Products Home精密ピンホール、円形、タングステンホイル
- Precision Pinholes in Tungsten Foils
- Mounted in Ø1/2" or Ø1" Aluminum Disks
- Pinhole Sizes from Ø5 μm to Ø2 mm or Undrilled Blank Foils
- High Melting Point Useful for High-Power Applications
P5W
Ø5 µm Pinhole
Ø1" Housing
P5HW
Ø5 µm Pinhole
Ø1/2" Housing
P400W
Ø400 µm Pinhole
Ø1" Housing
PBHW
Undrilled Blank Foil
Ø1/2" Housing
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| Apertures Selection Guide |
|---|
| Single Precision Pinholes |
| Circular in Stainless Steel Foils |
| Circular in Stainless Steel Foils, Vacuum Compatible |
| Circular in Gold-Plated Copper Foils |
| Circular in Tungsten Foils |
| Circular in Molybdenum Foils |
| Square in Stainless Steel Foils |
| Pinhole Kits |
| Pinhole Wheels |
| Manual |
| Motorized |
| Pinhole Spatial Filter |
| Slits |
| Annular Apertures |
| Half-Aperture Foils for Knife-Edge Scans |
| Alignment Tools |
特長
- ピンホール径:Ø5 µm～Ø2 mm
- 現場でピンホールを開けて使用するためのブランクホイルもご用意
- コーティング無しのタングステン製ホイル(反射率：55% @800 nm)
- マウントの外側エッジに対する偏心:±75 µm以内
- Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)またはØ25.4 mm(Ø1インチ)の黒色アルマイト加工済みアルミニウム製マウント付き
マウント付き精密シングルピンホールは小さな開口を有する光学素子で、アライメントやビーム調整、イメージングなどの用途にご利用いただけます。こちらでご紹介しているピンホールはタングステンホイル製で、直径Ø5 µm～Ø2 mmのピンホールをご用意しています。これらはØ12.7 mm(Ø1/2インチ)またはØ25.4 mm(Ø1インチ)の黒色アルマイト加工されたアルミニウム製マウントに取り付けられています。これ以外にも様々な材料のホイルを使用したピンホールをご用意しています。右の表をご参照ください。
ホログラフィをはじめとして、レーザービームの空間的な強度分布が、補正無しでは許容されない場合が多々あります。精密ピンホールを、当社の空間フィルターシステムKT311/Mのような位置決めと集光の機能を有するデバイスと組み合わせると、「ノイズ」フィルタを構成することができます。それにより、ガウシアンビームの強度分布から逸脱する成分を効率的に除去することができます。空間フィルタの詳細については「チュートリアル」タブをご参照ください。
ピンホールの無いブランクホイル
パルスレーザ光源用の製品として、そのレーザ自体を用いてその場でピンホールを開けることができるブランクホイルをご用意しています。これを使えば、精密なアライメント作業をしなくても、ビームの空間プロファイルをクリーンアップすることができます。作成されるピンホールの状態は、ピークパワー密度、パルス幅、繰り返し周波数、スポットサイズなど、様々な条件に大きく依存します。ピンホールの加工をするときは、当社ではピークパワー密度が少なくとも50 GW/mm2以上のレーザ光を使用することを推奨しています。
精密ピンホールの種類
当社では様々な材料や皮膜を用いた精密ピンホールをご用意しております。サイズと材料は用途に応じてご選択ください。低パワー光を使用する場合は、アルマイト加工アルミニウム製マウントに取付けられた黒色化ステンレススチール製ホイル、または真空対応のステンレススチール製マウントに取付けられた黒色PVDコーティング付きステンレススチール製ホイルが光を吸収するので有用です。一方、高パワー光を使用する場合は、高損傷閾値と高反射率の金メッキ銅製ホイル、高融点と低反射率のタングステン製ホイル、あるいは前面に低反射黒色コーティング(4% @800 nm)を施した高融点モリブデン製ホイルなどが必要になる場合があります。詳細については「ホイルの比較」と「グラフ」タブをご覧ください。
当社ではシングルピンホールのほかに、16個のピンホールを放射状に配列したピンホールホイールもご用意しております。これはクロムメッキした溶融石英基板にリソグラフィーエッチングを施して作成されています。このホイールを使用すると、1つのセットアップ内で様々なピンホールサイズをテストすることができます。
標準的な基板材料やピンホールサイズ以外のピンホールも特注品として承ります。また1つのホイルに複数のピンホールを加工したり、通常と異なるピンホール配列を構成したりすることも可能です。ピンホールのマウントもカスタマイズ可能です。詳細は当社までお問い合わせください。
| Precision Pinhole and Optical Slit Selection Guide | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Material | Product | ||||
| Blackened Stainless Steel | Circular Precision Pinholes | ||||
| Square Precision Pinholes | |||||
| Optical Slits | |||||
| Stainless Steel with PVD Black Coating | Circular Precision Pinholes | ||||
| Gold-Plated Copper Foil (Rear) and PVD Black Coating (Front) | Circular Precision Pinholes | ||||
| Tungsten Foil | Circular Precision Pinholes | ||||
| Molybdenum Foil (Rear) and Absorptive Polymer Coating (Front) | Circular Precision Pinholes | ||||
精密ピンホールと光学スリット
当社では、精密ピンホール用のホイル素材として、黒色化ステンレススチール、金メッキ銅、タングステン、またはモリブデンを用いています。ステンレススチール製ホイルのピンホールは、光の吸収率を高めるために両面を黒色化処理しており、標準品としてØ1 µm～Ø9 mmの円形ピンホールと、100 µm x 100 µm～1 mm x 1 mmの正方形ピンホールをご用意しています。黒色PVDコーティング付きのステンレススチール製ピンホールは、直径5 μm～2 mmのピンホールをご用意しており、これらは真空にも対応しております。金メッキ銅製ホイルのピンホールは直径5 µm～2 mmのピンホールがあり、これらは片面が金メッキ、その反対面は黒色PVD加工されています。タングステン製ホイルのピンホールはコーティング処理されておらず、直径5 µm～2 mmのピンホールでご用意しております。モリブデン製ホイルのピンホールは直径5 µm～2 mmのピンホールをご用意しており、これらの前面には光吸収性ポリマがコーティングされています。 当社では、黒色化ステンレススチール製ホイルの光学スリットも、標準品として幅5～200 µmのスリットでご用意しております。
標準品のピンホールやスリットの中に用途に合う製品がない場合は、特注も承ります。材料、穴のサイズや形状の変更のほか、1つのホイルに複数の穴を加工したり、異なるピンホールの配列を構成したりすることも可能です。詳細は当社までお問い合わせください。ピンホールの材料特性については下の表をご覧ください。
材料特性
用途によってはピンホールまたはスリットの材料特性を考慮することが重要な場合があります。下の表に示すように、開口部の材料によってその融点、密度、熱伝導率などが異なります。
| Material Properties | ||||
|---|---|---|---|---|
| Material | 300 Series Stainless Steela | Copperb | Tungsten | Molybdenumc |
| Melting Point | 1390 - 1450 °C | 1085 °C | 3422 °C | 2623 °C |
| Density | 8.03 g/cm3 | 8.96 g/cm3 | 19.25 g/cm3 | 10.28 g/cm3 |
| Brinell Hardness | 170 MPa | 878 MPa | 2570 MPa | 1500 MPa |
| Damage Thresholdd (10 ns Pulse, 1 kHz @ 355 nm) | 1.54 MW/mm2 | 4.82 MW/mm2 | 9.39 MW/mm2 | 6.34 MW/mm2 |
| Thermal Expansion Coefficient | 16.2 (µm/m)/°C | 16.7 (µm/m)/°C | 4.5 (µm/m)/°C | 5.0 (µm/m)/°C |
| Specific Heat @ 20 °C | 485 J/(K*kg) | 385 J/(K*kg) | 134 J/(K*kg) | 250 J/(K*kg) |
| Thermal Conductivity | 16.2 W/(m*K) | 401 W/(m*K) | 173 W/(m*K) | 138 W/(m*K) |
| Thermal Diffusivity @ 300 K | 3.1 mm2/s | 111 mm2/s | 80 mm2/s | 54.3 mm2/s |
反射率
ホイル材料やコーティングの反射率は、様々なアプリケーションにおける性能に影響を及ぼします。下のグラフは、当社の円形や正方形の精密ピンホールと、マウント付き光学スリットに用いられている材料やコーティングの反射率を示しています。生データはこちらからダウンロードいただけます。
金メッキ銅ホイル製の円形精密ピンホールの前面は、低反射の黒色PVDコーティングが施されています。背面は銅ホイルを金メッキした状態のままです。モリブデン製ホイルの円形ピンホールも、前面には低反射の光吸収性ポリマがコーティングされていますが、背面はコーティングされていません。
空間フィルタの原理
ホログラフィをはじめとする多くの用途において、レーザービームの空間強度が変動することは望ましくありません。空間フィルタ―システムKT311/Mは、きれいで空間的に均一なガウシアンビームを作りだすのに適しています。
図1：空間フィルターシステム
入力ガウシアンビームは、空間的に変動する強度「ノイズ」を有しています。ビームが非球面レンズによって集光される時、入力ビームは中心の(光軸上の)ガウシアンスポットと、望ましくない「ノイズ」(図2参照)に対応する干渉稿に変換されます。干渉縞の径方向の位置は「ノイズ」の空間周波数に比例します。
図2
ガウシアンスポットの中心にピンホールを配置することによって、ビームのきれいな部分が透過し、干渉縞は遮断されます(下記、図3参照)。
図3
ビームの出力の99%を含有する位置における回折限界スポットサイズは以下のように与えられます。
ここで、λは波長、ƒは焦点距離、r は1/e2 における入射ビームの半径です。
空間フィルターシステム用の正しい光学素子とピンホールの選択
用途に応じた正しい光学素子とピンホールの選択は、入力波長、光源のビーム径、およびご希望の出射ビーム径に依存します。
例えば、直径(1/e2) 1.2 mmの650 nmの半導体レーザ光源を用いて、希望する空間フィルターシステムの出射ビームの直径が4.4 mmであるとします。これらのパラメータの場合、レーザ光源の直径に十分対応する開口5.1 mmを有して650 nm用に設計されているマウント付き非球面レンズC560TME-Bを空間フィルターシステムの入力側に利用するのが適当と考えられます。
ビームの出力の99%を含有する位置における回折限界のスポットサイズの方程式は上に示しました。そして、この例では、C560TM-Bのλ = (650 x 10-9 m)、f = 13.86 mm、および r = 0.6 mmを代入すると以下のようになります。
回折限界スポットサイズ(光源波長：650 nm、ビーム径：Ø1.2 mm)
ピンホールはDよりもおよそ30%大きいものを選択します。ピンホールが小さすぎるとビームの一部はカットされてしまい、大きすぎるとTEM00以上の成分もピンホールを抜けてしまいます。それ故、この例では19.5 μmのピンホールが適しています。したがって、ピンホールサイズ20 μmのマウント付きピンホールP20Kの利用をお勧めします。ビームウエスト径の変更、およびそれに伴うピンホールサイズ変更のために修正可能なパラメータには、入力ビーム径や集光レンズの焦点距離が含まれます。入力ビーム径が小さくなるとビームウエスト径は大きくなります。焦点距離の長い集光レンズを使用することでもビームウエスト径は大きくなります。
最後に、コリメートしたビーム径が希望の4.4 mmになるように空間フィルタの出力側の光学素子を選択します。レンズの正しい焦点距離を決定するのに、以下の図4を考えます(尺度は記入していません)。左側の三角形から角度はおおよそ2.48oであると分かります。右側の三角形に同じ角度を使うと、平凸レンズの焦点距離はおよそ50 mmであることが分かります。
図4: ビーム拡大の例
この焦点距離から、平凸レンズLA1131-B(設計波長633 nmにおいて焦点距離が50 mmですが、光源の波長650 nmにおいても焦点距離はほぼ同じと考えられます)が推奨されます。
注：ビームの拡大率は、出射側の焦点距離を入射側の焦点距離で割ったものと同じです。
もし、出射側の焦点距離として20 mm(AL2520-A、AL2520-B、AL2520-C)が必要である場合には、適切な性能を得るために、大きな直径の非球面レンズを平凸レンズの代わりに使うことができます。これらのレンズは25 mmの直径で、固定リングSM1RRを使って固定できます。
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図1: 実験セットアップ上の黄色い四角で囲まれたエリアにビーム円形化システムを設置
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図4: 空間フィルターシステム
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図3: アナモルフィックプリズムペアシステム
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図2: シリンドリカルレンズペアシステム
楕円ビームの円形化技術の比較
端面発光型半導体レーザは、発光開口部の断面が長方形になっているため、楕円形のビームを出射します。開口部の短辺から出射されるビーム成分は、これに直交するビーム成分よりも大きな広がり角を有します。一方のビーム成分がもう一方よりも大きく拡散するため、ビームの形状は円形ではなく楕円形になります。
楕円形のビーム形状は、円形のビームよりも集光ビームのスポットサイズが大きいことで放射照度(面積あたりのパワー)が低くなってしまいます。楕円ビームを円形化する技術は複数ありますが、ここではシリンドリカルレンズ、アナモルフィックプリズムのペア、空間フィルタを利用した3種類の方法で実験を行い性能を比較しています。 円形化されたビームの特性は、M2測定、波面測定、伝送パワー測定によって評価しました。
これらの円形化技術によって楕円形の入射ビームの真円度は向上しますが、それぞれの技術ごとに円形化やビーム品質および伝送パワーの特性が異なることを示しました。この「実験データ」タブ内に記載されている結果から、用途に必要な要件を満たした円形化技術を選択するべきである事がわかりました。
実験の設計とセットアップ
この実験セットアップは図1の写真で示されています。図2～4では温度制御された670 nm半導体レーザからの楕円コリメート光をそれぞれの円形化システムに入射させています。コリメートにより、広がり角は小さくなりますが、ビーム形状はレーザ出力時と変わりません。各システムは下記の光学系をベースに構成されています。
- 平凸シリンドリカルレンズLJ1874L2-AおよびLJ1638L1-A(図2)
- マウント無しアナモルフィックプリズムペアPS873-A(図3)
- 空間フィルターシステムKT310(旧製品)および Ø5 µm ピンホールP5S(旧製品)
ビーム円形化システム(右写真参照)を黄色い四角で囲まれた空きスペースに1台ずつ設置しました。このようにすることでそれぞれの円形化技術を同じ実験条件で評価できるため、実験結果を直接比較することができます。この実験上の制約により取り付け方法も制約されるため、コンパクト化という点では最適化されていません。またアナモルフィックプリズムペアについても、より便利で光学的にも調整されたマウント済みの製品を使わずに、マウント無しの製品を用いています。
それぞれの円形化システムから出射されたビームの特性は、パワーメータ、波面センサならびにM2システムを使用して測定を行い、評価されました。例示目的のため、実験セットアップの写真内、テーブルの右側に、これらの評価機器がすべて表示されていますが、評価は1種類ずつ行います。 パワーメータは、ビーム円形化システムが入射ビームの強度をどの位減衰させるのかを測定するために使用します。波面センサは、出射ビームの収差を測定するために使用します。M2システムは出力ビームのビーム品質(理想のガウシアンビームからの劣化具合)の測定に使用します。円形化システムはレーザービームの減衰もされず、収差も生じず、完全なガウシアンビームを出射することが理想的です。
端面発光型半導体レーザからの発光には非点隔差があるため、直交するビーム成分の変位した焦点をオーバーラップで望ましい形状が得られます。ここで調査している3種類の円形化技術のうち、シリンドリカルレンズペアのみが非点収差も補償することができます。直交するビーム成分の焦点間の変位はこれらすべての円形化技術で測定できます。シリンドリカルレンズペアの場合、構成を調整することでレーザービーム内の非点収差を最小限に抑えます。この非点収差は規格化しています。
実験結果
実験結果を下の表にまとめています。緑色のセルは各カテゴリ内における最も良い結果を示しています。円形化の方法にはそれぞれの利点があります。用途に最適な円形化技術は、ビーム品質、伝送パワー、セットアップの制約に対するシステムの要件によって決まります。
空間フィルタは真円度とビーム品質を著しく向上させますが、ビームの伝送パワーは低くなります。シリンドリカルレンズペアは、伝送ビームを綺麗な円形にし、バランスの良い円形およびビーム品質を実現します。また、シリンドリカルレンズペアはビームの非点収差のほとんどを補償します。アナモルフィックプリズムペアによるビームの真円度はシリンドリカルレンズペアによる真円度と比較しても遜色ありません。シリンドリカルレンズと比較して、プリズムからの出力ビームのM2値は小さく、波面誤差は少なくなりますが、伝送パワーはやや低くなります。
| Method | Beam Intensity Profile | Circularitya | M2 Values | RMS Wavefront | Transmitted Power | Normalized Astigmatismb |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Collimated Source Output (No Circularization Technique) |  Click to Enlarge Scale in Microns | 0.36 | Y Axis: 1.63 | 0.17 | Not Applicable | 0.67 |
| Cylindrical Lens Pair |  Click to Enlarge Scale in Microns | 0.84 | X Axis: 1.90 Y Axis: 1.93 | 0.30 | 91% | 0.06 |
| Anamorphic Prism Pair |  Click to Enlarge Scale in Microns | 0.82 | X Axis: 1.60 Y Axis: 1.46 | 0.16 | 80% | 1.25 |
| Spatial Filter |  Click to Enlarge Scale in Microns | 0.93 | X Axis: 1.05 Y Axis: 1.10 | 0.10 | 34% | 0.36 |
円形化システムに使用されている部品は、同じ実験セットアップで全ての実験を行えるように選択されています。これにより、全ての円形化技術を直接比較することができます。ただし、円形化システムのセットアップを個別に最適化した方が性能は向上します。コリメートレンズおよびアナモルフィックプリズムペア用のマウントを使用すると、操作や実験システムへの取り付けが簡単に行えます。小型のマウントを使用して、それぞれのペア同士をより精密に設置して、実験結果を向上させることもできます。 また、焦点距離をカスタマイズした受注生産品のシリンドリカルレンズを使用して、シリンドリカルレンズペアの円形化システムの実験結果を向上させることもできます。ビームプロファイルソフトウェアのアルゴリズムを用いて、真円度の計算に使用するビーム半径を決定すると、全ての実験結果に影響を与えます。
追加情報
この実験で使用したコンポーネントの選択および構築方法についての情報は、下記のリンクをクリックしてご覧いただけます。
| Posted Comments: | |
user
(posted 2021-04-25 04:13:34.09) There is a typo in the features section. It says 2mm to 5mm, instead of 5 μm to 2mm YLohia
(posted 2021-04-27 04:24:35.0) Hello, thank you for bringing this to our attention. We will fix this typo. |
| Apertures Selection Guide | |||
|---|---|---|---|
| Aperture Type | Representative Image (Click to Enlarge) | Description | Aperture Sizes Available from Stocka |
| Single Precision Pinholesa |  | Circular Pinholes in Stainless Steel Foils | Ø1 µm to Ø9 mm |
 | Circular Pinholes in Stainless Steel Foils, Vacuum Compatible | Ø5 µm to Ø2 mm | |
 | Circular Pinholes in Gold-Plated Copper Foils | Ø5 µm to Ø2 mm | |
 | Circular Pinholes in Tungsten Foils | Ø5 µm to Ø2 mm | |
 | Circular Pinholes in Molybdenum Foils | Ø5 µm to Ø2 mm | |
 | Square Pinholes in Stainless Steel Foils | 100 to 1000 µm Square | |
| Slitsa |  | Slits in Stainless Steel Foils | 3 mm Slit Lengths: 5 to 500 µm Widths 10 mm Slit Lengths: 20 to 500 µm Widths |
 | Double Slits in Stainless Steel Foils | 3 mm Slit Lengths with 40, 50, or 100 µm Widths, Spacing of 3X or 6X the Slit Width | |
| Half-Apertures |  | Mounted, Half-Aperture Foils | Half-Apertures for Knife-Edge Scan Measurements |
| Annular Apertures |  | Annular Aperture Obstruction Targets on Quartz Substrates with Chrome Masks | Ø1 mm Apertures with ε Ratiosb from 0.05 to 0.85 Ø2 mm Aperture with ε Ratiob of 0.85 |
| Pinhole Wheels |  | Manual, Mounted, Chrome-Plated Fused Silica Disks with Lithographically Etched Pinholes | Each Disk has 16 Pinholes from Ø25 µm to Ø2 mm and Four Annular Apertures (Ø100 µm Hole, 50 µm Obstruction) |
 | Motorized Pinhole Wheels with Chrome-Plated Glass Disks with Lithographically Etched Pinholes | Each Disk has 16 Pinholes from Ø25 µm to Ø2 mm and Four Annular Apertures (Ø100 µm Hole, 50 µm Obstruction) | |
| Pinhole Kits |  | Stainless Steel Precision Pinhole Kits | Kits of Ten Circular Pinholes in Stainless Steel Foils Covering Ø5 µm to Ø9 mm |
ズーム
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Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)マウント付きタングステン製ピンホールの寸法
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マウント付きピンホールの背面
- Ø5 µm～Ø2 mmの精密ピンホール
- 現場でピンホールを開けて使用するためのブランクホイルもご用意
- タングステン製ホイル(反射率：55% @800 nm)
- 外径12.7 mm(1/2インチ)の黒色アルマイト加工済みアルミニウム製マウント
- マウントの外側エッジに対する偏心:±75 µm以内
こちらのマウント付き精密ピンホールでは、直径5 µm～2 mmのピンホールをご用意しています。コーティング無しのタングステン製ホイルから製造されています。ピンホールは、外径Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)、厚さ2.5 mmの黒色アルマイト加工されたアルミニウム製マウントに取り付けられています。マウントには型番とピンホールの直径が刻印されています。
小さいピンセットやプライヤを用いて固定リングを外すと、ホイルをマウントから取り外すことができます。ホイルはとても薄い(50 µm)ので取扱いにはご注意ください。ホイルの損傷を防ぐために手袋を着用してください。
こちらの製品には、ご希望により個別の試験報告書を添付することも可能です(追加費用が発生します)。詳細と納期については当社までお問い合わせください。
| Item # | Pinhole Diameter | Diameter Tolerance | Circularitya | Foil Thickness | Foil Material | Housing Material |
|---|---|---|---|---|---|---|
| PBHWb | N/A | N/A | N/A | 50 µm | Tungsten | 6061-T6 Aluminum |
| P5HW | 5 µm | ±1 µm | ≥85% | |||
| P10HW | 10 µm | |||||
| P15HW | 15 µm | ±1.5 µm | ||||
| P20HW | 20 µm | ±2 µm | ||||
| P25HW | 25 µm | ±2 µm | ≥90% | |||
| P30HW | 30 µm | |||||
| P40HW | 40 µm | ±3 µm | ||||
| P50HW | 50 µm | |||||
| P75HW | 75 µm | |||||
| P100HW | 100 µm | ±4 µm | ≥95% | |||
| P150HW | 150 µm | ±6 µm | ||||
| P200HW | 200 µm | |||||
| P300HW | 300 µm | ±8 µm | ||||
| P400HW | 400 µm | ±10 µm | ||||
| P500HW | 500 µm | |||||
| P1000HW | 1000 µm | |||||
| P2000HW | 2000 µm |
ズーム
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マウント付きピンホールの寸法
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マウント付きピンホールの背面
- Ø5 µm～Ø2 mmの精密ピンホール
- 現場でピンホールを開けて使用するためのブランクホイルもご用意
- タングステン製ホイル(反射率：55% @800 nm)
- 外径25.4 mm(1インチ)の黒色アルマイト加工済みアルミニウム製マウント
- マウントの外側エッジに対する偏心:±75 µm以内
こちらのマウント付き精密ピンホールでは、直径5 µm～2 mmのピンホールをご用意しています。コーティング無しのタングステン製ホイルから製造されています。ピンホールは、外径Ø25.4 mm(1インチ)、厚さ2.5 mmの黒色アルマイト加工されたアルミニウム製マウントに取り付けられています。マウントには型番とピンホールの直径が刻印されています。
小さいピンセットやプライヤを用いて固定リングを外すと、ホイルをマウントから取り外すことができます。ホイルはとても薄い(50 µm)ので取扱いにはご注意ください。ホイルの損傷を防ぐために手袋を着用してください。
こちらの製品には、ご希望により個別の試験報告書を添付することも可能です(追加費用が発生します)。詳細と納期については当社までお問い合わせください。
| Item # | Pinhole Diameter | Diameter Tolerance | Circularitya | Foil Thickness | Foil Material | Housing Material |
|---|---|---|---|---|---|---|
| PBW | N/A | N/A | N/A | 50 µm | Tungsten | 6061-T6 Aluminum |
| P5W | 5 µm | ±1 µm | ≥85% | |||
| P10W | 10 µm | |||||
| P15W | 15 µm | ±1.5 µm | ||||
| P20W | 20 µm | ±2 µm | ||||
| P25W | 25 µm | ±2 µm | ≥90% | |||
| P30W | 30 µm | |||||
| P40W | 40 µm | ±3 µm | ||||
| P50W | 50 µm | |||||
| P75W | 75 µm | |||||
| P100W | 100 µm | ±4 µm | ≥95% | |||
| P150W | 150 µm | ±6 µm | ||||
| P200W | 200 µm | |||||
| P300W | 300 µm | ±8 µm | ||||
| P400W | 400 µm | ±10 µm | ||||
| P500W | 500 µm | |||||
| P1000W | 1000 µm | |||||
| P2000W | 2000 µm |
 精密ピンホールタングステンホイル |