Products HomeMTFテストターゲット
- Test Targets Evaluate Spatial Frequency Response of Imaging System
- Slant Edge, Ronchi Rulings and Sector Star Targets Available
- Grid Lens Slides Offered for Use with MTF Mapper Software
R2L2S2P1
1.5" x 1.5" Positive Slant Edge Target
R1L3S33N
3" x 1" Negative MTF Mapper Lens Grid Slide
R1DS7N
Ø1" Negative Slant Edge Target
R1DS8N
Ø1" Negative Sector Star Target
R2L2S2N
2" x 2" Negative Slant Edge Target
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カスタム仕様および組み込み用途(OEM用途)の
テストターゲットについて
テストターゲット(テストチャート)の特注や組み込み用途(OEM用途)をご要望の場合、このページで紹介している製品のカスタマイズのご相談を承ります。詳細については「カスタム製造」タブをご覧になるか、当社(技術部)までご連絡ください。
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テストターゲットのカスタマイズ例
I look forward to hearing from you!
特長
- イメージングシステムの変調伝達関数(MTF)を測定
- ISO 12233:2014規格に準拠したパターン
- イメージングシステムのシャープネス(鮮明度)と分解能(解像度)を評価
MTFターゲットの傾斜エッジ、セクタースターパターン、ロンキールーリングを利用して、イメージングシステムの空間周波数応答や分解能を測定することができます。このターゲットは、ソーダライムガラス基板に真空スパッタリングで低反射のクロム層を形成して作られています。それぞれのパターンはフォトリソグラフィにより加工されているため、約1 µmまでのエッジ特性を解像可能です。この方法による高いエッジシャープネスは、変調伝達関数(MTF、下記セクション参照)を使用してイメージングシステムの性能を評価する際に不可欠です。
当社では、ポジティブ型とネガティブ型のMTFターゲットパターンをご用意しています。ポジターゲットは、クロムを背景にした透明なソーダライムガラス基板に真空スパッタリングで低反射のクロムパターンが施されており、反射用として用いると高コントラストが得られます。ネガターゲットでは、基板全体に同様の低反射クロムコーティングが施されており、パターン部分は透明です。こちらはバックライトや高照度の用途に適しています。これらのテストターゲットのスペクトルデータについては、「グラフ」タブをご覧ください。
取付け
当社では、長方形のターゲットの取付用として、長方形光学素子用XY移動マウントXYF1/M (Figure 1.2参照)をご用意しています。円形ターゲットの取付用としては、固定式光学マウント用XY移動アダプタXYA1/M(Figure 1.1参照)をお勧めいたします。これらのマウントは、50 mm x 30 mmの範囲でターゲットを移動させることができます。マウントには、5つのM4タップ穴が付いており、6種類の取付方法が可能です。
変調伝達関数
変調伝達関数(MTF)は、イメージングシステムの分解能および性能を測定する際に用いられます。MTFを測定するためのターゲットとしては、正弦波ターゲット、グリルターゲット、こちらでご紹介している傾斜エッジターゲットやセクタースターターゲットなどがございます。傾斜エッジ法では、ターゲットR2L2S2Pのような傾斜エッジターゲットが利用されます。このターゲットは、通常1°～5°の角度に傾斜した、明瞭な黒いエッジで構成されています。エッジは可能な限り明瞭に識別できるような手法で作る必要があります。こちらでご紹介しているターゲットの場合には、フォトリソグラフィの手法が用いられています。
傾斜エッジ法のMTFを計算するためにはまず、エッジ広がり関数(ESF)を求めます。これは、エッジに近づき通過する際のイメージの強度を空間位置の関数として表したものです(Zhang et al., Proc. SPIE 8293, 2012をご参照ください)。イメージングシステムに欠陥があると、ESFは完全なステップ関数にならず傾斜エッジの境界で傾斜した関数となります。次にESFを微分し、線広がり関数(LSF)を求めます。最後にLSFをフーリエ変換し、規格化してMTFを得ます。このMTFは0～1の範囲で、横軸を周波数(通常cycles/mm)としたグラフで表すことができます。対応するMTF値が1に近い周波数は、ほぼ元の分解能で再現されます。周波数が上がると、MTFは0まで下がり、周波数は識別できなくなります。MTF値が0.5に対応する周波数は通常、異なるイメージングシステムを比較するためのベンチマークとして利用されます。
セクタースター(Siemensスター)法では、外側に向かって放射状に広がるにつれて太くなる暗いスポークと明るいスポークのバイナリイメージで構成されるセクタースターターゲットを撮像します。 セクタースター法で計算されるMTFは、複数の方向の空間周波数を測定できる多方向関数です。これに対し、傾斜エッジ法では、ほぼ垂直またはほぼ水平の傾斜エッジの空間周波数でのみ測定できます。放射パターンの複数の角度により、多方向MTFの計算が可能になります(Masaoka et al., Proc. SPIE 7537, 2010参照)。
MATLAB®やImageJを用いてMTFの計算には、様々な市販のパッケージがご利用いただけます。1例として、MATLABのパッケージはこちらで、ImageJのパッケージはこちらでご覧いただけます。
| Targets Selection Guide | ||||
|---|---|---|---|---|
| Resolution Test Targets | Calibration Targets | Distortion Test Targets | Slant Edge MTF Target | Stage Micrometers |
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グラフではポジテストターゲットおよびネガテストターゲットで使用されているソーダライムガラスの透過特性を示しています。
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反射型テストターゲットのスペクトル曲線
可視域におけるクロム(青線)と、低反射クロム(赤線)の大きな差により、反射型のポジターゲットのパターンと背景のコントラストが高いことを意味しています。
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お気軽に当社(技術部)まで
ご連絡ください。
| Customization Parameters | ||
|---|---|---|
| Substrate Sizea | Min | 8 mm x 8 mm (5/16" x 5/16") |
| Max | 85 mm x 85 mm (3.35" x 3.35") | |
| Substrate Materials | Soda Lime Glass UV Fused Silica Quartz | |
| Coating Material | Chromeb Low-Reflectivity Chromec | |
| Coating Optical Density | ≥3d or ≥6e @ 430 nm | |
| Minimum Pinhole/Spot | Ø1 µm | |
| Minimum Line Width | 1 µm | |
| Line Width Tolerance | -0.25 / +0.50 µm | |
| Maximum Line Density | 500 lp/mm | |
カスタムおよび組み込み用途(OEM用途)向けテストターゲットとレチクル
当社のフォトリソグラフィ設計と製造能力により、様々なパターン素子を作ることが可能です。米国サウスカロライナ州コロンビアにある当社の施設では、テストターゲット、グリッド型歪テストターゲット、レチクルを製造しております。 これらは顕微鏡、イメージングシステム、光学アライメントのセットアップなど様々な用途に適用されてきました。
標準品のテストターゲットやレチクルに加え、ソーダ石灰基板、UV溶融石英(UVFS)基板、石英基板から8 mm x 8 mm～85 mm x 85 mmまでのカスタムクロムパターンのテストターゲット等をご提供可能です。基板はご用途に応じた形状に切断可能です。フォトリソグラフィによるコーティングプロセスにより、1 µmまでのクロムパターンが可能です。Figure 165C～165Jではサンプルパターンがご覧いただけます。またFigure 165A、165Bのようにポジパターンとネガパターンで作成可能です。
用途例
- エッチングレチクル
- グレースケールマスク
- 高分解能レチクル
- 測定用レチクル
- レクリエーション用スコープ
- ノッチ付きレチクル
- アイピース目盛
- 照明用十字レチクル
- オブストラクションターゲット
- 双眼鏡レチクル
カスタム仕様のテストターゲットやレチクルのお見積りについては、当社までお問い合わせください。
サンプルパターン
Click to EnlargeFigure 165D 同心円ストパターン
Click to EnlargeFigure 165C グリッドパターン
Click to EnlargeFigure 165B ネガパターンの十字線ターゲット
Click to EnlargeFigure 165A ポジパターンの十字線ターゲット
Click to EnlargeFigure 165J マイクロメーターパターン
Click to EnlargeFigure 165H ピンホールパターン
Click to EnlargeFigure 165G 分度器パターン
Click to EnlargeFigure 165F 目盛パターン
Click to EnlargeFigure 165E バイナリテストパターン
こちらでは当社のエンジニアが推奨するレチクル、テストターゲット、歪みターゲット、校正ターゲットの適切なクリーニング方法をご紹介いたします。
クリーニング手順
- できればポリビニルアルコール(PVA)製の清潔な濡れスポンジを使用し、食器用洗剤でレチクルやターゲットの正面と裏面を優しくこすります。
- 水ですすぎます。
- 清潔で乾燥した空気によるブローで乾かすか、清潔な面にレチクルやターゲットを置いて自然乾燥させます。
タオルや布、またはワイプを使用して拭くことはお勧めしません。汚れがまだ残る場合には、レチクルやターゲットを食器洗剤を混ぜた水溶液に1時間つけ置き、必要であればこれを繰り返します。
| Posted Comments: | |
Andrey Kuznetsov
(posted 2025-07-22 15:24:36.643) What is the photolithographic tolerance to cleaning solutions like: #1 acetone 60% and methanol 40%, #2 acetone ~100%, #3 methanol ~100%, #4 isopropanol ~100% solutions?
I've seen your cleaning tab with the detergent, water and dry air, but I'm wondering about these other chemical solutions and how they may affect the lithographic integrity. EGies
(posted 2025-07-24 04:40:44.0) Thank you for contacting Thorlabs. These cleaning solutions should be OK to use with the R2L2S2P. I have reached out to you directly regarding this. Yiğit Can Acar
(posted 2023-05-05 04:04:39.673) Dear Official,
I am writing this e-mail from “YUBA Teknoloji”, an optics company in Ankara, Turkey. I am also working as electrical engineer in this firm. In our company, we would like to build an MTF test system with a slanted edge target and off axis parabolic mirror. In your website, i examined your L shaped 5 degree slanted edge MTF target (https://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=7500) and found that this component can be useful for us. However, i have some important questions. First of all, is it avaible to conduct an experiment in visible and near infrared (VIS and NIR) spectrum with this Slant Edge MTF Target ? Since we are planning to illuminate this target from the front, we are going to need a well transparent material in our experiment and we need to know its transmission characteristics. In addition, which type of light source is compatible with this target ? We also would like to order additional mechanical components like XYF1 mount and other holders and post holders. Is it possible for you to come up with a complete suitable set and quotation proposal including Slant Edge Target, XYF1 mount and holders ?
Yours Sincerely,
Yiğit Can Acar. ksosnowski
(posted 2023-05-11 09:45:06.0) Hello, thanks for reaching out to Thorlabs. R2L2S2P uses our soda lime substrate, for which the data can be found on our main Resolution Target page (e.g. see R1DS1P). This maintains transmission throughout VIS and NIR ranges, and while we do not have a single light source for all scenarios, we have a variety of broadband lamps like SLS201 which you may consider for this range. I have reached out directly to discuss this application in further detail. Our sales team can also be reached directly via sales@thorlabs.com for a quote. ksosnowski
(posted 2023-05-11 09:45:06.0) Hello, thanks for reaching out to Thorlabs. R2L2S2P uses our soda lime substrate, for which the data can be found on our main Resolution Target page (e.g. see R1DS1P). This maintains transmission throughout VIS and NIR ranges, and while we do not have a single light source for all scenarios, we have a variety of broadband lamps like SLS201 which you may consider for this range. I have reached out directly to discuss this application in further detail. Our sales team can also be reached directly via sales@thorlabs.com for a quote. Martin Bordenave
(posted 2020-01-07 09:07:12.863) Dear Sir or Madam,
My name is Martin Diego Bordenave, I work as an optical engineering at Satellogic, an Argentinean, earth-observation company.
I would like to know is it is possible to buy a Slant Edge MTF Target similar to the R2L2S2P but instead of using a square substrate using a circular substrate of 2" diameter.
I look forward to hearing from you.
Best regards,
Dr. Martín Diego Bordenave
Telephone: +54 11 5219 0100
e-mail: martin.bordenave@satellogic.com YLohia
(posted 2020-01-07 12:33:17.0) Hello Martin, thank you for contacting Thorlabs. Custom items can be requested by emailing us at techsupport@thorlabs.com. I will reach out to you directly to discuss the possibility of offering this custom item. Ralf Noijen
(posted 2019-06-07 04:18:21.85) Dear Thorlabs,
I have two comments. My colleague had ordered the target which we received today. I inspected it under a microscope and found quite some damages, is that normal?
Secondly I found a link to a mtf measurement application for imageJ which is not working.
Can you please help.
BR
Ralf YLohia
(posted 2019-06-07 10:56:56.0) Hello Ralf, thank you for contacting Thorlabs. We are sorry to hear about the damaged item. This is certainly not normal -- I am reaching out to you directly to look into what sort of defects your piece has. Please use this link for the ImageJ package: https://imagej.nih.gov/ij/plugins/se-mtf/index.html. It is a non-Thorlabs website and it is working for on our end. dmiles
(posted 2017-01-09 13:36:40.047) The Slant Edge MTF Target looks very useful to us. It would help a lot if there were a scale image of it at normal incidence so we could design with the corner of the "L" at the focus of our system before we receive it. We are in a time crunch and our designer would be helped by that information. tfrisch
(posted 2017-01-10 09:37:29.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. we do have a CAD drawing that may be useful for your application. It can be found by clicking the documents icon below. I will send you a link directly as well. sebastien.avila
(posted 2015-01-07 12:08:20.28) Hello,
I would like to know if the clear parts of the target R2L2S2P are transparent or opaque white? Is it meant to be backlighted?
Should I use a diffuse source or a collimated source?
Thank you very much.
Sébastien AVILA
R&D VISION- France besembeson
(posted 2015-01-19 01:12:36.0) Response from Bweh at Thorlabs: The substrate is made from soda lime so transmission properties will be like that for soda lime in areas without the chrome. R2L2S2P is a positive target designed for front-lit applications. For MTF determination, you would typically image the slanted "L" so diffused or large diameter collimated source should be okay. |
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Figure G2.1 R2L2S2Pの傾斜エッジパターンの拡大写真
- 画像の分解能(解像度)を測定するためのØ25.4 mm、38.1 mm x 38.1 mm、50.8 mm x 50.8 mm
- 5° 傾斜したL型のパターン(ISO 12233準拠)
- ポジターゲットとネガターゲットをご用意
- 正方形のターゲットは、10 lp/mm～200 lp/mmまでの20種類のロンキールーリング付き
MTFターゲットの傾斜エッジを利用して、イメージングシステムの空間周波数応答を測定することができます。傾斜エッジパターンはL字型で、ISO 12233に準拠して5°傾斜しています。全てのパターンの四隅にはアライメント用に十字のパターンが刻印されています。当社の正方形ターゲットには、空間周波数応答を測定するためのロンキールーリングも付いています。ロンキールーリングは20種類刻印されており、それぞれの寸法は5 mm x 5 mmです。分解能は10 lp/mm～200 lp/mm、間隔は10 lp/mmで作成されています。
ポジターゲットは、OD3低反射クロムパターンが透明な基板に加工されており、前方照明や一般的な用途にお使いいただけます。また、ネガターゲットでは、基板全体に同様のOD3低反射クロムコーティングが施されており、パターン部分は透明です。こちらは後方照明や高照度の用途に適しています。
| Key Specifications | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Item # | R1DS7P | R1DS7N | R2L2S2P1 | R2L2S2N1 | R2L2S2P | R2L2S2N |
| Slant Edge Pattern | LRa Chrome | Clear | LRa Chrome | Clear | LRa Chrome | Clear |
| Background | Clear | LRa Chrome | Clear | LRa Chrome | Clear | LRa Chrome |
| Clear Aperture | Ø22.9 mm | Ø22.9 mm | 34.3 mm x 34.3 mm | 34.3 mm x 34.3 mm | 45.7 mm x 45.7 mm | 45.7 mm x 45.7 mm |
| Line Spacing Toleranceb | N/A | ±0.5 µm | ||||
| Smallest Ronchi Ruling Line Width | N/A | 2.5 µm | ||||
| Line Width Toleranceb | N/A | ±0.5 µm | ||||
| Crosshair Linewidth | 108 µm | 120 µm | 150 µm | |||
| Surface Flatness | ≤15 µm | |||||
| Substrate Thickness | 1.5 mm ± 0.2 mm | |||||
| Transmitted Wavefront Error | < λ at 633 nm | |||||
| Chrome Optical Densityc | ≥3.0 | |||||
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Figure G3.1 セクタースターパターンR1DS8Nの拡大写真
- 25.4 mm x 25.4 mmセクタースターターゲット、ポジタイプとネガタイプ
- Ø25.4 mmセクスタースターターゲット
- 光学システムのMTFと分解能を測定
- ソーダライムガラス基板上に真空スパッタリングされた低反射クロムによるパターン形成
当社ではセクタースター(Siemensスター)パターンの25.4 mm x 25.4 mmターゲットを4種類、Ø25.4 mmターゲットを1種類ご用意しております。2つ(型番R1L1S2PとR1L1S3P)はポジターゲット、3つ(型番R1DS8N、R1L1S2N、R1L1S3N)はネガターゲットになります。
R1L1S2P、R1L1S2Nには360°にわたり36本の線、 R1DS8N、R1L1S3P、R1L1S3Nには72本の線があります。 ほとんどのパターンは中心円内径200 µm、パターン部外径10 mmですが、R1DS8Nは内径1 mm、外径20 mmです。分解能は、36本線のターゲットでは1.2 lp/mm～57.3 lp/mm、72本線の正方形ターゲットでは2.3 lp/mm～15 lp/mm、72本線の円形ターゲットでは1.15 lp/mm～23 lp/mmとなります。隣接する線が円の中心に向かってどの距離まで解像可能かを調べることにより光学系の分解能が測定できます。システムの分解能をテスト可能なセクタースターパターンの詳細については、こちらのページ内の「分解能テストターゲット」タブをご参照ください。
| Item # | Pattern | Background | Surface Flatness | Chrome Optical Density | Pattern Outer Diameter | Center Circle Diameter | Number of Bars | Resolution at Outer Diameter | Resolution at Center Circle |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| R1DS8N | Clear | Low-Reflectivity Chrome | ≤15 µm | ≥3.0 at 430 nm | 20 mm | 1 mm | 72 Over 360° | 1.15 lp/mm | 23 lp/mm |
| R1L1S2P | Low-Reflectivity Chrome | Clear | 10 mm | 200 µm | 36 Over 360° | 1.2 lp/mm | 57.3 lp/mm | ||
| R1L1S2N | Clear | Low-Reflectivity Chrome | |||||||
| R1L1S3P | Low-Reflectivity Chrome | Clear | 72 Over 360° | 2.3 lp/mm | 115 lp/mm | ||||
| R1L1S3N | Clear | Low-Reflectivity Chrome |
ズーム| Key Specifications | ||
|---|---|---|
| Item # | R1L3S33P | R1L3S33N |
| Pattern | LRa Chrome | Clear |
| Background | Clear | LRa Chrome |
| Clear Aperture | 68.6 mm x 22.9 mm | |
| Surface Flatness | ≤15 µm | |
| Substrate Thickness | 1.5 mm ± 0.2 mm | |
| Transmitted Wavefront Error | < λ at 633 nm | |
| Chrome Optical Densityb | ≥3.0 | |
- MTF Mapper用の76.3 mm x 25.4 mm長方形スライド
- ポジターゲットとネガターゲットをご用意
- 目盛付きのMTF Mapper用レンズ評価グリッド(0.15 mm x 0.1 mm～6 mm x 4 mm)
当社では、MTF50値(MTFが最大値の50%まで低下する空間周波数であり、エッジの知覚されるシャープネスに相当)を用いてイメージングシステムのエッジ鮮鋭度を測定可能な2種類のレンズ評価用スライド型グリッドをご用意しています。このスライドには、大きい順に6 mm x 4 mm、3 mm x 2 mm、1.5 mm x 1 mm、0.75 mm x 0.5 mm、0.3 mm x 0.2 mm、0.15 mm x 0.1 mmのグリッド群があり、イメージングシステムの特性評価に使用することができます。 ネガタイプのスライドR1L3S33Nは、76.3 mm x 25.4 mm x 1.5 mmのソーダライムガラス基板上に低反射クロムパターンを成膜して製造されており、ポジタイプのスライドR1L3S33Pは、透明な基板上に低反射クロムがパター二ングされています。
これらのスライドは、サードパーティのオープンソースソフトウェアであるMTF Mapper(ダウンロードはこちらから)での使用を想定して設計されており、このソフトウェアによって自動的に認識されます。MTF Mapper以外のソフトウェアでも使用可能ですが、追加の調整が必要になる場合があります。
 MTFテストターゲット |