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電動アクチュエータ、移動量10 mm以下


  • High-Resolution Piezo Inertia, Stepper, and DC Servo Actuators
  • Compatible with a Wide Range of Stages
  • Velocities up to 5 mm/s

PIAK10VF

10 mm Travel
Piezo Inertia Actuator,
Vacuum Compatible

Z806

6 mm Travel, DC Actuator

DRV208

8 mm Travel,
Stepper Motor Actuator

ZFS06

6 mm Travel, Compact
Stepper Motor Actuator

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小型ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 6 mm

コントローラ
KST101

  • 1 回転につき 49,152 マイクロステップ
  • 12 W、15 Vの出力
  • 台形またはS字型の
    速度プロファイル

特長

  • 小型パッケージ:長さ86.5 mm、完全収納式
  • 後部のつまみネジによる手動調整が可能
  • アクチュエータ先端は非回転式
  • 1/4"-80ネジ付きのミラーマウントならびに移動ステージに対応
  • 移動量13 mmならびに25 mmのタイプもラインナップ

当社の電動式アクチュエータZFS06は、完全収納時86.5 mm長のコンパクトで流線型のパッケージ内で、滑らかで精密な線形移動制御を実現します。 コンパクトな設計によってアクチュエータの端からオプトメカニクス部品までの距離が縮まり、質量の中心が上記のアクチュエータZST206よりも接触点に近い位置になります。 アクチュエータには1/4"-80ネジ付きのバレルがあり、1/4"-80ネジ付きの手動式ミラーマウントや位置決めステージに取り付けることができます。

小径で2相双極のステッピングモータ駆動により、このアクチュエータは最高速度2.0 mm/sで作動します。 アクチュエータ先端の接触点を非回転式にしたため、摩耗や摩擦が低減され、動作の滑らかさが改善されています。 アクチュエータに電源が供給されない場合、後部のつまみネジを使用して手動調整が可能です。 電源供給中につまみネジを回転させるとアクチュエータのモータが破損する恐れがありますのでご注意ください。

アクチュエータZFS06にはステッピングモータが内蔵されており、最大荷重40 Nを移動させる十分なトルクを有しています。 移動範囲全体に渡り非常に小さいステップサイズを可能にしており、また、低いバックラッシュ(<15 µm)ならびに高分解能を有しております。 減速比400:9のギアヘッド設計によりアクチュエータを49,152マイクロステップ/回転の性能を持つステッピングモータードライバKST101と組み合わせると、理論的な移動量は1マイクロステップ毎に0.46 nmとなります(詳細については「計算」タブをご覧ください)。

Item #ZFS06
Travel6 mm (0.24")
Backlasha< 15 µm
Bidirectional Repeatability< 5.0 µm
Home Location Accuracy< 5.0 µm
Maximum Load Capacity40 N (8.99 lbs)
Velocity2.0 mm/s (Max)
Acceleration10 mm/s2 (Max)
Gearbox Ratio400:9
(Approx. 44:1)
Limit SwitchesHall Effect
Lead Screw Pitch1.0 mm
Motor Type2-Phase Stepper
Microsteps per Revolution of the Motorb24 Full Steps, 2048 µsteps per Full Step
49,152 µsteps per Revolution
Calculated Minimum Incremental Motionc0.46 nm
Operating Temperature5 to 40 °C (41 to 104 °F)
Dimensions (L x W x H)86.5 mm x 35.0 mm x 19.0 mm
(3.40" x 1.38" x 0.75")
Cable Length0.6 m (2 ft)
ConnectorHDDB15
Required ControllerKST101
  • バックラッシュによる誤差はソフトウェアの設定を調整することによって補正することができます。
  • 旧製品のT-Cube™ステッピングモーターコントローラ TST101を使用して測定。
  • 詳細については「計算」タブをご覧ください。

ホール効果リミットスイッチは、ユニットのオーバードライブを防ぎ、5.0 μm未満の確度でホーミングが可能です。 ZFSシリーズのアクチュエータには、当社のステッピングモーターコントローラKST101に対応する15ピンDサブコネクタ付きの0.6 m長のケーブルが付属します(「ピン配列」タブをご覧ください)。

ZFS06は、特に狭い空間で使用する1/4"-80ネジ付き移動ステージならびにミラーマウント用の手動アジャスタの代用品として設計されています。 取り付ける際には、既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、アクチュエータZFS06をねじ込んでください。 下の写真では、2つの電動式アクチュエータZFS06が、KM100のつまみネジの代わりに付いています。


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ミラーマウントKM100 。ネジアジャスタが2つのアクチュエータZFS06に替えられています。

マイクロステップ毎の線形変位量の計算方法

ZFSシリーズモータの各製品の移動量は24フルステップ/回転で、ドライバKST101で駆動した場合では、移動量は2048マイクロステップ/フルステップ、よってモータ1回転の移動量は49,152 マイクロステップとなります。 モータの出力軸のギア比は400:9となっています。 これは1.0 mmピッチの送りネジを1回転させるためにモータを44.445回転させる必要があることを意味しています。 最終的に送りネジを1.0 mm移動させるときを想定します。


マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量:

マイクロステップ数 x ギア比= 49,152 x 44.445 = 2184560.64

マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量は、

1.0 mm / 2184560.64 = 0.46 x 10-6 mm = 0.46 nm

ピン配列

Schematic
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

コネクタのピン配列

PinDescriptionPinDescription
1Limit Ground8Reserved for Future Use
2CCW Limit Switch9Reserved for Future Use
3CW Limit Switch10Vcc (+5 V DC)
4Motor Phase B-11Reserved for Future Use
5Motor Phase B+12Reserved for Future Use
6Motor Phase A-13Reserved for Future Use
7Motor Phase A+14Reserved for Future Use
 -15Ground
Connectors Terminating the Converter Cable
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

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+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
ZFS06 Support Documentation
ZFS06Customer Inspired! 小型ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 6 mm、1/4”-80ネジ
¥155,446
Today

ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 6 mm

コントローラ
KST101

  • 1 回転につき 49,152 マイクロステップ
  • 12 W、15 Vの出力
  • 台形またはS字型の
    速度プロファイル

特長

  • アクチュエータ先端は非回転式
  • 双極のステッピングモーターアクチュエータ:長さ111.0 mm
  • 1/4"-80ネジ付きバレル
  • 1/4"-80ネジ付きのミラーマウントならびに移動ステージに対応
  • 移動量13 mmならびに25 mmのタイプもご用意しております。

当社のZSTシリーズのアクチュエータは、111.0 mm長のパッケージ内で滑らかで精密な線形移動制御を実現します。 小径で2相双極のステッピングモータ駆動により、このアクチュエータは最高速度2.0 mm/sで作動します。 アクチュエータ先端の接触点を非回転式にしたため、摩耗や摩擦が低減され、動作の滑らかさが改善されています。 アクチュエータには1/4"-80ネジ付きのバレルがあり、1/4"-80ネジ付きの手動式ミラーマウントや位置決めステージに取り付けることができます。

ZST200シリーズのアクチュエータには全てステッピングモータが内蔵されており、最大荷重40 Nを移動させる十分なトルクを有しています。 移動範囲全体に渡り非常に小さいステップサイズを可能にしており、また、低いバックラッシュ(<15 µm)ならびに高分解能を有しております。 減速比41:1のギアヘッド設計によりアクチュエータを49,152マイクロステップ/回転の性能を持つステッピングモータードライバKST101と組み合わせると、理論的な移動量は1マイクロステップ毎に0.5 nmとなります(詳細については「計算」タブをご覧ください)。

Item #ZST206
Travel6 mm (0.24")
Backlasha< 15 µm
Bidirectional Repeatability< 5.0 µm
Home Location Accuracy< 5.0 µm
Maximum Load Capacity40 N (8.99 lbs)
Velocity2.0 mm/s (Max)
Acceleration10 mm/s2 (Max)
Gearbox Ratio29791:729 (Approx. 41:1)
Limit SwitchesHall Effect
Lead Screw Pitch1.0 mm
Motor Type2-Phase Stepper
Microsteps per Revolution of the Motorb24 Full Steps, 2048 µsteps per Full Step
49,152 µsteps per Revolution
Calculated Minimum Incremental Motion0.5 nm
Operating Temperature5 to 40 °C (41 to 104 °F)
Dimensions (L x W)111.0 mm x 19.0 mm
(4.37" x 0.75")
Cable Length0.6 m (2 ft)
ConnectorHDDB15
Required ControllerKST101
  • バックラッシュによる誤差はソフトウェアの設定を調整することによって補正することができます。
  • 旧製品のT-Cube™ステッピングモーターコントローラ TST101を使用して測定。

ホール効果リミットスイッチは、ユニットのオーバードライブを防ぎ、5.0 μm未満の確度でホーミングが可能です。 このアクチュエータには、当社のステッピングモーターコントローラKST101に対応する15ピンDサブコネクタ付きの0.6 m長のケーブルが付属します。

ZST206は、特に1/4"-80ネジ付き移動ステージならびにミラーマウント用の手動アジャスタの代用品として設計されています。 取り付ける際には、既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、アクチュエータZST206をねじ込んでください。


ミラーマウントKM100。ネジアジャスタが2つのアクチュエータZST206に替えられています。
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マイクロステップ毎の線形変位量の計算方法

ZST200シリーズ モータの各製品の移動量は24フルステップ/回転で、ドライバKST101で駆動した場合では、移動量は2048マイクロステップ/フルステップとなります。 よって、モータ1回転の移動量は49,152マイクロステップとなります。 モータの出力軸のギア比は40.866:1となっています。 これは1.0 mmピッチの送りネジを1回転させるためにモータを40.866回転させる必要があることを意味しています。 最終的に送りネジを1.0 mm移動させるときを想定します。 マイクロステップ毎のアクチュエータの線形変位量は以下の式を用います。


マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量:

マイクロステップ数 x ギア比= 49,152 x 40.866 = 2,008,645.63

マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量は、

1.0 mm / 2,008,645.63 = 0.49 x 10-6 mm = 0.5 nm

ピン配列

Schematic
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

コネクタのピン配列

PinDescriptionPinDescription
1Limit Ground8Reserved for Future Use
2CCW Limit Switch9Reserved for Future Use
3CW Limit Switch10Vcc (+5 V DC)
4Motor Phase B-11Reserved for Future Use
5Motor Phase B+12Reserved for Future Use
6Motor Phase A-13Reserved for Future Use
7Motor Phase A+14Reserved for Future Use
 -15Ground
Connectors Terminating the Converter Cable
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

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+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
ZST206 Support Documentation
ZST206ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 6 mm、1/4”-80ネジ
¥130,969
3-5 Days

DCサーボモーターアクチュエータ、移動量6 mm

コントローラ
KDC101

  • 1 回転につき34,304マイクロステップ
  • 2.5 W、15 Vの出力
  • 台形の速度プロファイル
Item #Z806
Travel6.0 mm
Backlash< 8 µm
Bidirectional Repeatability< 1.5 µm
Home Location Accuracy< 2 µm
Homing Repeatability±1.0 µm
Vertical Load Capacity4.5 kg (Max)
Horizontal Load Capacity9 kg (Max)
Recommended Vertical Load< 4.0 kg
Recommended Horizontal Load< 7.5 kg
Velocitya2.6 mm/s (Max)
Acceleration4 mm/s2 (Max)
Absolute On-Axis Accuracy42 µm
Maximum Percentage Accuracy0.75%
Motor Coil Temperature85 °C (Max)
Phase to Phase Resistance33.0 Ω (Max)
Phase to Phase Inductance0.6 mH (Max)
Limit Switch Life Time> 100,000 Cycles
Minimum Achievable Incremental Movement0.05 µm
Minimum Repeatable Incremental Movement0.2 µm
Operating Temperature Range41° to 104° F (5° to 40° C)
Weight0.134 kg
Motor Typeb6 V DC Servo
Recommended ControllerKDC101
  • 速度2.6 mm/sでは、加速/減速プロファイルのリップルと歪みが発生する可能性があります。制御を改善するには、最高速度は2.3 mm/sに制限する必要があります。
  • 駆動電圧の公称値は6 Vです。パルス幅変調(PWM)で制御された出力では12 Vまで使用できます。

特長

  • 6 VDCサーボモーターアクチュエータ
  • サブミクロン単位の分解能
  • 最高速度:2.3 mm / sec
  • 多くの移動量6 mmの手動アクチュエータと交換可能
  • 1/4”-80ネジ付きステージやマウントに取付け可能
  • ゼロ点とアクチュエータ保護用リミットスイッチ
  • 移動量12 mmおよび25 mmのタイプもご用意

Z8シリーズの電動アクチュエータは、ミラーマウントステージのような光学位置決め機器との使用向けに設計されています。これらの製品はコンパクトで軽量なパッケージで高分解能を提供するので、光学実験を自動化する用途に適しています。

リミットスイッチにより、オーバードライブの防止と精密なホーム位置決めが可能です。 Z8モータの動作速度は2.3 mm/secです。エンコーダの精度は512 カウント/ 回転で、最小分解能は約29 nmとなります。

Z806は、1/4”-80ネジ付きステージやミラーマウントの手動アジャスタの代用品として設計されています。既存の手動アジャスタをマウントから取り外して Z8アクチュエータをねじ込んでください。下の写真は、ネジアジャスタをアクチュエータZ806に交換したミラーマウントKM100です。

DCサーボモーターコントローラ KDC101は、Z8シリーズのアクチュエータに適したドライバです。旧バージョンのTDC001ユニットは、Z8シリーズモータとのご使用前に、ファームウェアを V1.0.10以降のバージョンにアップグレードする必要があります。アップグレードは、最新のAPTサーバーソフトウェアにより可能です。ソフトウェアは、こちらからダウンロードできます。

より大きな移動量が求められる用途向けには移動量12 mmのZ812および移動量25 mmのZ825のアクチュエータをご覧ください。当社では真空度10-6 torrまでに対応するZ806Vもご提供しています。本製品には0.5 mのリボンケーブル、IDCコネクタ、コントローラKDC101用コンバーターケーブルが付属しています。 詳細は下記を参照ください。

Z806_KM100
このユニットは、0.5 mのケーブルが付属しています。長さ2.5 mのエクステンションケーブル(PAA632)も個別にお買い求めいただけます。

エンコーダーカウントごとの線形変位の計算方法

Z806には、モータ1回転につき512のエンコーダーカウントがあります。モータの出力軸のギアヘッド比は 67:1となります。これにより、1.0 mmピッチの親ネジを1回転させるためにモータを67回転させます。その結果親ネジは1.0 mm前進します。

エンコーダ1回転によるアクチュエータの線形変位は、次の式で示されます。

512 x 67 = 34,304         親ネジ1回転につき34,304エンコーダーカウント

エンコーダ1カウントによる親ネジの線形変位は、

1.0 mm / 34,304 counts = 2.9 x 10-5 mm (29 nm)

となります。

ピン配列

Schematic
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

コネクタのピン配列

PinDescriptionPinDescription
1Ground (Limit and Vcc)8Reserved for Future Use
2Forward Limit9Ident Resistor
3Reverse Limit10Vcc (+5 V DC)
4Reserved for Future Use11Encoder Channel A
5Motor (-)12Reserved for Future Use
6Reserved for Future Use13Encoder Channel B
7Motor (+)14, 15Reserved for Future Use
Connectors Terminating the Converter Cable
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

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+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
Z806 Support Documentation
Z806DCサーボモーターアクチュエータ、移動量6 mm、1/4"-80ネジ、長さ0.5 mケーブル
¥84,968
Today
PAA632 Support Documentation
PAA632APT DCサーボモータ用ケーブル、Z8シリーズ用、DE15オス型-DE15メス型、2.5 m
¥7,808
Today

真空対応DCサーボモーターアクチュエータ、移動量6 mm

Item #Z806V
Motor Typea6 VDC Servo
Travel6.0 mm
Backlash< 8 µm
Bidirectional Repeatability< 1.5 µm
Home Location Accuracy< 2 µm
Homing Repeatability±1.0 µm
Vertical Load Capacity4.5 kg (Max)
Horizontal Load Capacity9 kg (Max)
Vertical Load Capacityb< 4.0 kg
Horizontal Load Capacityb< 7.5 kg
Velocityc2.6 mm/s (Max)
Acceleration4 mm/s2 (Max)
Absolute On-Axis Accuracy42 µm
Percentage Accuracy0.82% (Max)
Motor Coil Temperature85 °C (Max)
Limit Switch Life Time> 100,000 Cycles
Minimum Achievable Incremental Movement0.05 µm
Minimum Repeatable Incremental Movement0.2 µm
Operating Temperature Range41 to 104 °F
(5 to 40 °C)
Vacuum Rating10-6 Torr
Weight0.134 kg
  • 駆動電圧の公称値は6 Vです。パルス幅変調(PWM)で制御された出力では12 Vまで使用できます。
  • 推奨
  • 速度2.6 mm/sでは、加速/減速プロファイルのリップルと歪みが発生する可能性があります。制御を改善するには、最高速度は2.3 mm/sに制限する必要があります。

特長

  • 6 VDCサーボモーターアクチュエータ
  • サブミクロン単位の分解能
  • 最高速度:2.3 mm / sec
  • 多くの移動量6 mmの手動アクチュエータと交換可能
  • 1/4”-80ネジ付きステージやマウントに取り付け可能
  • ゼロ点とアクチュエータ保護用リミットスイッチ
  • 真空度:10-6 Torr
  • 移動量 12 mm および25 mmのタイプもご用意

Z806Vは、本ページの上のDCサーボモータ Z806の真空対応版で、10-6 torrまでの真空度に対応します。真空対応のサーボモータ、リン銅製の内部結合機構と取付けブッシュ、高真空グリースを組み合わせた製品です。

IDCコネクタ付きの長さ0.5 mのリボンケーブルが付属します。このケーブルは、1.27 mmピッチの28 AWG電線で FEP(Fluorinated Ethylene Propylene)で絶縁被覆しています。コントローラKDC101用の変換ケーブルもありますが、このケーブルは真空対応ではありませんのでチャンバの外でしか使用できません。

より大きな移動量が求められる用途向けには、移動量12 mm (Z812V)および移動量25 mm (Z825BV)のアクチュエータをご覧ください。当社のステージやミラーマウントの真空対応バージョンについては、当社までお問い合わせください。

DCサーボモーターコントローラ KDC101は、Z8シリーズアクチュエータに適したドライバです。旧バージョンのTDC001ユニットは、Z8シリーズモータとのご使用前に、ファームウェアを V1.0.10以降のバージョンにアップグレードする必要があります。アップグレードは、最新のAPTサーバーソフトウェアにより可能です。ソフトウェアは、こちらからダウンロードできます。

コントローラ
KDC101

  • 1 回転につき34,304マイクロステップ
  • 2.5 W、15 Vの出力
  • 台形の速度プロファイル

エンコーダーカウントごとの線形変位の計算方法

Z806には、モータ1回転につき512のエンコーダーカウントがあります。モータの出力軸のギアヘッド比は 67:1となります。これにより、1.0 mmピッチの親ネジを1回転させるためにモータを67回転させます。その結果親ネジは1.0 mm前進します。

エンコーダ1回転によるアクチュエータの線形変位は、次の式で示されます。

512 x 67 = 34,304         親ネジ1回転につき34,304エンコーダーカウント

エンコーダ1カウントによる親ネジの線形変位は、

1.0 mm / 34,304 counts = 2.9 x 10-5 mm (29 nm)

となります。

Z806Vに内蔵されている真空対応のケーブル端には、メス型10ピンIDCソケットコネクタが付いています。Z806Vにはこのメス型IDCソケットコネクタをDタイプオス型HD 15ピンコネクタに変換する短いコンバーターケーブルが付属しているので、推奨のコントローラKDC101にアクチュエータを容易に接続できます。このコンバーターケーブル(右の写真には終端コネクタが表示されています)は、真空対応ではありません。 メス型IDCソケットとDタイプオス型HDコネクタ(メス型IDCソケットコネクタ接続時)のピン配列は下の図をご参照ください。

ピン配列

IDC Socket Pin Diagram
10ピン メス型 IDCソケットコネクタ
(Amphenol社製T812シリーズ、
2.54 mmピッチ)
Connectors Terminating the Converter Cable
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10ピン メス型 IDCソケットコネクタ
(Amphenol社製T812シリーズ、
2.54 mmピッチ)

10ピン メス型 IDCコネクタのピン配列

PinDescriptionPinDescription
1Motor (+ve) (6 V)a6Motor (-ve) (6 V)a
2Vcc (+5 V)7Limit Ground
3Encoder Channel A8Reverse Limit
4Encoder Channel B9Forward Limit
5Ground10Reserved for Future Use
  • モータ駆動電圧の公称値は6 Vです。PWM(パルス幅変調)での出力制御には最大12 Vまでの電圧がご使用いただけます。

ピン配列

Schematic
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

オス型 HDDB15コネクタのピン配列

PinDescriptionPinDescription
1Ground (Limit and Vcc)8Reserved For Future Use
2Forward Limit9Ident Resistor
3Reverse Limit10Vcc (+5 VDC)
4Reserved For Future Use11Encoder Channel A
5Motor (-)12Reserved for Future Use
6Reserved for Future Use13Encoder Channel B
7Motor (+)14, 15Reserved For Future Use
Connectors Terminating the Converter Cable
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コネクタにコンバーターケーブルを取り付けた様子。左図は高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ、右図は10ピン オス型 IDCソケットコネクタ。

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+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
Z806V Support Documentation
Z806V真空対応電動DCアクチュエータ、移動量6 mm、1/4”-80ネジ
¥120,418
3-5 Days

ステッピングモーターアクチュエータ、移動量8 mm

コントローラ:BSC201

  • 1 回転あたり409,600マイクロステップ 
  • 25 W、48 Vの出力 
  • 台形または 
    S字型の速度プロファイル 
Item #DRV208
Travel8 mm (0.3")
Unidirectional Repeatability3.6 µm
Bidirectional Repeatability5.0 µm
Absolute Accuracy17.1 µm
Maximum Force180 N
Maximum Velocity5 mm/s
Maximum Acceleration5 mm/s2
Full Step Angle1.8°
FeedbackNone
Limit SwitchesHall Effect
Lead Screw Pitch0.5 mm
Homing Repeatability13.5 µm
Motor Type2-Phase Stepper
Microsteps per Revolution of Leadscrew409,600
Compatible ControllersBSC201
MST602

特長

  • 全移動量:8 mm 
  • 最大発生力:180 N 
  • アクチュエータ先端は非回転
  • 500 mmのD型コネクタ付きケーブルが付属 
  • 3 mのエクステンションケーブルも付属 
  • アダプタMCA1またはMCA2を用いて、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)またはØ10 mm取付けバレルに変換可能

モジュール型ステッピングモーターアクチュエータDRV208は、当社の3軸ならびに 6軸NanoMax™フレクシャーステージ用に設計されています。M22 x 0.75のねじ付きフランジにより直接NanoMaxステージに取り付けられるため、要件に応じてアクチュエータを各軸ごとにお選びいただけます。 クイック接続アダプタMCA1またはMCA2を用いることで、アクチュエータを標準的なØ3/8インチ(Ø9.525 mm)あるいはØ10 mm取付クランプ付きステージに取り付けることも可能です。 

こちらのアクチュエータの移動範囲は8 mmで、最大速度は5 mm/sです。この強力なステッピングモータードライバの最大発生力は180 Nです。

モータの後軸にあるローレット付きノブは、アクチュエータの電源がOFFの時に手動アジャスタとして使えます。 なお、開ループシステムにおいてアクチュエータの位置を手動調整した場合、アクチュエータと制御ソフトウェアの位置表示が一致しなくなります。この不一致はホーミング操作を行ってアクチュエータを元の位置(ゼロ)に戻すことで修正できます。これはアクチュエータの電源をONにした直後にも行う操作です。ノブはステッピングモータからの振動を吸収する慣性ダンパとしても機能します。

ユニットにはステッピングモータをコントローラに接続する15ピンD型コネクタ付きケーブル(長さ500 mm)が付属します。長さ3 mのエクステンションケーブル(型番 PAA613)も付属します。短いケーブルが必要な場合には、長さ1 mのケーブルPAA612を別途ご用意しています。

NanoMax Modular Actuators
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DRV208は3軸NanoMaxステージに取り付けることができます。 

マイクロステップごとの線形変位の計算方法

アクチュエータDRV008で使われているステッピングモータは、モータが1回転するたびに200のフルステップを行ないます。各フルステップは2048マイクロステップに分割されます。コ ントローラBSC201を使用した場合、モータの1回転ごとに409,600のマイクロステップとなります。そのため親ネジは0.5 mm前進します。マイクロステップの線形変位は、次の式で計算されます。

親ネジ1回転につき409,600マイクロステップ

親ネジ1回転ごとの線形変位は:

0.5 mm / 409,600 = 1.2 x 10-6 mm

となります。フルステップでの線形変位の計算には、409,600を200に置き換えてください。

ピン配列

Schematic
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

コネクタのピン配列

PinDescriptionPinDescription
1Limit Switch 0 V9For Future Use
2Not Connected10+5 V
3CW Limit Switch11-
4Motor Phase B -ve12-
5Motor Phase B +ve13+5 V
6Motor Phase A -ve14-
7Motor Phase A +ve15Ground
8---
Connectors Terminating the Converter Cable
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

Posted Comments:
guanghai zhang  (posted 2020-05-03 09:19:19.12)
Hellow, can this modtor be controler by BCS101, the last generation controlor? Best, Weili
DJayasuriya  (posted 2020-05-05 04:39:03.0)
Thank you for your inquiry. Unfortunately these new motor types are not implemented in our legacy firmware used with BCS101. Sorry
alfred  (posted 2016-09-10 13:00:27.96)
Dear Sir: I come from Chroma ATE Inc. I have some question for this apt™ Stepper Motor Controllers Type:BSC203 with Motor Type :DRV001(see on the motor's connecter) 1.I'd like to know device unit about the motor: (nm/Pulse?) According to ThorLab official specification value: a.Minimum Incremental Movement:60nm/pulse.Does device unit? b.Lead Screw Pitch:0.5mm.Does express motor rotation one circle forward 0.5mm? c.Microsteps per Revolution of Leadscrew:Does express motor rotation one circle need 409600pulse? So (Lead Screw Pitch/Microsteps per Revolution of Leadscrew)=Minimum Incremental Movement,but 1.2nm is not equal 60nm ,why? 2.Kinesis software(Actuator set APT600L X Axis) a.Step Size=0.5mm: motor rotation one circle forward 0.5mm? but autaul half circle I see. b.Travel:8mm ,but I could move 12 mm (show on the current device postion). Does I configuration error? Thank you.
bwood  (posted 2016-09-12 11:09:51.0)
Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your feedback. I believe this relates to the conversion between microsteps to real world units. For the DRV001 connected to the BSC203, 1mm equates to 819200µs. I will be in direct contact with you so I can gather more details on your system, and troubleshoot you Kinesis issue in more detail.
alfred  (posted 2016-09-09 13:13:17.31)
Dear Sir: I come from Chroma ATE Inc. I have some question for this apt™ Stepper Motor Controllers Type:BSC203 with Motor Type :8 mm Travel Stepper Motor Actuator As I use Win32 development(refernece ThorLab exmaple code),set velocity=3838090,position=1715200,Acceleration=2253,Motor vibration occurs,(unit:device unit) but use Kinesis's APP(Version:1.7.0.0),set velocity=2.5,position=10,Acceleration=2,Motor move smooth,(unit:mm) 1.I'd say that this is not the exact setting we wanted on Win32 code. 2.What number is the Minimum Incremental Movement? Thank you.
bwood  (posted 2016-09-12 08:36:18.0)
Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your feedback. The answers to these questions will depend on the specific method you are using to control your BSC203, and the system you are trying to build. We will be in direct contact to get further details on your setup and to discuss how to control the BSC203.
jjurado  (posted 2011-03-22 09:46:00.0)
Response from Javier at Thorlabs to benju: Thank you for contacting us with your request. The DRV001 actuators are not compatible with the T-Cube controllers, as they require a higher current input in order to be operated. I will contact you directly for further support.
benju  (posted 2011-03-22 01:53:48.0)
can this be operated with a t-cube stepper controller as well?
klee  (posted 2009-09-24 10:02:13.0)
A response from Ken at Thorlabs to jean-thomas.landry: No, the drawing is not showing it at maximum extension. The minimum length is 134mm and the maximum length is 142mm.
jean-thomas.landry  (posted 2009-09-23 11:18:40.0)
good morning, Is the pdf drawing of drv001 showing it at maximum extension? regards,
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
DRV208 Support Documentation
DRV208モジュール型NanoMaxステッピングモーターアクチュエータ、移動量8 mm
¥72,636
Today
MCA1 Support Documentation
MCA1モジュール型クイック接続アダプタ、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)用
¥2,716
3-5 Days
MCA2 Support Documentation
MCA2モジュール型クイック接続アダプタ、Ø10 mm用
¥2,716
3-5 Days

ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量10 mm

コントローラ:
KIM001またはKIM101

  • KIM001:シングルチャンネル出力
  • KIM101::4チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
  • 上面パネルによる単体での操作、またはUSB接続によるPC制御が可能
  • 出力電圧:85 V~125 V
Inertia Motor
Click for Details

スペースが限られている用途向けに制御用ケーブルの角度を最大110°まで調節可能

特長

  • 31.5 mm x 17.0 mm(W x H)の小型設計
  • 20 nmのステップサイズ(典型値)
  • アジャスターネジのノブで手動調整が可能
  • 最大動作電圧:125 V
  • 1/4"-80の取付けネジでミラーマウントに取付け可能
  • 移動ステージ用に移動量13 mm25 mmおよび50 mmのタイプもご用意
  • 高分解能な相対位置決めが求められる用途に適切

当社のピエゾ慣性アクチュエータPIAK10は、コンパクトなパッケージで、ピエゾ制御でも長い移動範囲を有しており、高分解能の直線移動を可能にします。最大荷重は2.5 kgまで、最大プリロードは30 Nまでの範囲で20 nmの典型的なステップサイズが得られ、またバックラッシュも生じません。このステップサイズは、コントローラKIM101やKinesis®ソフトウェアを用いて最大30%(約30 nmまで)の調整が可能です。ただし、開ループ設計、ヒステリシス、使用条件などの影響で、システムのステップサイズは最大20%程度変動する可能性があります。この変動を除去するには外部フィードバックシステムが必要です。

このアクチュエータには1/4"-80ネジ付きバレルがあり、1/4"-80ネジ付きの手動式ミラーマウントや位置決めステージに取り付けることができます。このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるので、ナノメートルレベルの分解能や長期にわたるアライメントの安定性を必要とする用途に適しています。ピエゾアクチュエータを使用してアクティブにネジを移動させていないときは、アジャスターネジのノブを用いて手動調整が可能です。ノブは2.0 mm六角レンチでも操作できます。

長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータにより、このアクチュエータは最大速度3.5 mm/minで動作します。このピエゾモータは、移動中は送りジの先端を回転させるように設計されています。ピエゾ慣性アクチュエータにおける「スリップスティック」モータの設計に関する情報はこちらからご覧いただけます。

Item #PIAK10
Travel10 mm (0.39")
Typical Step Sizea20 nm
Maximum Step Sizeb< 30 nm
Step Size Adjustabilityc≤30%
Maximum Step Frequencyd2000 Hz
BacklashNone
Maximum Active Preloade30 N
Typical Angular ResolutionfØ1" Mirror Mounts: 0.5 μrad
Ø2" Mirror Mounts: 0.3 μrad
Recommended Maximum
Axial Load Capacityg
2.5 kg (5.51 lbs)
Speed (Continuous Stepping)
2 mm/minute (Typical)
< 3.5 mm/minute (Maximum)
Drive Screw1/4"-80 Thread, Hard PVD Coated
Motor TypePiezoelectric Inertia
Mounting Feature
(Auxiliary)
1/4"-80 Thread with Lock Nut
(Ø3/8" [Ø9.525 mm] Barrel)
Operating Temperature10 to 40 °C (50 to 104 °F)
Dimensions72.9 mm x 31.5 mm x 17.0 mm
(2.87" x 1.24" x 0.67”)
Cable Length1.0 m (3.28 ft)
ConnectorSMC, Female
Required ControllerhKIM001 or KIM101
  • この値はコンポーネントのバラツキ、動作方向、使用条件などによって最大20%程度変化する可能性があります。
  • この値はコントローラおよびKinesisソフトウェアを用いて双方向に最大30%の調整が可能です。
  • コントローラおよびKinesisソフトウェアを用いて調整可能です。
  • 慣性ピエゾコントローラKIM101を使用した場合です。
  • 軸力をアクチュエータ先端に付加して仕様のステップサイズを実現します。ステップ動作を向上させるために最低でも5 Nのプリロードをお勧めいたします。
  • アクチュエータPIAK10に30 Nの最大プリロードを与え、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)またはØ50 mm~Ø50.8 mm(Ø2インチ)ミラーマウントに取付けたときの角度分解能(典型値)
  • これ以上の荷重にも耐えられますが、ステップサイズの典型値が小さくなる可能性があります。
  • コントローラは別売りです。こちらのアクチュエータは従来のT-Cube™コントローラTIM101でも制御可能です。

必要なコントローラ
当社のピエゾ慣性アクチュエータPIAK10を駆動するには、コントローラKIM001またはKIM101が必要です。標準的なピエゾコントローラでは、このアクチュエータを駆動することはできません。このドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V~125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。

詳細については、 製品紹介ページをご参照ください。

Inertia Motor
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ミラーマウントKM100の1/4"-100アジャスターネジに代えて取り付けられた2台の慣性アクチュエータPIAK10
(マウントは別売りです)

Posted Comments:
Filip Munz  (posted 2019-08-20 00:43:57.353)
Is this Piezo Inertia Actuator (PIAK10) suitable for high vacuum (cca 0.5 mtorr)? Or can we use rather integrated optic mount like KC1-P? The purpose is a sample adjustment in the chamber. Can you provide also a suitable feedthrough (ideally with KF40 dimensions)?
rmiron  (posted 2019-08-20 05:31:14.0)
Response from Radu at Thorlabs: Hello Filip. Unfortunately, PIAK10 is completely unsuitable for vacuum applications. However, we are very seriously looking into expanding our range of vacuum-compatible products. I will relay your feedback internally in the hope that it will accelerate the process. In the meantime, you could use POLARIS-K1S2P or POLARIS-K1S3P which are piezo-driven, vacuum compatible, 1" mounts. The Polaris line also contains vacuum-compatible posts. If longer travel ranges are required, you could use our Z812V or Z812BV vacuum-compatible actuators. With regards to feedthroughs, we only offer KF16 & KF25 ones on our website (https://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=12861). However, we could offer KF40 ones as a custom item. If you would like to order such custom feedthroughs, please contact your local technical support team.
Jin Ic Kim  (posted 2019-03-28 23:06:49.767)
When I use two PIAK10 in KM100 mirror mount, contact point of one out of two hole is not surface, so there is damage occurs at the tip of actuator as the tip rotates. The other comment is that the actuator seems not return its position when I start at 0 to 20000, then send signal to return 0, sometimes big deviation I have. I'm doing wrong?
user  (posted 2019-04-03 07:31:30.0)
Response from Arunthathi at Thorlabs: Thanks for your query. I have contacted you directly requesting for further information to troubleshoot the issue
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PIAK10 Support Documentation
PIAK10ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量10 mm、1/4"-80ネジ&3/8インチ(9.525 mm)バレル
¥71,604
Lead Time

真空対応ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量10 mm

コントローラ:
KIM001またはKIM101

  • KIM001:シングルチャンネル出力
  • KIM101:4チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
  • 上面パネルによる単体での操作、またはUSB接続によるPC制御が可能
  • 出力電圧:85 V~125 V
Inertia Motor
Click for Details

リード線の角度は最大110°まで調節可能(スペースが限られている用途向け)

特長

  • 31.5 mm x 17.0 mm(W x H)の小型設計
  • 20 nmのステップサイズ(典型値)
  • アジャスターネジのノブで手動調整が可能
  • 10-6Torrまで対応
  • 最大動作電圧:125 V
  • KS1TVの取付けネジでØ25.4 mm(Ø1インチ)ミラーマウントKS1TVに取付け可能
  • 高分解能な相対位置決めが求められる用途に適切
  • 移動ステージ用真空対応ピエゾ慣性アクチュエータPIA13VFもご用意

当社の真空対応ピエゾ慣性アクチュエータPIAK10VFは10-6 Torrまで使用可能で、またコンパクトなパッケージながらピエゾ制御により長い距離を高分解能で直線移動することができます。最大荷重は2.5 kgまで、最大プリロードは30 Nまでの範囲で20 nmの典型的なステップサイズが得られ、またバックラッシュも生じません。このステップサイズは、対応するコントローラやKinesis®ソフトウェアを用いて最大30%(約30 nmまで)の調整が可能です。ただし、開ループ設計、ヒステリシス、使用条件などの影響で、システムのステップサイズは最大20%程度変動する可能性があります。この変動を除去するには外部フィードバックシステムが必要です。

このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるので、ナノメートルレベルの分解能やアライメントの長期安定性を必要とする用途に適しています。ピエゾアクチュエータを使用してアクティブにネジを移動させていないときは、アジャスターネジのノブを用いて手動調整が可能です。ノブは2.0 mm六角レンチでも操作できます。

こちらのアクチュエータには1/4"-100ネジ付きバレルが付いており、ミラーマウントKS1TVなどに取付けが可能です。なお、アクチュエータPIAK10VFは、1/4"-100アジャスタ付きPolaris®マウントには対応しませんのでご注意ください。Polarisマウントでは、ボールがサファイア製受け石の中心に接触し、また全移動範囲でネジに適切なクリアランスが得られるよう、特定のボールサイズと特別に設計された先端を有するアクチュエータを必要とします。アクチュエータPIAK10VFの場合、ボール先端の問題ではなく、ネジの側面がサファイア製受け石に接触するために、Polarisマウントにはご使用いただけません。

アクチュエータには長さ0.75 mのリード線が付いており、そのほかに真空チャンバの外での接続用に長さ1.0 mのケーブルが付属します。このリード線とケーブルは必要に応じて切断可能ですが、真空槽の内外あわせた全長は2.0 mを超えないようにしてください。上の写真のようにアクチュエータのリード線は最大110°まで回転できます。これはスペースの限られた場所で有用です。

長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータにより、このアクチュエータは最大速度3.5 mm/minで動作します。このピエゾモータは、移動中は送りジの先端を回転させるように設計されています。ピエゾ慣性アクチュエータにおける「スリップスティック」モータの設計に関する情報はこちらからご覧いただけます。

Item #aPIAK10VF
Travel10 mm (0.39")
Typical Step Sizeb,c20 nm
Maximum Step Size30 nm
Step Size Adjustabilityc≤30%
Maximum Step Frequency2000 Hz
BacklashNone
Maximum Active Preloadd30 N
Typical Angular ResolutionKS1TV Ø1" Mirror Mount: 0.5 μrad
Recommended Maximum
Axial Load Capacitye
2.5 kg (5.51 lbs)
Speed (Continuous Stepping)
2 mm/minute (Typical)
< 3.5 mm/minute (Maximum)
Drive Screw1/4"-80 Thread, Hard PVD Coated
Motor TypePiezoelectric Inertia
Mounting Feature
(Auxiliary)
1/4"-100 Thread with Lock Nutf
(Ø3/8" [Ø9.525 mm] Barrel)
Operating Temperature5 to 130 °C (41 to 266 °F)
Dimensions77.7 mm x 31.5 mm x 17.0 mm
(3.06" x 1.24" x 0.67")
Cable Length0.75 m (2.48 ft) Flying Lead for Vacuum,
1.0 m (3.3 ft) of Cored Cable for Wiring Outside Chamber
ConnectorSMC, Female
Vacuum Rating10-6 Torr
Required ControllergKIM001 or KIM101
  • 仕様値はピエゾ慣性コントローラKIM101を用いて測定しています。
  • この値はコンポーネントのバラツキ、動作方向、使用条件などによって最大20%程度変化する可能性があります。
  • ピエゾアクチュエータへの電圧を変えることで調整できます。詳細についてはコントローラのマニュアルをご参照ください。
  • 軸力をアクチュエータ先端に付加して仕様のステップサイズを実現します。ステップ動作を向上させるために最低でも5 Nのプリロードをお勧めいたします。
  • これ以上の荷重にも耐えられますが、ステップサイズの典型値が小さくなる可能性があります。
  • こちらのアクチュエータは当社のPolarisミラーマウントにはご使用いただけません。
  • コントローラは別売りです。こちらのアクチュエータは従来のT-Cube™コントローラTIM101でも制御可能です。

必要なコントローラ
当社のピエゾ慣性アクチュエータPIAK10VFを駆動するには、コントローラKIM001またはKIM101が必要です。標準的なピエゾコントローラでは、このアクチュエータを駆動することはできません。このドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V~125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。

詳細については、製品紹介ページをご参照ください。

Inertia Motor
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ミラーマウントKS1TVの1/4"-100アジャスターネジに代えて取り付けられた3台の慣性アクチュエータ
(マウントは別売りです)

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+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PIAK10VF Support Documentation
PIAK10VFNEW!Customer Inspired! 真空対応ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量10 mm、1/4"-100取付けネジ
¥103,350
3-5 Days

グリースキット

特長

  • 1.5 cc 注入器入りのApiezon100グリース
  • 便利でムダのない低価格パッケージ
  • アクチュエータの寿命を延長
  • 使い易いスポイト入り
  • 10-9 Torrまでの真空に対応

このApiezonグリースは、優れた焼き付き防止特性を備えています。潤滑性を高めるためのPTFEが含まれ、当社ののZST、ZFSおよびZ8シリーズのアクチュエータの親ネジを再潤滑するのに適しています。この製品は使いやすい注入器入りで、汎用および10-9 Torrまでの真空用途の両方にお使いいただけます。適する動作温度は10~30°Cです。

:Z8、ZFSおよびZSTモータの親ネジは50,000サイクルまたは6か月ごとに潤滑油を差すことをお勧めします。


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+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
GKZ8 Support Documentation
GKZ8グリースキット、Z8、ZFSおよびZSTアクチュエータ用
¥2,012
3-5 Days
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