mm21 mm x 21 mm
Additional Details

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。ステージの多くは多軸構成(PLSXY)や、多軸ステージ(PLSX、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)への組み込みが可能です。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。

Stepper Motor Stages
Product FamilyPLSX with and without PLST(/M) Top Plate
1" Stage
PLSXY with and without PLST(/M) Top Plate
1" Stage
LNR Series
25 mm Stage
LNR Series
50 mm Stage
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Travel1"25 mm50 mm
Maximum Velocity7.0 mm/s2.0 mm/s50 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XYX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
3" x 3"60 mm x 60 mm100 mm x 100 mm
Additional Details

Stepper Motor Stages
Product FamilyNRT Series
100 mm Stage
NRT Series
150 mm Stage
LTS Series
150 mm Stage
LTS Series
300 mm Stage
MLJ250
50 mm Vertical Stage
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Travel100 mm150 mm150 mm300 mm50 mm
Maximum Velocity30 mm/s50 mm/s3.0 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XY, XYZX, XY, XYZZ
Mounting
Surface Size
84 mm x 84 mm100 mm x 90 mm148 mm x 131 mm
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product FamilyMT Series
12 mm Stages
PT Series
25 mm Stages
MTS Series
25 mm Stage
MTS Series
50 mm Stage
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Travel12 mm25 mm25 mm50 mm
Maximum Velocity2.6 mm/s2.4 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
61 mm x 61 mm101.6 mm x 76.2 mm43 mm x 43 mm
Additional Details
DC Servo Motor Stages
Product FamilyM30 Series
30 mm Stage
M30 Series
30 mm Monolithic
XY Stage
M150 Series
150 mm XY Stage
KVS30
30 mm Vertical Stage
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Travel30 mm150 mm30 mm
Maximum Velocity2.4 mm/sX-Axis: 170 mm/s
Y-Axis: 230 mm/s
8.0 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, ZXY, XZXYZ
Mounting
Surface Size
115 mm x 115 mm272.4 mm x 272.4 mm 116.2 mm x 116.2 mm
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product FamilyDDS Series
50 mm Stage
DDS Series
100 mm Stage
DDS Series
220 mm Stage
DDS Series
300 mm Stage
DDS Series
600 mm Stage
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Travel50 mm100 mm220 mm300 mm600 mm
Maximum Velocity500 mm/s300 mm/s400 mm/s400 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XYX, XYXX
Mounting Surface Size60 mm x 52 mm88 mm x 88 mm120 mm x 120 mm
Additional Details
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TravelMax™移動ステージ、エンコーダ無し、移動量50 mm

LNR502/M Drawing
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ミリ規格製品の概略図
LNR502 Drawing
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インチ規格製品の概略図
  • ステッピングモータDRV250の移動量:50 mm
  • ステッピングモータ用コントローラ使用時の繰り返し可能な最小移動量:1 µm
  • 上面にはM6タップ穴13個
  • アクセサリ取り付け時に使用する6本のアライメント用位置決めピンが付属
  • コントローラは別売

移動ステージTravelMax™ LNR502/Mは、長距離移動ならびに高い耐荷重(水平荷重48 kg)を特長としています。熱特性が同一のスチール製なので、温度環境下においても高い安定性を実現します。多種多様なオプトメカニクスのセットアップに対応するため、100.0 mm x 100.0 mmの可動プラットフォーム上には13個のM6タップ穴があります。下記のアダプタを用いることによってほかのLNR502/Mを積み重ね、XY、XZ、ならびにXYZ構成を作ることもできます。

こちらの電動移動ステージにはステッピングモーターアクチュエータDRV250が内蔵されています。コントローラは別途ご購入いただく必要があります。当社ではご使用いただくことにより最適性能と0.05 µmの最小移動量が得られるステッピングモーターコントローラBSC201、BSC202またはBSC203 をお勧めいたします。

アクチュエータDRV250に組み込まれている駆動ケーブルの長さは0.5 mです。当社のベンチトップ型コントローラがお使いいただけるよう長さ3 mのPAA613ケーブルが付属します。交換用ケーブルも別途ご用意しております(下記参照)。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LNR502 Support Documentation
LNR502TravelMax移動ステージ、移動量50 mm、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
¥314,585
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LNR502/M Support Documentation
LNR502/MTravelMax移動ステージ、移動量50 mm、M6タップ穴(ミリ規格)
¥314,585
7-10 Days
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TravelMax™シリーズ移動ステージ、エンコーダ付き、移動量50 mm

LNR502E/M Drawing
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ミリ規格製品の概略図
LNR502E Drawing
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インチ規格製品の概略図
Encoder Specifications
TypeOptical Grating Incremental Encoder
Resolution0.1 µm
Bidirectional Repeatability±0.75 µm
Bidirectional Accuracy6 µm
  • ステッピングモータDRV250の移動量:50 mm
  • ステッピングモータ用コントローラ使用時の繰り返し可能な最小移動量:0.1 µm
  • 上面にはM6タップ穴13個
  • アクセサリ取り付け時に使用する6本のアライメント用位置決めピンが付属
  • コントローラは別売

電動移動ステージTravelMax™ LNR502E/Mは、電動移動ステージLNR502/M(上記参照)にリニアエンコーダを組み合わせることによって繰り返し可能な最小移動量を1 µmから0.1 µmまで、双方向の再現性を±3.9 µmから±0.75 µmまで向上します。絶対的な位置確度に加えて、安定な長距離移動、かつ高い水平荷重48 kgに耐えられる設計となっております。

上記のLNR502/Mと同様、100.0 mm x 100.0 mmの可動プラットフォームには13個のM6タップ穴があります。下記のアダプタを用いることによってほかのLNR502/Mを積み重ね、XY、XZ、ならびにXYZ構成にすることもできます。

リニアエンコーダによる高分解能を十分活用できる専用のソフトウェアが付属します。このソフトウェアを当社の閉ループステッピングモータ用コントローラBSC201、BSC202、またはBSC203と組み合わせることにより、すぐにご使用いただける状態となります。

移動ステージのリニアエンコーダは、駆動回路に必要なフィードバックが行えるよう、ステージの可動プラットフォームに直接取り付けられています。エンコーダによって絶対位置が直接読み取れるので、バックラッシュに関連する機械的な位置の誤差は考慮する必要はありません。

アクチュエータDRV250に組み込まれている駆動ケーブルの長さは0.5 mです。当社のベンチトップ型コントローラがお使いいただけるよう長さ3 mのPAA613ケーブルが付属します。交換用ケーブルも別途ご用意しております(下記参照)。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LNR502E Support Documentation
LNR502ETravelMax移動ステージ、移動量50 mm、エンコーダ付き、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
¥605,739
Lead Time
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LNR502E/M Support Documentation
LNR502E/MTravelMax移動ステージ、移動量50 mm、エンコーダ付き、M6タップ穴(ミリ規格)
¥605,739
7-10 Days
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ステージ用位置エンコーダ

ENCLNR50 Encoder Kit Specifications
On-Axis Accuracy10.0 µm (Typ.)
Repeatability2.0 µm (Typ.)
Resolution1.0 µm
Power/Data Cable (Included)1 m USB Cable,
Type A to Micro-B
Power Supply (Sold Separately)ー*
  • LNR50シリーズステージに取り付け可能な光学式位置エンコーダ
  • ローカルな手動制御とオンボードのディスプレイでの位置読取りが可能
  • USBおよびKinesisソフトウェアを介したリモート制御
  • 長さ1 mのUSBケーブルが付属(電源は別売りです*)

ステージ用位置エンコーダENCLNR50は、当社のLNR50シリーズ移動ステージ用に設計されており、1.0 µmの分解能と10.0 µmの確度で位置情報を表示します(単位はミリまたはインチ)。このモジュールはステージに直接取り付ける光学式エンコーダースケールブラケットと、そのブラケットに取り付ける位置読取り用のアセンブリで構成されています。モジュールへの電源供給はUSB mini-Bコネクタを使用します。キットにはUSBケーブル(A to micro-B、長さ1 m)が付属しますが、電源は別売りです*。USB接続は、電源供給以外に、Kinesisソフトウェアを介してステージの位置を表示したりユニットを制御したりするのに使用されます。当社ではXR50シリーズステージ用位置エンコーダENCXR50、およびXR25シリーズステージ用位置エンコーダENCXR25もご用意しております。

エンコーダは、固定プレートが元々取り付けられていた位置と同じ側面(調整ノブとは反対側)に取り付ける必要があります(右の写真参照)。エンコーダを取り付ける前にまず固定プレートを取り外してください。

*5V2A以上のUSB Type-A出力の電源が必要です。ご不明な点がございましたら当社までお問い合わせください。

エンコーダの取付け方法
Stage with Encoder
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ステージLNR502(/M)に取り付けられたエンコーダENCLNR50
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
ENCLNR50 Support Documentation
ENCLNR50光学式エンコーダーキット、LNR50シリーズステージ用
¥85,102
7-10 Days
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XY取付けアダプタ

XZ Translation Configuration
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View Imperial Product List
型番数量Description
LNR50DD2TravelMaxステージ、移動量50.8 mm、差動アジャスタ付き(インチ規格)
DRV2502ステッピングモーターアクチュエータ、移動量50 mm、台形ネジ
LNR50P31XYアダプタープレート、LNR50 TravelMaxステージ用(インチ規格)
LNR50P41ベースプレート、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(インチ規格)
| View Metric Product List
型番数量Description
LNR50DD/M2TravelMaxステージ、移動量50.8 mm、差動アジャスタ付き(ミリ規格)
DRV2502ステッピングモーターアクチュエータ、移動量50 mm、台形ネジ
LNR50P3/M1XYアダプタープレート、LNR50 TravelMaxステージ用(ミリ規格)
LNR50P4/M1ベースプレート、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(ミリ規格)
LNR50シリーズステージを使用したXY構成
  • XY移動ステージ構成用
  • 位置決めピン穴が直交性を維持(8つの位置決めピンが付属)
  • 寸法(L x W x H):100 mm x 100 mm x 24 mm

XY取付けアダプタLNR50P3/Mは、XY移動ステージの構成のために、直交する2台の移動ステージLNR502/MやLNR502SE/Mの間に必要な間隔を作ります。 アダプタには、M6タップ穴が6つ、位置決めピン穴が4つ、M6キャップスクリュ用のザグリ穴が1つ、Ø7.5 mmの貫通穴が2つあります。 XY構成例については右の写真をご覧ください。 このアセンブリは、取付けアダプタLNR50P3(/M)、ベースプレートLNR50P4(/M)、ならびにLNR50Sシリーズの移動ステージを2つ使用しております。 移動ステージをもう1つと直角ブラケットLNR50P2(/M)(下記参照)をご用意いただければ、XYZ移動ステージを構築することも可能です。ステージとの容易なアライメントのために位置決めピンが付属します。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LNR50P3 Support Documentation
LNR50P3XYアダプタープレート、LNR50 TravelMaxステージ用(インチ規格)
¥9,238
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LNR50P3/M Support Documentation
LNR50P3/MXYアダプタープレート、LNR50 TravelMaxステージ用(ミリ規格)
¥9,238
7-10 Days
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直角ブラケット

3-Axis Stepper Motors
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型番数量Description
LNR50DD3TravelMaxステージ、移動量50.8 mm、差動アジャスタ付き(インチ規格)
DRV2503ステッピングモーターアクチュエータ、移動量50 mm、台形ネジ
LNR50P21直角ブラケット、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(インチ規格)
LNR50P31XYアダプタープレート、LNR50 TravelMaxステージ用(インチ規格)
LNR50P41ベースプレート、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(インチ規格)
| View Metric Product List
型番数量Description
LNR50DD/M3TravelMaxステージ、移動量50.8 mm、差動アジャスタ付き(ミリ規格)
DRV2503ステッピングモーターアクチュエータ、移動量50 mm、台形ネジ
LNR50P2/M1直角ブラケット、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(ミリ規格)
LNR50P3/M1XYアダプタープレート、LNR50 TravelMaxステージ用(ミリ規格)
LNR50P4/M1ベースプレート、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(ミリ規格)
手動アジャスタをアクチュエータDRV250に交換した移動量50 mm、3軸ステージLNR50DD
  • 移動ステージLNR502/MまたはLNR502E/Mを垂直に取付け
  • 位置決めピン穴が直交性を維持(6つの位置決めピンが付属)
  • 寸法(L×W×H):108 mm x 88 mm x 134 mm

LNR50P2/Mはアルマイト加工アルミニウム製の直角ブラケットで、移動ステージLNR502/MまたはLNR502E/Mを垂直に配置します。これによりXZならびにXYZの移動ステージの構築が可能です。

LNR50P2/Mの底部にはM6キャップスクリュ用のザグリ穴が6個あり、LNR50シリーズステージの上部に取り付けたり、光学テーブルに直接取り付けることができます。垂直方向の面には2個のM6タップ穴と8個のØ6.6 mmタップ無し貫通穴があります。

右のXYZ軸のアセンブリには直角ブラケットLNR50P2(/M)、アダプタープレートLNR50P3(/M)、ベースプレートLNR50P4(/M)、ならびに移動ステージLNR502(/M)を3つ使用しております。LNR50P4(/M)とLNR50P3(/M)については上記をご覧ください。ステージのアライメントの補助となるよう、ベースプレート、アダプタープレート、直角ブラケットに位置決めピンが付属しています。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LNR50P2 Support Documentation
LNR50P2直角ブラケット、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(インチ規格)
¥18,506
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LNR50P2/M Support Documentation
LNR50P2/M直角ブラケット、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(ミリ規格)
¥18,506
Today
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ブレッドボードおよび光学テーブル用ベースプレート

LNR50S Mounted on LNR50P1 Base Plate
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型番数量Description
LNR50DD1TravelMaxステージ、移動量50.8 mm、差動アジャスタ付き(インチ規格)
DRV2501ステッピングモーターアクチュエータ、移動量50 mm、台形ネジ
LNR50P41ベースプレート、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(インチ規格)
| View Metric Product List
型番数量Description
LNR50DD/M1TravelMaxステージ、移動量50.8 mm、差動アジャスタ付き(ミリ規格)
DRV2501ステッピングモーターアクチュエータ、移動量50 mm、台形ネジ
LNR50P4/M1ベースプレート、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(ミリ規格)
ベースプレートLNR50P4(/M)に取り付られたステッピングモーターアクチュエータDRV250駆動のLNR50シリーズステージ
  • 上記のステージに付属。別売りでもご用意しております。
  • 移動ステージと作業台の間に隙間を確保
  • 位置決めピン穴が直交性を維持(2つの位置決めピンが付属)
  • アルミニウム合金製

ベースプレートLNR50P4/Mは、上記のステージ LNR502/MならびにLNR502E/Mに付属し、ステッピングモータ付きアクチュエータDRV250使用時にステージと作業台の間に隙間を確保します。LNR50P4/Mには7つのザグリ穴スロットがあります。M6タップ穴2つのペアと位置決めピン用の穴2つのペアを使用することにより、ステージを複数の方向に取り付け、アライメントすることができます。位置決めピンは2つ付属しています。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LNR50P4 Support Documentation
LNR50P4ベースプレート、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(インチ規格)
¥12,031
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
LNR50P4/M Support Documentation
LNR50P4/Mベースプレート、LNR50シリーズTravelMaxステージ用(ミリ規格)
¥12,031
Today
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交換用ケーブル

  • 交換用駆動ケーブル
  • 長さは1 mと3 mをご用意

この駆動ケーブルは、当社の電動式移動ステージLNR50シリーズに付属している駆動ケーブルPAA613の交換用です。このケーブルは当社のステッピングモーターアクチュエータにもお使いいただけます。オス型のケーブル端はコントローラに、メス型はモータに接続します。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PAA612 Support Documentation
PAA612APTステッピングモータ用駆動ケーブル、DA15オス型-DE15メス型、1 m
¥9,482
7-10 Days
PAA613 Support Documentation
PAA613APTステッピングモータ用駆動ケーブル、DA15オス型-DE15メス型、3 m
¥11,352
Today