3軸長距離移動ステージRollerBlock™


  • 13 mm (1/2") of X, Y, and Z Travel
  • Crossed-Roller Bearing Design for Maximum Rigidity
  • Modular High-Resolution Drive Options

RBL13D

Differential Micrometer Drives

RB13P1

Additional Top Plate for Off-Center and General Optics Mounting

RB13M

Micrometer Drives

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Flexure Stage
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当社のRollerblockステージは、ステッピングモーターアクチュエータZFS13Bと組み合わせることにより理論的に0.46 nmの分解能にアップグレードすることができます。 対応するアクチュエータの詳細は「アクチュエータ」のタブをご覧ください。

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上面プレートを取り外してRB13P1(/M)に交換することにより、中心からずらした取り付けや一般的な光学素子の取り付けが可能となります。
Common Specifications
Travel13 mm (1/2")
Travel MechanismCrossed Roller Bearings
Deck Height (Nominal)62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)4.4 kg (9.7 lbs)
Top Plate
Mounting

Holes
Imperial Plate
(Item # MMP1)
Metric Plate
(Item # MMP1/M)

特長

  • XYZ方向への移動量: 13 mm
  • マイクロメータ、または差動マイクロメータ駆動
  • クロスローラーベアリング設計による滑らかな連続移動ならびに高い耐荷重
  • 上面プレートの溝により多軸ステージアクセサリをアライメント可能
  • アジャスタをすべてベースに接続したことによりクロストークを最小限に抑制
  • Ø9.5 mmバレル型アクチュエータに対応(「アクチュエータ」タブ参照)
  • 右利き用
  • 左利き用とカスタム仕様のアクチュエータ構成もご用意しております。詳しくは当社までお問い合わせください。

3軸長距離移動ステージRollerBlock™はクロスローラーベアリング設計で、XYZ方向への移動量は13 mmです。 この設計とスチールとアルミニウムを組み合わせた造りにより、4.4 kgの高耐荷重性能を有しながら、付属の高精密差動または標準マイクロメータによりサブミクロンレベルの分解能も持ちあわせています。 ベアリングは汚染から保護するため、意図的にステージ内部に配置されており、ベアリング面が露出している設計の製品と比べて、ステージの製品寿命は長いです。 一体設計のため、単軸ステージを積み重ねた多軸移動ステージよりも全体の設置面積が小さいのも特長です。

差動マイクロメータ付きRBL13D/Mと、マイクロメータ付きRB13M/Mどちらの長距離ステージも公称デッキ高は62.5 mmです。 よって、この長距離移動ステージを当社の精密3軸MicroBlock小型マイクロステージNanoMaxフレクシャーステージなどと組み合わせて、複雑な光学システムを構築することができます(下の写真参照)。

構成のカスタマイズ
移動ステージは左利き構成、またはサードパーティ製や当社のほかのアクチュエータ(「アクチュエータ」タブ参照)を組み合わせるためにアクチュエータ無しでもご提供可能です。 カスタマイズに関するご要望については当社までお問い合わせください。

Flexure Stage
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Rollerblockステージの公称デッキ高は当社の3軸Nanomaxステージと同じ62.5 mmなので、シングルモードファイバのアライメントならびにピエゾ素子制御によるアライメントが可能です。

精密アクチュエータ
このステージには、各軸に1つずつ、合計3つのクランプが付いており、Ø9.5 mm取付けバレル付きのあらゆるアクチュエータを取り付け可能です。 そのため、付属のアクチュエータを取り外し、電動やピエゾ駆動のアクチュエータを取り付けることもできます。 対応するアクチュエータのラインナップについては「アクチュエータ」のタブをご覧ください。

アクセサリを簡単にアライメント
上面プラットフォームにはM2取付け穴が4個、M3穴が16個、M4穴が9個、そして中心線に沿って幅3 mmのキー溝が2本付いており、アクセサリのアライメントを維持しながらシステムを迅速に再構成することが可能です(左の写真参照)。 取付穴の配置については右表の青いInfoアイコン()をクリックしてください。 溝は十字に交差するパターンであるため、ステージを右利き用と左利き用、どちらにもご使用になれます。 幅広いアクセサリをご用意しており、顕微鏡の対物レンズ、コリメーターパッケージ、導波路やファイバなどが取り付けられます。 部品を中心からずらして取り付けたい場合には、溝付き上面プレートの代わりにアダプタープレートRB13P1/Mがご使用になれます(下記参照)。このアダプタープレートには、M6とM4の取付け穴が並んでいます。

Flexure Stage
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差動マイクロメータ付きピエゾアクチュエータDRV517をRollerblockステージRB13M(/M)のX軸に取り付け。

モジュール式アクチュエータ

3軸移動ステージRollerblockはすべてモジュール式の設計です。アクチュエータのバレル上の2つのキャップスクリュを緩めて取り外し、ほかのアクチュエータと交換できます。 Ø9.5 mmバレル付きのアクチュエータであればRollerblockステージの各軸に取り付けられます。 よって各軸で必要な自動化すべき動作量、または必要な分解能に応じて、アクチュエータを組み合わせカスタマイズすることが可能です。

当社のRollerblock3軸ステージに対応するアクチュエータを以下にまとめています。 各アクチュエータの詳細についてはステッピングモーターアクチュエータ差動マイクロメータマイクロメータピエゾアクチュエータの製品ページをご覧ください。

Item #148-801STa148-801ST-HDRV304bDRV517cZST213BZFS13B
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DRV304DRV517
Actuator TypeMicrometerDifferential MicrometerFeedback Piezo with
Differential Micrometer
Stepper MotorCompact
Stepper Motor
Mounting Barrel DiameterØ9.5 mm (Ø3/8")
Travel Range13 mm (1/2")Coarse: 1/2" (13 mm)
Fine: 300 µm
Micrometer: 13 mm (1/2")
Piezo: 30 µm
13 mm (1/2")13 mm (1/2")
Adjustment500 µm/revolution Coarse: 500 µm/revolution
Fine: 50 µm/revolution
Micrometer: 60 µm/revolution22.6 µm/revolution
Resolution5 µmCoarse: 5.0 µm
Fine: 0.5 µm
Micrometer: 1 µm
Piezo: 10 nm
0.5 nm0.46 nm
Compatible Controllers-Benchtop: BPC300 Series
K-Cubes: KPZ101 with KSG101
K-Cube: KST201K-Cube: KST201
  • RB13M/Mに付属
  • RBL13D/Mに付属
  • 閉ループ

多軸ステージセレクションガイド


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上の使用例では、NanoMax3軸フレクシャーステージを6軸ステージの前に置き、高さ調整アダプタAMA554(/M)を使用してデッキ高112.5 mmに整合させています。

3軸ステージ
当社では3種類の3軸ステージをご用意しております。フレクシャーステージNanoMax、コンパクトフレクシャーステージMicroBlock、長距離移動ステージRollerBlockです。どのステージも公称デッキ高は62.5 mmです。3軸ステージのNanoMaxのラインナップには、内蔵型の閉ループまたは開ループのピエゾアクチュエータのほかに、ステッピングモータや差動アクチュエータ、その他のピエゾアクチュエータなどのモジュール型駆動製品をご用意しております。MicroBlockステージには、差動マイクロメー ターアクチュエータや精密つまみネジが付いていますが、それらのアクチュエータは取り外しができません。RollerBlockステージのアクチュエータ は、Ø9.5 mmの取付けバレルが付いたアクチュエータであれば交換可能です。

4軸ならびに5軸ステージ
当社の4軸ならびに5軸ステージは、3軸ならびに6軸の高性能アライメントステージと比較した場合、導波路や複雑な光学素子の静的な位置決めにより適しています。5軸ステージの公称高さは、62.5 mmまたは112.5 mmになります。3軸または4軸ステージの高さを5軸MicroBlockあるいは6軸NanoMaxステージに合わせて112.5 mmに上げたい場合には、ライザーブロック(高さ調整ブロック)AMA554(/M)をご使用いただけます。

6軸ステージ
当社のNanoMax 6軸ナノポジショナは複雑な多軸ポジショニングシステムに適しており、公称デッキ高は112.5 mmです。こちらのステージは共通の回転中心を有しています。また特許取得済みの平行フレクシャ設計により、すべてのアクチュエータがベースに直接結合し、システム内の不要な動きを最小限に抑えています。ピエゾ素子はオプションで閉ループでも開ループでも組み込めます。モジュール型設計のためアクチュ エータを交換することができ、すべての軸で手動式、またはピエゾ素子による電動式にすることが可能です。アクチュエータが付属しないタイプについては、右手系、左手系のどちらの構成でもご用意しております。 3軸ステージの高さを112.5 mmに上げたい場合には、右の写真のように高さ調整アダプタAMA554(/M)のご使用をお勧めいたします。

当社の多軸ステージのラインナップならびに比較は下の表でご覧ください。

 

3軸ステージ

Item #MAX313DMAX312DMAX311DMAX383MAX381MAX303MAX302MAX301MBT602MBT616DRB13MRBL13D
Stage TypeNanoMax Flexure StagesMicroBlock Compact
Flexure Stages
RollerBlock Long Travel Stages
Included DrivesDRV3 Differential MicrometersDRV208 Stepper Motor ActuatorsN/AFine Thread ThumbscrewsDifferential Micrometers148-801ST
Micrometer Drives
DRV304
Differential Micrometers
Built-in PiezosN/AOpen
Loop
Closed LoopN/AClosed LoopN/AOpen LoopClosed LoopN/AN/A
Travel (X, Y, Z)4 mm (0.16")13 mm (0.51")
Deck Height (Nominal)62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)1 kg (2.2 lbs)4.4 kg (9.7 lbs)
Thermal Stability1 µm/°C-
Weight1.00 kg (2.20 lbs)0.64 kg (1.40 lbs)0.59 kg (1.30 lbs)

4軸ステージ

Item #MBT401D
MBT401D/M
MBT402D
MBT402D/M
Stage Type4-Axis Thin-Profile MicroBlock Device Stage4-Axis Low-Profile MicroBlock Device Stage
Included DrivesDifferential Micrometers
Built-in PiezosN/A
TravelHorizontal Axis (Y)a13 mm (0.51")
Vertical Axis (Z)6 mm (0.24")
Pitch (θy)±5°
Yaw (θz)±5°
Deck Height (Nominal)62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)0.5 kg (1.1 lbs)
  • 光軸(X)に対して垂直

5軸ステージ

Item #MBT401D (MBT401D/M) or
MBT402D (MBT402D/M) with
MBT501
PY005
Stage Type5-Axis MicroBlock Stage SystemCompact 5-Axis Stage
Included DrivesDifferential Micrometers100 TPI Actuators
Built-in PiezosN/A
TravelOptical Axis (X)13 mm (0.51")3 mm (0.12")
Horizontal Axis (Y)13 mm (0.51")3 mm (0.12")
Vertical Axis (Z)6 mm (0.24")3 mm (0.12")
Pitch (θy)±5°±3.5°
Yaw (θz)±5°±5°
Deck Height (Nominal)112.5 mm (4.43")62.5 mm (2.46")a
Optical Axis Height (Nominal)125 mm (4.92")75 mm (2.95")a
Load Capacity (Max)0.5 kg (1.1 lbs)0.23 kg (0.5 lbs)
  • 公称デッキ高は62.5 mmと光軸高さ75 mmを得るには高さ調整アダプタPY005A2(/M)ならびに取付けプレートMMP1(/M)を使用してください。

6軸ステージ

Item #MAX601D
MAX601D/M
MAX602D
MAX602D/M
MAX603D
MAX603D/M
MAX681
MAX681/M
MAX682
MAX682/M
MAX683
MAX683/M
MAX607
MAX607/M
MAX607La
MAX607L/Ma
MAX608
MAX608/M
MAX608La
MAX608L/Ma
MAX609
MAX609/M
MAX609La
MAX609L/Ma
Stage Type6-Axis NanoMax Flexure Stage
Included DrivesDRV3 Differential MicrometersDRV208 Stepper Motor ActuatorsN/A
Built-in PiezosN/AOpen LoopClosed LoopN/AOpen LoopClosed LoopN/AOpen LoopClosed Loop
TravelX, Y, Z4 mm (0.16")
θx, θy, θz
Deck Height (Nominal)112.5 mm (4.43")
Optical Axis Height (Nominal)125 mm (4.92")
Load Capacity (Max)1.0 kg (2.2 lbs)
  • 左手系のバージョン

Posted Comments:
lifeng.chen  (posted 2015-07-21 15:13:45.61)
Hi, since your description only tells on axis loads maximum for 4.4kg, I want to know what is the maximum load for other axis. I would flip and stand it vertically and attach components in that way, weight about 1-2kg (not sure). Thanks in advance. Lifeng Chen
bhallewell  (posted 2015-07-27 03:36:00.0)
Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your question. The RollerBlock 3-axis stage was engineered to operate explicitly in a tabletop mounted orientation, however I will liase with our design engineers to discuss your application with them. I will contact you directly to obtain further details.
hendrik.seitz  (posted 2013-10-30 15:49:00.343)
Dear Sir oder Madam, I have got a question concerning the RollerBlock RB13M/M. I'd like to use the RB13M/M for aligning a copper block with a 10 cm x 20 cm surface and a weight of 2.5 kg. The top plate of the RB13M/M has only an 6 cm x 6 cm surface and cannot be placed directly under the middle of the copper block because of the z micrometer drive. So my question is, if the RB13M/M might get damaged because of the overlap of the copper block and the so resulting torque. Looking forward to your reply, yours sincerely, Hendrik Seitz
msoulby  (posted 2013-11-04 05:29:27.0)
Response from Mike at Thorlabs: We only specify a load capacity for on axis loads for these stages which is 4.4kg. However small or counter balanced off axis loads can still be mounted to these stages. The crossed roller bearings used in these stages help prevent unwanted movement in the top plate. I would recommend that the long 20cm side of your plate is balanced evenly over the top plate and the shorter side is the side that is unbalanced this will help minimise any torque that the top plate might experience.
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RollerBlock™3軸ステージ、差動マイクロメータ付き

Item #RBL13D(/M)
Travel MechanismCrossed Roller Bearings
Deck Height (Nominal)62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)4.4 kg (9.7 lbs)
Mounting Barrel SizeØ9.5 mm (Ø3/8")
Pitch and Yaw RunoutaX Motion: ±125 µrad
Y Motion: ±75 µrad
Z Motion: ±150 µrad
Straightness±10 µm
Drive Specifications
Travel RangeCoarse13 mm (1/2")
Fine300 μm
ResolutionCoarse5.0 μm
Fine0.5 μm
Coarse Adjustment
(with Vernier Scale)
500 μm/rev
Fine Adjustment
(with Vernier Scale)
50 μm/rev
  • これらの仕様はステージに負荷をかけずに測定されています。角度振れ(ランアウト)は、直線移動ステージが動いた際に、理想的な直線動作に対して、実際には角度がつきながら動いてしまうため、その角度差として定義されています。
  • 手動調整用差動マイクロメータDRV304を組み込み済み
  • バレルによりアクチュエータを取り外しおよび交換可能
  • 底部の取付け穴とスロットでブレッドボード光学テーブルに取付け可能
  • 左利き用もご用意しております。当社までご連絡ください。
  • 手動ならびに電動式アクチュエータも取付け可能です。詳細は「アクチュエータ」タブをご覧ください。

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差動マイクロメータの目盛により絶対的な位置決めが可能

当社のRollerBlock差動マイクロメータ付き長距離移動ステージの移動量(粗動)は13 mm、移動量(微動)は300 µmです。 粗調整用アジャスタには10 µm単位のバーニヤ目盛が付いており、分解能は5 µmとなります。 微調整用アジャスタには1 µm単位のバーニヤ目盛が付いており、分解能は0.5 µmです。 このような高い分解能と長距離の移動範囲を有するステージは、シングルモードファイバや導波路のアライメントシステムにおける結合ジグとして利用できます。 また目盛が付いていますので、基準点が明確でシステム内での絶対的な位置決めが実現します。 付属のアクチュエータはモジュール設計のため、交換が可能です。「アクチュエータ」のタブで詳細と対応可能なアクチュエータのラインナップをご覧ください。

このステージには上面プレートMMP1/Mが付属します。 この取付けプレートには中心線に沿ってキー溝が付いており、「概要」タブ内に掲載されているアクセサリすべてを簡単に、かつ高い再現性でアライメントすることができます。 中心からずらして取り付けたり、ブレッドボードを取り付ける必要がある用途には上面プレートRB13P1/Mをご用意しております。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
RBL13D Support Documentation
RBL13DRollerBlock3軸ベアリングステージ、差動マイクロメータ付(インチ規格)
¥449,339
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
RBL13D/M Support Documentation
RBL13D/MRollerBlock3軸ベアリングステージ、差動マイクロメータ付(ミリ規格)
¥449,339
7-10 Days
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RollerBlock™3軸ステージ、マイクロメータ付き

Item #RB13M(/M)
Travel MechanismCrossed Roller Bearings
Deck Height (Nominal)62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)4.4 kg (9.7 lbs)
Mounting Barrel SizeØ9.5 mm (Ø3/8")
Pitch and Yaw RunoutaX Motion: ±125 µrad
Y Motion: ±75 µrad
Z Motion: ±150 µrad
Straightness±10 µm
Drive Specifications
Travel Range13 mm (1/2")
Resolution5.0 μm
Coarse Adjustment
(with Vernier Scale)
500 μm/rev
  • これらの仕様はステージに負荷をかけずに測定されています。角度振れ(ランアウト)は、直線移動ステージが動いた際に、理想的な直線動作に対して、実際には角度がつきながら動いてしまうため、その角度差として定義されています。
  • 手動調整用マイクロメータ148-801STを組み込み済み
  • 取付けバレルによってアクチュエータの取外し、交換が可能
  • 底部の取付け穴とスロットでブレッドボード光学テーブルに取付け可能
  • 左利き用もご用意しております。当社までご連絡ください。
  • 手動ならびに電動式アクチュエータも取付け可能です。詳細は「アクチュエータ」タブをご覧ください。

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マイクロメータの目盛により絶対的な位置決めが可能

当社のRollerBlockマイクロメータ付き長距離移動ステージの移動量(粗動)は13 mmです。 粗調整用アジャスタには10 µm単位のバーニヤ目盛が付いており、分解能は5 µmとなります。 このような高い分解能と長距離の移動範囲を有するステージは、シングルモードファイバや導波路のアライメントシステムにおける結合ジグとして利用できます。 また目盛が付いていますので、基準点が明確でシステム内での絶対的な位置決めが実現します。 付属のアクチュエータはモジュール設計のため、交換が可能です。「アクチュエータ」のタブで詳細と対応可能なアクチュエータのラインナップをご覧ください。

このステージには上面プレートMMP1/Mが付属します。 この取付けプレートには中心線に沿ってキー溝が付いており、「概要」タブ内に掲載されているアクセサリすべてを簡単に、かつ高い再現性でアライメントすることができます。 中心からずらして取り付けたり、ブレッドボードを取り付ける必要がある用途には上面プレートRB13P1/Mをご用意しております。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
RB13M Support Documentation
RB13M3軸RollerBlock 、マイクロメータドライブ付き、右手方向 (インチ規格)
¥229,797
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
RB13M/M Support Documentation
RB13M/M3軸RollerBlock 、マイクロメータドライブ付き、右手方向 (ミリ規格)
¥229,797
Today
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タップ穴付き上面プレート


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フレクシャーステージMAX311D(/M)上に、十字溝付きプレートMMP1(/M)の代わりに上面プレートRB13P1(/M)を設置
Item #RB13P1RB13P1/MMMP1MMP1/M
Mechanical
Drawing
  • アダプタープレートRB13P1/Mは汎用的なアクセサリ、部品として使用可能
    • 13個のM6タップ穴と12個のM4タップ穴
  • MMP1/Mは標準型の3軸ステージ用上面プレート(すべての3軸ステージに付属)
    • 中心線に沿った2本の幅3 mmのキー溝が多軸ステージアクセサリをアライメント
    • クランプ取付け用M3タップ穴が16個
    • M2タップ穴が4個
    • M4タップ穴が9個

アダプタープレートRB13P1/Mは、上記ステージに付属する標準型の溝付き上面プレートMMP1/Mの代替品として設計されています。 M3ネジに対応する4つのザグリ穴によって上記ステージに取り付けられます。 取付け面のサイズは60 mm x 60 mmで、上記ステージに付属する上面プレートMMP1/Mと同じです。 この上面プレートの寸法やタップ穴の詳細などの詳細については、右の図面をご覧ください。

上面プレートMMP1/Mは上記のステージに付属していますが、別途ご購入も可能です。 このプレートには中心線に沿って幅3 mmのキー溝が十字状に2本付いています。アクセサリのアライメントを保ちながら素早いステージ構成が可能なため、ファイバ入射の用途に適しています。 「十字溝」の設計によりNanoMaxステージを左利き用、右利き用のどちらでも使用できます。 プレートにはM2、M3、M4タップ穴が並んでおり、様々な部品の固定や取り付けが可能です。 この上面プレートの寸法やタップ穴の位置などの詳細については、右の図面をご覧ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
RB13P1 Support Documentation
RB13P1アダプタープレート、1/4”-20&#8-32タップ穴付き(インチ規格)
¥8,301
Today
MMP1 Support Documentation
MMP1交換用プレート、フレクシャーステージ用、#8-32、#6-32、#4-40タップ穴付き(インチ規格)
¥9,572
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
RB13P1/M Support Documentation
RB13P1/Mアダプタープレート、M6&M4タップ穴付き(ミリ規格)
¥8,301
Today
MMP1/M Support Documentation
MMP1/M交換用プレート、フレクシャーステージ用、M4、M3、M2タップ穴付き(ミリ規格)
¥9,572
Today