Products Home / 手動ステージ / 手動式直線移動ステージ(リニアステージ): 移動量25 mm / クイック接続型(アリ溝付き)直線移動ステージ(リニアステージ)、移動量25 mm、クロスローラーベアリングクイック接続型(アリ溝付き)直線移動ステージ(リニアステージ)、移動量25 mm、クロスローラーベアリング
- 25 mm Travel with Metric Micrometers
- Low Angular Deviation and High Load Capacity
- Integrated 3" Dovetails for Multi-Axis Construction
- Side- or End-Mounted Micrometer Options
XR25P
25 mm Stage with Side-Mounted Micrometer
Application Idea
XYZ Stage Using
Three XR25P Stages and
XR25-XZ Assembly Kit
with LP126CU Low-Profile Camera
Attached Using XR25-RC1 Adapter
ENCXR25
Stage Position Encoder
Attached to XR25C Stage
(Each Sold Separately)
Please Wait
| Stage Specifications | |
|---|---|
| Travel | 25 mm |
| XY Stacked Orthogonality | < 25 µrad |
| Angular Deviation | < 150 µrad |
| Platform Size | 4.33" x 2.98" (110.0 mm x 75.7 mm) |
| Mounting Holes | 22 x 1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps |
| Mating Dovetail Width | 3" |
| Horizontal Load Capacity (Max) | 180 lbs (81.9 kg) |
| Vertical Load Capacity (Max)a | 8.8 lbs (4.0 kg) |
| Bearing Type | Crossed Roller Bearings |
| Micrometer Specifications | |
| Micrometer Item # | 150-801ME-H |
| Resolution | 500 µm Per Revolution |
| Travel | 25 mm |
| Micrometer Barrel Size | Ø3/8" (Ø9.5 mm) |
特長
- クロスローラーベアリングにより、高耐荷重と小さな角度偏差を実現
- マイクロメータの搭載位置は次の2種類から選択可能
- ステージのサイドに搭載：コンパクトな設置面積
- ステージ前端のセンターに搭載：調整が容易
- 組み立て済みXYおよびXYZステージ(マイクロメータは側面搭載)もご用意
- 幅75.7 mmのアリ溝を使用してステージやアクセサリを素早く接続
- コンポーネントの一覧については「クイック接続型ステージ」タブをご覧ください。
当社のXR25シリーズ直線移動ステージ(リニアステージ)の移動量は25 mmで、1軸当たりの全移動範囲におけるピッチ方向とヨー方向の偏差は150 µrad未満です。スチール製のクロスローラーベアリングを用いて精密移動と高耐荷重を実現しています。上部および底部プレートは、内部応力を最小化して安定性を向上させるためにアルミニウム鋳造材(Cast Tool and Jig Aluminum)から加工しています。
ステージの上部と底部にはクイック接続型のアリ溝が付いており(下の写真参照)、取付けハードウェアを追加することなく多軸システムを構築できます。ステージの位置は固定プレートで固定できますが、その際は2.0 mm六角レンチまたはボール(六角)ドライバを使用できます。右下の動画で、この仕組みを利用して多軸システムを素早く構築する方法をご覧いただけます。XR25シリーズステージの幅75.7 mmのアリ溝は、当社のXR50シリーズ直線移動ステージとXRR1シリーズ回転ステージのアリ溝に直接取り付けることができます。当社では、電動化するためのアクチュエータやアクチュエータ用マウントが付属していない、モジュール型の直線移動ステージXR25X/Mもご用意しています。
豊富なアクセサリをご用意
多軸アセンブリーキット、位置エンコーダ、レールキャリア、回転アダプタ、レール、移動ステージ用ポジショナークランプ、マイクロメータ位置変換キットなど、豊富なアクセサリをラインナップしており、様々な機能を追加することができます。位置エンコーダ以外のアクセサリは、幅75.7 mmのアリ溝を有するすべてのステージに取り付け可能です。幅50.7 mmのアリ溝付き小型25 mmステージ を、幅75.7 mmのアリ溝付きステージに取り付けるためのアダプタープレートもございます。当社のクイック接続型ステージに関連するコンポーネントについては「クイック接続型ステージ」タブをご覧ください。
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ステージ底部(写真では上側)の幅75.7 mmのメス型アリ溝と、別のステージのオス型アリ溝を結合して、XYステージを構築できます。また、写真左側のメス型アリ溝は後方に引き込めるタイプのクランプアームになっており、これよりステージを適当な位置にはめ込むことができます。
多軸ステージを素早く構築
各ステージの上部プレートと底部プレートには幅75.7 mmのアリ溝が付いているため、多軸システムを素早く構築できます。上部プレートを貫通して挿入するような位置決めピンやネジは必要ありません。従ってXYステージを構築する際に、上のステージに取り付けられたコンポーネントを外す必要がありません。また、上のステージはアリ溝に沿ってどの場所でも固定できるので、粗い位置決めもできます。
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側面のマイクロメータとロッキングプレートを交換すれば、右手系、左手系どちらのステージも構築可能です。
マイクロメータ取り付け位置の変換
左の動画では変換キットXR25-C1を使用して、マイクロメータ位置がセンターにあるステージ(XR25C/MまたはXR50C/M)を、サイドにあるステージ(XR25P/MまたはXR50P/M)に変換する方法をご紹介しています。ステージのサイドのマイクロメータをセンターに変換するには、変換キットXR25-C2を使用してこの方法を逆に行ってください。
注:マイクロメータを取り外す前に、2 mm六角レンチを用いてスチール製のロッキングプレートのトラスヘッドネジを締め付け、ステージを固定します。
マイクロメータの位置を反対側のサイドの取り付ける方法
右の写真のようにロッキングプレートの位置を入れ替える場合は、プレートからトラスヘッドネジを取り外す前に、ネジをマイクロメータを移動範囲の端まで後退させてください。そうしないと、マイクロメータを取り外した際にステージが急激に初期位置に戻って、機構が破損する場合があります。
Video Insight(How-To動画):XR直線移動ステージ(リニアステージ)に電動アクチュエータを取り付ける方法
この動画では、当社のXR直線移動ステージの手動アクチュエータを、リモート操作が可能となる電動アクチュエータに交換する方法のデモがご覧いただけます。交換する際には、電動アクチュエータの移動距離と取付バレルがXR直線移動ステージに適合しているかどうかご確認ください。電動アクチュエータの取付方法の詳細が、こちらでご覧いただけます。
そのほかにも実験室でお使いいただけるヒント、工夫や方法などの動画がこちらからご覧いただけます。また、ウェビナーでは、当社製品を実用的かつ理論的にご紹介しています。
| Posted Comments: | |
Jørgen Thomsen
(posted 2024-10-25 13:39:36.93) Is the bracket included when ordering this? jdelia
(posted 2024-10-25 04:45:49.0) Thank you for contacting Thorlabs. Yes, the XR25-XZ/M consists of a right-angle bracket and a z-axis mounting plate. user
(posted 2023-06-11 21:26:52.363) The Z axis is upside down in all your picture. Can it be mounted rotated for load bearing? In other words, the micrometer is holding the weight, not the spring? cdolbashian
(posted 2023-06-23 01:02:51.0) Thank you for reaching out to us with this inquiry! Within the overview tab, we actually spec the maximum vertical load in terms of the actuator (noting the footnote). When oriented such that the actuator is supporting the vertical load, the max limit is 4kg. Ralph Miller
(posted 2022-07-27 14:53:20.757) Can I get a weight of XR25c/m? jdelia
(posted 2022-07-27 04:19:06.0) Thank you for contacting Thorlabs. The XR25C/M stage weighs .51 kg. For future reference, the weights of our products can be found in the corresponding CAD drawings on our website. Joe Latore
(posted 2021-12-22 04:39:40.957) Can this be fitted with digital readout micrometer, e.g., McMaster Carr 350-351-30 jgreschler
(posted 2021-12-28 11:58:07.0) Thank you for reaching out to Thorlabs. I have reached out to you directly to discuss this further. Brian Fluegel
(posted 2020-05-21 10:52:17.35) Hi,
I'd like to incorporate this into something I'm building. Can you tell me the thread size of the two captive screws? 4-40? I don't see it on the drawing.
Thanks,
Brian YLohia
(posted 2020-05-21 02:21:48.0) Hello Brian, thank you for contacting Thorlabs. The captive screws used in the XR25-C2 are M2.5 x 0.45 x 10mm. YLohia
(posted 2020-05-21 02:21:48.0) Hello Brian, thank you for contacting Thorlabs. The captive screws used in the XR25-C2 are M2.5 x 0.45 x 10mm. Dan Davison
(posted 2020-04-08 15:53:29.06) Please supply a downloadable PDF catalog of ALL your stages and optical equipment so I can use it behind a FireWall (a.k.a Secure site). YLohia
(posted 2020-04-09 10:47:01.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. Unfortunately, we do not supply a downloadable (or hard copy) version of our catalog at the moment. If you need assistance with product selection, please feel free to contact us at techsupport@thorlabs.com or call us at (973) 300-3000. akuznetsov
(posted 2018-02-22 16:17:44.497) It would be good to have 6" long baseplates, sometimes 12" baseplates don't fit in small spaces. YLohia
(posted 2018-03-30 09:27:28.0) Hello, thank you for your feedback and telling us about your needs. We will reach out to you directly regarding the possibility of offering this. We will also go ahead and post this on our internal engineering forum so that we can potentially offer this as a stock part in the future. reparks
(posted 2017-12-16 08:47:52.613) This is the only Thor product that I have been truly disappointed in. When the stages are stacked it is very difficult to read the micrometers. When I went to substitute Mitutoyo digital mics, the standoff clamp is too close to the slide for the micrometer to fit. And when I went to replace the original micrometer the screw thread stripped so I could no longer secure the micrometer. I think the clamp screws are too small for their intended job.
If you would I would like you to send me a new micrometer clamping block so I can restore the function of this stage. I admit that if I had purchased the XR25C this problem would not have arisen but who wants micrometers sticking out in all directions on stacked stages. tfrisch
(posted 2017-12-19 03:14:19.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. I see you have already been in contact with one of our design engineers about the change that lengthened the clamp screw to provide more thread engagement. Furthermore, the digital micrometers would be easiest to read on an end-actuated stage, but as you noted, that isn't compact, so we can discuss alternatives for that as well. |
手動リニアステージ
手動の移動ステージとして、最大移動量が6 mm以下から50 mmまでのステージをご用意しています。ステージの多くはXY軸やXYZ軸などの多軸構成での注文が可能です。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の手動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかにも、回転ステージ、ピッチ＆ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また、DCサーボモータ、ステッピングモータ、またはダイレクトドライブ技術を用いた電動移動ステージもご用意しています。
クロスローラーベアリングステージ
こちらの直線移動ステージの移動機構には、精密移動、高耐荷重、小角度偏差といった特性を有するクロスローラーベアリングが用いられています。LNRシリーズステージの本体はスチール製、LX、XRNおよびXRシリーズステージの本体はアルミニウム製です。当社ではクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージもご用意しております(下記参照)。
| Crossed-Roller Bearing Stages | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | LNR Series 25 mm Stages | LX Series 25 mm Stages | XRN Series 25 mm Stages | XR Series 25 mm Stages | XR Series 50 mm Stages | LNR Series 50.8 mm Stages |
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| Travel | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 50 mm (1.97") | 50.8 mm (2") |
| Drive Type | Multiple | Micrometer | Micrometer | Micrometer | Micrometer | Multiple |
| Platform Size | 2.34" x 2.36" (59.4 mm x 60.0 mm) | 2.56" x 2.56" (65.0 mm x 65.0 mm) | 2.00" x 3.35" (50.7 mm x 85.0 mm) | 2.98" x 4.33" (75.7 mm x 110.0 mm) | 2.98" x 5.51" (75.7 mm x 140.0 mm) | 3.94" x 3.94" (100.0 mm x 100.0 mm) |
| Possible Axis Configurations | X, XZ, XY, XYZ | X, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, XY, XYZ |
| Additional Details | ||||||
ボールベアリングステージ
こちらの移動ステージでは、精密移動と長寿命を実現するために、硬化スチール製リニアベアリングが用いられています。様々なアクチュエータが付いた製品や、1軸ステージや予め多軸ステージとして構築された製品をご用意しております。
| Ball Bearing Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | MS Series 1/4" Stages | T12 Series 1/2" Stages | MT Series 1/2" Stages | PT Series 1" Stages | LT Series 2" Stages |
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| Travel | 1/4" (6.4 mm) | 1/2" (12.7 mm) | 1/2" (12.7 mm) | 1" (25.4 mm) | 2" (50 mm) |
| Drive Type | Multiple | Thumbscrew | Multiple | Multiple | Differential Micrometer |
| Platform Size | 1.17" x 1.17" (29.7 mm x 29.7 mm) | 0.76" x 0.81" (19.3 mm x 20.6 mm) | 2.40" x 2.41" (61.0 mm x 61.2 mm) | 3.00" x 4.00" (76.2 mm x 101.6 mm) | 3.75" x 3.75" (95.3 mm x 95.3 mm) |
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ |
| Additional Details | |||||
アリ溝式ステージ
これらの小型ステージの移動機構にはアリ溝と送りネジが組み込まれています。一般的な移動制御用に適したステージです。
| Dovetail Stages | |||
|---|---|---|---|
| Product Family | DT Series 1/2" Stages | DTS Series 1" Stages (Vacuum-Compatible Version Available) | DTS Series 2" Stage |
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| Travel | 1/2" (12.7 mm) | 1" (25 mm) | 2" (50 mm) |
| Drive Type | Thumbscrew | Thumbscrew | Thumbscrew |
| Platform Size | 1.00" x 1.00" (25.4 mm x 25.4 mm) | 2.68" x 2.95" (68.0 mm 75.0 mm) | 2.68" x 3.74" (68.0 mm x 95.0 mm) |
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZa | X, XY, XYZ |
| Additional Details | |||
フレクシャーステージ
移動ステージNanoflex™には摩擦の無いフレクシャー機構が用いられており、ベアリングを用いた同様のステージと比較して位置決め性能と分解能が向上しています。ステージの移動は、取付けプラットフォームに取り付けられた連結部の弾性変形(たわみ)によって実現されています。多くのモデルには、微細な位置調整用にピエゾアクチュエータも付属します。
| Flexure Stages | ||||
|---|---|---|---|---|
| Product Family | Nanoflex™ 1.5 mm Stage | Nanoflex™ 5 mm Stages | ||
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| Travel | 1.5 mm (0.06") + 25 µm Piezo | 5 mm (0.20") | 5 mm (0.20") + 20 µm Piezo | |
| Drive Type | Thumbscrew and Piezo Actuator | Differential Micrometer | Differential Micrometer and Open-Loop Piezo Actuator | Differential Micrometer and Closed-Loop Piezo Actuator |
| Platform Size | 1.18" x 1.18" (30.0 mm x 30.0 mm) | 2.95" x 2.95" (75.0 mm x 75.0 mm) | ||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ |
| Additional Details | ||||
垂直移動ステージ
当社では精密移動用のクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージや、高荷重用の長距離垂直移動ステージもご用意しております。
| Vertical Stages | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | XRN Series 9 mm Vertical Stage | XR Series 14 mm Vertical Stage | MVS Series 1/2" Vertical Stage | MVS Series 1" Vertical Stage | VAP Series 4" Vertical Stage | VAP Series 10" Vertical Stage |
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| Travel | 9.0 mm (0.35") | 14.0 mm (0.55") | 1/2" (13.0 mm) | 1" (25.0 mm) | 4" (101.6 mm) | 10" (254 mm) |
| Drive Type | Worm-Gear Driven Lift Screw | Micrometer | Adjuster Knob and Coarse Manual Positioning | |||
| Platform Size | 2.00" x 2.00" (50.7 mm x 50.7 mm) | 2.98" x 2.98" (75.7 mm x 75.7 mm) | 2.36" x 2.36" (60.0 mm x 60.0 mm) | 3.00" x 6.00" (76.2 mm 152.4 mm) | ||
| Additional Details | ||||||
クイック接続用アリ溝
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Figure 107A ステージ底部のメス型アリ溝は他のステージのオス型アリ溝と結合できます。
XR & XRNシリーズのアリ溝付きステージおよびアクセサリ
当社のXRシリーズステージにはクイック接続型のアリ溝が付いており、取付けハードウェアを追加することなく多軸システムを構築できます。1つの固定用クランプの付いた共通のアリ溝機構を有することで、部品の取付け・取外しが素早く簡単にできるだけでなく、それらの直交性も維持されます。
当社の主なクイック接続型アリ溝付き製品は以下の通りです。
- 直線移動ステージ
- 積み重ね可能な1軸ステージ
- 組立て済みの2軸および3軸ステージ
- 回転ステージ
- 360°フラット回転型
- あおり調整(チップ＆チルト)可能なゴニオステージ
- アダプタ
- Z軸アセンブリーキット
- 幅50.7 mmおよび幅75.7 mmのアリ溝同士の平行取付けおよび直交取付け用アダプタ
- レールアクセサリ
- 固定型取付けプラットフォーム
- レールコンポーネント用ポジショナ
- ベースプレートおよびレール
ほとんどの製品はコンパクト型(幅50.7 mmアリ溝)とフルサイズ型(幅75.7 mmアリ溝)の両方をご用意しています。この2つのサイズを接続するためのアダプタもございます。ご提供可能な製品については下の表をご覧ください。
| Linear Translation Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
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| Items | Compact 25 mm Stages | Compact 9 mm Vertical Stage | Full-Size 25 mm Stages (Modular Motorized Also Available) | Full-Size 50 mm Stages | 14 mm Vertical Stage |
| Motion | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | Z (Vertical) | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | Z (Vertical) |
| Quick-Connect Dovetail | 2" Dovetail | 3" Dovetail | |||
| Additional Features |  | | | | |
| Rotation and Goniometric Stages | |||
|---|---|---|---|
| Click Photo to Enlarge |  |  |  |
| Items | Compact Rotation Stage | Compact Goniometric Stages | Full-Size Rotation Stage |
| Motion | 360° Rotation | ±8° Tip/Tilt About Fixed Point Above Stage | 360° Rotation |
| Quick-Connect Dovetail | 2" Dovetail | 3" Dovetail | |
| Additional Features | | | |
| Stage Adapters | ||
|---|---|---|
| Z-Axis Assembly Kits |  |  |
| Compact Z-Axis Assembly Kits, 2" Dovetails | Full-Size Z-Axis Assembly Kits, 3" Dovetails | |
| Parallel Mounting Adapters |  |  |
| Parallel Mounting Adapter, Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail | Parallel Mounting Adapter, Male 3" Dovetail to Female 3" Dovetail | |
| Perpendicular Mounting Adapter |  | |
| Perpendicular Mounting Adapter Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail | ||
| Dovetail Accessories | ||
|---|---|---|
| Mounting Platforms |  |  |
| 2" Mounting Platforms | 3" Mounting Platforms | |
| Rail Positioners |  |  |
| 2" Rail Positioners | 3" Rail Positioners | |
| Dovetail Bases | |||
|---|---|---|---|
| Base Plates |  |  | |
| 2" Dovetail Base Plate | 3" Dovetail Base Plate with Rotational Adjustment | ||
| Rails / Extended Bases |  |  | |
| 2" Dovetail Rails | 3" Dovetail Rails | ||
ズーム
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側面のマイクロメータとロッキングプレートの位置は交換可能で、右手系、左手系どちらのステージも構築可能です。詳しくは「マイクロメータ位置の変換」タブをご覧ください。
- マイクロメータ位置：サイドまたはセンター
- 取付け面には深さ7.6 mmのM6ネジ穴(止まり穴)が22個配列
- アリ溝式の固定ネジを使用して多軸ステージを構築可能
- 付属のアリ溝固定用ネジの最大トルク:1.69 N・m
- 下記の幅75.7 mmのアリ溝式ステージに対応
ステージXR25P/MおよびXR25C/Mの移動量は25 mmで、1回転あたりの変位量が500 µmのマイクロメータが、サイドあるいはセンターに搭載されています。マイクロメータの位置がサイドにあるステージは省スペースに適しており、センターにあるステージは調整がしやすくなっております。マイクロメータの端部には2 mmの六角穴がありますが、スペースが制限された環境でも操作が可能です。ステージは側面にあるプレートでロックすることができ、その際は2.0 mm六角レンチを使用します。各ステージの上部プレートにはM6ネジ穴(止まり穴)が配列されています。
ステージは幅75.7 mmのアリ溝を使用して簡単に積み重ね、固定することができます。ステージは、5 mm六角レンチを用いて、アリ溝式ロック機構により固定します。下の表のようにほかの構成の多軸ステージも構築可能です。組み立てる際には、Z軸ステージを下方向に最大限移動させてもほかの部品と衝突しないようにご注意ください。表内のProduct Listをクリックすると、各構成に必要な製品が表示されます。ご希望の場合はそのままカートに製品を追加して、お見積依頼に進んでいただくことも可能です。
マイクロメータの位置をサイドからセンターに、あるいはセンターからサイドに変換するのにご使用いただけるマイクロメータ位置変換キットもご用意しています(下記参照)。
ズーム
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XR25P-K2(/M)はXYZ構成用に予め組み立てられています。
- XYまたはXYZ構成用に組み立てられたXR25Pシリーズステージ
- マイクロメータ位置がサイドのためコンパクトな構成
- 付属のアリ溝固定用ネジの最大トルク:1.69 N・m
XR25Pシリーズステージは、XYおよびXYZ構成用に予め組み立てられています。XYステージXR25P-K1/Mは、XY構成に組み立てられた2つのステージXR25P/Mから成っています。XYZステージXR25P-K2/Mは、アセンブリキットXR25-XZ/Mを使用してXYZ構成用に組み立てられた3つのステージXR25P/Mから成っています。XR25P-K2/Mは下記の多軸ステージアセンブリ用キットを購入して手動で組み立てる必要がありません。
ステージXR25P/Mのサイドにはミリ規格マイクロメータが搭載されており、1回転につき500 µm移動し、全移動量は25 mmです。XR25P/MにはM6タップ穴が配列されています。このマイクロメータは、マイクロメータ取付け用マウントとスチール製のロッキングプレートを付け替えることで、ステージの反対側に移動させることも可能です。詳細については、「マイクロメータ位置の変換」タブをご覧ください。マイクロメータの位置をサイドからセンターに、あるいはセンターからサイドに変換するのにご使用いただけるマイクロメータ位置変換キットもご用意しています(下記参照)。
ズーム
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アセンブリーキットXR25-XZ(/M)を使用してXZステージアセンブリを構築
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アセンブリーキットXR25-YZ(/M)を使用してYZステージアセンブリを構築
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アセンブリーキットXR25-XZ(/M)を使用してXYZステージを構成
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アセンブリーキットXR25-XZ(/M)とベースプレートXR25-B1(/M)(下記参照)を使用して構築したZ軸ステージ
- 直角ブラケットならびにZ軸取付けプレートのキット
- X、Z、XZ、YZ、XYZ軸構成に対応
- 幅75.7 mmアリ溝付きステージに対応
- 付属のアリ溝固定用ネジの最大トルク:1.69 N・m
当社ではXR25またはXR50シリーズステージを互いに垂直に取り付けるためのアセンブリーキットを2種類ご用意しております。アセンブリーキットXR25-XZ/Mには取付けプレートと直角プレートが含まれており、Z軸プラットフォームの取り付け面がX軸ステージの移動方向と平行になるように組み立てることができます(XZ構成)。アセンブリーキットXR25-YZ/Mにも取付けプレートと直角プレートが含まれており、Z軸プラットフォームの取り付け面がY軸ステージの移動方向に対して垂直になるように組み立てることができます(YZ構成)。組み立てる際には、Z軸ステージを下方向に最大限移動させてもほかの部品と衝突しないようにご注意ください。
どちらの構成もXR25またはXR50シリーズステージが2つ必要です。組み合わせは自由でどちらのアセンブリーキットもご使用いただけます。直角ブラケットの1面のメス型アリ溝とXまたはYステージのタップ穴付きプラットフォームのオス型アリ溝を結合し、直角ブラケットのもう1面のアリ溝とZ軸ステージのタップ穴付きプラットフォームのオス型アリ溝を結合します。Z軸ステージにはXR25-XZ/MまたはXR25-YZ/Mのタップ穴付きの取付けプレートを取り付けます。取り付けにはプレートのオス型アリ溝とステージのメス型アリ溝を結合します(右の写真参照)。Z軸ステージをこの方法で取り付けることにより、マイクロメータが重力や内部のバネの力に対抗しています。
各アセンブリーキットに付属する取付けプレートのM6 x 1.0タップ穴の配列はステージの上部プレートの穴の配列と同じです。取付けプレートの背面にはさらに2つのM4ザグリ穴が付いており、M4タップ穴付きのオプトメカニクス部品を直接取り付けることができます。なお、部品は取付けプレートをステージに固定する前にM4キャップスクリュで取り付ける必要があります。
Z軸ステージの構成
Z軸のみの移動ステージを構築する場合、直角ブラケットXR25-XZ/MまたはXR25-YZ/Mのどちらかを直接ベースプレートXR25-B1/M(下記参照)に固定します(右図参照)。
X軸ステージの構成
Z軸ステージの構成にX軸移動ステージを垂直方向に取り付ける場合、直角ブラケットXR25-XZ/Mをご使用いただけます。右の写真のようにX軸ステージを直角ブラケットXR25-XZ(/M)に固定し、直角ブラケットを直接ベースプレートXR25-B1/M(下記参照)に固定します。
XYZ構成
XYZ構成を構築するには、まず上の「Sample Multi-Axis Configuration」表内の写真のようなXYステージを構築します。その後、アセンブリーキットXR25-YZ/MでZ軸ステージを追加します。XYZ構成にはアセンブリーキットXR25-XZ/Mも使用可能です。XR25-YZ/Mを使用したXYZ構成と同じように構築できますが、X軸ステージとY軸ステージの位置が換わります。アセンブリーキットXR25-XZ/Mを使用して構築されたXYZ構成は右の写真でご覧いただけます。
ズーム| ENCXR25 Encoder Kit Specifications | |
|---|---|
| On-Axis Accuracy | 5.0 µm (Typ.) |
| Repeatability | 2.0 µm (Typ.) |
| Resolution | 1.0 µm |
| Power/Data Cable (Included) | 1 m USB Cable, Type A to Micro-B |
| Power Supply (Sold Separately) | ー* |
- XR25シリーズステージに取り付け可能な光学式位置エンコーダ
- ローカルな手動制御とオンボードのディスプレイによる位置の読取りが可能
- USBおよびKinesisソフトウェアを介してリモート制御が可能
- 長さ1 mのUSBケーブルが付属(電源別売*)
ステージ位置エンコーダENCXR25は当社のXR25シリーズの移動ステージ用に設計されており、1.0 µmの分解能と5.0 µmの正確さで位置情報を表示できます(単位はmmまたはインチ)。このモジュールはステージに直接取り付ける光学式エンコーダースケールブラケットと、そのブラケットに取り付ける位置リーダーアセンブリで構成されています(下の動画参照)。モジュールへの電源供給はUSB mini-Bコネクタから行われます。キットにはUSBケーブル(A型-Micro B型、長さ1 m)が付属しますが、電源は別売りです*。このUSB接続は、電源供給以外に、Kinesisソフトウェアを介してステージの位置を表示したりユニットを制御したりするのに使用されます。当社では、XR50シリーズステージ用の位置エンコーダENCXR50もご用意しております。
エンコーダは、ステージのロックプレートが取り付けられていた面と同じ面に、すなわちアリ溝クランプネジが付いているステージ後端側から見て左側の面に取り付ける必要があります(下の動画と写真参照)。まず初めにロックプレートを取り外してから、動画や写真のようにマイクロメータを取り付けてください。
*5V2A以上のUSB Type-A出力の電源が必要です。ご不明な点がございましたら当社までお問い合わせください。
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XR25シリーズステージに取り付けられたエンコーダENCXR25の拡大写真
ズーム- アダプタXRN-A1：幅50.7 mmのアリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネントの上側に直交方向に取り付けられるようにします。
- アダプタXRN-A2：幅50.7 mmのアリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネントの上側に平行に取り付けられるようにします。
- アダプタXR25-A2：幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネント同士を、平行に取り付けられるようにします。
- アダプタによりコンポーネントの位置が7.0 mm高くなります。
こちらのアダプタは、当社の着脱が容易なクロスローラーベアリングステージに対して、下の写真のようにさらに取付け機能を追加するものです。アダプタXRN-A1を用いると、幅50.7 mmのメス型アリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのオス型アリ溝付きコンポーネントに直交する方向に取り付けることができます。またアダプタXRN-A2を用いると、それらのコンポーネントを平行に取り付けることができます。アダプタXR25-A2を用いると、幅75.7 mmのコンポーネント同士を平行に取り付けることができます。下の右端の写真のように構成すると、レールに沿った移動と、取り付けられたステージの移動を平行にすることができます。
組み立てるときは、まず上側に載せるステージやアクセサリの端にあるアリ溝の固定ネジを緩めます。次に、下の写真に示すように、下側のステージまたはレールの上にアダプタを取り付け、そのアダプタに対して上側のコンポーネントの位置を合わせます。最後に、上側のコンポーネントやアクセサリの端にあるアリ溝固定ネジを、アセンブリ全体が固定されるまで締め付けます(最大トルク:1.69 N･m)。なお、アダプタ側面の奥深くに付いているネジは、お客様ご自身で調整するネジではありませんのでご注意ください。
| Mounting Adapter Compatibility | |||
|---|---|---|---|
| Item # | Orientation | Top Component | Bottom Component |
| XRN-A1 | Perpendicular | XRN25X Stage XRN25 Series XRNV1 Stage XRNR1 Stage XRNG Series | XR25X Stage XR25 Series XR50 Series XRV1 Stage XRR1 Stage |
| XRN-A2 | Parallel | ||
| XR25-A2 | Parallel | XR25X Stage XR25 Series XR50 Series XRV1 Stage XRR1 Stage | |
ズーム- ステージをテーブルの穴の配列に合わせて粗動回転ならびに粗移動可能
- 直交するオス型アリ溝によりステージを2方向に取り付け
- 幅75.7 mmのアリ溝付きステージに対応
ベースプレートXR25-B1/Mにより、XR25およびXR50シリーズの移動ステージに取り付け機能が追加されます。ベースプレートには直交するオス型アリ溝が2つ付いており、XR25またはXR50シリーズのステージを2方向に取り付けることができます。中央のM6ザグリ穴と円弧状の2つのザグリ穴スロットが、テーブルのM6 x 1.0穴の配列に対する角度の粗調整を可能にします。テーブルの穴配列の方向に合わせてステージを取り付ける場合、ベースプレートの両端にある長さ55.9 mmの長穴スロットにより、テーブルに固定する前のベース位置の粗調整が行えます。
Z軸ステージの構成
Z軸のみの移動ステージを構築する場合、直角ブラケットXR25-XZ/MまたはXR25-YZ/Mのどちらか(上記参照)を直接ベースプレートに固定します。
X軸ステージの構成
Z軸ステージの構成にX軸移動ステージを垂直方向に取り付ける場合、直角ブラケットXR25-XZ/M(上記参照)をご使用いただけます。直角ブラケットXR25-XZ/Mは、ベースプレートXR25-B1/Mに直接固定可能です。
こちらの動画ではベースプレートXR25-B1(/M)をステージのアライメントに
使用する方法をご紹介しています。
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円弧状スロットと中央のザグリ穴が、ベースプレートをテーブルの穴の配列に合わせて回転可能にします。2つの円弧上スロットおよび直交する取付け用のアリ溝により360°の調整ができます。
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XR25-B1(/M)上部で直交するアリ溝がステージを2方向に取り付けます。
ズーム
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XR25-C2を用いて、マイクロメータの位置をサイドからセンターに変換
- XR25およびXR50シリーズステージに対応
- マイクロメータの位置を変換するキット
- XR25-C1:センターからサイドへ
- XR25-C2:サイドからセンターへ
XR25-C1ならびにXR25-C2はマイクロメーターヘッドを取り外し、それぞれステージのサイドまたはセンターに取り付け直します。変換方法の詳細は「マイクロメータ位置の変換」タブでご覧いただけます。
 クロスローラーベアリング機構、アリ溝付き |