可変ビームスプリッター/減衰器、マウント付き

- Continuously Adjust Transmitted Polarized Light
- Available for Laser-Line or Broadband Operation
- SM1 and 30 mm Cage System Compatible
VA5-1064
Laser-Line Variable Beamsplitter for 1064 nm
VA5-PBS252
Broadband Variable Beamsplitter for 690 nm to 1000 nm
Application Idea
Variable Beamsplitter with Ø6 mm Cage Rods and Ø1" Lens Tube

Please Wait
特長
- 1/2波長板とビームスプリッターキューブで構成
- 特定のレーザーライン用または広帯域用に最適化
- Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)レンズチューブと30 mmケージシステムに対応
- Ø12 mm~Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)ポストに取付け可能
- ケージキューブコネクタCM1-CCにより2つのケージキューブを並べて接続可能
当社の可変ビームスプリッタ/光減衰器を用いると、直線偏光ビームの透過強度を連続的に変えることができます。この動作は、まず入射した直線偏光が回転マウント内の1/2波長板で回転します。それに続いて、光が偏光ビームスプリッタでS偏光とP偏光に分岐するため、その分岐比は連続的に変えることができます。このような方法はホログラフィや干渉計でしばしば用いられます。下記の製品は、レーザーライン波長または広帯域の波長において、分岐比を連続的に変えることができます。
これらのビームスプリッタは、当社のØ25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)レンズチューブや30 mmケージシステムを用いて光学系に容易に組み込むことができます。小型の回転マウントに1/2波長板を取り付けているため、ケージロッドを回転マウントと同じ面に取り付けても干渉しません。このマウントを使用して波長板を回転することで、光学系の分岐比を連続的に調整できます。波長板をさらに追加することで、入射ビームポートへの後方反射を防いだり、出射光の偏光を回転させたりすることもできます(「用途」のタブ参照)。
ケージシステムへの取付け
ビームスプリッターキューブは接着剤で中に固定されているため、マウントから取り外すことはできません。ケージキューブは底部のM4タップ穴を用いて光学ポストに取付けることができます。4つの貫通ポートにはSM1ネジが付いており、SM1に対応するレンズチューブや追加の回転マウントCRM05などの取り付けが可能です。ケージキューブコネクタCM1-CCは、その貫通ポートの周囲にある2つのネジ無し穴を使って、複数のケージキューブを並べて接続するのに使用できます。このコネクタはSM1ネジ付きポートを使用している面には取り付けられません。また、マウント付きの可変ビームスプリッタは、右の写真のようにケージロッドとアダプタERSCBを用いて他のケージキューブに接続することも可能です。
その他のケージキューブ
ハイパワー光用の減衰器が必要な場合には、マウント付きハイパワー偏光ビームスプリッターキューブ、 Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)ゼロオーダ1/2波長板、および連続回転マウントCRM05などのM1ネジ付きØ12.7 mm(Ø1/2インチ)回転マウントを使用して、独自の減衰器を構築されることをご検討ください。 別の波長の減衰器も、同様にして構築できます。また、様々なキューブ型の光学素子やプリズムを取り付けられるよう、当社では光学素子が組み込まれていない空のコンパクトな30 mmケージキューブ もご用意しています。 当社の全てのキューブマウント付き光学素子については 「マウント付き光学素子ガイド」タブをご覧ください。
入射ポートのアイソレーション(分離)
通常の可変ビームスプリッタ/減衰器は、1/2波長板を使って直線偏光ビームの偏光を回転させます。ビームスプリッタの界面では、P偏光の光が透過し、S偏光の光は反射します。1/2波長板に適切な回転を与えることで、界面に入射するP偏光とS偏光の光量の割合を決めることができます(図1参照)。
光がビームスプリッタを透過すると、系内の様々な光学部品で反射されます。これらの反射から光源を保護するため、1/4波長板を追加することでシンプルなアイソレータを形成できます。このアイソレーションはビームスプリッタの界面における偏光の透過/反射特性を利用します。入射ポートに光を戻さないために、出射ビームの偏光を90°回転させなければなりません。
図2のように、光がビームスプリッタを出射すると、1/4波長板はP偏光を右回り円偏光に変換します。確実に円偏光にするには、出射光の偏光軸(図2では ビームスプリッターキューブを通して光は直線に伝播)は、ファスト軸もしくはスロー軸に対して45°の角度で1/4波長板に入射する必要があります。これは右上の写真のように、ケージ高精度回転マウントCRM1PT(/M) を使用すると可能になります。
レンズやミラーの前面の反射では、右手から左手に偏光を変換します。図3では、1/4波長板を透過した光は直線偏光に再度変換されます。 この光は最初の偏光子の方向と直角になり、ビームスプリッタの未使用のポートに向かって反射することが重要です。これによって、直線偏光された2つの出射ビームによる被害を防ぐことができます。可変ビームスプリッタ/減衰器の入射ポートを完全に戻り光から保護するには、2枚の1/4波長板の使用が必要になります。出射ビームの各偏光は個々に回転され、処理されます。高出力光のアイソレーション、および、より高いアイソレーションについては当社の光ファイバーアイソレータの製品をご覧ください。
広帯域光の減衰
広帯域可変ビームスプリッタはアクロマティック波長板で直線偏光を回転させるため、アセンブリを透過する光強度の割合を様々な波長に対して調整することができます。ビームは一旦直線偏光が混合した状態になり、それらの偏光成分は偏光ビームスプリッターキューブによって分離されます。理想的な場合には、この直線偏光の混合状態は、アセンブリの動作波長範囲内ですべて同じになります。
しかし、アクロマティック波長板のリターダンスと透過率は、動作波長により変化します。そのため、偏光ビームスプリッターキューブに入射される直線偏光の混合状態は波長によって変化します。広帯域可変ビームスプリッタの動作波長範囲の一部(狭い範囲)を使用する場合は、入射光の波長と要求される分岐比に応じて、波長板の物理的な回転角度を調整いただく必要があります。
アセンブリの動作波長範囲の大部分を含むような広帯域の入射ビームの場合は、この波長板により、波長ごとにそれぞれ若干楕円偏光の状態になります。つまり、入射ビームのスペクトルの波長ごとに偏光の回転角度が異なります。このため、出射される偏光の強度は波長によって変化し、ビームの減衰量は一定ではなくなります。
広帯域可変ビームスプリッタに入射される広帯域ビームが、アクロマティック波長板によって発生する波長依存性の楕円偏光によってどのように影響されるかを見るために、直線偏光の広帯域光源を使用して各ビームスプリッタの動作状態を全動作波長域にわたって調べました。アセンブリの透過光路における最大透過率は、透過偏光軸を入射偏光軸に合わせることで取得しています。透過光路での最小透過率は、上記に対してアクロマティック波長板を90°回転させて取得しています。 結果のグラフからは、キューブの透過率は波長によって変化することが分かります。従って、広帯域ビームでは全波長範囲に渡って一定の減衰量を得ることはできません。 これらのサンプルデータは各ビームスプリッタに対する1つの試験結果を示しており、すべての広帯域可変ビームスプリッタの性能を表しているものではありません。 広帯域ビームに対して、より一定の減衰量を得たい場合には、可変NDフィルタのご使用をご検討ください。
当社の可変ビームスプリッタ/減衰器の損傷閾値データ
Broadband Damage Threshold Specificationsa | ||
---|---|---|
Item # | Damage Threshold | |
VA5-PBS251(/M) | CWb | 350 W/cm at 532 nm, Ø1.000 mm |
Pulsed | 2 J/cm2 at 532 nm, 10 ns, 10 Hz | |
VA5-PBS252(/M) | CWb | 50 W/cm at 810 nm, Ø0.019 mm |
Pulsed | 2 J/cm2 at 810 nm, 10 ns, 10 Hz | |
VA5-PBS253(/M) | CWb,c | 2000 W/cm at 1064 nm, Ø0.018 mm |
Pulsed | 2 J/cm2 at 1064 nm, 10 ns, 10 Hz | |
VA5-PBS254(/M) | CWb,c | 2000 W/cm at 1542 nm, Ø0.033 mm |
Pulsed | 5 J/cm2 at 1542 nm, 10 ns, 10 Hz |
Laser-Line Damage Threshold Specificationsa | ||
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Item # | Damage Threshold | |
VA5-532(/M) | CWb | 100 W/cm (532 nm, Ø1.000 mm) |
Pulsed | 2 J/cm2 (532 nm, 10 ns, 10 Hz, Ø0.470 mm | |
VA5-633(/M) | Pulsed | 2 J/cm2 @ 532 nm, 10 ns, 10 Hz, Ø0.803 mm |
VA5-780(/M) | Pulsed | 2 J/cm2 @ 810 nm, 10 ns, 10 Hz, Ø0.166 mm |
VA5-1064(/M) | CWb | 1.5 kW/cm (1070 nm, Ø1.012 mm) |
Pulsed | 2 J/cm2 (1064 nm, 10 ns, 10 Hz, Ø0.517 mm) | |
VA5-1550(/M) | CWb | 1.5 kW/cm (1540 nm, Ø0.087 mm) |
右の仕様は当社の可変ビームスプリッタ/減衰器の測定値です。
レーザによる損傷閾値について
このチュートリアルでは、レーザ損傷閾値がどのように測定され、使用する用途に適切な光学素子の決定にその値をどのようにご利用いただけるかを総括しています。お客様のアプリケーションにおいて、光学素子を選択する際、光学素子のレーザによる損傷閾値(Laser Induced Damage Threshold :LIDT)を知ることが重要です。光学素子のLIDTはお客様が使用するレーザの種類に大きく依存します。連続(CW)レーザは、通常、吸収(コーティングまたは基板における)によって発生する熱によって損傷を引き起こします。一方、パルスレーザは熱的損傷が起こる前に、光学素子の格子構造から電子が引き剥がされることによって損傷を受けます。ここで示すガイドラインは、室温で新品の光学素子を前提としています(つまり、スクラッチ&ディグ仕様内、表面の汚染がないなど)。光学素子の表面に塵などの粒子が付くと、低い閾値で損傷を受ける可能性があります。そのため、光学素子の表面をきれいで埃のない状態に保つことをお勧めします。光学素子のクリーニングについては「光学素子クリーニングチュートリアル」をご参照ください。
テスト方法
当社のLIDTテストは、ISO/DIS 11254およびISO 21254に準拠しています。
初めに、低パワー/エネルギのビームを光学素子に入射します。その光学素子の10ヶ所に1回ずつ、設定した時間(CW)またはパルス数(決められたprf)、レーザを照射します。レーザを照射した後、倍率約100倍の顕微鏡を用いた検査で確認し、すべての確認できる損傷を調べます。特定のパワー/エネルギで損傷のあった場所の数を記録します。次に、そのパワー/エネルギを増やすか減らすかして、光学素子にさらに10ヶ所レーザを照射します。このプロセスを損傷が観測されるまで繰返します。損傷閾値は、光学素子が損傷に耐える、損傷が起こらない最大のパワー/エネルギになります。1つのミラーBB1-E02の試験結果は以下のようなヒストグラムになります。

上の写真はアルミニウムをコーティングしたミラーでLIDTテストを終えたものです。このテストは、損傷を受ける前のレーザのエネルギは0.43 J/cm2 (1064 nm、10 ns pulse、 10 Hz、Ø1.000 mm)でした。

Example Test Data | |||
---|---|---|---|
Fluence | # of Tested Locations | Locations with Damage | Locations Without Damage |
1.50 J/cm2 | 10 | 0 | 10 |
1.75 J/cm2 | 10 | 0 | 10 |
2.00 J/cm2 | 10 | 0 | 10 |
2.25 J/cm2 | 10 | 1 | 9 |
3.00 J/cm2 | 10 | 1 | 9 |
5.00 J/cm2 | 10 | 9 | 1 |
試験結果によれば、ミラーの損傷閾値は 2.00 J/cm2 (532 nm、10 ns pulse、10 Hz、 Ø0.803 mm)でした。尚、汚れや汚染によって光学素子の損傷閾値は大幅に低減されるため、こちらの試験はクリーンな光学素子で行っています。また、特定のロットのコーティングに対してのみ試験を行った結果ではありますが、当社の損傷閾値の仕様は様々な因子を考慮して、実測した値よりも低めに設定されており、全てのコーティングロットに対して適用されています。
CWレーザと長パルスレーザ
光学素子がCWレーザによって損傷を受けるのは、通常バルク材料がレーザのエネルギを吸収することによって引き起こされる溶解、あるいはAR(反射防止)コーティングのダメージによるものです[1]。1 µsを超える長いパルスレーザについてLIDTを論じる時は、CWレーザと同様に扱うことができます。
パルス長が1 nsと1 µs の間のときは、損傷は吸収、もしくは絶縁破壊のどちらかで発生していると考えることができます(CWとパルスのLIDT両方を調べなければなりません)。吸収は光学素子の固有特性によるものか、表面の不均一性によるものかのどちらかによって起こります。従って、LIDTは製造元の仕様以上の表面の質を有する光学素子にのみ有効です。多くの光学素子は、ハイパワーCWレーザで扱うことができる一方、アクロマティック複レンズのような接合レンズやNDフィルタのような高吸収光学素子は低いCWレーザ損傷閾値になる傾向にあります。このような低い損傷閾値は接着剤や金属コーティングにおける吸収や散乱によるものです。
線形パワー密度におけるLIDTに対するパルス長とスポットサイズ。長パルス~CWでは線形パワー密度はスポットサイズにかかわらず一定です。 このグラフの出典は[1]です。

繰返し周波数(prf)の高いパルスレーザは、光学素子に熱的損傷も引き起こします。この場合は吸収や熱拡散率のような因子が深く関係しており、残念ながらprfの高いレーザが熱的影響によって光学素子に損傷を引き起こす場合の信頼性のあるLIDTを求める方法は確立されておりません。prfの大きいビームでは、平均出力およびピークパワーの両方を等しいCW出力と比較する必要があります。また、非常に透過率の高い材料では、prfが上昇してもLIDTの減少は皆無かそれに近くなります。
ある光学素子の固有のCWレーザの損傷閾値を使う場合には、以下のことを知る必要があります。
- レーザの波長
- ビーム径(1/e2)
- ビームのおおよその強度プロファイル(ガウシアン型など)
- レーザのパワー密度(トータルパワーをビームの強度が1/e2の範囲の面積で割ったもの)
ビームのパワー密度はW/cmの単位で計算します。この条件下では、出力密度はスポットサイズとは無関係になります。つまり、スポットサイズの変化に合わせてLIDTを計算し直す必要がありません(右グラフ参照)。平均線形パワー密度は、下の計算式で算出できます。
ここでは、ビーム強度プロファイルは一定であると仮定しています。次に、ビームがホットスポット、または他の不均一な強度プロファイルの場合を考慮して、おおよその最大パワー密度を計算する必要があります。ご参考までに、ガウシアンビームのときはビームの強度が1/e2の2倍のパワー密度を有します(右下図参照)。
次に、光学素子のLIDTの仕様の最大パワー密度を比較しましょう。損傷閾値の測定波長が光学素子に使用する波長と異なっている場合には、その損傷閾値は適宜補正が必要です。おおよその目安として参考にできるのは、損傷閾値は波長に対して比例関係であるということです。短い波長で使う場合、損傷閾値は低下します(つまり、1310 nmで10 W/cmのLIDTならば、655 nmでは5 W/cmと見積もります)。
この目安は一般的な傾向ですが、LIDTと波長の関係を定量的に示すものではありません。例えば、CW用途では、損傷はコーティングや基板の吸収によってより大きく変化し、必ずしも一般的な傾向通りとはなりません。上記の傾向はLIDT値の目安として参考にしていただけますが、LIDTの仕様波長と異なる場合には当社までお問い合わせください。パワー密度が光学素子の補正済みLIDTよりも小さい場合、この光学素子は目的の用途にご使用いただけます。
当社のウェブ上の損傷閾値の仕様と我々が行った実際の実験の値の間にはある程度の差があります。これはロット間の違いによって発生する誤差を許容するためです。ご要求に応じて、当社は個別の情報やテスト結果の証明書を発行することもできます。損傷解析は、類似した光学素子を用いて行います(お客様の光学素子には損傷は与えません)。試験の費用や所要時間などの詳細は、当社までお問い合わせください。
パルスレーザ
先に述べたように、通常、パルスレーザはCWレーザとは異なるタイプの損傷を光学素子に引き起こします。パルスレーザは損傷を与えるほど光学素子を加熱しませんが、光学素子から電子をひきはがします。残念ながら、お客様のレーザに対して光学素子のLIDTの仕様を照らし合わせることは非常に困難です。パルスレーザのパルス幅に起因する光学素子の損傷には、複数の形態があります。以下の表中のハイライトされた列は当社の仕様のLIDT値が当てはまるパルス幅に対する概要です。
パルス幅が10-9 sより短いパルスについては、当社の仕様のLIDT値と比較することは困難です。この超短パルスでは、多光子アバランシェ電離などのさまざまなメカニクスが損傷機構の主流になります[2]。対照的に、パルス幅が10-7 sと10-4 sの間のパルスは絶縁破壊、または熱的影響により光学素子の損傷を引き起こすと考えられます。これは、光学素子がお客様の用途に適しているかどうかを決定するために、レーザービームに対してCWとパルス両方による損傷閾値を参照しなくてはならないということです。
Pulse Duration | t < 10-9 s | 10-9 < t < 10-7 s | 10-7 < t < 10-4 s | t > 10-4 s |
---|---|---|---|---|
Damage Mechanism | Avalanche Ionization | Dielectric Breakdown | Dielectric Breakdown or Thermal | Thermal |
Relevant Damage Specification | No Comparison (See Above) | Pulsed | Pulsed and CW | CW |
お客様のパルスレーザに対してLIDTを比較する際は、以下のことを確認いただくことが重要です。
エネルギ密度におけるLIDTに対するパルス長&スポットサイズ。短パルスでは、エネルギ密度はスポットサイズにかかわらず一定です。このグラフの出典は[1]です。
- レーザの波長
- ビームのエネルギ密度(トータルエネルギをビームの強度が1/e2の範囲の面積で割ったもの)
- レーザのパルス幅
- パルスの繰返周波数(prf)
- 実際に使用するビーム径(1/e2 )
- ビームのおおよその強度プロファイル(ガウシアン型など)
ビームのエネルギ密度はJ/cm2の単位で計算します。右のグラフは、短パルス光源には、エネルギ密度が適した測定量であることを示しています。この条件下では、エネルギ密度はスポットサイズとは無関係になります。つまり、スポットサイズの変化に合わせてLIDTを計算し直す必要がありません。ここでは、ビーム強度プロファイルは一定であると仮定しています。ここで、ビームがホットスポット、または他の不均一な強度プロファイルの場合を考慮して、おおよその最大パワー密度を計算する必要があります。ご参考までに、ガウシアンビームのときは一般にビームの強度が1/e2のときの2倍のパワー密度を有します。
次に、光学素子のLIDTの仕様と最大エネルギ密度を比較しましょう。損傷閾値の測定波長が光学素子に使用する波長と異なっている場合には、その損傷閾値は適宜補正が必要です[3]。経験則から、損傷閾値は波長に対して以下のような平方根の関係であるということです。短い波長で使う場合、損傷閾値は低下します(例えば、1064 nmで 1 J/cm2のLIDTならば、532 nmでは0.7 J/cm2と計算されます)。
波長を補正したエネルギ密度を得ました。これを以下のステップで使用します。
ビーム径は損傷閾値を比較する時にも重要です。LIDTがJ/cm2の単位で表される場合、スポットサイズとは無関係になりますが、ビームサイズが大きい場合、LIDTの不一致を引き起こす原因でもある不具合が、より明らかになる傾向があります[4]。ここで示されているデータでは、LIDTの測定には<1 mmのビーム径が用いられています。ビーム径が5 mmよりも大きい場合、前述のようにビームのサイズが大きいほど不具合の影響が大きくなるため、LIDT (J/cm2)はビーム径とは無関係にはなりません。
次に、パルス幅について補正します。パルス幅が長くなるほど、より大きなエネルギに光学素子は耐えることができます。パルス幅が1~100 nsの場合の近似式は以下のようになります。
お客様のレーザのパルス幅をもとに、光学素子の補正されたLIDTを計算するのにこの計算式を使います。お客様の最大エネルギ密度が、この補正したエネルギ密度よりも小さい場合、その光学素子はお客様の用途でご使用いただけます。ご注意いただきたい点は、10-9 s と10-7 sの間のパルスにのみこの計算が使えることです。パルス幅が10-7 sと10-4 sの間の場合には、CWのLIDTも調べなければなりません。
当社のウェブ上の損傷閾値の仕様と我々が行った実際の実験の値の間にはある程度の差があります。これはロット間の違いによって発生する誤差を許容するためです。ご要求に応じて、当社では個別のテスト情報やテスト結果の証明書を発行することも可能です。詳細は、当社までお問い合わせください。
[1] R. M. Wood, Optics and Laser Tech. 29, 517 (1998).
[2] Roger M. Wood, Laser-Induced Damage of Optical Materials (Institute of Physics Publishing, Philadelphia, PA, 2003).
[3] C. W. Carr et al., Phys. Rev. Lett. 91, 127402 (2003).
[4] N. Bloembergen, Appl. Opt. 12, 661 (1973).
レーザーシステムが光学素子に損傷を引き起こすかどうか判断するプロセスを説明するために、レーザによって引き起こされる損傷閾値(LIDT)の計算例をいくつかご紹介します。同様の計算を実行したい場合には、右のボタンをクリックしてください。計算ができるスプレッドシートをダウンロードいただけます。ご使用の際には光学素子のLIDTの値と、レーザーシステムの関連パラメータを緑の枠内に入力してください。スプレッドシートでCWならびにパルスの線形パワー密度、ならびにパルスのエネルギ密度を計算できます。これらの値はスケーリング則に基づいて、光学素子のLIDTの調整スケール値を計算するのに用いられます。計算式はガウシアンビームのプロファイルを想定しているため、ほかのビーム形状(均一ビームなど)には補正係数を導入する必要があります。 LIDTのスケーリング則は経験則に基づいていますので、確度は保証されません。なお、光学素子やコーティングに吸収があると、スペクトル領域によってLIDTが著しく低くなる場合があります。LIDTはパルス幅が1ナノ秒(ns)未満の超短パルスには有効ではありません。

Figure 71A ガウシアンビームの最大強度は均一ビームの約2倍です。
CWレーザの例
波長1319 nm、ビーム径(1/e2)10 mm、パワー0.5 Wのガウシアンビームを生成するCWレーザーシステム想定します。このビームの平均線形パワー密度は、全パワーをビーム径で単純に割ると0.5 W/cmとなります。
しかし、ガウシアンビームの最大パワー密度は均一ビームの約2倍です(Figure 71A参照)。従って、システムのより正確な最大線形パワー密度は1 W/cmとなります。
アクロマティック複レンズAC127-030-CのCW LIDTは、1550 nmでテストされて350 W/cmとされています。CWの損傷閾値は通常レーザ光源の波長に直接スケーリングするため、LIDTの調整値は以下のように求められます。
LIDTの調整値は350 W/cm x (1319 nm / 1550 nm) = 298 W/cmと得られ、計算したレーザーシステムのパワー密度よりも大幅に高いため、この複レンズをこの用途に使用しても安全です。
ナノ秒パルスレーザの例:パルス幅が異なる場合のスケーリング
出力が繰返し周波数10 Hz、波長355 nm、エネルギ1 J、パルス幅2 ns、ビーム径(1/e2)1.9 cmのガウシアンビームであるNd:YAGパルスレーザーシステムを想定します。各パルスの平均エネルギ密度は、パルスエネルギをビームの断面積で割って求めます。
上で説明したように、ガウシアンビームの最大エネルギ密度は平均エネルギ密度の約2倍です。よって、このビームの最大エネルギ密度は約0.7 J/cm2です。
このビームのエネルギ密度を、広帯域誘電体ミラーBB1-E01のLIDT 1 J/cm2、そしてNd:YAGレーザーラインミラーNB1-K08のLIDT 3.5 J/cm2と比較します。LIDTの値は両方とも、波長355 nm、パルス幅10 ns、繰返し周波数10 Hzのレーザで計測しました。従って、より短いパルス幅に対する調整を行う必要があります。 1つ前のタブで説明したようにナノ秒パルスシステムのLIDTは、パルス幅の平方根にスケーリングします:
この調整係数により広帯域誘電体ミラーBB1-E01のLIDTは0.45 J/cm2に、Nd:YAGレーザーラインミラーのLIDTは1.6 J/cm2になり、これらをビームの最大エネルギ密度0.7 J/cm2と比較します。広帯域ミラーはレーザによって損傷を受ける可能性があり、より特化されたレーザーラインミラーがこのシステムには適していることが分かります。
ナノ秒パルスレーザの例:波長が異なる場合のスケーリング
波長1064 nm、繰返し周波数2.5 Hz、パルスエネルギ100 mJ、パルス幅10 ns、ビーム径(1/e2)16 mmのレーザ光を、NDフィルタで減衰させるようなパルスレーザーシステムを想定します。これらの数値からガウシアン出力における最大エネルギ密度は0.1 J/cm2になります。Ø25 mm、OD 1.0の反射型NDフィルタ NDUV10Aの損傷閾値は355 nm、10 nsのパルスにおいて0.05 J/cm2で、同様の吸収型フィルタ NE10Aの損傷閾値は532 nm、10 nsのパルスにおいて10 J/cm2です。1つ前のタブで説明したように光学素子のLIDTは、ナノ秒パルス領域では波長の平方根にスケーリングします。
スケーリングによりLIDTの調整値は反射型フィルタでは0.08 J/cm2、吸収型フィルタでは14 J/cm2となります。このケースでは吸収型フィルタが光学損傷を防ぐには適した選択肢となります。
マイクロ秒パルスレーザの例
パルス幅1 µs、パルスエネルギ150 µJ、繰返し周波数50 kHzで、結果的にデューティーサイクルが5%になるレーザーシステムについて考えてみます。このシステムはCWとパルスレーザの間の領域にあり、どちらのメカニズムでも光学素子に損傷を招く可能性があります。レーザーシステムの安全な動作のためにはCWとパルス両方のLIDTをレーザーシステムの特性と比較する必要があります。
この比較的長いパルス幅のレーザが、波長980 nm、ビーム径(1/e2)12.7 mmのガウシアンビームであった場合、線形パワー密度は5.9 W/cm、1パルスのエネルギ密度は1.2 x 10-4 J/cm2となります。これをポリマーゼロオーダ1/4波長板WPQ10E-980のLIDTと比較してみます。CW放射に対するLIDTは810 nmで5 W/cm、10 nsパルスのLIDTは810 nmで5 J/cm2です。前述同様、光学素子のCW LIDTはレーザ波長と線形にスケーリングするので、CWの調整値は980 nmで6 W/cmとなります。一方でパルスのLIDTはレーザ波長の平方根とパルス幅の平方根にスケーリングしますので、1 µsパルスの980 nmでの調整値は55 J/cm2です。光学素子のパルスのLIDTはパルスレーザのエネルギ密度よりはるかに大きいので、個々のパルスが波長板を損傷することはありません。しかしレーザの平均線形パワー密度が大きいため、高出力CWビームのように光学素子に熱的損傷を引き起こす可能性があります。
30 mm ケージキューブマウント付き光学素子セレクションガイド
下表には当社の全ての30 mmケージキューブマウント付き光学素子をリンク付きで掲載しています。16 mmケージキューブマウント付き光学素子については こちらをご確認ください。
30 mm ケージキューブマウント(光学素子無し)セレクションガイド
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Rectangular Dichroic Mirrors and Filters | Empty Compact 30 mm Cage Cube |
Posted Comments: | |
Amir Hen
 (posted 2021-10-10 21:05:43.98) Following your reply to Yachel ben Shalm from the 17th of August - while it is true that you can put the beamsplitter upside-down it poses a different problem that the mounting screw hole is now facing up and there is no convenient way to mount it. YLohia
 (posted 2021-10-11 02:19:23.0) There are a few different options for mounting the beamsplitter cube upside down. Please see the PJ302 Offset Mounting Post Joist. Alternately, you could also use our right angle adapter plates with the Ø1/2" to Ø1/2" Angle Post Clamps: https://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=223. Yachel Ben Shalom
 (posted 2020-08-17 01:30:23.043) We want use this item, but in opposite direction - we need the reflected beam go to the left side, unlike in the picture. Can we flip the direction of the hairsplitter? YLohia
 (posted 2020-08-24 09:55:58.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. You can flip the orientation of the beamsplitter cube upside-down (engraving on the bottom) to reflect the beam to the other direction. Ondrej Novak
 (posted 2019-07-01 15:29:10.23) Dear colleagues,
I would like to kindly ask you whether we can use this beamsplitter to attenuate Coherent Chameleon fs laser. Its about 1.2mm beam, 140fs pulses 80MHz, max 3W on average. Alternatively, we can use the beamsplitter downstream from the beam expander so the beam diamter would be 5mm.
Thank you,
Ondrej YLohia
 (posted 2019-07-02 08:53:07.0) Hello Ondrej, thank you for contacting Thorlabs. Unfortunately, we have not performed damage threshold testing with fs lasers on these optics. Femtosecond sources will have a different damage mechanism than the ns pulses used in our specification, so it’s not straight forward to scale this (2 J/cm^2) number. That being said, we do strongly recommend setting up this attenuator further downstream in your setup at a point when the beam diameter is 5mm to reduce the power density incident on the optic. chenav
 (posted 2018-04-29 23:37:14.533) We would like to install an additional wave plate on the variable beamsplitter, having half-wave plates on two entry ports and using it as a polarization combiner. Can you please confirm that this is doable by purchasing a CRM05 mount and a WPH05ME-780 wave plate? Is there a better approach? Thanks. nbayconich
 (posted 2018-05-01 08:43:38.0) Thank you for contacting Thorlabs. Yes you can attach the CRM05 mount with a WPH05ME-780 wave plate to the SM1 threaded ports of these variable beamsplitters. You could also place an un-mounted half wave plate in the additional CRM05 mount just like the one that is already included with these beamsplitter cubes. I will contact you directly about your application. tanmaybhwmk3
 (posted 2017-08-03 21:29:26.71) Can I use this attenuator to vary the power levels for our high power 532 nm CW laser? The output power is approximately 1.7 Watt and the beam diameter is 2 mm approx. Please verify with the damage threshold. tfrisch
 (posted 2017-08-16 12:41:40.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. While we do not have CW damage threshold testing for this part, we can reach out to you to discuss your application, and if necessary, stock items can be used to make a version with a high power beam splitting cube. chenav
 (posted 2016-12-18 18:03:37.38) These variable beamsplitters are extremely useful and handy. Unfortunately, they have one major design bug: the locking setscrew on the half-wave plate finds itself, more often than not, at the bottom of the cube, making access to it really hard in almost any application (and especially in space-tight setups). tfrisch
 (posted 2016-12-22 05:56:28.0) Hello, thank you for bringing this concern to our attention. I have posted this in our internal engineering forum and will reach out to you directly. umzzangu
 (posted 2016-06-29 10:37:55.75) I puschased 'VA5-1064'model to attenuate CW laser. I wonder damage threshold for CW type for this model. There is a only pulse type damage threshold in webpage.
Is there any calculation that convert pulse type to CW type damage threshold ??
Thanks g.ceglia
 (posted 2014-07-09 17:35:45.883) About VBA05-#####, the wavelengths [nm] are available at 532,633,780,1064,1550. Is it possible to achieve the range of wavelength between 220-230nm?
Thanks jlow
 (posted 2014-08-07 10:41:38.0) Response from Jeremy at Thorlabs: For UV wavelength, we do not have a beamsplitter readily available to make this. Depending on what you require, you should be able to make a similar product from other components. I will contact you directly to discuss about this. liruohong
 (posted 2014-05-12 11:28:59.317) hi, If I used the this Variable Beamsplitter to beamsplit a ~50W 10ns pulsed laser (Nd:Yag 532nm, 10KHz). The diammeter of the beam is about 0.8-1cm. After one hour, I noticed the output beam diameter became smaller and smaller. there is a serious a thermal lens effect mostlikely(With the adaptor your company provide this the beamsplitter cube, the thermal contact of PBS to the post and the metal base is not good). So I took the beamspliiter out of the beamline, and found a ~0.6-0.8 damage spot on splitting surface inside the PBS. Is this normal? besembeson
 (posted 2014-05-15 02:51:49.0) Response from Bweh E at Thorlabs: Thanks for the feedback. That hole is not normal. We would like you to send this back to us for evaluation because it seems very likely the high power has caused some damage to the optic. I will follow up with you via email. sfeldman
 (posted 2014-02-26 09:59:13.4) I am interested in the Variable Beamsplitter/Attenuator. What is the reflectivity vs wavelength for the 780 nm coating? We have a broadband pulse with 50 nm of bandwidth (FWHM) centered at 800 nm, and I was wondering if this product could work for us. jlow
 (posted 2014-02-27 02:55:18.0) Response from Jeremy at Thorlabs: The beamsplitter reflectance should be <0.5% per surface from 620nm to 1000nm. For the wave plate, the reflectance would be <1% from 780nm - 830nm. Please note that the retardance will not be exactly 0.5 wave outside of 780nm. I will send you a graph showing the expected retardance around 780nm. benjamin.r.anderson
 (posted 2013-12-16 13:20:14.313) I am looking into a variably attenuated beam splitter for femtosecond interferometry using a Ti:Sapphire fs laser. Would this product for the 780nm wavelength work? tcohen
 (posted 2014-01-02 04:01:50.0) Response from Tim at Thorlabs: Thanks for contacting us. The first thing to consider is that as the wavelength moves away from 780nm, the retardation will move off of a half wave and so the total control from max/min you have will decrease as you shift off this wavelength. A nominal plot for your reference would be that of the WPH05M-780. The second is the damage threshold. As we work towards adding more damage threshold specifications to our catalog we are starting with the most common parameters, which typically mean a 10ns pulse. fs sources will have a different damage mechanism than the ns pulses used in our specification, so it’s not straight forward to scale this (2J/cm^2) number. I’ve emailed you to discuss your working power, as a calcite polarizer might be more suitable from a damage threshold standpoint. sebastian.kruber
 (posted 2013-10-28 09:35:45.79) Can you offer the VBA05 attenuator for 3µm wavelength? tcohen
 (posted 2013-10-29 13:12:00.0) Response from Tim at Thorlabs: Thank you for your feedback. We’re looking into the development of more IR components but at the moment we don’t have an equivalent to offer. I’ll contact you to discuss your requirements and possible alternatives. user
 (posted 2013-09-11 16:00:39.203) It would be awesome if you sold the parts to this separately, i.e. adapters for cage-mounted polarizing beamsplitters that allow to add a rotation stages to any of the sides as you wish. Many times I have optical setups where I want several waveplates around a PBS. sharrell
 (posted 2013-09-12 09:16:00.0) Response from Sean at Thorlabs: Thank you for your suggestion. We have received other requests for these products to be sold individually, and had added these products to our catalog: http://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=6202. We offer empty cage cubes with rotation mounts in a variety of configurations, as well as the rotation mounts with external SM1 threading that can be attached to any cage cube or lens tube. We will add links between these two webpages today. sharrell
 (posted 2012-11-08 08:23:00.0) Response from Sean at Thorlabs: Thank you for letting us know about the broken links. All of the correct files are now available on the Graphs tab. user
 (posted 2012-11-07 19:46:16.283) FYI: For the variable beamsplitter/attenuator, the excell files for the raw data are all the same (VBA05-532) tcohen
 (posted 2012-04-19 09:37:00.0) Response from Tim at Thorlabs: Thank you for your feedback! This product utilizes a Zero Order Waveplate. We are able to provide customs with different Waveplates including Achromatic Waveplates. I will contact you with more details. emilio.gualda
 (posted 2012-04-19 08:54:53.0) Which kind of wave plates uses this product: zero-order or multiorder?
Could be possible to get it with zero-order waveplate?
Which is then the cost?
I need something like this for a multiphoton microscope working on the 750-900 nm range.
Thank you
Dr. Emilio J. Gualda
Instituto Gulbenkian de Ciencias
Lisboa-Portugal |
ビームスプリッタのセレクションガイド
当社ではビームを強度比や偏光に基づいて分岐する、様々なタイプのビームスプリッタを豊富に取り揃えています。プレート型やキューブ型のビームスプリッタのほか、形状の異なるペリクルや複屈折性結晶を用いた製品もございます。それぞれの特長や用途の比較についてはこちらの概要をご覧ください。ビームスプリッタの多くはマウント付きまたはマウント無しでご提供しています。こちらでは、当社のビームスプリッタの全製品を一覧できます。各種類のMore [+]をクリックすると、ビームスプリッタの種類、波長域、分岐比/消光比、透過率、サイズなどの詳細をご覧いただけます。
プレート型ビームスプリッタ
無偏光ビームスプリッタ、プレート型 |
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偏光ビームスプリッタ、プレート型 |
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キューブ型ビームスプリッタ
無偏光ビームスプリッタ、キューブ型 |
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偏光キューブおよび多面体ビームスプリッタ |
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ペリクルビームスプリッタ
無偏光ビームスプリッタ、ペリクル型 |
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結晶ビームスプリッタ
偏光ビームスプリッタ、結晶型 |
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その他
その他のビームスプリッタ |
---|

Specifications | |||||
---|---|---|---|---|---|
Beamsplitter | |||||
Extinction Ratioa | Tp/Ts > 3000:1 | ||||
Transmitted Wavefront Error | <λ/4 @ 633 nm (rms) | ||||
Surface Quality | 40-20 Scratch-Dig | ||||
Reflectanceb | < 0.25% per Surface | ||||
Wave Plate | |||||
Retardance Accuracy | See Table Below | ||||
Transmitted Wavefront Error | < λ/8 @ 633 nm (rms) | ||||
Surface Quality | 20-10 Scratch-Dig | ||||
Reflectanceb | < 2.00% | ||||
Assembly | |||||
Transmitted Beam Deviationc | ±10 arcmin | ||||
Reflected Beam Deviationc | 90° ± 20 arcmin | ||||
Clear Aperture | Ø10.0 mm |
Wave Plate Specifications by Assembly Item # | ||||
---|---|---|---|---|
VA5-1550(/M) | ||||
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- 設計波長:532、633、780、1064、1550 nm
- ビームスプリッタの消光比> 3000:1
- 反射防止(AR)コーティング:Rabs < 0.25% @ 0° AOI
- ゼロオーダ1/2波長板を使用
レーザーライン用可変ビームスプリッタは、回転マウントに取り付けられたゼロオーダ1/2波長板と、30 mmケージキューブに納められた25.4 mm(1インチ)レーザーライン偏光ビームスプリッターキューブで構成されています。 この組み合わせにより、偏光の透過率(分岐比)を連続的に変えることができます。
ビームスプリッターキューブの斜面には、3000:1以上の消光比が得られるレーザーライン用のビームスプリッターコーティングが施されています。また光の入出射面には、設計波長において1面当たりRabs < 0.25%のARコーティングが施されています。 有効径は光学素子の筐体によりØ10.0 mmに制限されています。
Damage Thresholds | ||||
---|---|---|---|---|
Item # | Design Wavelength | Unmounted | Damage Thresholda | |
532 nm | PBS25-532 | CWb | 100 W/cm at 532 nm, Ø1.000 mm | |
Pulsed | 2 J/cm2 at 532 nm, 10 ns, 10 Hz, Ø0.470 mm | |||
633 nm | PBS25-633 | Pulsed | 2 J/cm2 at 532 nm, 10 ns, 10 Hz, Ø0.803 mm | |
780 nm | PBS25-780 | Pulsed | 2 J/cm2 at 810 nm, 10 ns, 10 Hz, Ø0.166 mm | |
1064 nm | PBS25-1064 | CWb | 1.5 kW/cm at 1070 nm, Ø1.012 mm | |
Pulsed | 2 J/cm2 at 1064 nm, 10 ns,10 Hz, Ø0.517 mm | |||
1550 nm | PBS25-1550 | CWb | 1.5 kW/cm at 1540 nm, Ø0.087 mm |

Specifications | |||||
---|---|---|---|---|---|
Beamsplitter | |||||
Extinction Ratioa | Tp/Ts > 1000:1 | ||||
Transmitted Wavefront Error | < λ/4 @ 633 nm (rms) | ||||
Surface Quality | 40-20 Scratch-Dig | ||||
Reflectanceb | < 0.5% per Surface | ||||
Wave Plate | |||||
Retardance | See Table Below | ||||
Transmitted Wavefront Error | < λ/8 @ 633 nm (rms) | ||||
Surface Quality | 20-10 Scratch-Dig | ||||
Reflectanceb | < 2.00% | ||||
Assembly | |||||
Transmitted Beam Deviationc | ±10 arcmin | ||||
Reflected Beam Deviationc | 90° ± 20 arcmin | ||||
Clear Aperture | Ø10.0 mm |
Wave Plate Specifications by Assembly Item # | |||
---|---|---|---|
![]() | ![]() | ![]() | ![]() |
- 4つの広帯域バンドに最適化:420~680 nm、690~1000 nm、900~1200 nm、1200~1600 nm
- ビームスプリッタの消光比> 1000:1
- 反射防止(AR)コーティング:Ravg < 0.5% @ 0° AOI
- アクロマティック1/2波長板を使用
広帯域可変ビームスプリッタは、回転マウントに取り付けられたアクロマティック波長板と、30 mmケージキューブに納められた25.4 mm(1インチ)偏光ビームスプリッターキューブから構成されています。ビームスプリッターキューブの斜面には、1000:1以上の消光比が得られる広帯域用のビームスプリッターコーティングが施されています。また光の入出射面には、設計波長において1面あたりRavg < 0.5%のARコーティングが施されています。有効径は光学素子の筐体により、Ø10.0 mmに制限されています。なお、広帯域光源の光をこのビームスプリッタに入射した場合、アクロマティック波長板の性能により、全帯域幅に渡って一定の減衰量を得ることはできないことにご留意ください。一定の減衰量が得られない理由等については「用途」タブをご覧ください。
Damage Thresholds | ||||
---|---|---|---|---|
Item # | Design Wavelength | Unmounted | Damage Thresholda | |
532 nm | PBS251 | CWb | 350 W/cm at 532 nm, Ø1.000 mm | |
Pulsed | 2 J/cm2 at 532 nm, 10 ns, 10 Hz | |||
633 nm | PBS252 | CWb | 50 W/cm at 810 nm, Ø0.019 mm | |
Pulsed | 2 J/cm2 at 810 nm, 10 ns, 10 Hz | |||
780 nm | PBS253 | CWb | 2000 W/cm at 1064 nm, >Ø0.018 mmc | |
Pulsed | 2 J/cm2 at 1064 nm,10 ns, 10 Hz | |||
1064 nm | PBS254 | CWb | 2000 W/cm at 1542 nm, Ø0.033 mmc | |
Pulsed | 5 J/cm2 at 1542 nm, 10 ns, 10 Hz |


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Figure 437B 幅38.1 mm(1.5インチ)の小型ケージキューブCCM1-4ER(/M)に接続されたケージキューブC4WとC6W。それぞれキューブコネクタC4W-CCとCM1-CCを使用。

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Figure 437A CM1-CCを使用して複数の38.1 mm角のケージキューブを接続
- 38.1 mm(1.5インチ)角のケージキューブを2つ隣接して接続
- 38.1 mm(1.5インチ)角のケージキューブを50.8 mm(2インチ)角のケージキューブに接続
- 全てのCM1またはCCM1シリーズのケージキューブに対応
ケージキューブコネクタCM1-CCによって、Figure 437Aのように2つ以上のCM1またはCCM1シリーズのキューブが接続できます。このコネクタの使用可能なCM1およびCCM1シリーズのケージキューブには、小型ケージキューブ、ダイクロイックフィルタ用キューブ、マウント付きビームスプリッターキューブ、マウント付きペンタプリズム、およびマウント付き直角プリズムミラーが含まれます。ケージキューブコネクタCM1-CCには4本の#4-40丸頭ネジ、2本の#4-40皿ネジ、4個のワッシャ、1本の1/16インチ六角レンチが付属します。
30 mmキューブマウント付き90°偏向プリズムミラーはキューブの2面にケージロッド用のØ6 mm穴がないため、CM1-CCを用いて2つを接続することはできません。
当社では、C4W-CCもご提供しておりますが、これは50.8 mm(2インチ)角の30 mmケージキューブを2つ接続する際に使用できます。ケージキューブコネクタC4W-CCおよびCM1-CCは、どちらもCCM1-4ER/Mのような幅38.1 mm(1.5インチ)の30 mmケージキューブと幅50.8 mm(2インチ)の30 mmケージキューブとの接続にも使用できます。
アライメント用ピン
このコネクタにはアライメント用位置決めピンがあるため、SM1ネジポートの間にあるキューブ面にはピン用の穴が必要となりますのでご留意ください。既にお持ちの旧バージョンのキューブからアライメント穴付きの新バージョンへ無料アップデートをご希望の際は、当社までお問い合わせください。また、アライメントピンは取付け穴内部に圧入されており、アライメント穴無しのキューブで使用する場合は、押し出すことができます。