Products Home大径ビーム用単軸走査型ガルバノミラーシステム
- For Beam Diameters Up to 10 mm
- Choice of Dielectric or Metallic Mirror Coating
- Easy Integration into OEM Systems
- Analog Control Electronics
GVS011
Galvo Scanning System
with Silver-Coated Mirror
Single-Axis Motor/Mirror Assembly
(Shown with Gold-Coated Mirror)
GHS003
Heatsink
Please Wait
| Key Specificationsa,b | |
|---|---|
| Beam Diameter | 10 mm (Max) |
| Repeatability | 15 μrad |
| Linearity (50% Full Travel) | 99.9% |
| Max Mechanical Scan Angle | ±20.0° (w/ 0.5 V/deg Scaling) |
| Bandwidth (Full Travel) | 25 Hz Square Wave 35 Hz Sine Wave |
| Bandwidth (50% Full Travel) | 65 Hz Square Wave 130 Hz Sine Wave |
| Small Angle (±0.2°) Bandwidth | 1 kHz |
| Small Angle Step Responsec | 400 µs |
| Analog Position Signal Input Range | ±10 V |
| Mechanical Position Signal Input Scale Factord | 1.0 V, 0.8 V, or 0.5 V per degree |
| Position Sensor Output | 40 to 80 µA |
特長
- 可動マグネットモータ設計により高速応答が可能(±0.2°に対し400 µs)
- 高精度(15 µrad)な容量型ミラー位置センサ
- 電流制動とエラーリミッタ付きアナログPD制御回路
- 選択可能なミラーコーティング(Table G1.1参照)
これらの高速走査型ガルバノミラーシステムは、ビーム径が＜10 mmのレーザービームステアリングシステムに組み込むために設計されています。 各システムには1軸ガルバノモータ、ミラーアセンブリ、関連ドライバーボード、ドライバーボードヒートシンクが含まれています。 また、当社のTRシリーズポストおよびチルトプラットフォームにアセンブリを取り付けられるベースプレートも含まれています。 低ノイズのリニア電源(GPS011から始まる型番)やドライバーボード用カバー(GCE001)は別途ご用意しております(詳細は下記参照)。また、本システムを駆動するためには、ファンクションジェネレータやDAQカードなどの アナログ信号用電源が別途必要です。詳細についてはマニュアルのChapter 3と4をご覧ください。
各ガルバノシステムにはモータ駆動用ケーブルが付属しており、それでドライバーボードとモータを接続します。この長さ30 cmのケーブルは、ドライバーボードとモータの内部センサの両方に対して特別に校正されています。お手持ちのケーブルを取り付けて校正することはお勧めしません。カスタム仕様のガルバノシステムをご希望の場合は当社までご連絡ください。
ミラーのコーティングは、Table G1.1に記載されている4種類からお選びいただけます。
ガルバノモータ/ミラーアセンブリ
当社のガルバノシステムは、シャフト上に光学ミラーが取り付けられたガルバノメーターベースの走査型モータと制御ボードに位置フィードバックを送るディテクタで構成されています。 GVSシリーズでは、固定磁石や回転式コイル設計ではなく可動マグネット設計を採用し、高速応答と高い共振周波数をご提供できます。 ミラー位置は、モータ筐体内にある容量型センシングシステムを使ってエンコードされます。
回転シャフトの角加速度が大きいので、ミラーのサイズや形状、慣性モーメントは高性能ガルバノシステム設計において重要な要素となります。 さらに、ミラーは大きな加速度に追従する時でも形状歪の無い状態(フラット性)を維持しなければいけません。 ガルバノモータの特性に合わせてシステムの性能を最大限に高めるために、当社のガルバノシステムでは、これらの要素は全て最適化されています。
ガルバノミラーはフレクシャークランプを用いてモータ/ミラーアセンブリに固定します。 ミラーホルダの位置は出荷時に設定済みですので、お客様側で変更はできません。
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Figure 1.1 銀コーティング付きガルバノミラーアセンブリGVS011(/M)およびドライバーボード
走査型ガルバノミラーアセンブリおよびドライバーボード
当社の走査型ガルバノミラーシステム全製品には、取付け済み1軸または2軸のミラー/モーターアセンブリとドライバーボードが付属します。 Figure 1.1は、銀コーティング付き10 mm 1次元ガルバノミラーアセンブリとドライバーボードです。 ミラーアセンブリには、複数の取付け穴およびミラー/モータ用の回転式カラーマウントがあります。 フライングリードでドライバーボードに接続できます。 他の取付けオプションやアクセサリについては下記をご参照ください。
サーボドライバーボード
比例微分(PD)サーボドライバ回路は、モータ内にある光学位置検出システムからの信号を読み取り、ミラーを所望の位置に回転させるために必要なドライバ電圧を供給します。スキャナはベクトル位置決め(レーザーマーキング等)、ラスタ位置決め(プリンタや走査型レーザ顕微鏡)や、ステップ制御用途に適した Class 0のNon-Integratingサーボモータを使用しています。 また、PDコントローラによって優れた動的性能を備えています。 回路には高い加速度でも安定性を維持できる電流モジュールが付いています。なお、当社のガルバノシステムでは、全て同じドライバーボードが使用されています。
システムの動作
サーボドライバはDC電源、ガルバノモータ、入力電圧源に接続する必要があります(モニタ接続はオプションです)。連続走査用途については、ガルバノミラーを全ての範囲で走査するには、矩形波または正弦波出力のファンクションジェネレータで十分です。 さらに複雑なパターンを走査するには、DAQカードなどのプログラム可能な電圧源をご使用いただけます。なお、これらのシステムにはファンクションジェネレータやDAQカードは付属おりませんのでご注意ください。入力電圧とミラーの位置の間の比率は 0.5 V/°、0.8 V/°、1 V/° に切り替えることができます。これらのシステムでは、その比を0.5に設定した時、±10 Vの入力電圧に対して最大走査角度である±20°回転させることができます。 制御回路は、ミラーの位置のトラッキングに必要なモニタ出力も提供します。 また、駆動電流に比例した電圧もモータに供給され、コマンド位置と実際のミラー位置の差も制御回路によって提供されます。
閉ループミラーの位置決め
ミラーの角度(位置)は、ガルバノメータ筐体内にある容量型センシングシステムによって測定され、これによりガルバノミラーシステムの閉ループ動作が可能になります。
GVSx11/Mでは、矩形波の入力信号を使用した場合は、最大スキャン角度(±20°)で 65 Hzのスキャンが可能で、正弦波を使用した場合は 130 Hzのスキャンが可能です。 ±0.2°の小角ステップに対しての応答時間は400 µsです。 このシリーズのすべての製品は、最大スキャン周波数は1 kHzで、角度分解能は0.0008°(GPS011シリーズリニア電源使用で15μrad)です。
ガルバノメーターミラーシステムの仕様a
| Item # | GVS211(/M) | GVS011(/M) | GVS111(/M) |
|---|---|---|---|
| Mirror | |||
| Maximum Beam Diameter | 10 mm | ||
| Substrate | Quartz | ||
| Coating | Broadband Dielectric (-E02) | Protected Silver | Protected Gold |
| Wavelength Range | 400 - 750 nm | 500 nm - 2.0 µm | 800 nm - 20 µm |
| Damage Threshold | 0.25 J/cm2 at 532 nm (10 ns, 10 Hz, Ø0.803 mm) | 3 J/cm2 at 1064 nm (10 ns, 10 Hz, Ø1.000 mm) | 2 J/cm2 at 1064 nm (10 ns, 10 Hz, Ø1.000 mm) |
| Parallelism | < 3 arcmin | ||
| Surface Quality | 40-20 Scratch-Dig | ||
| Front Surface Flatness (@ 633 nm) | λ | ||
| Clear Aperture | > 90% of Dimension | ||
| Motor and Position Sensor | |||
| Linearity (50% Full Travel) | 99.9% | ||
| Scale Driftb | < 200 ppm/°C (Max) | ||
| Zero Driftb | < 20 μrad/°C (Max) | ||
| Repeatability | 15 μrad | ||
| Resolution (Mechanical) | With GPS011 Linear Power Supply: 0.0008° (15 µrad) With Standard Switching Mode Power Supply: 0.004° (70 µrad) | ||
| Average Current | 1 A | ||
| Peak Current | 10 A | ||
| Maximum Scan Angle (Mechanical Angle) | ±20.0° (Input Scale Factor 0.5 V per degree) | ||
| Motor Weight (Including Cables, Excluding Brackets) | 94 g | ||
| Operating Temperature Range | 15 to 35 °C | ||
| Position Sensor Output Range | 40 to 80 µA | ||
| Drive Electronics | |||
| Full Travel Bandwidthc | 25 Hz Square Wave, 35 Hz Sine Wave | ||
| Bandwidth (50% Full Travel) | 65 Hz Square Wave, 130 Hz Sine Wave | ||
| Small Angle (±0.2°) Bandwidth | 1 kHz | ||
| Small Angle Step Responsed | 400 µs | ||
| Power Supply | ±15 to ±18 VDC (1.25 A rms, 10 A Peak Max) | ||
| Analog Signal Input Resistance | 20 kΩ ± 1% (Differential Input) | ||
| Position Signal Output Resistance | 1 kΩ ± 1% | ||
| Analog Position Signal Input Range | ±10 V | ||
| Mechanical Position Signal Input Scale Factore | Switchable: 1.0 V, 0.8 V or 0.5 V per degree | ||
| Mechanical Position Signal Output Scale Factor | 0.5 V per degree | ||
| Operating Temperature Range | 15 to 35 °C | ||
| Servo Board Size (W x D x H) | 85 mm x 74 mm x 44 mm (3.35" x 2.9" x 1.73") | ||
推奨最大スキャン角度
| Input Beam Diameter | Max Optical Scan Angle (Beam Angle) | Mechanical Scan Angle (Motor Angle) |
|---|---|---|
| 10 mm | +40° / -16° | +20° / -8° |
| 8 mm | +40° / -32° | +20° / -16° |
| 7 mm and Less | ±40° | ±20° |
電源仕様
| Item # | GPS011-US | GPS011-EC | GPS011-JP |
|---|---|---|---|
| Input Voltage | 115 VAC, 60 Hz | 230 VAC, 50 Hz | 100 VAC, 50/60 Hz |
| Output Voltage | ±15 VDC, 3.0 A / 0.1 A, 1.4/6.3 ms | ||
| Fuses | T2.0 A Anti-Surge Ceramic | T1.0 A Anti-Surge Ceramic | T2.5 A Anti-Surge Ceramic |
| Dimensions | 179 mm x 274 mm (Max) x 122 mm (7.05" x 10.79" (Max) x 4.8") | ||
| Weight | 4.73 kg (10.4 lbs) | ||
下記のグラフは、GVSシリーズのガルバノメーターシステムに付属するコーティング付きミラーの反射率を示しています。 青い網掛け部分は、それぞれのコーティングをご使用になる際に推奨する波長範囲です。 この帯域の外側(特に反射率のグラフに変動や傾斜がみられる範囲)は品質管理の面で厳密に測定されたものではなく、ロット毎にバラつきがある可能性があり ます。
ここではGVSシリーズドライバーボードの電源用コネクタ、診断用コネクタ、モータ用コネクタ、コマンド入力用コネクタについての情報をご紹介しています。
GVSシリーズドライバの接続部
J10：電源用コネクタ
| Pin | Designation |
|---|---|
| 1 | + 15 V |
| 2 | Ground |
| 3 | - 15 V |
J6：診断用コネクタ
| Pin | Designation |
|---|---|
| 1 | Scanner Position |
| 2 | Internal Command Signal |
| 3 | Positioning Error x 5 |
| 4 | Motor Drive Current |
| 5 | Not Connected |
| 6 | Test Input (NC) |
| 7 | Motor + Coil Voltage / 2 |
| 8 | Ground |
J9：モータ用コネクタ
| Pin | Designation |
|---|---|
| 1 | Position Sensor A Current |
| 2 | Position Sensor Ground |
| 3 | Position Sensor Cable Shield |
| 4 | Drive Cable Shield |
| 5 | Position Sensor B Current |
| 6 | Position Sensor Power |
| 7 | Motor + Coil |
| 8 | Motor - Coil |
J7：コマンド入力用コネクタ
| Pin | Designation |
|---|---|
| 1 | Command Input +ve |
| 2 | Command Input -ve |
| 3 | DRV OK |
| 4 | External Enable |
| 5 | -12 V Output (Low Impedance O/P) |
| 6 | +12 V Output (Low Impedance O/P) |
| 7 | Ground |
| 8 | Ground |
JP7：電圧/角度の変換係数調整
ドライバーボードの外部からのENABLE化
JP4のピン2と3にジャンパをセットすることで、ドライブ回路を外部からENABL化できるようになります。
JP4
そうしておくと、J7のピン4に5 V CMOS信号を送信することでドライブ回路のENABLE/DISABLEを制御できます。
J7のピン4でロジック・ハイの信号を受信するか、または何も信号が無い場合は、ドライブ回路はENABLEになります。一方、ロジック・ローの信号を受信すると、ドライブ回路はDISABLEになります。
| Pin | Designation |
|---|---|
| 1 | Command Input +ve |
| 2 | Command Input -ve |
| 3 | No Connect |
| 4 | External Enable |
| 5 | -12 V Output |
| 6 | +12 V Output |
| 7 | Ground |
| 8 | Ground |
J7
| Table 5.1 Damage Threshold Specifications | |
|---|---|
| Item # | Damage Threshold |
| GVS011(/M) | 3 J/cm2 at 1064 nm (10 ns, 10 Hz, Ø1.000 mm) |
| GVS111(/M) | 2 J/cm2 at 1064 nm (10 ns, 10 Hz, Ø1.000 mm) |
| GVS211(/M) | 0.25 J/cm2 at 532 nm (10 ns, 10 Hz, Ø0.803 mm) |
当社の大径ビーム用走査型ガルバノミラーシステムの損傷閾値データ
Table 5.1の仕様は当社の大径ビーム用走査型ガルバノミラーシステムの測定値です。損傷閾値の仕様は、すべての大径ビーム用走査型ガルバノミラーシステムで同じです。
レーザによる損傷閾値について
このチュートリアルでは、レーザ損傷閾値がどのように測定され、使用する用途に適切な光学素子の決定にその値をどのようにご利用いただけるかを総括しています。お客様のアプリケーションにおいて、光学素子を選択する際、光学素子のレーザによる損傷閾値(Laser Induced Damage Threshold ：LIDT)を知ることが重要です。光学素子のLIDTはお客様が使用するレーザの種類に大きく依存します。連続(CW)レーザは、通常、吸収(コーティングまたは基板における)によって発生する熱によって損傷を引き起こします。一方、パルスレーザは熱的損傷が起こる前に、光学素子の格子構造から電子が引き剥がされることによって損傷を受けます。ここで示すガイドラインは、室温で新品の光学素子を前提としています(つまり、スクラッチ&ディグ仕様内、表面の汚染がないなど)。光学素子の表面に塵などの粒子が付くと、低い閾値で損傷を受ける可能性があります。そのため、光学素子の表面をきれいで埃のない状態に保つことをお勧めします。光学素子のクリーニングについては「光学素子クリーニングチュートリアル」をご参照ください。
テスト方法
当社のLIDTテストは、ISO/DIS 11254およびISO 21254に準拠しています。
初めに、低パワー/エネルギのビームを光学素子に入射します。その光学素子の10ヶ所に1回ずつ、設定した時間(CW)またはパルス数(決められたprf)、レーザを照射します。レーザを照射した後、倍率約100倍の顕微鏡を用いた検査で確認し、すべての確認できる損傷を調べます。特定のパワー/エネルギで損傷のあった場所の数を記録します。次に、そのパワー/エネルギを増やすか減らすかして、光学素子にさらに10ヶ所レーザを照射します。このプロセスを損傷が観測されるまで繰返します。損傷閾値は、光学素子が損傷に耐える、損傷が起こらない最大のパワー/エネルギになります。1つのミラーBB1-E02の試験結果は以下のようなヒストグラムになります。
上の写真はアルミニウムをコーティングしたミラーでLIDTテストを終えたものです。このテストは、損傷を受ける前のレーザのエネルギは0.43 J/cm2 (1064 nm、10 ns pulse、 10 Hz、Ø1.000 mm)でした。
| Example Test Data | |||
|---|---|---|---|
| Fluence | # of Tested Locations | Locations with Damage | Locations Without Damage |
| 1.50 J/cm2 | 10 | 0 | 10 |
| 1.75 J/cm2 | 10 | 0 | 10 |
| 2.00 J/cm2 | 10 | 0 | 10 |
| 2.25 J/cm2 | 10 | 1 | 9 |
| 3.00 J/cm2 | 10 | 1 | 9 |
| 5.00 J/cm2 | 10 | 9 | 1 |
試験結果によれば、ミラーの損傷閾値は 2.00 J/cm2 (532 nm、10 ns pulse、10 Hz、 Ø0.803 mm)でした。尚、汚れや汚染によって光学素子の損傷閾値は大幅に低減されるため、こちらの試験はクリーンな光学素子で行っています。また、特定のロットのコーティングに対してのみ試験を行った結果ではありますが、当社の損傷閾値の仕様は様々な因子を考慮して、実測した値よりも低めに設定されており、全てのコーティングロットに対して適用されています。
CWレーザと長パルスレーザ
光学素子がCWレーザによって損傷を受けるのは、通常バルク材料がレーザのエネルギを吸収することによって引き起こされる溶解、あるいはAR(反射防止)コーティングのダメージによるものです[1]。1 µsを超える長いパルスレーザについてLIDTを論じる時は、CWレーザと同様に扱うことができます。
パルス長が1 nsと1 µs の間のときは、損傷は吸収、もしくは絶縁破壊のどちらかで発生していると考えることができます(CWとパルスのLIDT両方を調べなければなりません)。吸収は光学素子の固有特性によるものか、表面の不均一性によるものかのどちらかによって起こります。従って、LIDTは製造元の仕様以上の表面の質を有する光学素子にのみ有効です。多くの光学素子は、ハイパワーCWレーザで扱うことができる一方、アクロマティック複レンズのような接合レンズやNDフィルタのような高吸収光学素子は低いCWレーザ損傷閾値になる傾向にあります。このような低い損傷閾値は接着剤や金属コーティングにおける吸収や散乱によるものです。
線形パワー密度におけるLIDTに対するパルス長とスポットサイズ。長パルス～CWでは線形パワー密度はスポットサイズにかかわらず一定です。 このグラフの出典は[1]です。
繰返し周波数(prf)の高いパルスレーザは、光学素子に熱的損傷も引き起こします。この場合は吸収や熱拡散率のような因子が深く関係しており、残念ながらprfの高いレーザが熱的影響によって光学素子に損傷を引き起こす場合の信頼性のあるLIDTを求める方法は確立されておりません。prfの大きいビームでは、平均出力およびピークパワーの両方を等しいCW出力と比較する必要があります。また、非常に透過率の高い材料では、prfが上昇してもLIDTの減少は皆無かそれに近くなります。
ある光学素子の固有のCWレーザの損傷閾値を使う場合には、以下のことを知る必要があります。
- レーザの波長
- ビーム径(1/e2)
- ビームのおおよその強度プロファイル(ガウシアン型など)
- レーザのパワー密度(トータルパワーをビームの強度が1/e2の範囲の面積で割ったもの)
ビームのパワー密度はW/cmの単位で計算します。この条件下では、出力密度はスポットサイズとは無関係になります。つまり、スポットサイズの変化に合わせてLIDTを計算し直す必要がありません(右グラフ参照)。平均線形パワー密度は、下の計算式で算出できます。
ここでは、ビーム強度プロファイルは一定であると仮定しています。次に、ビームがホットスポット、または他の不均一な強度プロファイルの場合を考慮して、おおよその最大パワー密度を計算する必要があります。ご参考までに、ガウシアンビームのときはビームの強度が1/e2の2倍のパワー密度を有します(右下図参照)。
次に、光学素子のLIDTの仕様の最大パワー密度を比較しましょう。損傷閾値の測定波長が光学素子に使用する波長と異なっている場合には、その損傷閾値は適宜補正が必要です。おおよその目安として参考にできるのは、損傷閾値は波長に対して比例関係であるということです。短い波長で使う場合、損傷閾値は低下します(つまり、1310 nmで10 W/cmのLIDTならば、655 nmでは5 W/cmと見積もります)。
この目安は一般的な傾向ですが、LIDTと波長の関係を定量的に示すものではありません。例えば、CW用途では、損傷はコーティングや基板の吸収によってより大きく変化し、必ずしも一般的な傾向通りとはなりません。上記の傾向はLIDT値の目安として参考にしていただけますが、LIDTの仕様波長と異なる場合には当社までお問い合わせください。パワー密度が光学素子の補正済みLIDTよりも小さい場合、この光学素子は目的の用途にご使用いただけます。
当社のウェブ上の損傷閾値の仕様と我々が行った実際の実験の値の間にはある程度の差があります。これはロット間の違いによって発生する誤差を許容するためです。ご要求に応じて、当社は個別の情報やテスト結果の証明書を発行することもできます。損傷解析は、類似した光学素子を用いて行います(お客様の光学素子には損傷は与えません)。試験の費用や所要時間などの詳細は、当社までお問い合わせください。
パルスレーザ
先に述べたように、通常、パルスレーザはCWレーザとは異なるタイプの損傷を光学素子に引き起こします。パルスレーザは損傷を与えるほど光学素子を加熱しませんが、光学素子から電子をひきはがします。残念ながら、お客様のレーザに対して光学素子のLIDTの仕様を照らし合わせることは非常に困難です。パルスレーザのパルス幅に起因する光学素子の損傷には、複数の形態があります。以下の表中のハイライトされた列は当社の仕様のLIDT値が当てはまるパルス幅に対する概要です。
パルス幅が10-9 sより短いパルスについては、当社の仕様のLIDT値と比較することは困難です。この超短パルスでは、多光子アバランシェ電離などのさまざまなメカニクスが損傷機構の主流になります[2]。対照的に、パルス幅が10-7 sと10-4 sの間のパルスは絶縁破壊、または熱的影響により光学素子の損傷を引き起こすと考えられます。これは、光学素子がお客様の用途に適しているかどうかを決定するために、レーザービームに対してCWとパルス両方による損傷閾値を参照しなくてはならないということです。
| Pulse Duration | t < 10-9 s | 10-9 < t < 10-7 s | 10-7 < t < 10-4 s | t > 10-4 s |
|---|---|---|---|---|
| Damage Mechanism | Avalanche Ionization | Dielectric Breakdown | Dielectric Breakdown or Thermal | Thermal |
| Relevant Damage Specification | No Comparison (See Above) | Pulsed | Pulsed and CW | CW |
お客様のパルスレーザに対してLIDTを比較する際は、以下のことを確認いただくことが重要です。
エネルギ密度におけるLIDTに対するパルス長＆スポットサイズ。短パルスでは、エネルギ密度はスポットサイズにかかわらず一定です。このグラフの出典は[1]です。
- レーザの波長
- ビームのエネルギ密度(トータルエネルギをビームの強度が1/e2の範囲の面積で割ったもの)
- レーザのパルス幅
- パルスの繰返周波数(prf)
- 実際に使用するビーム径(1/e2 )
- ビームのおおよその強度プロファイル(ガウシアン型など)
ビームのエネルギ密度はJ/cm2の単位で計算します。右のグラフは、短パルス光源には、エネルギ密度が適した測定量であることを示しています。この条件下では、エネルギ密度はスポットサイズとは無関係になります。つまり、スポットサイズの変化に合わせてLIDTを計算し直す必要がありません。ここでは、ビーム強度プロファイルは一定であると仮定しています。ここで、ビームがホットスポット、または他の不均一な強度プロファイルの場合を考慮して、おおよその最大パワー密度を計算する必要があります。ご参考までに、ガウシアンビームのときは一般にビームの強度が1/e2のときの2倍のパワー密度を有します。
次に、光学素子のLIDTの仕様と最大エネルギ密度を比較しましょう。損傷閾値の測定波長が光学素子に使用する波長と異なっている場合には、その損傷閾値は適宜補正が必要です[3]。経験則から、損傷閾値は波長に対して以下のような平方根の関係であるということです。短い波長で使う場合、損傷閾値は低下します(例えば、1064 nmで 1 J/cm2のLIDTならば、532 nmでは0.7 J/cm2と計算されます)。
波長を補正したエネルギ密度を得ました。これを以下のステップで使用します。
ビーム径は損傷閾値を比較する時にも重要です。LIDTがJ/cm2の単位で表される場合、スポットサイズとは無関係になりますが、ビームサイズが大きい場合、LIDTの不一致を引き起こす原因でもある不具合が、より明らかになる傾向があります[4]。ここで示されているデータでは、LIDTの測定には＜1 mmのビーム径が用いられています。ビーム径が5 mmよりも大きい場合、前述のようにビームのサイズが大きいほど不具合の影響が大きくなるため、LIDT (J/cm2)はビーム径とは無関係にはなりません。
次に、パルス幅について補正します。パルス幅が長くなるほど、より大きなエネルギに光学素子は耐えることができます。パルス幅が1～100 nsの場合の近似式は以下のようになります。
お客様のレーザのパルス幅をもとに、光学素子の補正されたLIDTを計算するのにこの計算式を使います。お客様の最大エネルギ密度が、この補正したエネルギ密度よりも小さい場合、その光学素子はお客様の用途でご使用いただけます。ご注意いただきたい点は、10-9 s と10-7 sの間のパルスにのみこの計算が使えることです。パルス幅が10-7 sと10-4 sの間の場合には、CWのLIDTも調べなければなりません。
当社のウェブ上の損傷閾値の仕様と我々が行った実際の実験の値の間にはある程度の差があります。これはロット間の違いによって発生する誤差を許容するためです。ご要求に応じて、当社では個別のテスト情報やテスト結果の証明書を発行することも可能です。詳細は、当社までお問い合わせください。
[1] R. M. Wood, Optics and Laser Tech. 29, 517 (1998).
[2] Roger M. Wood, Laser-Induced Damage of Optical Materials (Institute of Physics Publishing, Philadelphia, PA, 2003).
[3] C. W. Carr et al., Phys. Rev. Lett. 91, 127402 (2003).
[4] N. Bloembergen, Appl. Opt. 12, 661 (1973).
レーザーシステムが光学素子に損傷を引き起こすかどうか判断するプロセスを説明するために、レーザによって引き起こされる損傷閾値(LIDT)の計算例をいくつかご紹介します。同様の計算を実行したい場合には、右のボタンをクリックしてください。計算ができるスプレッドシートをダウンロードいただけます。ご使用の際には光学素子のLIDTの値と、レーザーシステムの関連パラメータを緑の枠内に入力してください。スプレッドシートでCWならびにパルスの線形パワー密度、ならびにパルスのエネルギ密度を計算できます。これらの値はスケーリング則に基づいて、光学素子のLIDTの調整スケール値を計算するのに用いられます。計算式はガウシアンビームのプロファイルを想定しているため、ほかのビーム形状(均一ビームなど)には補正係数を導入する必要があります。 LIDTのスケーリング則は経験則に基づいていますので、確度は保証されません。なお、光学素子やコーティングに吸収があると、スペクトル領域によってLIDTが著しく低くなる場合があります。LIDTはパルス幅が1ナノ秒(ns)未満の超短パルスには有効ではありません。
Figure 71A ガウシアンビームの最大強度は均一ビームの約2倍です。
CWレーザの例
波長1319 nm、ビーム径(1/e2)10 mm、パワー0.5 Wのガウシアンビームを生成するCWレーザーシステム想定します。このビームの平均線形パワー密度は、全パワーをビーム径で単純に割ると0.5 W/cmとなります。
しかし、ガウシアンビームの最大パワー密度は均一ビームの約2倍です(Figure 71A参照)。従って、システムのより正確な最大線形パワー密度は1 W/cmとなります。
アクロマティック複レンズAC127-030-CのCW LIDTは、1550 nmでテストされて350 W/cmとされています。CWの損傷閾値は通常レーザ光源の波長に直接スケーリングするため、LIDTの調整値は以下のように求められます。
LIDTの調整値は350 W/cm x (1319 nm / 1550 nm) = 298 W/cmと得られ、計算したレーザーシステムのパワー密度よりも大幅に高いため、この複レンズをこの用途に使用しても安全です。
ナノ秒パルスレーザの例:パルス幅が異なる場合のスケーリング
出力が繰返し周波数10 Hz、波長355 nm、エネルギ1 J、パルス幅2 ns、ビーム径(1/e2)1.9 cmのガウシアンビームであるNd:YAGパルスレーザーシステムを想定します。各パルスの平均エネルギ密度は、パルスエネルギをビームの断面積で割って求めます。
上で説明したように、ガウシアンビームの最大エネルギ密度は平均エネルギ密度の約2倍です。よって、このビームの最大エネルギ密度は約0.7 J/cm2です。
このビームのエネルギ密度を、広帯域誘電体ミラーBB1-E01のLIDT 1 J/cm2、そしてNd:YAGレーザーラインミラーNB1-K08のLIDT 3.5 J/cm2と比較します。LIDTの値は両方とも、波長355 nm、パルス幅10 ns、繰返し周波数10 Hzのレーザで計測しました。従って、より短いパルス幅に対する調整を行う必要があります。 1つ前のタブで説明したようにナノ秒パルスシステムのLIDTは、パルス幅の平方根にスケーリングします:
この調整係数により広帯域誘電体ミラーBB1-E01のLIDTは0.45 J/cm2に、Nd:YAGレーザーラインミラーのLIDTは1.6 J/cm2になり、これらをビームの最大エネルギ密度0.7 J/cm2と比較します。広帯域ミラーはレーザによって損傷を受ける可能性があり、より特化されたレーザーラインミラーがこのシステムには適していることが分かります。
ナノ秒パルスレーザの例:波長が異なる場合のスケーリング
波長1064 nm、繰返し周波数2.5 Hz、パルスエネルギ100 mJ、パルス幅10 ns、ビーム径(1/e2)16 mmのレーザ光を、NDフィルタで減衰させるようなパルスレーザーシステムを想定します。これらの数値からガウシアン出力における最大エネルギ密度は0.1 J/cm2になります。Ø25 mm、OD 1.0の反射型NDフィルタ NDUV10Aの損傷閾値は355 nm、10 nsのパルスにおいて0.05 J/cm2で、同様の吸収型フィルタ NE10Aの損傷閾値は532 nm、10 nsのパルスにおいて10 J/cm2です。1つ前のタブで説明したように光学素子のLIDTは、ナノ秒パルス領域では波長の平方根にスケーリングします。
スケーリングによりLIDTの調整値は反射型フィルタでは0.08 J/cm2、吸収型フィルタでは14 J/cm2となります。このケースでは吸収型フィルタが光学損傷を防ぐには適した選択肢となります。
マイクロ秒パルスレーザの例
パルス幅1 µs、パルスエネルギ150 µJ、繰返し周波数50 kHzで、結果的にデューティーサイクルが5%になるレーザーシステムについて考えてみます。このシステムはCWとパルスレーザの間の領域にあり、どちらのメカニズムでも光学素子に損傷を招く可能性があります。レーザーシステムの安全な動作のためにはCWとパルス両方のLIDTをレーザーシステムの特性と比較する必要があります。
この比較的長いパルス幅のレーザが、波長980 nm、ビーム径(1/e2)12.7 mmのガウシアンビームであった場合、線形パワー密度は5.9 W/cm、1パルスのエネルギ密度は1.2 x 10-4 J/cm2となります。これをポリマーゼロオーダ1/4波長板WPQ10E-980のLIDTと比較してみます。CW放射に対するLIDTは810 nmで5 W/cm、10 nsパルスのLIDTは810 nmで5 J/cm2です。前述同様、光学素子のCW LIDTはレーザ波長と線形にスケーリングするので、CWの調整値は980 nmで6 W/cmとなります。一方でパルスのLIDTはレーザ波長の平方根とパルス幅の平方根にスケーリングしますので、1 µsパルスの980 nmでの調整値は55 J/cm2です。光学素子のパルスのLIDTはパルスレーザのエネルギ密度よりはるかに大きいので、個々のパルスが波長板を損傷することはありません。しかしレーザの平均線形パワー密度が大きいため、高出力CWビームのように光学素子に熱的損傷を引き起こす可能性があります。
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Li Mengfan
(posted 2024-03-01 17:48:54.757) Hi,
I've test the galvo (GVS211) with three Voltage Angle conversion scaling (1,0.8,0.5).
But as I tested, the scaling have additional 1.5 magnification. Is this a factory calibration error or normal? spolineni
(posted 2024-03-07 04:43:40.0) Thank you for reaching out to us. We’re sorry to hear that you’re having issues with unexpected magnification on GVS211 galvo system. I will contact you shortly to help troubleshoot the issue. Li Mengfan
(posted 2024-03-01 17:48:31.71) Hi,
I've test the galvo (GVS211) with three Voltage Angle conversion scaling (1,0.8,0.5).
But as I tested, the scaling have additional 1.5 magnification. Is this a factory calibration error or normal? Julien Camard
(posted 2023-10-19 15:43:15.867) Hello, I recently purchased a 2D 10mm galvo set from you and I would now like to separate the scanners. Do you sell the 1D galvo post mount separately? Thanks. do'neill
(posted 2023-11-06 08:25:50.0) Response from Daniel at Thorlabs. We do not sell these mounts individually as stock items. I will reach out to you directly to discuss this with you. Byungjin Lee
(posted 2023-09-17 01:11:57.747) Dear Thorlabs,
Greetings, I am Byungjin Lee, a member of the Physics Department at KAIST.
During the operation of the GVS011 motor, we have encountered a malfunction. When the motor is operated without any attachments, it fails to function correctly and emits a hissing noise, consistent with the manual's description.
May I inquire about the possibility of procuring the GVS011 motor as a standalone item?
Additionally, I would like to seek your guidance regarding the feasibility of attaching an accessory weighing approximately 20 grams to the motor.
Thank you.
Sincerely,
Byungjin Lee
Physics Department, KAIST do'neill
(posted 2023-09-19 10:55:54.0) Response from Daniel at Thorlabs. I will reach out to you directly to discuss your application with you. user
(posted 2022-10-26 17:35:31.133) We have purchased a GVS-411 and there are 2 minor adaption issue:
1. The mounting hole is not located at mirror's rotation center and is annoying during alignment
2. It would be helpful if there are adaptioin plate for sale that connect the galvo mirror into a 30mm cage system 晓晨 李
(posted 2022-10-17 14:13:02.973) 你好，我们买了GPS011-EC这款电源。但是自带的连接驱动板的俩根线是2米长的，我们现在需要更短的线，比如0.5米的，贵公司现在有更短的线在售么？ DJayasuriya
(posted 2022-10-18 08:25:16.0) Thank you for your inquiry. Yes we would be able to do custom length cables. We have got in touch with you directly. Alex Raterink
(posted 2022-06-15 14:02:01.807) Hello,
I am using two of the GVS211 for 2D control of a laser in the sample plane of my microscope. As I am aligning this path, I noticed the galvo mirrors, at rest, are at awkward positions (that is, not 45 degrees in relation to their mounting bracket). Is there a way I can change the resting position of the mirrors in these galvos? cwright
(posted 2022-06-17 08:26:22.0) Response from Charles at Thorlabs: Thank you for your query. With no power, or the galvo disabled, the mirror can rotate freely and will not be at a set angle. Once it is powered up again it would move to the zero command voltage position, which would be the midpoint of travel. The midpoint can be adjusted by loosening the galvo motor within it's mount and rotating the entire motor body. HSIANG-CHIEH LEE
(posted 2021-08-31 16:00:01.5) Dear Thorlabs staff,
Does Thorlabs provide a power supply unit for GVS002 but with a smaller footprint? The current size and weight of GPS011-US make it challenging to develop a compact and light system?
Thanks,
Sincerely,
Hsiang-Chieh
National Taiwan University, Taiwan cwright
(posted 2021-09-02 10:33:39.0) Response from Charles at Thorlabs: Thank you for your feedback. Unfortunately we do not supply another PSU. If you decide to use another PSU then we would recommend a linear one which meets the same specifications as ours but we cannot offer this. Kenneth Li
(posted 2021-02-24 14:45:27.263) I purchase the 1-D motor and this 2-channel power supply. It is quite heavy. I only use 1 channel. I need to ship the finished prototype to Taiwan from US. Please let me know if you have single channel, lighter weight unit.
Thanks
Ken DJayasuriya
(posted 2021-02-25 10:09:24.0) Thank you for your inquiry. Unfortunately this is the only power supply we offer for the GVS series galvo. I will get in touch with you directly to discus other options. 王 重阳
(posted 2020-10-10 13:21:22.023) Hi, I want to lengenth the cable of the Galvo scanning system (GVS112M) using the home-made cables. Does it matter ? cwright
(posted 2020-10-14 09:43:36.0) Response from Charles at Thorlabs: Hello and thank you for your query. The cable from the driver board to the galvo motor can be extended and we can provide extension cables, but the driver board would usually require recalibration. Their performance is sensitive to being correctly calibrated and extension cables may lower performance (increase settle time) while poor calibration could even lead to damage. We would advise that your galvo be returned to us to have our extension cables fitted and the drivers correctly calibrated.
Your local technical support team will reach out to you about this. user
(posted 2020-04-21 13:25:56.26) Hi,
I was wondering if the mirror of a Single-Axis Scanning Galvo System can be replaced if it gets damaged? DJayasuriya
(posted 2020-04-22 09:37:05.0) Response from Dinuka at Thorlabs: Thank you for your query. Yes we can replace the mirror if it gets damaged. We would have to calibrate the galvo after replacing mirror. Please get in touch with your local techsupport team if you would like to arrange this. Thank you. Simon Ameer-Beg
(posted 2020-03-17 10:43:09.24) Hi,
I have a very specific question.
Would it be possible to order the GVS011 with a mirror which is double sided? I.e. coated on both front and back faces? The same Protected silver coating on both sides.
Best wishes
Simon DJayasuriya
(posted 2020-03-18 06:13:25.0) Response from Dinuka at Thorlabs: Thank you for your query Simon. We will contact you for further information. wei wang
(posted 2020-02-19 23:13:28.63) Hi there:
For storm applications with laser power 50mw-100mw (diameter 5mm), does the galvo with broadband coating sustain this? I
wei AManickavasagam
(posted 2020-02-24 10:30:07.0) Response from Arunthathi at Thorlabs: Thanks for your query. We will contact you for further information on your laser specs to determine compatibility. yancheng
(posted 2018-11-24 15:11:17.48) Hi, I want to buy the GVS411, but I'm not sure whether it is compatible to my laser. Would you please give me a hand? Thank you!
email: yancheng@umich.edu
tel: 7348813105 AManickavasagam
(posted 2018-11-26 07:46:04.0) Response from Arunthathi at Thorlabs: Thanks for your query. As a guideline the damage threshold we state for GVS411 would be 0.3 J/cm2 at 355 nm(10 ns, 10 Hz, Ø0.381 mm). I will contact you directly to discuss your laser specs. modam
(posted 2017-05-30 12:42:02.26) Dear Sir or Madam,
I have different questions about the Single-Axis Scanning Galvo Systems. I would like to rotate a nonlinear crystal (5x5x10 mm, 2 g) over a range of 1° at a frequency of 50 Hz.
The angular position and speed have to be defined with a with a specific function from a DAQ.
A galvo motors has a high potential for this application.
Could you explain me how the mirror is mounted on the galvo motor and how it can be removed ? Can you made a custummized mount the crystal described above ?
I would also appreciate if you can give me more details about the control of the acceleration of the rotor, how do we manage to tune the current in order to control it ?
Best regards,
Morgan Mathez
Morgan David Mathez
PhD student
Optical Sensor Technology
DTU Fotonik
Technical University of Denmark
Department of Photonics Engineering
Frederiksborgvej 399
Building 108, Room S67
4000 Roskilde
modam@fotonik.dtu.dk
www.dtu.dk/english bwood
(posted 2017-06-01 06:39:32.0) Response from Ben at Thorlabs: Thank you for contacting us with this interesting proposal. This system may be possible, however there are a few design challenges. The galvo system is very sensitive to the load on the motor; even different mirrored coatings can affect the calibration of the galvo. You would probably need a new mounting solution as well. I believe you have also contacted tech support directly, and I will continue the conversation there. tom-knop
(posted 2017-02-09 04:20:16.113) Hi, I would like to have some information about the tuning procedure. I don't really want to change the settings, but it is more for testing purposes. Is there any kind of test pattern that I can display and if so, what software do I need to do this?
With kind regards,
tom Knop bhallewell
(posted 2017-02-24 06:03:39.0) Response from Ben at Thorlabs: Each of our galvo systems is an analogue system & so cannot be tuned directly via software. We tune the signal response of each unit in-house by adjusting the various potentiometers on the galvo drive card board. This is a complex procedure which we don't wish for customers to perform. In terms of checking the performance of the galvo, there is a diagnostics terminal detailed on page. 18 which can be checked to cross-check your input signal with the response from your galvo. I will contact you directly to address your concerns.
https://www.thorlabs.com/drawings/d4f04ca7120fbd19-5A9767FF-5056-0103-79303B4BEFD57D8C/GVS002-Manual.pdf ns.park
(posted 2016-11-22 16:57:55.58) Hello, I am Nam Su Park in Pusan National University, Korea.
Where can I ZEMAX file about GVS011/M?
If you offer the ZEMAX file of GVS011/M, I would like to get from you. I can't find ZEMAX file on your website.
Please confirm my message and I will wait your reply.
Sincerely,
Nam Su Park. bwood
(posted 2016-11-22 07:06:04.0) Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your question. Unfortunately, we do not currently have Zemax files available for our galvo systems. However, the mirrors are flat mirrors, using our standard optical coatings, so you may be able to adpat the files of our single mirrors as an alternative. Please contact your local tech support office, if you would like additional advice on how to do this. kthering
(posted 2014-09-29 09:33:22.51) Does the orientation of the motor/mirror assembly effect the performance and/or the reliability?
I am possibly planning on mounting the assembly so the motor would be on the top.
Thanks bhallewell
(posted 2014-10-01 11:56:49.0) Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your enquiry. We only spec the performance of this item for table-mounted use however would state that altering the orientation of the motors would not have a significant impact on the performance of the Galvo system. misanchez
(posted 2014-02-03 10:42:26.887) Dear Sir/madam
We are a company called Flightech systems Europe, from Sapin.
We are interesting on buying the galvo GVS011/M for a laser application in 1550 nm. So we are asking for a quotation of this product in order to send it to our purchase departmen.
Also it would be nice if you can stelling us the delivering time and Would you mind telling us the scaning speed the system is able to achieve (in mm/s)?
Thank you very much. msoulby
(posted 2014-02-04 09:04:44.0) Response from Mike at Thorlabs: As our German office is your local office they will contact you directly with the quotation you requested, we have these in stock at the moment so can ship one as soon as you send us your order. In terms of speed it would be difficult to give you a value in terms of mm/s as it would depend on how far away the galvo is from the target of your scanned beam. We do however specify a full scale band width of 130Hz for a sine wave and 65Hz for a square wave; this is for the full 40 degrees travel range of the galvo. |
ズーム- 大径ビーム用1軸のガルバノシステム
- 400 nm～20 μmまで4種類の波長範囲でご用意
- 電源は別売り
１軸ガルバノミラーシステムは、10 mmまでの大径ビーム用の製品をご用意しております。Table G1.1のミラーコーティングからお選びいただけます。各システムには1軸ガルバノモータ、ミラーアセンブリ、関連ドライバーボード、ドライバーボード用ヒートシンクが含まれています。電源、ドライバーボード用カバー、ケージシステム用アダプタ、ガルバノミラー用ヒートシンクは別売りです(下記参照)。
| Table G1.1 Specifications | |||
|---|---|---|---|
| Item # | GVS211(/M) | GVS011(/M) | GVS111(/M) |
| Coating | Broadband Dielectric (-E02) | Protected Silver | Protected Gold |
| Wavelength Rangea (Ravg > 95%) | 400 - 750 nm | 500 nm - 2.0 µm | 800 nm - 20 µm |
| Damage Thresholdsb | 0.25 J/cm2 at 532 nm (10 ns, 10 Hz, Ø0.803 mm) | 3 J/cm2 at 1064 nm (10 ns, 10 Hz, Ø1.000 mm) | 2 J/cm2 at 1064 nm (10 ns, 10 Hz, Ø1.000 mm) |
ズーム- 上記のガルバノミラーシステムに対応
- 低雑音のリニア電源で電気的干渉が最小となる設計
- 2つのドライバーボードに同時に電源供給が可能
- 日本国内用電源に対応
電源は低ノイズのリニア電源で、良好なシステム分解能を得るために電気干渉を最小限に抑える設計がされています。 3 A、±15 VDCを供給し、100 VAC (型番GPS011-JP)の電圧入力用に設定されています。 こちらの電源は上記のガルバノミラーシステムすべてに対応します。2 m長の電源ケーブルが2本付属します。
高度な仕様が求められない用途では、標準的なスイッチング電源もお使いいただけます。
ズーム
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Figure 401A Ø12.7 mmポスト上のヒートシンクに取り付けられた2軸ガルバノミラーシステム
- 熱による動作不良を防ぐ冷却機能を追加
- 1軸および2軸のミラーマウントに直接取付け
- M4ネジ切り加工付きで、ポストに取付け可能
ガルバノミラー用ヒートシンクGHS003/Mは、1軸および2軸のミラーマウントに直接取り付けられ、デバイスの冷却およびポストアダプタとしてもお使いいただけます。取付け用のネジが製品に付属しています。
ガルバノミラーからの熱は通常は普通のマウント方法で放熱できますが、 駆動信号が急速に変化する用途では、熱が過度に蓄積してガルバノモータに動作不良が起きたり、ドライバーボードで熱制御スイッチが起動してしまうことがあります。熱制御スイッチの誤作動が繰り返し発生する場合、ヒートシンクGHS003/Mのご使用をお勧めしています。このヒートシンクはポストアダプタとしてもお使いいただけるので、ガルバノミラーアセンブリをM4ネジ切り加工付きポスト上に取り付けることができます。
ズーム
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Figure 402A GCE001は、ガルバノシステム用のサーボドライバーボードのカバーとして使えます。
GCE001はサーボドライバーボード用のエンクロージャとしてお使いいただけます。付属のM3ネジと六角レンチを使用して、ボルトで簡単にサーボドライバーブラケットに取り付けられます。
注意： この製品は初期のサーボドライバーボードには使用できません。 詳細につきましては、当社までお問い合わせください。
1軸ガルバノスキャナ:ビーム径＜10 mm