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グリッド型歪みテストターゲット


  • Test Targets Help Identify Distortion in Imaging Systems
  • Grid Spacings Available from 10 µm to 2000 µm
  • Combined Resolution and Distortion Targets Available

R1L3S5P

Combined Resolution and
Distortion Test Target

R1L3S3P

Multi-Frequency Grid
Distortion Target

R2L2S3P4

Fixed Frequency Grid
Distortion Target

R1L1S1N

Combined Resolution and
Distortion Test Target

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General Specifications
Chrome Thickness0.120 µm
Chrome Optical DensityOD ≥3 at 430 nm
Substrate Thickness0.06" (1.5 mm)
Surface Flatness<5 µm
Line Spacing Tolerancea±1 µm
Line Width Tolerancea±0.5 µm
SubstrateSode Lime Glass
  • この公差はターゲットを製造する際に用いられるマスクに対して適用される値であり、必ずしもターゲット自体の公差ではありません。
Test Target
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テストターゲットポジショナXYF1(/M) に取り付けられた分解能ならびに歪み測定一体型ターゲットR1L3S5P

特長

  • 固定周波数ならびにマルチ周波数用のグリッド型歪みターゲット
  • 分解能ならびに歪み測定一体型ターゲット
  • グリッドの歪みから画像を修正
  • 10 µm~2000 µmのグリッド間隔に対応

当社では、豊富な種類の分解能測定や校正用のパターンに加え、単一周波数グリッドや、マルチ周波数グリッド、歪検出グリッド、などのターゲットといった光学システムの歪み測定用の様々なオプションを取り揃えています。 組み合わせることで、10 µm~2000 µmのグリッド間隔に対応可能です。

ターゲットは、ソーダライムガラスの基板に真空スパッタリングで低反射のクロム層を形成して作られており、水平、垂直のライン、または単色の円が行と列に配置されたパターンがあります。それぞれのパターンはフォトリソグラフィにより加工されているため、エッジ部も約1 µmの精度で形成されています。行と列は直交するので、最適化された光学システムでは垂直に結像されます。 歪んだ画像では行や列は弓形になります。この画像をLabVIEWやImageJなどのプログラムが組み込まれたソフトウェアと共に使用することで、歪みの測定、補正ができます。

取付け
この歪みテストターゲットは、当社の4種類の顕微鏡用スライドホルダのうちの1つに取り付けることができます。固定式スライドホルダMAX3SLHには、光学素子を取り付けるための2つのバネクリップが付いており、当社のすべての3軸フレクシャーステージに取り付けることができます。このスライドホルダは、幅50.8 mm以上のテストターゲットにのみ対応しており、開口部は25.4 mmです。よってテストターゲットの中には、クロムパターンが隠れてしまう種類もございます。 また当社では、幅25.4 mm~76.2 mmの長方形ターゲットを50 mm x 30 mmの範囲で移動させることが可能なテストターゲットポジショナXYF1/M (上の写真参照)もご用意しております。 マウント背面のアダプタには5つのM4タップ穴があるので、ポストを6通りに取り付けることができます。 XYF1/Mは、先端がナイロン製の止めネジ(セットスクリュ)を使用してテストターゲットを固定します。なお、マウントのアームが両側に4.4 mmかかりますのでご注意ください。 MLS203シリーズの顕微鏡用ステージをお使いになる場合には、倒立顕微鏡用のスライドホルダをご用意しています。倒立顕微鏡用スライドホルダMLS203P2では、幅25 mm~26.5 mmのスライドや、直径30 mm~60 mmのペトリ皿を取り付け可能です。

Targets Selection Guide
Resolution Test TargetsDistortion Test TargetsSlant Edge MTF Resolution Test TargetsCalibration Targets

Posted Comments:
Konstantin Novoselov  (posted 2019-11-26 14:17:27.287)
We need to produce optical calibration target to estimate/correct optical distortion in our instrument. This calibration target is similar your Grid Distortion Test Targets. In our case calibration pattern should be formed on the top of microscopic slide 25x50 mm 1.1 mm thickness. Calibration pattern consist of Ø150 µm dots arranged in a grid with spacing 200 µm. Desired spacing and dot size tolerance is about 2-3 µm. Expected order quantity is 1-10 during prototyping stage and 100-1000 in production stage. Can you please provide me with ballpark estimation of the manufacturing costs and lead times.
llamb  (posted 2019-12-03 10:59:48.0)
Thank you for contacting Thorlabs. For custom quotes, you may contact us at TechSupport@thorlabs.com by clicking the Request A Quote button above. I have reached out to you directly to discuss this particular case.
dave.stubblefield  (posted 2017-02-23 07:04:15.327)
Do you have any distortion targets that are designed for the IR spectrum? 3-5 micron and 8-12 micron. Maybe with a different substrate? Most transmission curves that I can find for soda lime glass do not extend into the IR region.
tfrisch  (posted 2017-03-13 03:44:30.0)
Hello, thank you for contacting Thorlabs. I will reach out to you directly about our custom capabilities for etching distortion targets.

固定周波数グリッド型歪みターゲット、38.1 mm x 38.1 mm

R2L2S3P3 Application
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カスタム仕様のイメージングシステム用フィルターマウントFFM1、およびキューブベースB3C(/M)を用いてポストに取り付けたターゲットR2L2S3P3
R2L2S3P4 Close Up
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ターゲットR2L2S3P4のドットパターン拡大図
  • 38.1 mm x 38.1 mmのソーダライムガラス基板上に1種類グリッドアレイ
  • 125 µm、250 µm、500 µm、1000 µmのグリッド間隔
  • Ø62.5 µm、Ø125 µm、Ø250 µm、Ø500 µmのドットサイズ
  • マシンビジョンにおけるステージの校正や歪み検出の用途に使用

この歪み検出グリッドアレイには、ソーダライムガラス基板上に真空スパッタリングされた低反射クロムめっきを蒸着して作られたドットが25.0 mm x 25.0 mmのグリッド状に配置されています。 1つのドットの中心からそれに隣接するドットの中心までのグリッド間隔125 µm~1000 µm、ドット直径62.5 µm~500 µmをご用意しております。

グリッドアレイは、イメージングシステムの歪みを確認するために使用します。 ドットの水平、および垂直の行と列が互いに直交しているのが理想的な状態です。 歪んだ画像のラインは弓形となります。この画像は歪みを補正するために使用されます。

Item #SpacingaSpacing
Tolerance
Dot SizeDot Size
Tolerance
Pattern SizebPattern Size
Tolerance
Pattern
Optical Density
Substrate Size
R2L2S3P1125 µm±1 µmØ62.5 µm±2 µm25.0 mm x 25.0 mm
(0.98" x 0.98")
±4 µmOD ≥3 at 430 nm1.5" x 1.5" x 0.06"
(38.1 mm x 38.1 mm x 1.5 mm)
R2L2S3P2250 µmØ125 µm
R2L2S3P3500 µmØ250 µm
R2L2S3P41000 µmØ500 µm
  • 1つのドットの中心からそれに隣接するドットの中心までの距離
  • グリッドアレイの隅から隅までの距離
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
R2L2S3P1 Support Documentation
R2L2S3P1Customer Inspired! グリッド型歪みターゲット、38.1 mm x 38.1 mm、グリッド間隔125 µm
¥53,879
Today
R2L2S3P2 Support Documentation
R2L2S3P2Customer Inspired! グリッド型歪みターゲット、38.1 mm x 38.1 mm、グリッド間隔250 µm
¥46,002
3-5 Days
R2L2S3P3 Support Documentation
R2L2S3P3Customer Inspired! グリッド型歪みターゲット、38.1 mm x 38.1 mm、グリッド間隔500 µm
¥39,530
3-5 Days
R2L2S3P4 Support Documentation
R2L2S3P4Customer Inspired! グリッド型歪みターゲット、38.1 mm x 38.1 mm、グリッド間隔1000 µm
¥35,872
Today

マルチ周波数グリッド型歪みターゲット、76.2 mm x 25.4 mm

Grid Array
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ターゲットR1L3S3Pの4種類のグリッドパターンの拡大図
  • 76.2 mm x 25.4 mmのソーダライムガラススライド上に4つのグリッドアレイ
  • グリッド間隔: 10 µm、50 µm、100 µm、500 µm
  • ステージの校正や歪み検出の顕微鏡法の用途に使用
  • 標準的な顕微鏡スライドと同じ外寸

グリッド型歪みターゲットR1L3S3Pは、10 µm、50 µm、100 µm、500 µmの4種類の間隔の水平と垂直のラインのアレイが特長となっております。 このグリッドパターンでは、光学濃度(OD)が430 nmで≥3の低反射クロムが真空スパッタリングにより76.2 mm x 25.4 mm x 1.5 mmのソーダライムガラス基板に蒸着されています。 ガラス基板の寸法は標準的な顕微鏡スライドと同じです。

グリッドアレイは、イメージングシステムの歪みを確認するために使用します。 グリッドの水平ラインと垂直ラインが直交しているのが適切な状態です。 歪んだ画像のラインは弓状になります。この場合、画像は歪み補正のために使用できます。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
R1L3S3P Support Documentation
R1L3S3Pグリッド型歪みターゲット、76.2 mm x 25.4 mm、グリッド間隔500、100、50、10 µm
¥32,356
Today

同心円ならびに十字線グリッド型ターゲット

NBS 1952
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ターゲットR3L3S5P上の最小グリッドを拡大(ラベル付き、下表参照)
NBS 1952
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ターゲットR3L3S5P全体のドットパターン拡大図
  • グリッド内に同心円と十字線を配置
  • それぞれサイズの異なる4つの同心円と5つの十字線
  • イメージングシステムの分解能と歪みを測定
  • 76.2 mm x 76.2 mmのソーダライムガラス基板

この76.2 mm x 76.2 mmの同心円ならびに十字線付きグリッド型ターゲットは、289の小さなグリッドで構成され、全体では17行 x 17列、50.8 mm x 50.8 mmの大きさのグリッドを形成しています。 1つ1つの小さなグリッドには、サイズの異なる4つの同心円と5つの十字線が配置されています。 右の写真では、この小さなグリッド内の同心円と十字線のパターンにラベルが付いていますが、製品自体には付いていません。 それぞれの同心円パターンは7種類の異なる半径を有し、それぞれの十字線は1重または2重で描かれています。 パターンの寸法についての詳細は下の表をご覧ください。

ターゲット上のパターンは、厚さ1.5 mmのソーダライムガラス基板上に真空スパッタリングされた低反射クロムめっきを蒸着して作られており、光学濃度は3以上となっています。 黒で描かれたパターンと透明な基板は、フロントライトや一般的な用途にお使いいただけます。

Concentric Circles
Circle PatternaR1R2R3R4R5R6R7
A131.3 µm62.5 µm125 µm140.6 µm234.4 µm242.2 µm500 µm
A215.6 µm31.3 µm62.5 µm70.3 µm117.2 µm121.1 µm250 µm
A37.8 µm15.6 µm31.3 µm35.2 µm58.6 µm60.5 µm125 µm
A43.9 µm7.8 µm15.6 µm17.6 µm29.3 µm30.3 µm62.5 µm
  • 右上の写真に表示
Crosshairs
Crosshair PatternaSingle or Double LineLength/WidthLine Widthb
B1Double500 µm6.25 µm
B2Double500 µm12.5 µm
B3Single500 µm50 µm
B4Double500 µm25 µm
B5Double500 µm100 µm
  • 右上の写真に表示
  • 線幅と線間隔は同じです。
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
R3L3S5P Support Documentation
R3L3S5P同心円ならびに十字線グリッド型ターゲット、76.2 mm x 76.2 mm
¥71,744
Today

分解能ならびに歪み測定一体型ターゲット、18 mm x 18 mm

Combined Resolution Test Target
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ネガテストターゲットR1S1L1Nの顕微鏡画像
  • 光学システムの分解能(解像度)を測定
  • 画像の歪み、非点収差ほかの収差を測定
  • 18 mm x 18 mm、厚さ1.5 mmのソーダライムガラス基板
  • USAF 1951パターン、セクタースター、同心円、グリッド、ならびにロンキールーリング付き
  • ポジまたはネガパターンでご用意

当社の18 mm x 18 mm x 1.5 mmの分解能と歪み測定が一体型になったポジまたはネガテストターゲットは、ソーダライムガラス基板上に真空スパッタリングされた低反射クロムめっきが施されており、光学濃度(OD)は430 nmで3以上となっております。 イメージングシステムや顕微鏡システムの校正用途に適しています。

テストターゲットにはUSAF 1951パターン(グループ2~7)、セクタースター、同心円、グリッド(100 µm、50 µm、10 µm)、そしてロンキールーリング(30~150 lp/mm)が描かれています。 分解能、視野歪み、焦点誤差、ならびに非点収差のテストに便利です。 USAF 1951ターゲットは、イメージングシステムの分解能の測定にお使いいただけます。 グリッドは画像の歪み測定、そして同心円はイメージングシステムの焦点誤差、非点収差ほか収差の特定にご使用になれます。 ロンキールーリングは、分解能、視野歪み、ならびに同焦点安定性の評価に適しています。 詳細については、分解能ターゲットのページをご参照ください。

こちらの分解能ターゲットはポジならびにネガパターンでご用意しております。 ポジターゲットR1L1S1Pは、クロムパターンが透明な基板にめっき加工されており、フロントライトや一般的な用途にお使いいただけます。 また、ネガターゲットR1L1S1Nの基板にも同様のクロムコーティングが施されており、パターンは透明です。こちらはバックライトや高照度の用途に適しています。

Target FeatureDetailsTarget FeatureDetails
1951 USAF TargetGroups 2 - 7Concentric Circles10 Circles with Radii from 100 µm to 1000 µm in 100 µm Intervals, Labeled 1 to 10
Grids20 x 20 Arrays with 100 µm, 50 µm, and 10 µm PitchRonchi Rulings13 Rulings from 30 lp/mma to 150 lp/mm in 10 lp/mm Intervals
Sector Star36 Bars through 360°, 10 µm Radius Center Circle, and Ten Concentric Circles with Radii from 50 µm to 500 µm in 50 µm Intervals
  • 1ミリメートル毎のラインペア数です。
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
R1L1S1P Support Documentation
R1L1S1PCustomer Inspired! 分解能ならびに歪み測定一体型ポジターゲット、18 mm x 18 mm
¥69,635
Today
R1L1S1N Support Documentation
R1L1S1NCustomer Inspired! 分解能ならびに歪み測定一体型ネガターゲット、18 mm x 18 mm
¥69,635
Today

分解能ならびに歪み測定一体型ターゲット、76.2 mm x 25.4 mm

 

Frequencies of NBS 1963A (cycles/mm)
 • 4.5• 10• 23• 51• 114
 • 5• 11• 25• 57• 128
 • 5.6• 12.5• 29• 64• 144
 • 6.3• 14• 32• 72• 161
 • 7.1• 16• 36• 81• 181
 • 8• 18• 40• 91• 203
 • 9• 20• 45• 102• 228
  • 76.2 mm x 25.4 mmのソーダライム基板
  • NBS 1963Aパターン、セクタースター、同心円、グリッド、ならびにロンキールーリング、ほか付き(下表参照)
  • 光学システムの分解能(解像度)を測定
  • 画像の歪み、非点収差ほかの収差を測定
  • スライドホルダMLS203P2を使用して 顕微鏡ステージMLS203に取付け可能

当社の76.2 mm x 25.4 mm x 1.5 mmの分解能と歪み測定が一体型になったポジテストターゲットは、ソーダライムガラス基板上に真空スパッタリングされた低反射クロムめっきが施されており、光学濃度(OD)は430 nmで3以上となっております。 イメージングシステムや顕微鏡システムの校正用途に適しています。 当社のスライドホルダMLS203P2に取り付けて、顕微鏡ステージMLS203で使用できる寸法設計となっております。

テストターゲットにはNBS 1963Aパターン、セクター(Siemens)スター、同心円、グリッド、ならびにロンキールーリングほかが描かれています(下の表をご覧ください)。 分解能、視野歪み、焦点誤差、ならびに非点収差のテストに便利です。 NBS 1963A、セクタースター、ならびに同心円はイメージングの分解能を測定するのにご使用になれます。 グリッドは、イメージングシステムによる歪みを測定できます。 ロンキールーリングは、分解能、視野歪み、ならびに同焦点安定性の評価に適しています。 詳細については、分解能テストターゲットのページをご参照ください。

Target FeatureDetailsTarget FeatureDetails
NBS 1963AFrequencies from 4.5 cycles/mm to 228 cycles/mm (See List Above)Concentric Circles10 Circles with Radii from 100 µm to 1000 µm in 100 µm Intervals
Distortion Grid (Squares)3 Grids: 100 lp/mma, 150 lp/mm, 200 lp/mmFixed Ronchi Rulings3 Rulings:100 lp/mm, 150 lp/mm, and 200 lp/mm
Distortion Grid (Dots)3 Grids: 400 µm Pitch of Ø80 µm Dots,
200 µm Pitch of Ø 40 µm Dots, 100 µm Pitch of Ø20 µm Dots
Variable Ronchi Rulings20 Rulings (Each 1 mm x 1 mm): 10 lp/mm to 200 lp/mm in 10 lp/mm Intervals
Two-Point Resolution DotsØ25 µm, Ø20 µm, Ø15 µm, Ø12.5 µm, Ø10 µm, Ø7.5 µm, and Ø5 µmPinholesØ25 µm, Ø20 µm, Ø15 µm, Ø12.5 µm, Ø10 µm, Ø7.5 µm, and Ø5 µm
Interdigitated Lines6.25 lp/mm, 12.5 lp/mm, 25 lp/mm, 50 lp/mm, 100 lp/mm, and 200 lp/mmMicrometers3 Rulers: 10 mm Scale with 50 µm Divs, 1 mm Scale with 10 µm Divs, and 1mm x 1 mm XY Scale with 50 µm Divs
Sector Star36 Bars through 360°, 50 µm Radius Center Circle, and Ten Concentric Circles with Radii from 100 µm to 500 µm in 50 µm Intervals
  • lp/mmは、1ミリメートル毎のラインペア数です。
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
R1L3S5P Support Documentation
R1L3S5PCustomer Inspired! 分解能ならびに歪み測定一体型ポジターゲット、76.2 mm x 25.4 mm
¥129,139
Today
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