UV溶融石英(UVFS)Engineered Diffusers®(トップハット型ビーム出力拡散板)


  • Circular Scatter Shape
  • Transmission Spectrum: 193 nm - 2.0 µm
  • Transmission: 90%
  • Ideal for High-Power Applications

EDG5C20

Ø1/2" Unmounted UV Fused Silica Engineered Diffuser®, 20° Circle Pattern

EDG5C20M

Ø1/2" Mounted UV Fused Silica Engineered Diffuser, 20° Circle Pattern

Application Idea

An EDG5C20 Engineered Diffuser is mounted in the light path of a S1FC635 Laser. The circular scatter pattern is visible on a post-mounted EDU-VS1 Viewing Screen.

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Diffuser Selection Guide
Ground Glass Diffusers
Standard DiffusersN-BK7 SubstrateUnmounted, Uncoated350 nm - 2.0 μm
Unmounted, AR Coated350 nm - 700 nm
650 nm - 1050 nm
Mounted, Uncoated350 nm - 2.0 µm
UVFS SubstrateUnmounted, Uncoated185 nm - 2.0 µm
Diffuse ReflectorsN-BK7 SubstrateUnmounted, UV-Enhanced Aluminum Coated250 nm - 450 nm
Unmounted, Protected Silver Coated450 nm - 20 µm
Unmounted, Protected Gold Coated800 nm - 20 µm
Alignment Disks
Engineered Diffusers
Glass DiffusersUVFS SubstrateUnmounted and Mounted, Uncoated193 nm to 2.0 µm
Polymer DiffusersZEONOR SubstrateUnmounted and Mounted, Uncoated380 nm to 1.1 µm
Diffuser Kits

特長

  • 円形散乱パターンを有するØ12.7 mm(Ø1/2インチ)拡散板
  • トップハット型(矩形)の均一強度プロファイルで出力
  • 基板:UV溶融石英(UVFS)
  • 193 nm~2.0 µmで90%以上の透過率
  • マウント無し、またはマウント付きでご用意
  • ハイパワーの用途に対応

用途例

  • 固体レーザのホットスポットとモード異常の緩和
  • 半導体レーザの非対称な発散の緩和
  • 皮膚科および美容レーザ用に平坦な視野を生成

当社では、入射ビームを均一化し、トップハット型の非ガウシアン強度分布を得られるUV溶融石英(UVFS)Engineered Diffusers®*をご用意しております。これらの拡散板は、発散角20°の円形分布パターンを有しますが、一般的な拡散板では、発散角や照明の空間分布、強度プロファイルをこのように高度なレベルで制御することはできません。

UV溶融石英製で、193 nm~2.0 μmで90%の透過率を有します。UV溶融石英は損傷閾値が高いため、この拡散板はハイパワーの用途や、パルスレーザ、ファイバーレーザ、固体レーザ、半導体レーザなどの光源にご使用いただけます。この拡散板は、Ø0.5 mm以上のレーザービームにご使用いただけるように設計されています。これよりビーム径が小さい場合には、拡散板に入射する前にビーム径を拡大してください。低パワーの用途向けには、コスト効率が高いポリマEngineered Diffusersをご用意しております。

当社のUV溶融石英製の拡散板は、マウント付きまたはマウント無しのタイプがございます。マウント付きのØ12.7 mm(Ø1/2インチ)拡散板は、刻印のあるSM05ネジ付きマウントに取り付けられています(ページ上部の写真参照)。マウントには刻印があるため素早く識別ができ、また指紋や汚れから拡散板を保護することができます。SM05ネジは、特にØ12 mm~Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)レンズチューブ16 mmケージシステムと組み合わせてシステムを構築する際に有用です。

当社のEngineered Diffusersの詳細、技術、製造については「テクノロジ」タブをご覧ください。

*Engineered Diffusers®は、VIAVI Solutions社の登録商標です。

Engineered Diffuser Surface 2
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Engineered DiffuserのSEM像(拡大)
Engineered Diffuser Surface 1
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Engineered DiffuserのSEM像

Engineered Diffusers®のテクノロジ
当社のEngineered Diffusersは、ビームプロファイルがしっかりと制御され、リソグラフィーシステムや、アウトドア照明、ディスプレイ、バックライト、ディスプレイ輝度の強化、プロジェクタースクリーンなどの幅広い用途で使用できます。

すりガラス、乳白ガラス、ホログラフィック素子などの均一拡散板は、開口全体に渡って連続して均一的な表面パターンが構成されており、照明部の形ならびに強度プロファイルに関しては限定的な制御しかできず、また、入射光の利用効率が大きくできません。また、ホログラフィック拡散板は、通常コヒーレント光を用いた単色用途に限られています。一方、Engineered Diffusersは、個々に異なった形状で形成されたマイクロレンズユニットによって構成されているので、広帯域に対応し、光分布ならびにビームプロファイルを制御することが可能です。

拡散板を形成する各マイクロレンズユニットは、その形状や位置について、個別に規定されてます。同時に、入射ビームの強度プロファイルに変化があっても安定して拡散し、そして可視域ならびに赤外域でも確実に使用できるように、マイクロレンズ分布は、所望のビームプロファイルを形成するための確率分布関数に従いランダム化されています。マイクロレンズの分布はまた、出射光のゼロオーダの輝点ならびに回折によるアーティファクトを取り除くように設計されます。このようにして、Engineered Diffusersは、ランダムかつ確定的な性質を持つことができるのです。

Engineered Diffuser Fabrication
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マスタ製造過程の略図

製造
マイクロレンズアレイのマスタはVIAVI Solutions社が開発したレーザ書込みシステムによって製造されます。左図のように、この書込みシステムは、ラスタースキャンモードでpoint-by-pointに厚い層のフォトレジストを露光します。レーザービームの強度を走査中に変調すると、フォトレジストへの露光度も変化します。結果、上の2つのSEM像でみられるような深さのある表面が作り上げられました。

他の拡散板テクノロジとの比較
一般的に使われる拡散板には、プリズムガラスの集積バー、すりガラス、乳白ガラス、ホログラフィック拡散板、回折拡散板などがあります。プリズムガラスの集積バーは、時々高性能なシステムに使用されることがありますが、高価でスペースを占領してしまう大きさとなっております。すりガラスならびに乳白ガラスは、すべての方向において光を均等に散乱しますが、出力プロファイルを制御する性能は高くありません。また、このようなシンプルな拡散板における透過効率は一般的に低くなります。ホログラフィック拡散板は、これらの拡散板よりも優れた性能を持ちますが、ガウシアンと同様の強度プロファイルと円形または楕円形のパターンしか作ることができません。一般的なビーム形成の性能については、回折素子が入射ビームを任意の形に形成するのに優れています。しかし、狭い拡散角に限定され、波長には非常に敏感で、入射ビームと同一線上にあるゼロオーダの輝点を失くすことができません。対照的に、Engineered Diffusersは、高い透過効率に加え、拡散光の発散角、空間分布、ならびに強度プロファイルを制御することができるのです。

Engineered Diffusersの製品テクノロジーと性能の詳細はこちらのカタログをご覧ください。

General Specifications
MaterialUV Fused Silicaa
Design Wavelengthb400 - 700 nm (Achromatic)
Transmission Spectrumb193 - 2000 nm
Transmission Efficiency90%
Diffuser DiameterØ12.7 mm (Ø1/2")
Diffuser Thickness1.0 mm (0.04")
Incident Beam Size> 0.5 mm
Index of Refraction1.457 @ 633 nm
Divergence Anglec20.0° ± 10% FWHM
  • 標準グレードの高純度溶融石英Corning 7980
  • UV溶融石英基板は広い透過スペクトルを有しますが、UV溶融石英Engineered Diffusers®は設計波長範囲内でのみ発散角の仕様を満たすことが保証されています。
  • UV溶融石英Engineered Diffusersの発散角は、FWHMを0°に正規化した値として定義されます(「グラフ」タブ参照)。

下のグラフは、当社のUV溶融石英Engineered Diffusers®EDG5C20の理論的かつ実験的なビームプロファイルを示しています。理論データは拡散板に633 nmのコリメート光を照射した際の、発散ビームプロファイルの中心を通る強度の近似値であり、0°を基準とした相対強度に正規化されています。透過強度の実験データは、後述する散乱計のセットアップを使用し、635 nmのコリメート光を使用して収集したもので、20個の独立した拡散板での測定値の平均であり、個々の測定値は0°の値に正規化されています。青く網掛けされた範囲は、拡散板の仕様の発散角を示し、0°での透過強度を基準とした相対強度のFWHMによって定義されています。

Transmitted Intensity of the EDG5C20 Engineered Diffuser
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UV溶融石英Engineered Diffusers EDG5C20の理論的および実験的ビームプロファイル
青く網掛けされた範囲は、仕様の発散角を示しています。


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View Imperial Product List
型番数量Description
Laser Input and Collimation
S1FC6351ファブリペローベンチトップ型レーザ光源、635nm、2.5mW、FC/PC
FG105LCA1Multimode Fiber, 0.22 NA, Low OH, Ø105 µm Core, 400 - 2400 nm
RC12FC-P011Protected Silver Reflective Collimator, 450 nm - 20 µm, RFL = 50.8 mm, FC/PC
KM100T1キネマティックマウント、Ø25.0 mm~Ø25.4 mm薄型光学素子用、SM1ネジ付き
TR43Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ4インチ(インチ規格)
PH43Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ4インチ (インチ規格)
BA11取付けベース、1インチ x 3インチ x 3/8インチ(インチ規格)
PF20-03-P012保護膜付き銀ミラー(円形)、Ø50.8 mm、厚さ12 mm
KM2002キネマティックマウント、Ø50 mm~Ø50.8 mm光学素子用
BE12台座型ベースアダプタ、Ø1.25インチ、1/4”-20ネジ付き(インチ規格)
CF1252クランプフォーク、Ø31.8 mm台座ベース用、31.5 mmザグリ穴スロット(ミリ&インチ規格共用)
Spatial Filter Assembly and Associated Optics
KT3111空間フィルターシステム、光学素子&ピンホールは別売り(インチ規格)
N10X-PF110X Nikon Plan Fluorite Imaging Objective, 0.3 NA, 16 mm WD
P100K1Ø25.4 mm(Ø1インチ)マウント付きピンホール、ピンホール径100 ± 4 µm、ステンレススチール製
Al2550G-A1Ø25.0 mm Diffraction-Limited N-BK7 Aspheric Lens, f = 50.0 mm, NA = 0.20, AR Coated: 350 - 700 nm
CXY1A130 mmケージシステム用XY移動マウント、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子用
ER6-P41Ø6 mmケージアセンブリーロッド、長さ 152.4 mm、4個入り
BLP011Pシリーズ高さ調整機能付きポスト (インチ規格)
PF175B1クランプフォーク、Ø47.0 mm台座ベース用、53.8 mmザグリ穴付き(ミリ&インチ規格共用)
Sample Mounting
HDR501高耐荷重回転ステージ、SM2ネジ付き中央開口(インチ規格)
NR360SP81ステージHDR50(/M)用アダプタープレート、SM1ネジ穴付き、30 mmケージ対応、1/4"-20および#8-32タップ穴付き
XRN25DR31幅50.7 mmアリ溝式レール、長さ500 mm
MBR61アルミニウム製ブレッドボード、 Ø6.00" x 0.50"、1/4"-20穴密度2倍(インチ規格)
EDG5C201Ø1/2" Unmounted UV Fused Silica Engineered Diffuser, 20° Circle Pattern
LMR051Ø1/2インチ光学素子用レンズマウント、固定リング1個付属、#8-32タップ穴(インチ規格)
TR21Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ2インチ(インチ規格)
PH21Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ2インチ(インチ規格)
QRP021手動式360°回転ステージ、ハードストップ2つ付き(インチ規格)
BSC20111軸ベンチトップ型ステッピングモーターコントローラ
Signal Detection
MC2000B1光チョッパーシステム、10/100スロットブレード(36°)MC1F10HP付き、100 VAC (日本国内向け)
TR62Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ6インチ(インチ規格)
PH22Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ2インチ(インチ規格)
BE1R2台座型マグネットベースアダプタ、Ø1.25インチ、1/4”-20ネジ付き(インチ規格)
P1000K1Ø25.4 mm(Ø1インチ)マウント付きピンホール、ピンホール径1000 ± 10 µm、ステンレススチール製
CXY1A130 mmケージシステム用XY移動マウント、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子用
SM05PD3A1マウント付きSiフォトダイオード、320~1100 nm、カソード接地
SM1A6FW1ネジ変換アダプタ、SM1外ネジ&SM05内ネジ、刻み目付き
CP331SM1ネジ付き30 mmケージプレート、厚さ0.35インチ、固定リング2個付属、#8-32タップ穴(インチ規格)
ER2-P41Ø6 mmケージアセンブリーロッド、長さ 50.8 mm、4個入り
LA1951-A-ML1Ø1" N-BK7 Plano-Convex Lens, SM1-Threaded Mount, f = 25.4 mm, ARC: 350-700 nm
TR31Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ3インチ(インチ規格)
PH31Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ3インチ (インチ規格)
XRN25-RC21レールキャリア、幅2インチアリ溝付きステージ用、#8-32タップ穴&1/4”ザグリ穴(インチ規格)
AMP1021トランスインピーダンスアンプ、利得切り替え型、利得1/10/100 kV/A、帯域幅100 kHz
View Metric Product List
型番数量Description
Laser Input and Collimation
S1FC6351ファブリペローベンチトップ型レーザ光源、635nm、2.5mW、FC/PC
FG105LCA1Multimode Fiber, 0.22 NA, Low OH, Ø105 µm Core, 400 - 2400 nm
RC12FC-P011Protected Silver Reflective Collimator, 450 nm - 20 µm, RFL = 50.8 mm, FC/PC
KM100T1キネマティックマウント、Ø25.0 mm~Ø25.4 mm薄型光学素子用、SM1ネジ付き
TR100/M3Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ100 mm(ミリ規格)
PH100/M3Ø12 mm~Ø12.7 mm ポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ100 mm (ミリ規格)
BA1/M1取付けベース、25 mm x 75 mm x 10 mm(ミリ規格)
PF20-03-P012保護膜付き銀ミラー(円形)、Ø50.8 mm、厚さ12 mm
KM2002キネマティックマウント、Ø50 mm~Ø50.8 mm光学素子用
BE1/M2台座型ベースアダプタ、Ø31.8 mm、M6ネジ付き(ミリ規格)
CF1252クランプフォーク、Ø31.8 mm台座ベース用、31.5 mmザグリ穴スロット(ミリ&インチ規格共用)
Spatial Filter Assembly and Associated Optics
KT311/M1空間フィルターシステム、光学素子&ピンホールは別売り(ミリ規格)
N10X-PF110X Nikon Plan Fluorite Imaging Objective, 0.3 NA, 16 mm WD
P100K1Ø25.4 mm(Ø1インチ)マウント付きピンホール、ピンホール径100 ± 4 µm、ステンレススチール製
Al2550G-A1Ø25.0 mm Diffraction-Limited N-BK7 Aspheric Lens, f = 50.0 mm, NA = 0.20, AR Coated: 350 - 700 nm
CXY1A130 mmケージシステム用XY移動マウント、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子用
ER6-P41Ø6 mmケージアセンブリーロッド、長さ 152.4 mm、4個入り
BLP01/M1Pシリーズ高さ調整機能付きポスト (ミリ規格)
PF175B1クランプフォーク、Ø47.0 mm台座ベース用、53.8 mmザグリ穴付き(ミリ&インチ規格共用)
Sample Mounting
HDR50/M1高耐荷重回転ステージ、SM2ネジ付き中央開口(ミリ規格)
NR360SP81ステージHDR50(/M)用アダプタープレート、SM1ネジ穴付き、30 mmケージ対応、1/4"-20および#8-32タップ穴付き
XRN25DR31幅50.7 mmアリ溝式レール、長さ500 mm
MBR150/M1アルミニウム製ブレッドボード、Ø150.0 mm x 12.7 mm、M6穴密度2倍(ミリ規格)
EDG5C201Ø1/2" Unmounted UV Fused Silica Engineered Diffuser, 20° Circle Pattern
LMR05/M1Ø12 mm~Ø12.7 mm光学素子用レンズマウント、固定リング1個付属、M4タップ穴 (ミリ規格)
TR50/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ50 mm(ミリ規格)
PH50/M1Ø12 mm~Ø12.7 mmポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ50 mm(ミリ規格)
QRP02/M1手動式360°回転ステージ、ハードストップ2つ付き(ミリ規格)
BSC20111軸ベンチトップ型ステッピングモーターコントローラ
Signal Detection
MC2000B1光チョッパーシステム、10/100スロットブレード(36°)MC1F10HP付き、100 VAC (日本国内向け)
TR150/M2Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ150 mm(ミリ規格)
PH50/M2Ø12 mm~Ø12.7 mmポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ50 mm(ミリ規格)
BE1R/M2台座型マグネットベースアダプタ、Ø31.8 mm、M6ネジ付き(ミリ規格)
P1000K1Ø25.4 mm(Ø1インチ)マウント付きピンホール、ピンホール径1000 ± 10 µm、ステンレススチール製
CXY1A130 mmケージシステム用XY移動マウント、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子用
SM05PD3A1マウント付きSiフォトダイオード、320~1100 nm、カソード接地
SM1A6FW1ネジ変換アダプタ、SM1外ネジ&SM05内ネジ、刻み目付き
CP33/M1SM1ネジ付き30 mmケージプレート、厚さ8.9 mm、固定リング2個付属、M4タップ穴(ミリ規格)
ER2-P41Ø6 mmケージアセンブリーロッド、長さ 50.8 mm、4個入り
LA1951-A-ML1Ø1" N-BK7 Plano-Convex Lens, SM1-Threaded Mount, f = 25.4 mm, ARC: 350-700 nm
TR75/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ75 mm(ミリ規格)
PH75/M1Ø12 mm~Ø12.7 mm ポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ75 mm (ミリ規格)
XRN25-RC2/M1レールキャリア、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、M4 x 0.7タップ穴&M6ザグリ穴(ミリ規格)
AMP1021トランスインピーダンスアンプ、利得切り替え型、利得1/10/100 kV/A、帯域幅100 kHz
UV溶融石英Engineered Diffusersからの散乱光を測定してビームプロファイルを特定するために、散乱計を構築しました。

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ビームプロファイルの動きを表す図

実験手順
UV溶融石英Engineered Diffusersからの635 nmのレーザ光の拡散パターンを測定するために散乱計を構築します。右端に実験セットアップの写真を掲載しています。使用するコンポーネント一覧は写真下のリンクからご覧いただけます。この実験セットアップではロックインアンプが使用されていますが、一覧には含まれておりませんのでご注意ください。ファイバーレーザS1FC635からの出力光をコリメータRC12FC-P01を使用してコリメートし、次に空間フィルターシステムKT311/Mを使用してクリーンで空間的に均一なガウシアンビームを生成しました。コリメートされたビームは、ロックインアンプに同期させた光チョッパMC2000Bで変調し、試験対象の拡散板に入射させました。拡散板は、アルミニウム製ブレッドボードMBR150/M上の回転プラットフォームQRP02/Mに取り付けられ、回転マウントHDR50/Mの中央開口部を介して光学テーブルに直接取り付けました。フォトダイオードSM05PD3Aを取り付けたレールXRN25DR3を回転マウントに接続することで、ディテクタは拡散板からの発散ビームプロファイルの中心を掃引することができます(右端の写真参照)。ディテクタは拡散板から約13.5 cmの距離に取り付けられ、出射角は発散板が光路内にないときの本来の光軸を基準に定義されます。ディテクタはロックインアンプに同期され、機器制御とデータ取得用のLabVIEWプログラムを使用してによって0.1°ごとに信号を収集しました。規格化された強度は出射角の関数としてグラフ化されます。

この実験の重要な点は、光チョッパとフォトダイオードディテクタと同期した空間フィルタとロックインアンプを使用することです。この構成では、拡散板からの低強度の散乱も検出できるため、ビームプロファイルを正確に測定できます。


Posted Comments:
Gerrit Boschloo  (posted 2024-10-11 12:57:25.39)
I was wondering if this diffuser can be used to get a top-hat profile for a ns-pulsed Nd:YAG laser? The rep. rate is 10 Hz, with about 10 mJ/puls at 532 nm.
mgarodia  (posted 2024-10-18 03:21:55.0)
Thank you for reaching out to us. Yes, your laser will be suitable with the EDG5C20M and you can get a top-hat profile with it. I have reached out to you with further information.
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Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)UV溶融石英(UVFS)Engineered Diffuser®(トップハット型ビーム出力拡散板)、マウント無し

  • Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)Engineered Diffuser®
  • トップハット型の強度プロファイル
  • UV溶融石英(UVFS)基板
  • 発散角20°の円形パターン

マウント無しの光学素子は、スペースが限られている場合や自由な取り付けが必要とされる場合に適しています。マウント無しのØ12.7 mm(Ø1/2インチ)UV溶融石英(UVFS)Engineered Diffuserは、SM05ネジ付きレンズチューブやSM05ネジ対応のマウントにご使用いただけます。光学素子は、入射光が加工されている方の面から入射されるように設置する必要があります。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
EDG5C20 Support Documentation
EDG5C20Ø1/2" Unmounted UV Fused Silica Engineered Diffuser, 20° Circle Pattern
¥38,360
3-5 Weeks
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Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)UV溶融石英(UVFS)Engineered Diffuser®(トップハット型ビーム出力拡散板)、マウント付き

  • SM05ネジ付きマウントに取り付けられたØ12.7 mm(Ø1/2インチ)Engineered Diffuser®
  • トップハット型の強度プロファイル
  • UV溶融石英(UVFS)基板
  • 発散角20°の円形パターン

当社のUV溶融石英(UVFS)Engineered Diffuserは、マウント無しのタイプと同様の性能を有しますが、SM05内ネジおよび外ネジ付きのマウントに取り付けられており、マウントには型番等の情報が刻印されています。マウント付きの光学素子は、識別が容易であり、マウントにはめ込まれているため、マウント無しの光学素子よりも汚れから保護されるという利点があります。光学素子は、入射光が加工されている方の面から入射されるように設置する必要があります。光学素子がマウント内に設置されると、この面は固定リングの方を向きます。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
EDG5C20M Support Documentation
EDG5C20MØ1/2" SM05-Mounted UV Fused Silica Engineered Diffuser, 20° Circle Pattern
¥43,840
3-5 Weeks