Products Home電動アクチュエーター、移動量12 mmまたは13 mm
- High-Precision Piezo Inertia Actuators
- Motorized Micrometer-Head Steppers
- Precision DC Servo Motor Actuators
- High-Load Precision Stepper Motor Actuators
ZST213
13 mm Travel
Stepper Motor Actuator
Z912V
12 mm Travel
DC Motor Actuator
ZFS13
13 mm Travel, Compact
Stepper Motor Actuator
PIA13VF
13 mm Travel
Piezo Inertia Actuator, Vacuum-Compatible
Please Wait
| Item # | Z912 | Z912B | Z912V | Z912BV | ZFS13 | ZFS13B | ZST213 | ZST213B | PIA13 | PIA13VF |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Travel | 12 mm (0.47") | 13 mm (0.51") | 13 mm (0.51") | |||||||
| Motor Type | DC Servo w/ Encoder | 2-Phase Stepper | Piezo Inertia Acuator | |||||||
| Mounting | 1/4"-80 Thread | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel | 1/4"-80 Thread | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel | 1/4"-80 Thread | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel | 1/4"-80 Thread | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel | ||
| Vacuum Rating | N/A | 10-6 Torr | N/A | N/A | 10-6 Torr | |||||
| Required Controller | KDC101 | KST201 | KIM001 or KIM101 | |||||||
特長
- 移動量：12 mmまたは13 mm
- ステッピングモータ、サーボモータ、ピエゾ慣性アクチュエータの3タイプをご用意
- アクチュエータにより先端は回転または非回転
- ステージやマウントの手動マイクロメータと交換可能
当社の電動アクチュエータは、光学的な位置決め装置と組み合わせて使用するように設計されています。 これらの製品は軽量なパッケージながら高分解能であるため、要求の厳しい光学システムを自動化するためのデバイスとして適しています。こちらの移動量12 mmまたは13 mmの電動アクチュエータの駆動機構には、2相ステッピングモータ、エンコーダ付きDCサーボモータ、ピエゾ慣性アクチュエータの3種類のタイプをご用意しています。DCサーボモータまたはピエゾ慣性アクチュエータを用いた真空対応モデルは、10-6 Torrまでの真空でご使用いただけます。各モデルの概要は右の表に、詳細は以下に記載しております。
| Quick Links to Other Motorized Actuators | |||
|---|---|---|---|
| 10 mm (0.39") or Less Travel | 12 mm or 13 mm (1/2") Travel | 25 mm (1") Travel | 50 mm (2") Travel |
アクチュエータZFSおよびZSTシリーズ
ピン配列
高密度D-Subオス型15ピンコネクタ
高密度D-Sub 15ピンコネクタのピン配列
| Pin | Description | Pin | Description |
|---|---|---|---|
| 1 | Limit Ground | 8 | Reserved for Future Use |
| 2 | CCW Limit Switch | 9 | Reserved for Future Use |
| 3 | CW Limit Switch | 10 | Vcc (+5 VDC) |
| 4 | Motor Phase B - | 11 | Reserved for Future Use |
| 5 | Motor Phase B + | 12 | Reserved for Future Use |
| 6 | Motor Phase A - | 13 | Reserved for Future Use |
| 7 | Motor Phase A + | 14 | Reserved for Future Use |
| - | - | 15 | Ground |
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高密度D-Subオス型15ピンコネクタ
アクチュエータZ912およびZ912B
ピン配列
高密度D-Subオス型15ピンコネクタのピン配列
高密度D-Sub 15ピンコネクタのピン配列
| Pin | Description | Pin | Description |
|---|---|---|---|
| 1 | Ground (Limit and Vcc) | 9 | Resistive Identification |
| 2 | Forward Limit | 10 | +5 VDC |
| 3 | Reverse Limit | 11 | Encoder Channel A |
| 4 | Reserved for Future Use | 12 | Reserved for Future Use |
| 5 | Motor (-) | 13 | Encoder Channel B |
| 6 | Reserved for Future Use | 14 | Pin 2 Identification EEPROM |
| 7 | Motor (+) | 15 | Pin 1 Identification EEPROM |
| 8 | Reserved for Future Use |
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高密度D-Subオス型15ピンコネクタ
アクチュエータZ912VおよびZ912BV
アクチュエータZ912VおよびZ912BVに付いている真空対応の一体型ケーブルの先端には、メス型10ピンIDCソケットコネクタが付いています。アクチュエータZ912VおよびZ912BVには、このメス型IDCソケットコネクタと高密度D-Subオス型15ピンコネクタとの間のアダプタとして、短い変換ケーブルが付属しています。これを用いて推奨コントローラであるKDC101に接続することができます。この変換ケーブルの終端コネクタを下の写真に示します。なお、この変換ケーブルは真空には対応しておりません。 メス型IDCソケットコネクタのピン配列と、そのメス型IDCソケットコネクタに接続された高密度D-Subオス型コネクタのピン配列を下の表に示します。
ピン配列
メス型10ピンIDCソケットコネクタ
(Amphenol社製T812シリーズ、2.54 mmピッチ)
メス型10ピンIDCソケットコネクタのピン配列
| Pin | Description | Pin | Description |
|---|---|---|---|
| 1 | Motor (+) | 6 | Motor (-) |
| 2 | Vcc | 7 | Limit Ground |
| 3 | Channel A | 8 | Reverse Limit |
| 4 | Channel B | 9 | Forward Limit |
| 5 | Ground | 10 | Not Connected |
ピン配列
高密度D-Subオス型15ピンコネクタ
オス型HDDB15コネクタのピン配列
| Pin | Description | Pin | Description |
|---|---|---|---|
| 1 | Ground (Limit and Vcc) | 8 | Reserved For Future Use |
| 2 | Forward Limit | 9 | Ident Resistor |
| 3 | Reverse Limit | 10 | Vcc (+5 VDC) |
| 4 | Reserved For Future Use | 11 | Encoder Channel A |
| 5 | Motor (-) | 12 | Reserved for Future Use |
| 6 | Reserved for Future Use | 13 | Encoder Channel B |
| 7 | Motor (+) | 14, 15 | Reserved For Future Use |
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変換ケーブルの両側の終端コネクタ 左の写真は高密度D-Subオス型15ピンコネクタを、右の写真はオス型10ピンIDCソケットコネクタを示しています。
例：ステッピングモータで駆動するアクチュエータのマイクロステップあたりの直線移動量に関する計算
ZFSシリーズのステッピングモーターアクチュエータは、1回転あたり24フルステップです。ドライバKST201で駆動する場合、フルステップあたり2048マイクロステップになるため、モータの1回転あたりでは49 152マイクロステップになります。モータの出力軸はギア比400:9(約44.444:1)のギアヘッドに接続されています。従って、1.0 mmピッチの送りネジを1回転させて1.0 mmの直線移動をさせるには、モータを44.444回転させる必要があります。
送りネジ1回転あたりのマイクロステップ数は以下のように与えられます。
マイクロステップ数 x ギア比 = 49 152 x 44.444 = 2 184 511.5マイクロステップ/送りネジ1回転
また、マイクロステップ毎の送りネジの直線移動量(理論値)は以下の通りです。
1.0 mm / 2 184 511.5 = 0.46 x 10-6 mm = 0.46 nm.
ステッピングモータアクチュエータに関する計算のまとめ
| Item # | Required Driver | Full Steps per Revolution | Microsteps per Revolution | Gearbox Ratio | Displacement per Microstepa |
|---|---|---|---|---|---|
| ZFS13 | KST201 | 24 | 49 152 | 44.444:1 | 0.46 nm |
| ZFS13B | |||||
| ZST213 | 40.866:1 | 0.50 nm | |||
| ZST213B |
例：Z9シリーズサーボモータアクチュエータのエンコーダ分解能に関する計算
Z9シリーズのサーボモータアクチュエータでは、サーボモータ1回転あたりのエンコーダ出力は512カウントになります。モータの出力軸はギア比67.49:1の遊星ギアヘッドに取り付けられているため、1.0 mmピッチの送りネジを1回転させて1.0 mmの直線移動をさせるには、モータを67.49回転させる必要があります。
従って、送りネジ1回転あたりのエンコーダ出力数は以下のように与えられます。
エンコーダ出力数 x ギア比 = 512 x 67.49 = 34 555エンコーダ出力数/送りネジ1回転
エンコーダの理論分解能、すなわちエンコーダ1カウントあたりの送りネジによる直線移動量(理論値)は、以下のように与えられます。
1.0 mm / 34 555カウント= 2.9 x 10-5 mm = 29 nm.
サーボモータアクチュエータに関する計算のまとめ
| Item # | Required Driver | Encoder Counts per Revolution | Gearbox Ratio | Encoder Resolution |
|---|---|---|---|---|
| Z912 | KDC101 | 512 | 67.49:1 | 29 nm |
| Z912B | ||||
| Z912V | ||||
| Z912BV |
| Posted Comments: | |
Jibin S S
(posted 2025-02-10 04:04:52.963) Hello. I have PIA13 and KIM101. I wonder if PIA13 has position sensing and feedback control. If so, how can I make it operational? spolineni
(posted 2025-02-19 09:26:59.0) Thank you for reaching out. The PIA13 is a Piezo Inertia Actuator designed for open-loop motion control and does not have built-in position sensing or feedback control. It operates solely on step commands. I will personally contact you to further discuss and assist with your application. user
(posted 2024-09-26 12:01:22.587) Hi, is there a way to mount the PIA13 piezo inertia actuator to the MBT616D/M 3-Axis MicroBlock stage in place of one of its original actuators? I would be interested to motorize the vertical movement of the MicroBlock. dnewnham
(posted 2024-10-04 11:08:23.0) Thank you for your inquiry, we do not recommend removing the drivers from the MBT616D/M stage so I would not recommend attempting to mount PIA13's to the MBT616D/M stage however I will reach out to you directly to discuss possible alternatives. Andrew Chew
(posted 2024-09-16 11:42:15.06) Hi, is the IDC to D type converter cable offered separately? I might have lost one of them. Thanks. cstroud
(posted 2024-09-19 06:05:34.0) Thanks for reaching out. I will contact you directly to discuss this further. R N
(posted 2024-08-01 10:00:57.507) I am working in device units for position (controlling Z912 with KDC101). For position, the conversion between device units and real units (mm) is clear: 34555 device units is 1.0 mm, and device units are the same as the encoder counts.
How do I convert between device units and real units for velocity and acceleration (real units: mm/s, mm/s^2)? Can you include those device unit conversions in the manual or specifications to make it easier for people to use device units? dnewnham
(posted 2024-08-08 04:36:24.0) Thank you for your feedback. To convert device units to real units for velocity the scaling factor is 772981.3692 (mm/s) and for converting from device units to real units for acceleration the scaling factor is 263.8443072 (mm/s^2). I will reach out to you to discuss this further. Dan Popovic
(posted 2024-07-31 14:12:52.76) We are considering controlling the 12mm Travel DC Servo Motor Actuators with a Beckhoff PLC.
Would it be possible to get full motor specs, at least the maximum/nominal voltage and current?
Thank you spolineni
(posted 2024-08-07 09:13:38.0) Thank you for reaching out to us. I will personally contact you soon to discuss your application and provide any assistance you may need. 舟 李
(posted 2022-11-09 03:04:43.07) I intend to use this product to drive a translation stage with a prism on it to reflect the light beam and adjust the time delay. However, I find the reflected beam suffer seriously from zigzag effect. The beam spot moves up and down periodically as the actuator extends or retracts. I wish to know how to deal with this problem.
我打算用这个产品驱动一个位移台，位移台上面有一个棱镜，用来反射光束和调整延时。然而，我发现反射光受位移台移动影响显著。当促动器伸缩时，光斑周期性地上下抖动。我想知道如何处理这个问题。 cdolbashian
(posted 2022-11-16 11:43:03.0) Thank you for your inquiry. PRC techsupport team have got in touch with you for further information to resolve your issue. chengyun hong
(posted 2022-08-05 20:38:59.843) hello
we have the ZFS13B and the KST 101 in our lab, and we fixed this on the mirror mount to control the beam position in the 50X microscope.
We tried to use the jogging mode and change the beam position in ~0.5 um scale in OM but we find one problem that the jogging is not always working both for kinesis and APT software. It will stop for the first three clicks and after the fourth click, it will move. how can we fix this problem? I think the resolution of the stepper motor is much better than our demand. And I also want to ask how can we make more precise control of the stepper motor. what kinds of parameters we should change to make each step size the same? thank you so much! DJayasuriya
(posted 2022-08-09 08:41:43.0) Thank you for your inquiry. We have got in touch with you directly to resolve your issue chengyun hong
(posted 2022-05-20 18:01:39.78) Dear
I am chengyun Hong in SKKU. Korea Ji-Hee Kim lab.
In our lab we have ZFS13 and I tried to use the KST 101 to control it. And I downloaded the kinesis software but i faced the problem in rectify the ZFS13 in the kinesis software and can not change the defalt setting, which is HS ZST6. when i tried to add the custome setting, all step motter are locked and when i click hte ZFS13, and click creat, it will automatically change back to HS ZST6. Could you please tell us how to connect the ZFS13 with kinesis software? thank you so much! DJayasuriya
(posted 2022-05-20 10:17:44.0) Thank you for your feedback. We have reached out to you directly to resolve your issue. Chengyun Hong
(posted 2022-04-06 14:09:15.0) Hello
I am chengyun hong from the Sungkyunkwan University, Korea.
We have two ZFS13 motorized mirror mount in our lab and now want to use it on the vertical mirror mount(1 inch mirror) to control the beam under OM.
But did not find any suitable vertical mirror mount for it. I think vertical mirror mount which can fix with 1/4"-80 Threaded Bushings is good to use the ZFS13, can we customize it?
Thank you so much DJayasuriya
(posted 2022-04-08 09:26:26.0) Thank you for your inquiry. We have got in touch with you directly to discuss your application and set up. Michael Hadmack
(posted 2021-10-19 19:11:18.667) The limit switch circuit in the manual looks incorrect. It states that pullup resistors to 5V are needed for a 3rd party controller which suggests that the limit switch outputs are open-collector. However, in reality the limit switch outputs are at 5V without an external pullup and the motor appears to have 10kohm pullups internally. This is not how it is described in the manual. What is the actual equivalent circuit for the limit switched? DJayasuriya
(posted 2021-10-27 08:37:33.0) Thank you for your inquiery. This uses a hall sensor which is a open collector with a 10K pull up actually within the stage. So it is not a push pull output from the ZFS itself. When it hits a limit switch it pulls low, given there is a 5v supply to the hall device. Hope this helps. Feel free to contact your local tech support team if you have any questions. hufangze
(posted 2018-11-28 16:34:01.297) ”由于一系列因素，比如应用条件，压电迟滞，组件差异和轴向负载等，所得的步长会有变化，而且无重复性。如要消除这种变化，需要使用一个外部反馈系统。“请问贵司在此提到的外部反馈系统是什么，能否详细说明一下，不胜感激。 fwilliams
(posted 2017-09-28 13:19:31.24) One last thing: I am running 32-bit APT User for use in a 64-bit environment. It's possible that Thorlabs has not updated this version of APT User to include the firmware updates for KST101's. All I can say is that my version (v3.21.1) only includes firmware v1.0.2 for the KST101.
At any rate, there is nothing more I can do here to alleviate the problem. As it is, the hardware fails to perform according to its own published specifications and is therefore unusable by me, at least in its current state. fwilliams
(posted 2017-09-28 08:02:29.833) Sorry, I should've included the fact that I am already using the most-recent version of APT User (v3.21.1). Nonetheless, when I flash the firmware to the KST101, the firmware utility reports that the firmware revision level is v1.0.2, NOT v1.0.6. tfrisch
(posted 2017-10-02 07:19:46.0) Hello, we will reach out to you through your open ticket to discuss this. fwilliams
(posted 2017-09-26 15:30:53.1) FOLLOWUP: Using the firmware-update utility found in the APT User program folder, I determined that my KST101's are running firmware v1.0.2. However, in the APT User change log, the latest firmware for the KST101 is listed as v1.06, which includes the description: "Fixed bug to respond correctly when MoveStop commands are completed." It seems that I need this firmware update - how can I obtain it? bwood
(posted 2017-09-28 08:10:31.0) Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your feedback. You can update the firmware of your KST101 with the Firmware Update Utility which is installed with APT. It should be found next to APT on your computer. I would recommend making sure you are using the newest version of APT, when you update the firmware. fwilliams
(posted 2017-09-26 14:32:19.267) Now that I am using the ZST213 in my new system, I find that it drifts much more than the old ZST13 did. The ZST213 is less precise, and struggles at making small jogs (unlike the older actuator, which delivers repeatable and deterministic jogs of 75 nm all day). I am able to make a direct comparison between the two actuators, because I have an older system on the same bench that is identical except for the fact that it uses ZST13's instead of the newer ZST213. If I try to make a jog of 75 nm (say) with the ZST213, I often see no movement (other than an uncorrelated random drift). If I keep sending Jog commands, all of a sudden the system will move a significant distance, slowly coming to a stop. I have tried playing with the Jog settings (velocity, accn, immediate vs. profiles stopping, etc.), but nothing seems to improve the situation. I am using KST101 cubes to control the ZST213's. Is there a firmware fix for this problem? bwood
(posted 2017-09-28 08:20:26.0) Please find my response above. fwilliams
(posted 2017-06-28 11:08:39.82) Never mind - I figured out my problem. I had the wrong setting for the lead-screw pitch. I was using 0.5 mm (the pitch of the now-obsolete ZST13B) instead of the correct value of 1.0 mm for the ZST213B.
When I said in my earlier post that I use APT User, I actually run it from within a Matlab program that calls APT User. I developed this program with the old ZST13B. I'm now setting up a new system using this Matlab program, and had neglected to update the settings for the newer actuator.
Sorry about the confusion. tfrisch
(posted 2017-07-01 11:40:20.0) Hello, thank you for this followup. I'm glad you were able to find a solution, please let us know if you need anything further. fwilliams
(posted 2017-06-27 14:48:18.903) I am running a ZST213B with a KST101 controller, using the APT User interface. I am finding that the motion is completely uncalibrated. For example, after homing to zero, entering a command to move to 6 mm (say) will cause the actuator to move the full length of travel (i.e., ~ 13 mm). The only way I can get the actuator to move an approximately correct distance is to adjust down the Gearbox Ratio to something like 19 (it should be 41).
Just so there's no question, I ran APT Config before running the actuator with APT User, making sure to choose the proper stage designation ["ZST213(B)"] when I associated the stage with the controller's serial number.
Is there a way to get the actuator/controller to behave correctly? tfrisch
(posted 2017-07-01 11:40:26.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. I see you were able to find a solution above. Please let us know if you need anything further. user
(posted 2017-04-04 05:46:30.73) Is it possible to convert a Z812B to Z812? By means of a mounting kit maybe bhallewell
(posted 2017-04-04 09:35:33.0) Response from Ben at Thorlabs: This is not possible. You could upgrade a Z812 to hold a 3/8" barrel with F25SSA1 however not the other way around. redwgn67
(posted 2015-07-10 15:07:11.147) Is there an adapter fitting to convert the 1/4"-80 Threaded Barrel to a 3/8" Smooth Barrel? I'd really like to use one of these with either a mirror mount (needs 1/4"-80 threaded) or a translation stage (needs 3/8" smooth), rather than having to buy two. besembeson
(posted 2015-09-23 11:11:12.0) Response from Bweh at Thorlabs USA: We don't have such an adapter at this time. lsandstrom
(posted 2010-02-12 14:06:25.0) What is the minimum bend radius for the cable that is mounted on the Z8? david.moore22
(posted 2009-09-18 16:17:59.0) Does the Z612BV come with the same ribbon connector as the original Z612? Do you provide extension ribbon cables? Thank you. jens
(posted 2009-09-18 16:44:49.0) A reply from Jens at Thorlabs: the Z612BV comes with the same connector. We decided to include the connector even though customers using the product in a vacuum chamber will usually need to cut the connector of in order to connect to the feedthrough. Reason for shipping the item with the connector is that it will allow the end user to easily test the device before implementing it into the setup. The cable itself is a PTFE coated ribbon cable. In order to achieve the best possible performance in a vaccuum chamber I would suggest that we offer a custom actuator with a longer ribbon cable. With this you wont need to use any cable connectors inside the chamber. brian
(posted 2008-04-01 11:18:34.0) Max speed is missing in the spec. I was able to figure it out from the discontinued products above. The link to the BSC103 under the specs tab goes to a different product. Laurie
(posted 2008-04-01 14:10:16.0) Response from Laurie at Thorlabs to brian: The maximum speed for the DRV601 is 2.5 mm/s. Currently, this page is under revision to add new offerings. However, once those new offerings go live, so will changes to the specs tab for this product indicating the maximum speed as well as fixing the broken link that you spotted. Thank you for your interest in our products! |
ズーム| Item # | ZFS13 | ZFS13B |
|---|---|---|
| Mounting Barrel | 1/4"-80 Threaded | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Smooth |
| Travel | 13 mm (0.51") | |
| Backlasha | < 15.0 µm | |
| Bidirectional Repeatability | < 5.0 µm | |
| Home Location Accuracy | < 5.0 µm | |
| Maximum Load Capacity | 40 N (8.99 lb) | |
| Velocity | 2.0 mm/s (Max) | |
| Acceleration | 10 mm/s2 (Max) | |
| Gearbox Ratio | 400:9 (Approx. 44:1) | |
| Limit Switches | Hall Effect Sensor | |
| Lead Screw Pitch | 1.0 mm | |
| Motor Type | 2-Phase Stepper | |
| Microsteps per Revolution of the Motorb | 24 Full Steps 2048 Microsteps per Full Step 49 152 Microsteps per Revolution | |
| Calculated Minimum Incremental Motionc | 0.46 nm | |
| Operating Temperature | 5 to 40 °C (41 to 104 °F) | |
| Dimensions (W x H) | 35.0 mm x 19.0 mm (0.38" x 0.75") | |
| Length when Fully Retracted | 89.5 mm (3.52") | 85.5 mm (3.36") |
| Cable Length | 0.6 m (2 ft) | |
| Connector | HDDB15 | |
| Required Controller | KST201 | |
- 小型のバイポーラステッピングモーターアクチュエータ:
- ZFS13:収納時の長さ89.5 mm
- ZFS13B:収納時の長さ85.5 mm
- 後部のつまみネジによる手動調整が可能
- 1/4"-80ネジ(ZFS13)またはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)取付けバレル(ZFS13B)を介してミラーマウントや移動ステージに取付け可能
- 移動量6 mmおよび25 mmの製品もご用意
当社のアクチュエータZFS13およびZFS13Bは、完全収納時の長さがそれぞれ89.5 mmおよび85.5 mmのコンパクトなパッケージに収められており、滑らかで精密な直線移動を行うことができます。形状がコンパクトであるため、アクチュエータの先端からオプトメカニクス部品までの距離が短くなり、ZSTシリーズのアクチュエータに比べて質量中心と接触点の距離が短くなります。
このアクチュエータは小径の2相バイポーラステッピングモータで駆動され、最高速度としては2.0 mm/sが得られます。アクチュエータの先端が非回転で接触するため、摩耗や摩擦が低減されてより滑らかに動作します。アクチュエータに電源を供給していないときは、後部のつまみネジを使用して手動調整をすることも可能です。電源供給中につまみネジを回転すると、アクチュエータのモータが損傷する恐れがありますのでご注意ください。
アクチュエータZFS13は1/4"-80ネジ付きバレルを有し、1/4"-80ネジの付いた手動式のミラーマウントやステージに取り付けることができます。一方、アクチュエータZFS13BはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルを有し、様々な移動ステージや回転ステージに取り付けることができます。取り付ける際は、単純に既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、ZFSシリーズのアクチュエータを取り付けてください。
これらのアクチュエータにはステッピングモータが内蔵されており、このモータは最大40 Nまでの負荷に抗して移動させるのに十分なトルクを有しています。全移動範囲にわたり非常に小さいステップサイズで動作できるため、優れた柔軟性、小さなバックラッシュ(＜15 µm)、および高分解能といった特長を実現できます。減速比400:9のギアヘッドを使用しており、49 152マイクロステップ/回転の性能を有するステッピングモータードライバKST201と組み合わせて使用したときは、1マイクロステップあたりの理論上の移動量は0.46 nmになります(詳細は「計算」タブをご覧ください)。
ホール効果リミットスイッチを用いて、ユニットのオーバードライブの防止と、精度5.0 μm未満での初期位置へのホーミングを実現しています。ZFSシリーズのアクチュエータには長さ0.6 mの一体型ケーブルが付いており、その先端には当社のステッピングモーターコントローラKST201に対応する15ピンD-Subコネクタが接続されています(「ピン配列」タブをご覧ください)。これに接続できる、長さ1 mのエクステンションケーブル(PAA614))も別途ご用意しています。
ZFS13Bには公差の小さい標準のØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルが付いており、当社の移動ステージMT1/Mをはじめとする多数の移動ステージや回転ステージに取り付けることができます。ZFS13は、特に1/4"-80ネジの取付け部を有するステージやミラーマウントに付いている手動アジャスタの交換用品として設計されています。取り付ける際は、単純に既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、ZFSシリーズのアクチュエータを取り付けてください。下の写真では、ステージMT1(/M)の手動アジャスタの代わりに電動アクチュエータZFS13Bが取り付けられています。
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手動アジャスタの代わりにアクチュエータZFS13Bを取り付けたステージMT1(/M)
ズーム| Item # | ZST213 | ZST213B |
|---|---|---|
| Mounting Barrel | 1/4"-80 Threaded | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Smooth |
| Travel | 13 mm (0.51") | |
| Backlasha | < 15 µm | |
| Bidirectional Repeatability | < 5.0 µm | |
| Home Location Accuracy | < 5.0 µm | |
| Maximum Load Capacity | 40 N (8.99 lb) | |
| Velocity | 2.0 mm/s (Max) | |
| Acceleration | 10 mm/s2 (Max) | |
| Gearbox Ratio | 29 791 : 729 (Approx. 41:1) | |
| Limit Switches | Hall Effect Sensor | |
| Lead Screw Pitch | 1.0 mm | |
| Motor Type | 2-Phase Stepper | |
| Microsteps per Revolution of the Motorb | 24 Full Steps 2048 Microsteps per Full Step 49 152 Microsteps per Revolution | |
| Calculated Minimum Incremental Motion | 0.5 nm | |
| Operating Temperature | 5 to 40 °C (41 to 104 °F) | |
| Cable Length | 0.6 m (2 ft) | |
| Connector | HDDB15 | |
| Required Controller | KST201 | |
- アクチュエータ先端は非回転
- 小型のバイポーラステッピングモーターアクチュエータ 長さ123.0 mm
- 2種類の取付けオプション Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)のネジの無い滑らかなバレルまたは1/4"-80ネジ付きバレル
- 1/4"-80ネジまたはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)取付けブロック付きのミラーマウントや移動ステージに対応
- 移動量6 mmおよび25 mmの製品もご用意
当社のZSTシリーズのアクチュエータは長さ123.0 mmのパッケージに収められており、滑らかで精密な直線移動を行うことができます。このアクチュエータは小径の2相バイポーラステッピングモータで駆動され、最高速度としては2.0 mm/sが得られます。アクチュエータの先端が非回転で接触するため、摩耗や摩擦が低減されてより滑らかに動作します。
これらのアクチュエータにはステッピングモータが内蔵されており、このモータは最大40 Nまでの負荷に抗して移動させるのに十分なトルクを有しています。全移動範囲にわたり非常に小さいステップサイズで動作できるため、優れた柔軟性、小さなバックラッシュ(＜15 µm)、および高分解能といった特長を実現できます。減速比41:1のギアヘッドを使用しており、49 152マイクロステップ/回転の性能を有するステッピングモータードライバKST201と組み合わせて使用したときは、1マイクロステップあたりの理論上の移動量は0.5 nmになります(詳細は「計算」タブをご覧ください)。
アクチュエータZST213は1/4"-80ネジ付きバレルを有し、1/4"-80ネジの付いた手動式のミラーマウントやステージに取り付けることができます。一方、アクチュエータZT213BはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルを有し、当社の移動ステージMT1/Mを始めとして様々な移動ステージや回転ステージに取り付けることができます。取り付ける際は、単純に既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、ZSTシリーズのアクチュエータを取り付けてください。
ホール効果リミットスイッチを用いて、ユニットのオーバードライブの防止と、精度5.0 μm未満での初期位置へのホーミングを実現しています。ZSTシリーズのアクチュエータには長さ0.6 mの一体型ケーブルが付いており、その先端には当社のステッピングモーターコントローラKST201に対応する15ピンD-Subコネクタが接続されています これに接続できる、長さ1 mのエクステンションケーブル(PAA614)も別途ご用意しています。
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手動アジャスタの代わりに3つのアクチュエータZST213Bを取り付けた3軸ステージRB13M(/M)
ズーム| Item # | Z912 | Z912B |
|---|---|---|
| Mounting Barrel | 1/4"-80 Threaded | Ø3/8" (9.5 mm) Smooth |
| Travel Range | 12 mm (0.47") | |
| Encoder Resolutiona | 34 555 counts/mm (Linear Displacement) | |
| Maximum Pushing Force | 45 N | |
| Homing Repeatability | ±6 µm | |
| Uncompensated Backlash | 13 µm | |
| Uncompensated Bidirectional Repeatability | ±7 µm | |
| Residual Backlash After Compensationb | 0.7 µm | |
| Compensated Bidirectional Repeatability | ±0.7 µm | |
| Travel Accuracyc | 9 µm | |
| Minimum Repeatable Incremental Movement | 0.2 µm | |
| Maximum Speedd | 2.6 mm/s | |
| Maximum Acceleration | 4 mm/s2 | |
| Maximum Phase to Phase Resistance | 33.0 Ω (Max) | |
| Maximum Phase to Phase Inductance | 0.6 mH (Max) | |
| Tested Lifetimee | > 100 000 Cycles | |
| Operating Temperature Range | 41 to 104 °F (5 to 40 °C) | |
| Weight | 0.13 kg | |
| Motor Typef | DC Servo | |
| Cable Length | 485.0 mm (19.09") | |
| Required Controller | KDC101 | |
- DCサーボアクチュエータ
- サブマイクロメートルの分解能
- 最大動作速度: 2.6 mm/s
- 移動量12 mmの様々な手動アクチュエータの代わりに取付け可能
- 1/4"-80取付けネジまたはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル接続部の付いたステージやマウントに取付け可能
- リミットスイッチ付き(ゼロ点とアクチュエータ保護用)
- 移動量6 mmおよび25 mmの製品もご用意
当社の電動アクチュエータZ912およびZ912Bは、光学的な位置決め装置と組み合わせて使用するように設計されています。 これらの製品は軽量なパッケージながら高分解能であるため、要求の厳しい光学システムを自動化するためのデバイスとして適しています。
電子機械式のリミットスイッチにより、オーバードライブの防止と正確なホーミングの位置決めが可能です。内蔵されているモータは最大速度2.6 mm/sまで動作しますが、仕様の制御性能を得るために最大速度を2.3 mm/s以下に制限して駆動することをお勧めします。エンコーダの精度はモータ1回転あたり512カウントで、最小分解能は約29 nmになります。詳細は「計算」タブをご覧ください。
Z912は1/4"-80の取付けネジを有するステージやミラーマウント に付いている手動アジャスタの交換用品として設計されています。一方、Z912BはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルクランプ(MTシリーズ移動ステージにおける移動量12.7 mmの手動マイクロメータなど)にお使いいただくように設計されています。取り付ける際は、単純に既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、Z9アクチュエータをねじ込んでください(下の写真参照)。
当社では電動アクチュエータZ912およびZ912Bのほかに、
DCサーボコントローラKDC101は、Z9シリーズのアクチュエータを駆動するのに必要なドライバです。最新のKinesisまたはXAソフトウェアはこちらからダウンロードいただけます。KDC101をZ9シリーズアクチュエータと組み合わせてご使用いただくには、バージョン2.2.8以上のファームウェアが必要です(バージョン1.14.40以上のKinesisソフトウェアをダウンロードしていただくと付属しています)。旧バージョンのファームウェアでもZ9シリーズを駆動できますが、その場合、アクチュエータはZ8と呼ばれます。
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ミラーマウントKS2。片方のネジアジャスタがアクチュエータZ912に替えられています。
ズーム| Item # | Z912V | Z912BV |
|---|---|---|
| Mounting Barrel | 1/4"-80 Threaded | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Smooth |
| Travel Range | 12 mm (0.47") | |
| Encoder Resolutiona | 34 555 counts/mm (Linear Displacement) | |
| Maximum Pushing Force | 45 N | |
| Homing Repeatability | ±6 µm | |
| Uncompensated Backlash | 13 µm | |
| Uncompensated Bidirectional Repeatability | ±7 µm | |
| Residual Backlash After Compensationb | 0.7 µm | |
| Compensated Bidirectional Repeatability | ±0.7 µm | |
| Travel Accuracyc | 9 µm | |
| Minimum Repeatable Incremental Movement | 0.2 µm | |
| Maximum Speedd | 2.6 mm/s | |
| Maximum Acceleration | 4 mm/s2 | |
| Maximum Phase to Phase Resistance | 33.0 Ω (Max) | |
| Maximum Phase to Phase Inductance | 0.6 mH (Max) | |
| Tested Lifetimee | > 100 000 Cycles | |
| Operating Temperature Range | 41 to 104 °F (5 to 40 °C) | |
| Vacuum Rating | 10-6 Torr | |
| Weight | 80 g | |
| Motor Typef | DC Servo | |
| Cable Length | 485.0 mm (19.09") | |
| Required Controller | KDC101 | |
- DCサーボアクチュエータ
- サブマイクロメートルの分解能
- 10-6 Torrまでの真空度に対応
- 最大動作速度：2.6 mm/s
- 移動量12 mmの様々な手動アクチュエータと交換可能
- 1/4"-80取付けネジまたはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル接続部の付いたステージやマウントに取付け可能
- リミットスイッチ付き(ゼロ点とアクチュエータ保護用)
- 移動量6 mmおよび25 mmの製品もご用意
アクチュエータZ912VとZ912BVは、上記のアクチュエータZ912と同様の特長と仕様を有しますが、さらに10-6 Torrまでの真空度でご使用いただくことができます。真空対応のサーボモータ、リン青銅製の内部カップリング機構や取付けブッシュ、高真空用グリースなどが使用されています。
これらの真空対応のアクチュエータには、IDCコネクタの付いた、長さ485.0 mmの真空対応フラットリボンケーブルが付属しています。このケーブルの導線は標準的なAWG28、ピッチは1.27 mm、絶縁体はフッ化エチレンプロピレン(FEP)です。コントローラKDC101用のコンバーターケーブルも付属していますが、真空対応ではないため、チャンバの外でのみご使用ください。
移動量の異なる製品が必要な場合は、移動量6 mmおよび25 mmのアクチュエータをご覧ください。真空対応のステージやミラーマウントをご希望の場合は、当社までご相談ください。
DCサーボコントローラKDC101は、Z9シリーズのアクチュエータを駆動するのに必要なドライバです。最新のKinesisまたはXAソフトウェアはこちらからダウンロードいただけます。KDC101を真空対応アクチュエータZ9シリーズに使用するには、ファームウェアバージョンは2.2.8以降、Kinesisソフトウェアバージョンは1.14.44以降であることが必要です。旧バージョンのファームウェアでもZ9シリーズを駆動できますが、その場合、アクチュエータはZ8と呼ばれます。
ズーム| Item #a | PIA13 | |||
|---|---|---|---|---|
| Travel | 13 mm (0.51") | |||
| Step Sizeb,c | 10 - 30 nm (Typ.) ≤30 nm (Max) | |||
| Step Size Adjustabilityc | Up to 30% | |||
| Max Step Frequencyd | 2 kHz | |||
| Backlash | None | |||
| Max Active Preloade | 25 N | |||
| Recommended Max Axial Load Capacityf | 2.5 kg (5.5 lbs) | |||
| Speed (Continuous Stepping)b,c | 1.2 - 3.6 mm/min (Typ.) ≤3.6 mm/min (Max) | |||
| Drive Screw | 1/4"-80 Thread, Hard PVD Coated | |||
| Motor Type | Piezoelectric Inertia | |||
| Mounting Feature (Auxiliary) | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel (3/8"-40 Thread with Lock Nut) | |||
| Operating Temperature | 10 to 40 °C (50 to 104 °F) | |||
| Dimensions | 2.34" x 1.24" x 0.67" (59.5 mm x 31.5 mm x 17.0 mm) | |||
| Cable Length | 1.0 m (3.28') | |||
| Connector | SMC, Female | |||
| Required Controllerg | KIM001 or KIM101 | |||
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スペースが限られている用途向けに制御用ケーブルの角度を最大110°まで調節可能
- 移動ステージに取付け可能なØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
- 31.5 mm x 17.0 mm(W x H)の小型設計
- アジャスターネジのノブで手動調整が可能
- 最大動作電圧：125 V
- 高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適した製品
- 移動量25 mmおよび50 mmの製品もご用意
ピエゾ慣性アクチュエータPIA13は、コンパクトなパッケージながらピエゾ制御により長い距離を高分解能で直線移動することができます。最大荷重は2.5 kgまで、最大予備荷重は25 Nまでの範囲で10 nm～30 nmの典型的なステップサイズが得られ、またバックラッシュも生じません。このステップサイズは、コントローラKIM101およびKinesis®ソフトウェアを用いて、約30 nmまでの範囲内で最大30%の調整が可能です。しかし開ループであるため、ピエゾのヒステリシスや動作方向などの使用条件によって、システムのステップサイズは最大20%程度変化する可能性があり、また一般に再現性もありません。この変動を除去するには外部フィードバックシステムが必要です。
アクチュエータにはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルが付いているため、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)の取付け用クランプが付いたすべての手動ステージに取り付けられます。1/4"-80または3/16"-100 ネジ付きミラーマウントに対応する製品としては、移動量10 mmのピエゾ慣性アクチュエータをご覧ください。このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期安定性が必要とされる用途に適しています。ピエゾアクチュエータを用いてアクティブにネジを移動させていないときは、アジャスターネジのノブを用いて手動調整が可能です。ノブは2.0 mm六角レンチでも操作できます。
長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータにより、このアクチュエータは最大速度3.6 mm/minで動作します。このピエゾモータは、移動中は送りネジの先端を回転させるように設計されています。ピエゾ慣性アクチュエータを用いた「スリップスティック」モータの設計については、こちらをご覧ください。
必要なコントローラ
ピエゾ慣性アクチュエータPIA13を駆動するには、コントローラKIM001またはKIM101が必要です。標準的なピエゾコントローラでは、このアクチュエータを駆動することはできません。これらのドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V～125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。コントローラKIM001はシングルチャンネル出力、KIM101は4チャンネル出力です。
詳細はこちらの製品紹介ページをご参照ください。
必要なコントローラ:
KIM001またはKIM101
- KIM001: シングルチャンネル出力
- KIM101: チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
- 上面パネルによる単体での操作、またはUSB経由のPC制御が可能
- 出力電圧:85 V～125 V
ズーム| Item #a | PIA13VF |
|---|---|
| Travel | 13 mm (0.51") |
| Step Sizeb,c | 10 - 30 nm (Typ.) ≤30 nm (Max) |
| Step Size Adjustabilityd | Up to 30% |
| Max Step Frequency | 2 kHz |
| Backlash | None |
| Max Active Preloade | 25 N |
| Recommended Max Axial Load Capacityf | 2.5 kg (5.5 lbs) |
| Speed (Continuous Stepping)b,c | 1.2 - 3.6 mm/min (Typ.) ≤3.6 mm/min (Max) |
| Drive Screw | 1/4"-80 Thread, Hard PVD Coated |
| Motor Type | Piezoelectric Inertia |
| Mounting Featureg (Auxiliary) | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel (3/8"-40 Thread with Lock Nut) |
| Vacuum Rating | 10-6 Torr |
| Operating Temperature | 5 to 40 °C |
| Max Bakeout Temperature | 130 °C |
| Dimensions | 2.34" x 1.24" x 0.67" (59.5 mm x 31.5 mm x 17.0 mm) |
| Mass (Including Cable) | 55 g (1.94 oz) |
| Cable Length | 0.75 m (2.46 ft) Flying Lead for Vacuum, 1.0 m (3.3 ft) Cored Cable for Wiring Outside Chamber |
| Connector | SMC Female |
| Required Controllerh | KIM001 or KIM101 |
- 31.5 mm x 17.0 mm(W x H)の小型設計
- アジャスターネジのノブで手動調整が可能
- 10-6 Torrまでの真空圧力に対応
- 最大動作電圧125 V
- 移動ステージに取付け可能なØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
- 高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適した製品
- 移動量25 mmおよび50 mmの製品もご用意
当社の真空対応ピエゾ慣性アクチュエータPIA13VFは
アクチュエータにはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルが付いているため、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)の取付け用クランプが付いたすべての手動ステージに取り付けられます。1/4"-100ネジ付きミラーマウントに対応する製品としては、移動量10 mmのピエゾ慣性アクチュエータをご覧ください。このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期安定性が必要とされる用途に適しています。ピエゾアクチュエータを用いてアクティブにネジを移動させていないときは、アジャスターネジのノブを用いて手動調整が可能です。ノブは2.0 mm六角レンチでも操作できます。
アクチュエータには長さ0.75 mのリード線が付いており、そのほかに真空チャンバの外での接続用に長さ1.0 mのケーブルが付属しています。このリード線とケーブルは必要に応じて切断可能ですが、真空槽の内外を合わせた全長は2.0 mを超えないようにしてください。下の写真のようにアクチュエータのリード線は最大110°まで回転できます。この機能はスペースの限られた場所で有用です。
長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータより、このアクチュエータは最大速度3.6 mm/minで動作します。このピエゾモータは、移動中は送りネジの先端を回転させるように設計されています。ピエゾ慣性アクチュエータを用いた「スリップスティック」モータの設計については、こちらをご覧ください。
必要なコントローラ
ピエゾ慣性アクチュエータPIA13VFを駆動するには、コントローラKIM001またはKIM101が必要です。標準的なピエゾコントローラでは、このアクチュエータを駆動することはできません。これらのドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V～125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。コントローラKIM001はシングルチャンネル出力、KIM101は4チャンネル出力です。
詳細は製品紹介ページをご参照ください。
必要なコントローラ:
KIM001またはKIM101
- KIM001: シングルチャンネル出力
- KIM101: 4チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
- 上面パネルによる単体での操作、またはUSB経由のPC制御が可能
- 出力電圧:85 V～125 V
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リード線の角度は最大110°まで調節可能(スペースが限られている用途で有用)。
ズーム- 注入器入りApiezon 100グリース、1.5 cc入り
- 便利でムダのない低価格パッケージ
- アクチュエータの寿命を延長
- 注入しやすい容器入り
- 10-9 Torrまでの真空に対応
この Apiezonグリースは、優れた焼き付き防止特性を備えています。このグリースには潤滑性を高めるための PTFEが含まれていて、当社のZST、ZFS、Z9シリーズのアクチュエータの親ネジを再潤滑するのに適しています。 この製品は使いやすい注入器入りで、汎用および10-9 Torrまでの真空用途の両方にお使いいただけます。適する動作温度は 10 ～30 °Cです。
注： Z9、ZFSおよびZSTシリーズのモータの親ネジは10,000サイクルまたは 6か月ごとに潤滑油を差すことをお勧めします。
DRV、ZSTおよびZFSシリーズのステッピングモーターアクチュエータと、Z9シリーズのDCサーボモーターアクチュエータには、必要なコントローラとの接続用ケーブルが付いています。これらのケーブルのエクステンション用としてご使用いただけるケーブルも、別途ご用意しています。
ステッピングモータ用ケーブル
当社ではステッピングモーターアクチュエータとコントローラを接続するための様々なケーブルをご用意しております。ZST、ZFSおよびDRVシリーズのステッピングモーターアクチュエータと、BSCシリーズのベンチトップ型コントローラ、K-Cube®コントローラKST201、およびラック型制御モジュールMST602との間の接続をサポートしています。ステッピングモータとコントローラの組み合わせに対して使用可能なケーブルは、下の表をご参照ください。各ケーブルのピン配列については、こちらの製品紹介ページをご覧ください これらのケーブルはコネクタが同じであっても、ピン配列が適合しないモータとコントローラにはお使いいただけませんのでご注意ください。
DCモータ用ケーブル
PAA632はZ9シリーズのDCモーターアクチュエータ用のケーブル(長さ2.5 m)です。このケーブルはK-Cube DCサーボモーターコントローラKDC101との接続用として作られています。このケーブルのピン配置はこちらの製品紹介ページをご覧ください。 15ピンコネクタが使われていますが、当社のステッピングモータには対応しておりません。
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 移動量12 mmおよび13 mm |