電動アクチュエーター、移動量25 mm


  • Piezo Inertia, DC Servo, or Stepper Actuators with 25 mm of Travel
  • Load Capacities Up to 55 lbs (25 kg) Available
  • Maximum Speeds Up to 50 mm/s Available
  • Compatible with a Wide Range of Stages

PIA25

Piezo Inertia Actuator

ZFS25B

Compact Stepper Motor Actuator

Z925B

DC Servo Actuator

Z925BV

Vacuum-Compatible DC Servo Actuator

DRV225

Trapezoidal Stepper Motor Actuator

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Item #ZFS25BZST225BDRV225Z925BZ925BVPIA25PIA25VF
Travel25 mm (0.98")
Motor Type2-Phase StepperDC Servo
w/ Encoder		Piezo Inertia Acuator
MountingØ3/8" (Ø9.525 mm) BarrelTwo M4 Cap ScrewsØ3/8" (Ø9.525 mm) Barrel
Vacuum RatingN/AN/A10-6 TorrN/A10-6 Torr
Required ControllerKST201BSC201, BSC202, BSC203,
or MST602		KDC101KIM001 or KIM101

    特長

    • 移動量：25 mm
    • ステッピングモータ、サーボモータ、またはピエゾ慣性アクチュエータを用いた3タイプをご用意
    • アクチュエータにより先端は回転または非回転
    • ステージやマウントの手動マイクロメータと交換可能

    当社の電動アクチュエータは、光学的な位置決め装置と組み合わせて使用するように設計されています。軽量なパッケージながら高分解能であるため、要求の厳しい光学実験システムを自動化するためのデバイスとして適しています。こちらの移動量25 mmの電動アクチュエータとしては、2相ステッピングモータ、エンコーダ付きDCサーボモータ、またはピエゾ慣性アクチュエータを用いた3種類のタイプをご用意しています。DCサーボモータまたはピエゾ慣性アクチュエータを用いた真空対応モデルは、10-6 Torrまでの真空でご使用いただけます。各モデルの概要は右の表に、詳細は以下に記載しています。

    Quick Links to Other Motorized Actuators
    10 mm (0.39") or Less Travel12 mm or 13 mm (1/2") Travel25 mm (1") Travel50 mm (2") Travel

    アクチュエータZFS25BおよびZST225B

    ピン配列

    Schematic
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタのピン配列

    高密度D-Sub 15ピンコネクタのピン配列

    PinDescriptionPinDescription
    1Limit Ground8Reserved for Future Use
    2CCW Limit Switch9Reserved for Future Use
    3CW Limit Switch10Vcc (+5 VDC)
    4Motor Phase B -11Reserved for Future Use
    5Motor Phase B +12Reserved for Future Use
    6Motor Phase A -13Reserved for Future Use
    7Motor Phase A +14Reserved for Future Use
     -- 15Ground
    Connectors Terminating the Converter Cable
    Click to Enlarge
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

     

    アクチュエータDRV225

    ピン配列

    Schematic
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

    高密度D-Sub 15ピンコネクタのピン配列

    PinDescriptionPinDescription
    1Limit Grounda9Ident (for Future Use)
    2CCW Limit Switch10+5 V
    3CW Limit Switch11Reserved for Future Use
    4Motor Phase B -ve12Reserved for Future Use
    5Motor Phase B +ve13+5 V
    6Motor Phase A -ve14Reserved for Future Use
    7Motor Phase A +ve15Ground
    8Reserved for Future Use - -
    • リミットスイッチの接地ワイヤはモータ本体に接続されています。
    Connectors Terminating the Converter Cable
    Click to Enlarge
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

     

    アクチュエータZ925B

    ピン配列

    Schematic
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

    高密度D-Sub 15ピンコネクタのピン配列

    PinDescriptionPinDescription
    1Ground (Limit and Vcc)9Resistive Identification
    2Forward Limit10+5 VDC
    3Reverse Limit11Encoder Channel A
    4Reserved for Future Use12Reserved for Future Use
    5Motor (-)13Encoder Channel B
    6Reserved for Future Use14Pin 2 Identification EEPROM
    7Motor (+)15Pin 1 Identification EEPROM
    8Reserved for Future Use
    Connectors Terminating the Converter Cable
    Click to Enlarge
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

     

    アクチュエータZ925B

    アクチュエータZ925BVに付いている真空対応の一体型ケーブルの先端には、メス型10ピンIDCソケットコネクタが付いています。アクチュエータZ925BVには、このメス型IDCソケットコネクタと高密度D-Subオス型15ピンコネクタとの間のアダプタとして、短い変換ケーブルが付属しています。これを用いて推奨コントローラであるKDC101に接続することができます。この変換ケーブルの終端コネクタを下の写真に示します。なお、この変換ケーブルは真空には対応しておりません。 メス型IDCソケットコネクタのピン配列と、それに接続された変換ケーブルの高密度D-Subオス型コネクタのピン配列は下表でご覧いただけます。

    ピン配列

    IDC Socket Pin Diagram
    メス型10ピンIDCソケットコネクタ
    (Amphenol社製T812シリーズ、2.54 mmピッチ)
    Connectors Terminating the Converter Cable
    Click to Enlarge
    メス型10ピンIDCソケットコネクタ
    (Amphenol社製T812シリーズ、2.54 mmピッチ)

    メス型10ピンIDCソケットコネクタのピン配列

    PinDescriptionPinDescription
    1Motor (+)6Motor (-)
    2Vcc7Limit Ground
    3Channel A8Reverse Limit
    4Channel B9Forward Limit
    5Ground10Not Connected

    ピン配列

    Schematic
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

    Male HDDB15 Connector Pin Out

    PinDescriptionPinDescription
    1Ground (Limit and Vcc)8Reserved For Future Use
    2Forward Limit9Ident Resistor
    3Reverse Limit10Vcc (+5 VDC)
    4Reserved For Future Use11Encoder Channel A
    5Motor (-)12Reserved for Future Use
    6Reserved for Future Use13Encoder Channel B
    7Motor (+)14, 15Reserved For Future Use
    Connectors Terminating the Converter Cable
    Click to Enlarge
    変換ケーブルの両側の終端コネクタ 左の写真は高密度D-Subオス型15ピンコネクタを、右の写真はオス型10ピンIDCソケットコネクタを示しています。

    例：ステッピングモータで駆動するアクチュエータのマイクロステップあたりの直線移動量に関する計算

    ZFSシリーズのステッピングモーターアクチュエータは、1回転あたり24フルステップです。ドライバKST201で駆動する場合、フルステップあたり2048マイクロステップになるため、モータの1回転あたりでは49 152マイクロステップになります。モータの出力軸はギア比400:9 (約44.444:1)のギアヘッドに接続されています。従って、1.0 mmピッチの送りネジを1回転させて1.0 mmの直線移動をさせるには、モータを44.444回転させる必要があります。

    従って、送りネジ1回転あたりのマイクロステップ数は以下のように与えられます。

    マイクロステップ数 x ギア比 = 49 152 x 44.444 = 2 184 511.5 マイクロステップ/送りネジ1回転

    これからマイクロステップ毎の送りネジの直線移動量(理論値)は以下のようになります。

    1.0 mm / 2 184 511.5 = 0.46 x 10-6 mm = 0.46 nm

    ステッピングモーターアクチュエータに関する計算のまとめ

    Item #Required DriverFull Steps per RevolutionMicrosteps per RevolutionGearbox RatioDisplacement per Microstepa
    ZFS25BKST2012449 15244.444:10.46 nm
    ZST225B40.866:10.50 nm
    DRV225BSC201, BSC202, BSC203,
    or MST602    		200409 600N/A2.4 nm
    • これは理論計算値であるため、参照用としてのみご使用ください。アクチュエータの性能を評価する指標としてはご使用いただけません。

     

    例：Z9シリーズサーボモータアクチュエータのエンコーダ分解能に関する計算

    Z9シリーズのサーボモータアクチュエータでは、サーボモータ1回転あたりのエンコーダ出力は512カウントになります。モータの出力軸はギア比67.49:1の遊星ギアヘッドに取り付けられているため、1.0 mmピッチの送りネジを1回転させて1.0 mmの直線移動をさせるには、モータを67.49回転させる必要があります。

    従って、送りネジ1回転あたりのエンコーダ出力数は以下のように与えられます。

    エンコーダ出力数 x ギア比 = 512 x 67.49 = 34 555エンコーダ出力数/送りネジ1回転

    これから、エンコーダの理論分解能、すなわちエンコーダ1カウントあたりの送りネジによる直線移動量(理論値)は、以下のようになります。

    1.0 mm / 34 555 counts = 2.9 x 10-5 mm = 29 nm.

    サーボモータアクチュエータに関する計算のまとめ

    Item #Required DriverEncoder Counts per RevolutionGearbox RatioEncoder Resolution
    Z925BKDC10151267.49:129 nm
    Z925BV

    Posted Comments:
    Upasana Das  (posted 2024-10-03 12:17:22.887)
    I have been using two Motor Actuator with 25 mm Travel for my APD setup but when they move around 5 mm or more at a stretch it makes a loud whining noise. What can be the possible reason behind this sound and what to do for maintainance of these actuators?
    spolineni  (posted 2024-10-10 12:30:46.0)
    Thank you for reaching out. I will personally contact you to assist with troubleshooting the issue with your motor actuator.
    Franklin Wei  (posted 2024-06-24 18:38:20.267)
    We have an application which would benefit from a 50 mm version of the Z925B. Is there a chance this could be developed?
    cstroud  (posted 2024-06-26 11:11:40.0)
    Thanks for reaching out. I will pass along your feedback to our internal suggestion forum.
    Yu Chen  (posted 2023-12-10 00:20:42.793)
    I have the same problem as Martin Tmej mentioned. When connecting ZFS25B to a controller KST101 the actuator reports itself as ZST6(B) model. I noticed in the reply it said that a firmware update for the controller should solve this question. My question is where can I get the firmware update done? Thanks
    Victor Lorenz Fonfria  (posted 2022-09-08 10:09:28.75)
    Can I use the actuator Z825B to replace a micrometer in the stage LX30/M? The micrometers in LX30/M have a Ø3/8" barrel, so I guess I can replace them with Z825B, but I would like to have a confirmation.
    cwright  (posted 2022-09-09 05:17:59.0)
    Response from Charles at Thorlabs: Thank you for your query. Yes the Z825B could be used with the LX30/M as a replacement for the micrometer.
    Martin Tmej  (posted 2022-06-22 08:49:54.44)
    Hello, I connected the ZFS25B to a controller KST101 and the actuator reports itself as ZST6(B) model. There does not fit any calibration. I tried to change the actuator type through Kinesis application, but it does not allow it. Please, how can I change the actuator type? Thanks, Martin Tmej
    cwright  (posted 2022-06-23 09:32:47.0)
    Response from Charles at Thorlabs: Thank you for your query. If the stage is not detected correctly then it may be that the controller requires a firmware update to account for a change of ident device. We will reach out to you to help with this.
    HYESANG KIM  (posted 2020-04-23 12:05:12.517)
    KDC101 with Z825B. Wanted to control them with matlab, and it worked a bit successfully. I can use device.Home() and device.MoveTo(), but device.MoveToAt() or device.MoveContinuous() and several commands are not working with error : "Class 'Thorlabs.MotionControl.KCube.DCServoCLI.KCubeDCServo' does not have the appropriate method, property, field 'MoveToAt'.". How can I use them?
    DJayasuriya  (posted 2020-04-24 09:30:11.0)
    Response from Dinuka at Thorlabs: Thank you for your feedback, I will be in contact with you directly to help troubleshoot your programming issues.
    himada  (posted 2018-11-04 21:58:18.32)
    Can we remove the spherical tip and attach another tip?
    rmiron  (posted 2018-11-05 06:40:18.0)
    Response from Radu at Thorlabs: Unfortunately, this is not possible with Z825B. I will relay your question internally so that it is taken into account when we design the next iteration of this product.
    chao.he  (posted 2018-06-07 15:19:34.433)
    Hi, I am using Z825B and the KDC101 to control. I can understand the calculation process and the resolution. But how could I know how many rotating steps (number on KDC101 display) corresponding to the real distance moving by one direction? For example, if I change the control number from 0 to 0.25 on KDC, what will be the real distance moving by the Z825B induced? Thanks
    rmiron  (posted 2018-06-11 05:53:03.0)
    Response from Radu at Thorlabs: I am afraid that I do not know what is the number on KDC101's display that you are referring to. By default, the controller only displays the current position in mm or degrees and the reading should be labelled accordingly. Therefore, no conversion should be necessary. I will contact you directly for clarification purposes.
    ruby.mchone  (posted 2015-04-24 16:12:26.65)
    Please provide details on designing the mating part to best press fit the actuator mounting the part. Thank you.
    bhallewell  (posted 2015-04-27 10:41:06.0)
    Response from Ben at Thorlabs: Thanks for your request here Ruby. This is dependent upon the size of the acceptance bore of the particular stage you would intend to mount this actuator to. To mount the stage into a 0.5" hole we hold the item RBA1 an adapter which would encompass the 3/8" barrel on the actuator. I will contact you directly to discuss this.
    martien.veekens  (posted 2015-03-11 13:53:36.193)
    Dear Mrs./Mr. To add these parts in our systems we need some more information. We could not find it in the available datasheets. Can you inform me about the materials and surface treatments of the below mentioned parts. ZST225B NRT150/M LNR50SE/M LNR50S/M Thanks in advance for your help.
    bhallewell  (posted 2015-03-16 11:40:47.0)
    Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your request for this information. I will contact you directly to see if I can clarify surface detail to wihtin your requirements.
    mszheng  (posted 2014-09-20 12:23:38.257)
    I have a brand new ZST225B that becomes scalding hot once plugged in, without any load or movement at all. It is on default settings. This appears to be a defective unit, can you replace it for us?
    msoulby  (posted 2014-09-22 08:43:29.0)
    Response from Mike at Thorlabs: Our older model of TST001 and stepper actuators have a different current settings which are set in the APT Config utility. We will contact you directly to learn more about your configuration settings as if these are set incorrectly you could inadvertently supply the incorrect moving and rest currents to the motor causing it to overheat.
    hamid.jahroudi  (posted 2014-08-04 11:32:48.177)
    Hello I need an actuator for moving in 266 nm steps and with constant velocity and minimum error. I saw "Calculated Minimum Incremental Motion" section but I'm worried about backlash of this apparatus. Overally, can I use this apparatus for my Goal? I'm grateful for your help.:)
    msoulby  (posted 2014-08-05 05:47:52.0)
    Response from Mike at Thorlabs: The calculated minimum increment is a calculation based on the microstep count of the stepper motor when driven with our TST001 controller. In reality the actual minimum incremental will be much larger than the 0.5nm calculated; this is due to friction, load, mechanical slack in the system and backlash. The actuator is however very capable of moving a very low velocities and sub-micron increments. Our software also has built in backlash correction to compensate for any predictable errors to improve the repeatability of the actuator, this setting can be adjusted by the user or even disabled if necessary.
    michael.renner  (posted 2014-05-14 16:20:49.24)
    Is it possible to fit the actuators to the 10mm barrels of the metric stages (PT3/m) somehow?
    cdaly  (posted 2014-05-22 11:36:38.0)
    Response from Chris at Thorlabs: It's is not possible to take an existing PT3/M and replace the micrometers with these actuators, but it is possible for us to provide a custom which uses these. Due to the barrel size (10mm) of the metric micrometer used in the standard PT3/M, the hole is to large for the standard 3/8" actuators barrels. This would be possible with the other metric version of the stage though, which do not eed to have the larger hole, such a PT3A or PT1B.
    olivier.theobald  (posted 2010-11-29 09:49:26.0)
    I am interested with this product for a precise xy motorized table. Which tables would you recommand for a 25mm travel ?
    Thorlabs  (posted 2010-11-30 08:55:50.0)
    Response from Javier at Thorlabs to Olivier: We currently do not have any stages specifically designed to work with the DRV013 actuator. However, you can use it with our LNR50 2" travel stage (http://www.thorlabs.com/NewGroupPage9.cfm?ObjectGroup_ID=2295&pn=LNR50D). I will contact you directly to discuss your application.
    c.j.lee  (posted 2010-06-17 03:18:36.0)
    Is the actuator compatible with your babinet-soilet compensators? (e.g. http://www.thorlabs.com/NewGroupPage9.cfm?ObjectGroup_ID=871). If not, is there a way to automate the compensator?
    Javier  (posted 2010-06-17 09:47:59.0)
    From Javier at Thorlabs to c.j.lee: You may also be interested in our liquid crystal variable retarder. We offer three different versions which cover the 450-1650 nm wvalength range.(http://www.thorlabs.com/NewGroupPage9.cfm?ObjectGroup_ID=3925&pn=LCR-1-IR1&CFID=2840336&CFTOKEN=81043801)
    davymooree  (posted 2009-07-31 19:44:48.0)
    Is this actuator compatible with other motor drivers or only the TDC001?
    klee  (posted 2009-07-31 23:38:48.0)
    Response from Ken at Thorlabs to davymooree: These DC Servo Motor Actuators are only compatible with TDC001.

    小型ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 25 mm

    Item #ZFS25B
    Travel25 mm (0.98")
    Backlasha< 15 µm
    Repeatability< 5.0 µm
    Home Location Accuracy< 5.0 µm
    Maximum Load Capacity40 N (8.99 lb)
    Speed2.0 mm/s (Max)
    Acceleration10 mm/s2 (Max)
    Gearbox Ratio400:9 (Approx 44:1)
    Limit SwitchesHall Effect Sensor
    Lead Screw Pitch1.0 mm
    Motor Type2-Phase Stepper
    Microsteps per Revolution
    of the Motorb    		24 Full Steps
    2048 µsteps per Full Step
    49 152 µsteps per Revolution
    Calculated Minimum
    Incremental Motionc    		0.46 nm
    MountingØ3/8" (Ø9.525 mm) Barrel
    Operating Temperature5 to 40 °C (41 to 104 °F)
    Dimensions (L x W x H)88.5 mm x 35.0 mm x 19.0 mm
    (3.48" x 1.38" x 0.75")
    Cable Length0.6 m (2 ft)
    ConnectorHDDB15
    Required ControllerKST201
    • バックラッシュによる誤差はソフトウェアの設定を調整することで補正できます。
    • 当社のT-Cube™ ステッピングモーターコントローラTST101(旧製品)を使用して測定
    • 詳細は「計算」タブをご覧ください。
    • 小型のバイポーラステッピングモーターアクチュエータ:収納時の長さ88.5 mm
    • 後部のつまみネジによる手動調整が可能
    • アクチュエータ先端は非回転
    • Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルの取付け可能なステージやマウントに対応
    • 移動量6 mmおよび13 mmの製品もご用意

    アクチュエータZFS25Bは、完全収納時の長さが88.5 mmのコンパクトなパッケージに収められており、滑らかで精密な直線移動を行うことができます。形状がコンパクトであるため、アクチュエータの先端からオプトメカニクス部品までの距離が短くなり、アクチュエータZST225Bに比べて質量中心と接触点の距離が短くなります。

    アクチュエータは小径の2相バイポーラステッピングモータで駆動され、最高速度としては2.0 mm/sが得られます。アクチュエータの先端が非回転で接触するため、摩耗や摩擦が低減されてより滑らかに動作します。アクチュエータに電源を供給していないときは、後部のつまみネジを使用して手動調整をすることも可能です。電源供給中にこのつまみネジを回転すると、アクチュエータのモータが損傷する恐れがありますのでご注意ください。取付けはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルを介して行います。

    電動アクチュエータZFS25Bには、最大40 Nまでの負荷に抗して移動させるのに十分なトルクを有するステッピングモータを使用しています。全移動範囲にわたり非常に小さいステップサイズで動作できるため、優れた柔軟性、小さなバックラッシュ(＜15 µm)、および高分解能といった特長を実現できます。減速比400:9のギアヘッドを使用しており、49 152マイクロステップ/回転の性能を有するステッピングモータードライバKST201と組み合わせて使用したときは、1マイクロステップあたりの理論上の移動量は0.46 nmになります(詳細は「計算」タブをご覧ください)。

    ホール効果リミットスイッチを用いて、ユニットのオーバードライブの防止と、精度5.0 μm未満での初期位置へのホーミングを実現しています。ZF25Bには長さ0.6 mの一体型ケーブルが付いており、その先端には当社のステッピングモーターコントローラKST201に対応する15ピンD-Subコネクタが接続されています(「ピン配列」タブをご覧ください)。これに接続できる、長さ1 mのエクステンションケーブル(PAA614)も別途ご用意しています。

    ZFS25Bには標準のØ3/8インチ(Ø9.525 mm)取付け用バレルが付いています。これを介して、単軸移動ステージPT1/Mや移動ステージPT3/Mなどの、対応する当社の精密マイクロメーターヘッドに代わって取り付けることができます。下の写真では、LNR25シリーズステージの手動アジャスタの代わりに電動アクチュエータ ZFS25Bが取り付けられています。

    DC Servo Controller
    Click to Enlarge

    必要なコントローラ
    KST201

    • 1回転につき49 152マイクロステップ
    • 出力：15 V、12 W
    • 台形または
      S字型の速度プロファイル


    Click for Details
    アクチュエータZFS25Bは、移動ステージLNR25ZFS(/M)を構成する1つのコンポーネントです。

    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    ZFS25B Support Documentation
    ZFS25BCustomer Inspired! 小型ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 25 mm、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
    		￥201,302
    Lead Time

    ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 25 mm

    Item #ZST225B
    Travel25 mm (0.98")
    Backlasha< 15 µm
    Repeatability< 5.0 µm
    Home Location Accuracy< 5.0 µm
    Maximum Load Capacity40 N (8.99 lb)
    Speed2.0 mm/s (Max)
    Acceleration10 mm/s2 (Max)
    Gearbox Ratio29 791:729 (Approx 41:1)
    Limit SwitchesHall Effect Sensor
    Lead Screw Pitch1.0 mm
    Motor Type2-Phase Stepper
    Microsteps per Revolution
    of the Motorb    		24 Full Steps
    2048 µsteps per Full Step
    49 152 µsteps per Revolution
    Calculated Minimum
    Incremental Motion    		0.5 nm
    MountingØ3/8" (Ø9.525 mm) Barrel
    Operating Temperature5 to 40 °C (41 to 104 °F)
    Cable Length0.6 m (2 ft)
    ConnectorHDDB15
    Required ControllerKST201
    • バックラッシュによる誤差はソフトウェアの設定を調整することで補正できます。
    • 当社のT-Cube™ ステッピングモーターコントローラTST101(旧製品)を使用して測定
    • アクチュエータ先端は非回転
    • バイポーラステッピングモーターアクチュエータ、長さ150.5 mm
    • Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルの取付け可能なステージやマウントに対応
    • 移動量6 mmおよび13 mmの製品もご用意

    アクチュエータZST225Bは滑らかで精密な直線移動ができる製品で、パッケージの長さは150.5 mmです。このアクチュエータは小径の2相ステッピングモータで駆動され、最高速度としては2.0 mm/sが得られます。アクチュエータの先端が非回転で接触するため、摩耗や摩擦が低減されてより滑らかに動作します。Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルを介して取り付けます。

    アクチュエータはステッピングモータを使用しており、そのモータは最大40 Nまでの負荷に抗して移動させるのに十分なトルクを有しています。全移動範囲にわたり非常に小さいステップサイズで動作できるため、優れた柔軟性、小さなバックラッシュ(＜15 µm)、および高分解能といった特長を実現できます。減速比41:1のギアヘッドを使用しており、49 152マイクロステップ/回転の性能を有するステッピングモータードライバKST201と組み合わせて使用したときは、1マイクロステップあたりの理論上の移動量は0.5 nmになります(詳細は「計算」タブをご覧ください)。

    ホール効果リミットスイッチを用いて、ユニットのオーバードライブの防止と、精度5.0 μm未満での初期位置へのホーミングを実現しています。ZST225Bには長さ0.6 mの一体型ケーブルが付いており、その先端には当社のステッピングモーターコントローラKST201に対応する15ピンD-Subコネクタが接続されています。これに接続できる、長さ1 mのエクステンションケーブル(PAA614)も別途ご用意しています。

    ZFS25Bには標準のØ3/8インチ(Ø9.525 mm)取付け用バレルが付いています。これを介して、単軸移動ステージPT1/MやXYZ移動ステージPT3/Mなどの、対応する当社の精密マイクロメーターヘッドに代わって取り付けることができます。

    DC Servo Controller
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    必要なコントローラ
    KST201

    • 1回転につき49 152マイクロステップ
    • 出力：15 V、12 W
    • 台形または
      S字型の速度プロファイル


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    手動アジャスタの代わりにアクチュエータZST225Bを取り付けた移動量25 mmのLNR25シリーズステージ

    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    ZST225B Support Documentation
    ZST225Bステッピングモーターアクチュエータ、移動量 25 mm、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
    		￥170,307
    7-10 Days

    高耐荷重ステッピングモーターアクチュエータ、移動量25 mm

    Key Specificationsa
    Travel Range25 mm (0.98")
    Unidirectional Repeatability±1.6 µm
    Bidirectional Repeatability±3.9 µm
    Maximum Pushing Forceb180 N
    Maximum Velocity50 mm/s
    Maximum Acceleration50 mm/s2
    Limit SwitchesHall Effect
    Homing Repeatability±3.6 µm
    FeedbackNonec
    Motor Type2-Phase Stepper Motor
    Full Step Angle1.8°
    Lead Screw Pitch1.0 mm
    Microsteps per Revolution409 600
    Actuator Mass0.58 kg
    Compatible ControllersdBSC201, BSC202, BSC203,
    or MST602
    • 詳細な仕様はマニュアルをご参照ください。
    • ユニットが適切に機能するにはプリロードが必要です。また負荷は押す方向だけになるようにしてご使用ください。引く方向の負荷はかからないようにしてください。
    • アクチュエータにフィードバック機能はありませんが、ステージLNR502E/Mに使用したときには閉ループ制御が可能です。
    • K-Cube® コントローラKST201もステッピングモーターアクチュエータKST201を駆動するのにご使用いただけますが、移動速度は遅くなります。

    台形ネジ付きステッピングモーターアクチュエータDRV225は、移動量25 mm、1方向再現性±1.6 µmのアクチュエータです。当社のステッピングモーターコントローラと組み合わせて使用すると、最小ステップサイズ2.4 nm(理論値)、最大速度50 mm/sが得られます。

    このハイブリッドステッピングモータのロータは50個の独立した磁極から構成されており、マイクロステッピング用として適しています。1回転あたりのフルステップ数は200ですが、これはさらに分割されて1回転当たりのマイクロステップ数は409 600になります。このマイクロステップの効果は、単に分解能を向上させるだけでなく、フルステップでは1.8°のステップ角で不連続に移動していたものを、極めて小さなステップ角で滑らかに低速移動させることを可能にし、また振動ノイズも低減します。

    ステッピングモーターアクチュエータDRV225には台形ネジが採用されており、これは標準的なネジに比べて高負荷に対してより効率的に動作します。

    このアクチュエータは、当社の移動量50.8 mmのTravelMax手動ステージに、既設の手動アジャスタの交換品として取り付けることができます。これらのステージにDRV225を取り付ける際は、2本のM4キャップスクリュ(長さ40 mm、付属品)を使用してステージの側面に取り付けてください。

    このユニットには長さ500 mmの一体型ケーブルが付いており、その先端にはステッピングモータをコントローラに接続するための15ピンD-Subコネクタが付いています。さらに長さ3 mのエクステンションケーブル(型番PAA613)も付属しています。それよりも短いケーブルが必要な場合には、長さ1 mのケーブルPAA612を別途ご用意しています。

    Benchtop Stepper Motor Controller
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    推奨コントローラ
    BSC201、BSC202、BSC203

    • 1 回転あたり409 600マイクロステップ
    • 出力：48 V、25 W
    • 台形または
      S字型の速度プロファイル

    Motorized Translation Stage
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    手動アジャスタの代わりにアクチュエータDRV225を取り付けた移動量50.8 mmのLNR50シリーズステージ

    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    DRV225 Support Documentation
    DRV225ステッピングモーターアクチュエータ、移動量25 mm、台形ネジ
    		￥149,123
    7-10 Days

    DCサーボモーターアクチュエータ、移動量25 mm

    Item #Z925B
    Travel Range25 mm (0.98")
    Encoder Resolutiona34 555 counts/mm
    (Linear Displacement)
    Maximum Pushing Force45 N
    Homing Repeatability±9 µm
    Uncompensated Backlash13 µm
    Uncompensated Bidirectional Repeatability±7 µm
    Residual Backlash After Compensationb0.7 µm
    Compensated Bidirectional Repeatability±0.8 µm
    Travel Accuracyc40 µm
    Minimum Repeatable Incremental Movement0.2 µm
    Maximum Speedd2.6 mm/s
    Maximum Acceleration4 mm/s2
    Phase to Phase Resistance33.0 Ω
    Phase to Phase Inductance0.6 mH
    Tested Lifetimee> 100 000 In and Out Cycles
    Operating Temperature Range41° to 104° F
    (5° to 40° C)
    Weight0.13 kg
    Motor TypeDC Servo
    Cable Length485.0 mm (19.09")
    Required ControllerKDC101
    • 詳細は「計算」タブをご覧ください。
    • このシステムはターゲットを300 µm超えてから元の方向に移動して目的の位置に到達します。
    • デフォルトのバックラッシュ補正は一定の力に対して行われます。
    • 速度を2.6 mm/sまで上げる場合、速度リップルや加減速プロファイルの歪みが発生する可能性があります。制御性能を向上させたいときは、最大速度を2.3 mm/s以下に制限してください。
    • 送りネジに9 Nの負荷をかけて試験しました。
    • 6 VDCサーボアクチュエータ
    • サブマイクロメートルの分解能
    • 最高速度：2.6 mm/s
    • 移動量25 mmの様々な手動アクチュエータの代わりに取付け可能
    • Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル付きステージやマウントに対応
    • リミットスイッチ付き(ゼロ点とアクチュエータ保護用)
    • 移動量6 mmと12 mmの製品もご用意

    電動アクチュエータZ9シリーズは、光学的な位置決め装置と組み合わせて使用するように設計されています。 これらの製品は軽量なパッケージながら高分解能であるため、要求の厳しい光学実験システムを自動化するためのデバイスとして適しています。Z925Bの移動距離は25 mmです。

    市販のリミットスイッチが取付けられており、これでオーバードライブの防止と精密なホーム位置決めを行います。内蔵されているモータは最大速度2.6 mm/sまで動作しますが、仕様の制御性能を得るために最大速度を2.3 mm/s以下に制限して駆動することをお勧めします。精密なエンコーダ(512カウント/回転)が使用されているため、最小分解能として約29 nmが得られます(詳細は「計算」タブをご参照ください)。

    Z925Bは、単軸移動ステージPT1/Mや3軸移動ステージPT3/MのようなØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルクランプ付きのステージやミラーマウントに取り付けられている手動アジャスタを代替できる製品として設計されています。

    取り付けるときは、既存の手動アジャスタをマウントから取り外してから、Z9アクチュエータを取り付けてください。下の写真の3軸ステージPT3(/M)の1つの軸にはZ925Bが取り付けられています。

    ユニットには長さ485.0 mmのケーブルが付いています。長さ2.5 mのエクステンションケーブルPAA632を別途ご購入いただくこともできます。

    必要な移動量が異なる場合には、移動量6 mmのZ906や移動量12 mmのZ912アクチュエータをご覧ください。当社では10-6 Torrまでの真空圧力に対応するZ825BVもご提供しています(下記参照)。この製品には485.0 mmのリボンケーブル、IDCコネクタ、コントローラKDC101用コンバーターケーブルが付属しています。

    DCサーボコントローラKDC101は、Z9シリーズのアクチュエータを駆動するのに必要なドライバです。最新のKinesisソフトウェアはこちらからダウンロードいただけます。KDC101をZ9シリーズアクチュエータと組み合わせてご使用いただくには、バージョン2.2.8以上のファームウェアが必要です(バージョン1.14.40以上のKinesisソフトウェアをダウンロードしていただくと付属しています)。旧バージョンのファームウェアでもZ9シリーズを駆動できますが、その場合、アクチュエータはZ8と呼ばれます。

    DC Servo Controller
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    必要なコントローラ:
    KDC101

    • 1回転あたりのエンコーダ出力は34 555カウント
    • 2.5 W、15 Vの出力
    • 台形の速度プロファイル
    Z925B Application Example
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    手動アジャスタの代わりにDCサーボモーターアクチュエータZ925Bが取り付けられた移動量25 mmのXYZ移動ステージ
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    Z925B Support Documentation
    Z925BDCサーボモーターアクチュエータ、移動量25 mm、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
    		￥131,579
    Today

    真空対応DCサーボモーターアクチュエータ、移動量25 mm

    Item #Z925BV
    Travel Range25 mm (0.98")
    Encoder Resolutiona34 555 counts/mm
    (Linear Displacement)
    Maximum Pushing Force45 N
    Homing Repeatability±9 µm
    Uncompensated Backlash13 µm
    Uncompensated Bidirectional Repeatability±7 µm
    Residual Backlash After Compensationb0.7 µm
    Compensated Bidirectional Repeatability±0.8 µm
    Travel Accuracyc40 µm
    Minimum Repeatable Incremental Movement0.2 µm
    Maximum Speedd2.6 mm/s
    Maximum Acceleration4 mm/s2
    Maximum Phase to Phase Resistance33.0 Ω
    Maximum Phase to Phase Inductance0.6 mH
    Tested Lifetimee> 100,000 In and Out Cycles
    Operating Temperature Range41° to 104° F
    (5° to 40° C)
    Vacuum Rating10-6 Torr
    Weight0.094 kg
    Motor TypefDC Servo
    Cable Length485.0 mm (19.09")
    Required ControllerKDC101
    • 詳細は「計算」タブをご覧ください。
    • このシステムはターゲットを300 µm超えてから元の方向に移動して目的の位置に到達します。
    • デフォルトのバックラッシュ補正は一定の力に対して行われます。
    • 速度を2.6 mm/sまで上げる場合、速度リップルや加減速プロファイルの歪みが発生する可能性があります。制御性能を向上させたいときは、最大速度を2.3 mm/s以下に制限してください。
    • 送りネジに9 Nの負荷をかけて試験しました。
    • 15 V電源のパルス幅変調(PWM)による可変電圧
    • DCサーボアクチュエータ
    • サブマイクロメートルの分解能
    • 最大動作速度：2.6 mm/s
    • 移動量25 mmの様々な手動アクチュエータの代わりに取付け可能
    • Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル接続部の付いたステージやマウントに取付け可能
    • リミットスイッチ付き(ゼロ点とアクチュエータ保護用)
    • 10-6 Torrまでの真空圧力に対応
    • 移動量6 mmと12 mmの製品もご用意

    アクチュエータZ925BVは、アクチュエータZ925Bと同様の特長と仕様を有しますが、さらに10-6 Torrまでの真空圧力下でご使用いただくことができます。真空対応のサーボモータ、リン青銅製の内部カップリング機構や取付けブッシュ、高真空用グリースなどが使用されています。

    このアクチュエータには、IDCコネクタの付いた、長さ485.0 mmの真空対応フラットリボンケーブルが付属しています。コントローラKDC101用のコンバーターケーブルも付属していますが、真空対応ではないため、チャンバの外でのみご使用ください。

    Z925BVは、1軸移動ステージPT1/Mや3軸移動ステージPT3/Mのような、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルクランプ付きのステージやミラーマウントの手動アジャスタを代替できる製品として設計されています。

    取り付けるときは、既存の手動アジャスタをマウントから取り外してから、Z9アクチュエータを取り付けてください。下の写真では、カスタム仕様の真空対応ステージLNR25M(/M)にアクチュエータZ825BVが取り付けられています。真空対応のステージについてのご質問等は当社までお問い合わせください。移動量の異なる製品が必要な場合は、移動量6 mmのアクチュエータZ906Vや、移動量12 mmのアクチュエータZ912VおよびZ912BVをご覧ください。

    DCサーボコントローラKDC101は、Z9シリーズのアクチュエータを駆動するのに必要なドライバです。最新のKinesisソフトウェアはこちらからダウンロードいただけます。KDC101をZ9シリーズの真空対応アクチュエータに使用するには、ファームウェアバージョンは2.2.8以降、Kinesisソフトウェアバージョンは1.14.44以降であることが必要です。

    DC Servo Controller
    Click to Enlarge

    必要なコントローラ:
    KDC101

    • 1回転あたりのエンコーダ出力は34 555カウント
    • 2.5 W、15 Vの出力
    • 台形の速度プロファイル
    Z925BV in LNR25M
    Click to Enlarge
    アクチュエータZ925BVと使用するカスタム仕様の真空ステージLNR25シリーズについては当社までご相談ください。
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    Z925BV Support Documentation
    Z925BV真空対応DCサーボモーターアクチュエータ、移動量25 mm、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
    		￥173,445
    7-10 Days

    ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量25 mm

    Item #aPIA25
    Travel25 mm (0.98")
    Step Sizeb,c10 - 30 nm (Typ.)
    ≤30 nm (Max)
    Step Size Adjustabilityd≤30%
    Max Step Frequency2 kHz
    BacklashNone
    Max Active Preloade25 N
    Recommended Max
    Axial Load Capacityf    		2.5 kg (5.5 lbs)
    Speed
    (Continuous Stepping)b,c    		1.2 - 3.6 mm/min (Typ.)
    ≤3.6 mm/min (Max)
    Drive Screw1/4"-80 Thread, Hard PVD Coated
    Motor TypePiezoelectric Inertia
    Mounting Feature
    (Auxiliary)    		Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel
    (3/8"-40 Thread with Lock Nut)
    Operating Temperature10 to 40 °C (50 to 104 °F)
    Dimensions2.81" x 1.24" x 0.67"
    (71.4 mm x 31.5 mm x 17.0 mm)
    Cable Length1.0 m (3.28')
    ConnectorSMC, Female
    Required ControllergKIM001 or KIM101
    • 仕様値はピエゾ慣性コントローラKIM101を用いて測定しています。
    • 個々のデバイスの性能はこの範囲内でばらつきます。
    • 一方向に移動している間、各デバイスのステップサイズには20%以下の変動があり、通常それに再現性はありません。開ループ型であるため、コンポーネントのバラツキ、移動方向および使用条件などにより、この変動がさらに大きくなる可能性があります。これはKinesisでの設定に適用されます。
    • ピエゾアクチュエータへの電圧を変えることで調整できます。詳細はコントローラのマニュアルをご参照ください。
    • 軸力をアクチュエータ先端に負荷することで、仕様のステップサイズが得られます。ステップ動作を向上させるために、最小でも5 Nのプリロードを負荷することをお勧めします。
    • これ以上の水平方向の負荷にも耐えられますが、ステップサイズの典型値が小さくなる可能性があります。
    • コントローラは別売りです。
    • 移動ステージに取付け可能なØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
    • 31.5 mm x 17.0 mm(W x H)の小型設計
    • アジャスターネジのノブで手動調整が可能
    • 最大動作電圧：125 V
    • 移動量13 mmおよび50 mmの製品もご用意
    • 高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適した製品
    • 制御ケーブルの角度は、最大110°まで調節可能

    ピエゾ慣性アクチュエータPIA25は、コンパクトなパッケージながらピエゾ制御により長い距離を高分解能で直線移動することができます。最大荷重は2.5 kgまで、最大予備荷重は25 Nまでの範囲で10 nm～30 nmの典型的なステップサイズが得られ、またバックラッシュも生じません。このステップサイズは、コントローラKIM101およびKinesis®ソフトウェアを用いて、約30 nmまでの範囲内で最大30%の調整が可能です。しかし開ループであるため、ピエゾのヒステリシスや動作方向などの使用条件によって、システムのステップサイズは最大20%程度変化する可能性があり、また一般に再現性もありません。この変動を除去するには外部フィードバックシステムが必要です。

    アクチュエータにはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルが付いているため、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)の取付け用クランプが付いたすべての手動ステージに取り付けられます。1/4"-80または3/16"-100 ネジ付きミラーマウントに対応する製品としては、移動量10 mmのピエゾ慣性アクチュエータをご覧ください。このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期安定性が必要とされる用途に適しています。ピエゾアクチュエータを用いてアクティブにネジを移動させていないときは、アジャスターネジのノブを用いて手動調整が可能です。ノブは2.0 mm六角レンチでも操作できます。

    長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータにより、このアクチュエータは最大速度3.6 mm/minで動作します。このピエゾモータは、移動中は送りネジの先端を回転させるように設計されています。ピエゾ慣性アクチュエータを用いた「スリップスティック」モータの設計については、こちらをご覧ください。

    必要なコントローラ
    ピエゾ慣性アクチュエータPIA25を駆動するには、コントローラKIM001またはKIM101が必要です。標準的なピエゾコントローラでは、このアクチュエータを駆動することはできません。これらのドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V～125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。コントローラKIM001はシングルチャンネル出力、KIM101は4チャンネル出力です。

    詳細はこちらの製品紹介ページをご参照ください。


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    必要なコントローラ:
    KIM001またはKIM101

    • KIM001: シングルチャンネル出力
    • KIM101: 4チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
    • 上面パネルによる単体での操作、またはUSB経由のPC制御が可能
    • 出力電圧:85 V～125 V
    Inertia Motor
    Click for Details
    スペースが限られている用途向けに制御用ケーブルの角度を最大110°まで調節可能
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    PIA25 Support Documentation
    PIA25ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量25 mm、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
    		￥88,638
    Today

    真空対応ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量25 mm


    Item #aPIA25VF
    Travel25 mm (0.98")
    Step Sizeb,c10 - 30 nm (Typ.)
    ≤30 nm (Max)
    Step Size AdjustabilitydUp to 30%
    Max Step Frequency2 kHz
    BacklashNone
    Max Active Preloade25 N
    Recommended Max
    Axial Load Capacityf    		2.5 kg (5.5 lbs)
    Speed (Continuous Stepping)b,c
    		1.2 - 3.6 mm/min (Typ.)
    ≤3.6 mm/min (Max)
    Drive Screw1/4"-80 Thread, Hard PVD Coated
    Motor TypePiezoelectric Inertia
    Mounting Featureg
    (Auxiliary)    		Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel
    (3/8"-40 Thread with Lock Nut)
    Vacuum Rating10-6 Torr
    Operating Temperature5 to 40 °C
    Max Bakeout Temperature130 °C
    Dimensions72.0 mm x 31.5 mm x 17.0 mm
    (2.83" x 1.24" x 0.67")
    Mass (Including Cable)60 g (2.12 oz)
    Cable Length0.75 m (2.46 ft) Flying Lead for Vacuum,
    1.0 m (3.3 ft) Cored Cable for
    Wiring Outside Chamber
    ConnectorSMC Female
    Required ControllerhKIM001 or KIM101
    • 仕様値はピエゾ慣性コントローラKIM101を用いて測定しています。
    • 個々のデバイスの性能はこの範囲内でばらつきます。
    • 一方向に移動している間、各デバイスのステップサイズには20%以下の変動があり、通常それに再現性はありません。開ループ型であるため、コンポーネントのバラツキ、移動方向および使用条件などにより、この変動がさらに大きくなる可能性があります。これはKinesisでの設定に適用されます。
    • ピエゾアクチュエータへの電圧を変えることで調整できます。詳細はコントローラのマニュアルをご参照ください。
    • 軸力をアクチュエータ先端に負荷することで、仕様のステップサイズが得られます。ステップ動作を向上させるために、最小でも5 Nのプリロードを負荷することをお勧めします。
    • これ以上の水平方向の負荷にも耐えられますが、ステップサイズの典型値が小さくなる可能性があります。
    • 真空対応のステージのご注文される場合は、当社までご連絡ください。
    • コントローラは別売りです。
    • 31.5 mm x 17.0 mm(W x H)の小型設計
    • 20 nmのステップサイズ(典型値)
    • アジャスターネジのノブで手動調整が可能
    • 10-6 Torrまでの真空圧力に対応
    • 最大動作電圧：125 V
    • 移動ステージに取付け可能なØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
    • 高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適した製品
    • 移動量13 mmおよび50 mmの製品もご用意
    Inertia Motor
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    スペースが限られている用途向けにリード線の角度は最大110°まで調節可能

    真空対応ピエゾ慣性アクチュエータPIA25VFは10-6 Torrまでの真空圧力に対応しており、またコンパクトな真空対応パッケージながらピエゾ制御により長い距離を高分解能で直線移動することができます。最大荷重は2.5 kgまで、最大予備荷重は25 Nまでの範囲で10 nm～30 nmの典型的なステップサイズが得られ、またバックラッシュも生じません。このステップサイズは、コントローラKIM101およびKinesisソフトウェアを用いて、約30 nmまでの範囲内で最大30%の調整が可能です。しかし開ループであるため、ピエゾのヒステリシスや動作方向などの使用条件によって、システムのステップサイズは最大20%程度変化する可能性があり、また一般に再現性もありません。この変動を除去するには外部フィードバックシステムが必要です。

    アクチュエータにはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルが付いているため、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)の取付け用クランプが付いたすべての手動式移動ステージに取り付けられます。1/4"-100ネジ付きミラーマウントに対応する製品としては、移動量10 mmのピエゾ慣性アクチュエータがございます。このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期安定性が必要とされる用途に適しています。ピエゾアクチュエータを用いてアクティブにネジを移動させていないときは、アジャスターネジのノブを用いて手動調整が可能です。ノブは2.0 mm六角レンチでも操作できます。

    アクチュエータには長さ0.75 mのリード線が付いており、そのほかに真空チャンバの外での接続用に長さ1.0 mのケーブルが付属しています。このリード線とケーブルは必要に応じて切断可能ですが、真空槽の内外を合わせた全長は2.0 mを超えないようにしてください。上の写真のようにアクチュエータのリード線は最大110°まで回転できます。これはスペースの限られた場所で有用です。

    長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータにより、このアクチュエータは最大速度3.6 mm/minで動作します。このピエゾモータは、移動中は送りネジの先端を回転させるように設計されています。ピエゾ慣性アクチュエータを用いた「スリップスティック」モータの設計については、こちらをご覧ください。

    Inertia Motor Stage
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    移動ステージLNR25M/Mのマイクロメータの代わりに取り付けられたピエゾ慣性アクチュエータPIA25VF(真空対応のステージのご注文については、当社までお問合せください)。

    必要なコントローラ
    ピエゾ慣性アクチュエータPIA25VFを駆動するには、コントローラKIM001またはKIM101が必要です。標準的なピエゾコントローラでは、このアクチュエータを駆動することはできません。これらのドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V～125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。コントローラKIM001はシングルチャンネル出力、KIM101は4チャンネル出力です。

    詳細はこちらの製品紹介ページをご参照ください。


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    必要なコントローラ:
    KIM001またはKIM101

    • KIM001: シングルチャンネル出力
    • KIM101: 4チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
    • 上面パネルによる単体での操作、またはUSB経由のPC制御が可能
    • 出力電圧:85 V～125 V
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    PIA25VF Support Documentation
    PIA25VFCustomer Inspired! 真空対応ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量25 mm、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)取付けバレル
    		￥128,266
    7-10 Days

    グリースキット

    • 注入器入りApiezon 100グリース、1.5 cc入り
    • 便利でムダのない低価格パッケージ
    • アクチュエータの寿命を延長
    • 注入しやすい容器入り
    • 10-9 Torrまでの真空に対応

    この Apiezonグリースは、優れた焼き付き防止特性を備えています。このグリースには潤滑性を高めるための PTFEが含まれていて、当社のZST、ZFS、Z9シリーズのアクチュエータの親ネジを再潤滑するのに適しています。 この製品は使いやすい注入器入りで、汎用および10-9 Torrまでの真空用途の両方にお使いいただけます。適する動作温度は 10 ～30 °Cです。

    注： Z9、ZFSおよびZSTシリーズのモータの親ネジは10,000サイクルまたは 6か月ごとに潤滑油を差すことをお勧めします。

    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    GKZ8 Support Documentation
    GKZ8グリースキット、Z9、ZFSおよびZSTアクチュエータ用
    		￥3,147
    Today

    ステッピングモーター＆DCサーボモーター用駆動ケーブル

    DRV、ZSTおよびZFSシリーズのステッピングモーターアクチュエータと、Z9シリーズのDCサーボモーターアクチュエータには、必要なコントローラとの接続用ケーブルが付いています。これらのケーブルのエクステンション用としてご使用いただけるケーブルも、別途ご用意しています。

    ステッピングモータ用ケーブル
    当社ではステッピングモーターアクチュエータとコントローラを接続するための様々なケーブルをご用意しております。ZST、ZFSおよびDRVシリーズのステッピングモーターアクチュエータと、BSCシリーズのベンチトップ型コントローラ、K-Cube®コントローラKST201、およびラック型制御モジュールMST602との間の接続をサポートしています。ステッピングモータとコントローラの組み合わせに対して使用可能なケーブルは、下の表をご参照ください。各ケーブルのピン配列については、こちらの製品紹介ページをご覧ください これらのケーブルはコネクタが同じであっても、ピン配列が適合しないモータとコントローラにはお使いいただけませんのでご注意ください。

    DCモータ用ケーブル
    PAA632はZ9シリーズのDCモーターアクチュエータ用のケーブル(長さ2.5 m)です。このケーブルはK-Cube DCサーボモーターコントローラKDC101との接続用として作られています。このケーブルのピン配置はこちらの製品紹介ページをご覧ください。 15ピンコネクタが使われていますが、当社のステッピングモータには対応しておりません。

    KST201 K-Cube ControllerBSC Benchtop Controller and
    MST602 Rack Controller    		KDC101 K-Cube Controllera
    PAA614 (1 m)--
    ZST and ZFS Stepper Motor Actuator
    PAA614 (1 m)bPAA612 (1 m) or
    PAA613 (3 m)    		-
    DRV Series Stepper Motor Actuatorb
    --PAA632 (2.5 m)
    Z9 DC Servo Motor Actuator
    • 緑色で網掛けされた欄はDCサーボモータ用のハードウェアを示しています。
    • K-CubeコントローラKST201は、当社のステッピングモーターアクチュエータDRV225およびDRV250の低速駆動用としてはご利用いただけますが、アクチュエータDRV208にはご利用いただけません。
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    PAA612 Support Documentation
    PAA612ステッピングモータ用駆動ケーブル、DA15オス型-DE15メス型、1 m
    		￥10,145
    7-10 Days
    PAA613 Support Documentation
    PAA613ステッピングモータ用駆動ケーブル、DA15オス型-DE15メス型、3 m
    		￥12,146
    Today
    PAA614 Support Documentation
    PAA614Customer Inspired! ステッピングモータ用駆動ケーブル、DE15オス型-DE15メス型、1 m
    		￥9,796
    Today
    PAA632 Support Documentation
    PAA632DCサーボモータ用ケーブル、Z9シリーズ用、DE15オス型-DE15メス型、2.5 m
    		￥9,665
    Today
    Additional 電動アクチュエータ
  • 移動量10 mm以下

  • 移動量12 mmおよび13 mm

  • 移動量25 mm

  • 移動量50 mm