クロスフレクシャ1軸ガルバノシステム


  • Single-Axis Galvos for Beam Diameters up to 30 mm
  • Cross-Flexure Pivot Mechanism Ideal for Raster Scanning
  • Longer Lifetimes than Traditional Galvos

SP30Y-AG

Square Profile Housing,
Y-Axis Mirror

Round Profile Housing,
Custom Mirror

Back

Front

Included Servo Driver

Related Items


Please Wait
Key Specifications
Item #SS30X-AGSS30Y-AGSP30X-AGSP30Y-AG
Housing ProfileØ2.00" Round1.62" x 1.62" Square
Mirror OrientationHorizontalVerticalHorizontalVertical
Mirror CoatingProtected Silver, 450 nm - 10.6 µm
Repeatability< 10 µrad
Max Scan Angle
(Optical Angle)
Raster: ±20°
Vector: ±10°

用途

  • ラスターイメージング
  • レーザーマーキング
  • 機器組み込み
  • 多角面の補正
  • 高デューティまたは小角度の用途

大量注文について

当社では大量注文にもご対応いたします。
詳細は当社までお問い合わせください。

カスタム仕様の光学素子サイズならびにコーティング、チューニング、またケーブル種類のご要望も承ります。

Contact Thorlabs

特長

  • クロスフレクシャ回転設計の可動マグネット式ガルバノメータ
  • 最大ビーム径:30 mm(これより大きなサイズについてはご相談ください)
  • ラスタ用途に適した滑らかな走査
  • 優れた横軸安定性
  • 潤滑剤不使用で真空用途に適した製品
  • ボールベアリング式のガルバノよりも高寿命
  • サーボドライバ内蔵

こちらの1軸ガルバノメータは、クロスフレクシャ回転設計を採用しており、滑らかで安定性の高い走査が可能です。従来のボールベアリング設計から横軸フレクシャ設計に変わることで、騒音や潤滑剤によるエラーをなくし、部品の摩耗を低減します。可動マグネット式のガルバノは、ラスターイメージングやフィードバック安定化イメージングシステム、移動する物体の観察やマーキング用途に適しています。

ミラーの角度(位置)は、ガルバノメータ筐体内にある容量型センシングシステムによって測定され、これによりガルバノミラーシステムの閉ループ動作が可能になります。ガルバノシステムは、連続ラスタ走査の用途で使用する場合、±20°の光学範囲全体を走査することができます。ベクタ走査またはステップ走査の用途で駆動する場合は、±10°までに制限する必要があります。詳細は左の緑色ボックス内をご参照ください。

クロスフレクシャ式ガルバノとボールベアリング式ガルバノ

このガルバノメータに使用されているクロスフレクシャ式の回転メカニズムは、ボールベアリング式の回転に比べて、より滑らかな走査と優れた横軸安定性が実現できるよう設計されています。フレクシャ素子は1つの軸にしっかりと結合されており、直交方向への動きを最小限に抑えます。連続したラスタおよび小角度の用途において、クロスフレクシャ式回転はボールベアリング式よりも摩耗や位置誤差が少なく、高寿命および高い再現性を実現します。

しかし、クロスフレクシャ式の回転はミラーを大きな角度で回転させてその位置を保持する必要のある用途には適しません。フレクシャ素子は、主に曲がってからニュートラルに戻る設計となっています。フレクシャ素子に曲げる力を連続して加えると、寿命が大幅に短くなります。

当社のクロスフレクシャ式ガルバノは、ミラーを水平(X)または垂直(Y)方向でご使用いただけます。また、各ガルバノは様々なサブアセンブリと統合できるよう、Ø50.8 mmの円形筐体または41.1 mm角の筐体に収容されています。ミラーは最大30 mmのビーム径に対応します。これよりも大きな径に対応するミラーについては当社にお問い合わせください。

内蔵のサーボドライバはDC電源、ガルバノモータ、入力信号源(信号モニタ用の接続はオプションでご用意しております)に接続されている必要があります。連続走査用途では、正弦波出力ができるファンクションジェネレータによりガルバノミラーのすべての角度を走査することが可能です。さらに複雑なパターンを走査するには、DAQカードなどプログラム可能な電圧源を使用します。なお、これらのシステムにはファンクションジェネレータ、あるいはDAQカードは付属しませんのでご注意ください。

対応する電源(型番GPWR15)とケーブルセット(型番CBLS3F)は別売りです。1つの電源で最大2台のガルバノメータに電源を供給することができます。ケーブルセットは、各ガルバノメータに1つずつ必要です。

Item #SS30X-AGSS30Y-AGSP30X-AGSP30Y-AG
Housing ProfileØ2.00" Round1.62" x 1.62" Square
Mirror
OrientationHorizontal
(X-Axis)
Vertical
(Y-Axis)
Horizontal
(X-Axis)
Vertical
(Y-Axis)
Maximum Beam Diameter30 mm
CoatingProtected Silver
Wavelength Range450 nm - 10.6 µm
Absolute Reflectance≥92% (450 - 500 nm)
≥94.5% (500 - 2000 nm)
≥98% (2 - 10.6 µm)
Surface Quality40-20 Scratch-Dig
Motor and Position Sensor
Linearity (50% Full Travel)> 99.9%
Scale Drift190 ppm/°C
Zero Drift40 µrad/°C
Repeatability< 10 µrad
Maximum Scan Angle
(Optical Angle)
Raster: ±20°
Vector: ±10°
Angular Sensitivity100 µA/°
Torque Constant2.8 x 105 dyne·cm/A
Rotor Inertia8.25 g·cm2
Coil Resistance
5.8 Ω
Coil Inductance @ 1 kHz450 µh
Operating Temperature0 to 40 °C
Storage Temperature-10 to 50 °C
Servo Amplifier Specsa
Inputs
Command Input Range±5 V
Position Input Scale Factor0.22 V/° Optical
Command Input Impedance20 kΩ ± 1% (Differential)
10 kΩ ± 1% (Single Ended)
Position Offset Range±0.25 V
External EnableSee Footnote b
Diagnostic Outputs
Servo Ready12 V
Position0.22 V/° Optical
Position Error0.22 V/° Optical
VelocityAnalog (Reference Only)
AGC VoltageAnalog (DC)
Coil Current1 V/A
Analog Output Impedance1 kΩ ± 1% (For All Outputs)
Power Supply (Not Included)
Input Voltage±15 to ±24 VDC
<100 mV Ripple
< 0.5% DC to 30 MHz Noise
Maximum Drive Current Limit4 A (RMS); 10 A (Peak)
Quiescent Current220 mA (Servo Enabled, Galvo at Rest)
Gain DriftUp to 20 ppm/°C
Offset DriftUp to 30 µrad/°C
General Specs
Operating Temperature0 to 45 °C (With Appropriate Cooling)
Storage Temperature-10 to 60 °C
Dimensions2.38" x 2.13" x 1.06"
(60.5 mm x 54.1 mm x 27.0 mm)
Mass (Weight)74 g (2.6 oz)
  • 仕様値は2分間のウォームアップ時間後に取得しています。
  • イネーブルピンは、工場でONの位置にはんだ付けされています。リモート操作をイネーブルにするには、はんだを除去するか、ご購入前に当社にご連絡ください。はんだ付けされていないユニットをご提供いたします。
Cross Flexure Galvo
Click to Enlarge

円形筐体のガルバノSS30(図にはミラーは記載されていません)
GPWR15 Power Supply Unit Specs
Input100 - 120 VAC or 220 - 240 VAC
Output±15 V at 5 A
(150 W Max Power)
Operating Temperature0 to 50 °C
Dimensions14.0" x 4.9" x 3.5"
(356 mm x 124 mm x 90 mm)
Cross Flexure Galvo
Click for Details

立方体筐体のガルバノSP30(図にはミラーは記載されていません)

Posted Comments:
No Comments Posted

クロスフレクシャーガルバノメータ

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
SS30X-AG Support Documentation
SS30X-AGクロスフレクシャ1次元ガルバノメータ、円形筐体、X軸ミラー
¥366,470
5-8 Days
SS30Y-AG Support Documentation
SS30Y-AGクロスフレクシャ1次元ガルバノメータ、円形筐体、Y軸ミラー
¥369,070
5-8 Days
SP30X-AG Support Documentation
SP30X-AGクロスフレクシャ1次元ガルバノメータ、立方体筐体、X軸ミラー
¥366,470
5-8 Days
SP30Y-AG Support Documentation
SP30Y-AGクロスフレクシャ1次元ガルバノメータ、立方体筐体、Y軸ミラー
¥369,070
5-8 Days
CBLS3F Support Documentation
CBLS3Fコマンドケーブル&電源ケーブル、QS15/20/30/45、SS&SPシリーズガルバノスキャナ(1軸)用
¥11,700
Today
GPWR15 Support Documentation
GPWR15組込み用電源、±15 V、BLINK & QS、SS、SP&XGシリーズガルバノスキャナ用
¥55,510
Today