高速フォーカサー


  • Z-Axis Translation at High Frequency
  • Dynamic Focusing for Scanning Systems
  • Optional Bonded Lens for UV or Nd:YAG Lasers

BLINK

High-Speed Translator

Included Servo Driver

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大量注文について

当社では大量注文にもご対応いたします。
詳細は当社までお問い合わせください。

カスタム仕様の光学素子サイズならびにコーティング、チューニング、またケーブル種類のご要望も承ります。

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Key Specificationsa
Item #BLINKBLINK-Y1BLINK-Y3
Lens CoatingN/ANd:YAG355 nm
Lens SizeN/AØ12.7 mm
Travel Range13 mm
Servo Bandwidth> 500 Hz
System Resolution200 nm
System Repeatability800 nm
  • 仕様の詳細については、「仕様」タブをご参照ください。

特長

  • Z軸走査
  • 2軸走査システムの焦点補正
  • 50G正弦波で連続操作可能
  • ボイスコイルドライバによる非接触エアーベアリング
  • サーボドライバ内蔵
  • サーボ帯域幅:>500 Hz

高速フォーカサBLINKは、XY位置に対する焦点補正を動的に行います。フォーカサは、集光レンズを光軸に沿って高い周波数で移動させてガルバノスキャナーシステムの有効焦点を調整するため、大きな角度または任意の表面に対応可能です。BLINKを対物レンズ前に設置するスキャナーシステムの集光素子として使用すると、大きな平面試料や3次元輪郭の試料を高速で処することができます。詳細については、「2軸 vs. 3軸」タブをご覧ください。

BLINKはエアーベアリングガイドウェイとダイレクトボイスコイルドライブを組み合わせた、非常にコンパクトで高性能なフォーカサです。 50Gのピーク正弦波での連続動作が可能で、移動質量が非常に小さいため反力を最小限に抑えます。また、可動部品が1つしかないため、従来のピンと張ったバンドを使用するアクチュエータと比べて非常に高い信頼性と長寿命を得ることができます。

このフォーカサには、M6キャップスクリュ用の貫通穴が2つ付いたアルミニウム製取付ブラケットが付属します。ユニット上部には4つのM3取付用タップ穴があります(取付ブラケットに2つ、シリンドリカルレンズの筐体に2つ)。開口部近くの4つのM3タップ穴は、カスタム仕様の取り付けに対応できるよう、23.3 mm間隔で開いています。

フォーカサは接着されたレンズ付きまたは無しでご用意しています。UV (355 nm)またはNd:YAG (1064 nm)レーザ用のコーティング付きレンズもございます。

対応する電源(型番GPWR15)とケーブルセット(型番CBLS2F)は別売りです。

仕様

Item #BLINKBLINK-Y1BLINK-Y3
Included Lens
Coating TypeN/ANd:YAG355 nm
SizeN/AØ12.7 mm
MassN/A2 g
Scanner
Travel Range13 mm
Servo Bandwidth> 500 Hz
Force Constant (K)6.1 N/Amp
Coil Resistance4.5 Ω
Position Detector Resolution0.2 nm
System Resolution200 nm
System Repeatability800 nm
Environmental
Unit Mass540 g
Air Supply CleanlinessClass 3 or Better
Air Supply Pressure60 - 90 PSI
Air Supply Flow Rate< 2.5 LPM @ 80 PSI

1.0 mmストロークのリファレンスムーブに対応するダイナミック性能

FrequencyPeak AccelerationPeak CurrentAverage Power
Bonded Lens
100 Hz197 m/s2 (20g)1.0 A2.3 W
125 Hz308 m/s2 (31g)1.4 A4.4 W
141 Hz392 m/s2 (40g)1.8 A7.3 W
157 Hz487 m/s2 (50g)2.2 A11.1 W
Removable Lens
100 Hz197 m/s2 (20g)1.1 A2.7 W
125 Hz308 m/s2 (31g)1.5 A5.2 W
141 Hz392 m/s2 (40g)2.0 A8.6 W
157 Hz487 m/s2 (50g)2.4 A13.2 W

電源GPWR15の仕様

ParameterValue
Input100 - 120 VAC or 220 - 240 VAC
Output±15 V at 5 A (150 W Max Power)
Operating Temperature0 to 50 °C
Dimensions14.0" x 4.9" x 3.5"
(356 mm x 124 mm x 90 mm)
Dynamic Focusing Galvo
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当社の3軸ガルバノスキャンヘッドXG300シリーズおよびDCB320-Y1で平坦な視野を得るための
ダイナミックフォーカス

一般的な2軸レーザ走査システムでは、コリメートビームは集光(対物)レンズに入射される前にXY軸の走査ミラーで反射されます。レンズは作業面にこのビームを集光します。XYミラーの回転によりフラットフィールド内の集光スポットは移動します。スポットのサイズとフィールドのサイズは、レンズ(やその他の要因)によって決定します。この構成はプリオブジェクティブ走査システムと呼ばれています。これは集光(対物)レンズの前にレーザ光が走査ミラーに当たるからです。fΘレンズはこの構成内のレンズとして一般的に選択されるレンズです。

この構成はビーム径と視野サイズが比較的小さいとよく機能します。例えば、20 mm未満のビーム径を使用し、300 mm未満の視野サイズの用途は、Z軸プリオブジェクティブスキャンに適しています。

必要な視野サイズが大きくなると、小さい集光スポットに一致した開口数(NA)を維持するために、より大きな走査ミラーとビーム径が必要です。このような大きいレーザービーム向けのFΘレンズは、大きく、また高価で実用的ではありません。そのため、解決策として3軸走査を検討します。

3軸走査システムでは、右図のようにXYミラーが最後の集光レンズの後ろに配置されているので、ポストオブジェクティブ走査システムと呼ばれています。レーザ光は対物レンズ上では動かないため、レンズをとても大きくする必要はありません。しかしこの配置では平坦なフィールドは作られません。平坦なフィールドを得るために、3軸目(Z軸)の移動が直線移動するレンズマウントとして採用されています。

一般的なレーザーシステムでは、エクスパンダを使用し、必要な開口数(NA)に一致するようビーム径を拡大しています。エクスパンダの入射側レンズと対物レンズの距離がシステムの集光距離を決定します。入射レンズを直線移動のレンズマウント(3軸目)に取り付けることで、焦点距離の動的制御が可能となります。詳細は右の図をご覧ください。

直線移動のレンズマウントの移動をXとYの走査ミラーの回転と組み合わせることにより、平坦な視野全体において集光レーザースポットを得ることができます。また同じ構成を用いて3次元の表面を走査することが可能です。このシナリオでは、Z軸位置がXおよびYのガルバノミラー位置の任意関数であるため、複雑な形状を走査することができます。


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