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小型移動ステージ、XYZ軸手動式、移動量25 mm、クロスローラーベアリング


  • 25 mm XYZ Travel Provided by Metric Micrometers
  • Crossed-Roller Bearings for Superior Angular Deviation
  • Each Stage Ships with Individual Test Data Certificate

The included locking brackets guard against accidental movement. One is engraved with a unique serial number.

LX30

3-Axis XYZ Stage

Rear View

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Specifications
Item #LX30LX30/M
Stage Specifications
Travel25 mm
Angular Deviationa< 125 µrad
Vertical Straightnessa,b< 10.0 µm
Platform Size2.55" x 2.56" (64.8 mm x 65.0 mm)
Mounting HolesSeven 1/4"-20 TapsSeven M6 Taps
Vertical Load Capacityc8.8 lbs (4 kg) Max
Horizontal Load Capacityc8.8 lbs (4 kg) Max
Bearing TypeCrossed-Roller Bearings
Micrometer Specifications
Micrometer Item #150-801ME-H
Resolution500 µm Translation Per Revolution
Micrometer Barrel SizeØ3/8" (Ø9.5 mm)
  • 1軸について全移動範囲を移動したときの値
  • 垂直真直度(Vertical Straightness)は1軸での直線移動における最大直線偏差を表し、移動する面に垂直な面で測定されます。
  • マイクロメータによって制限されています。

特長

  • マイクロメータ付きステージ
  • クロスローラーベアリングにより、小さな角度偏差を実現
  • 取付け用M6タップ穴が7個
  • 側面にØ9.5 mmバレルのミリ規格マイクロメータ
  • 各ステージは検査済みで、検査データとともに発送されます。
  • 光学テーブルへの取り付け用に4つのM6ザグリ穴

小型移動ステージLX30/Mの直線移動量は25 mmで、その全移動範囲にわたりピッチ方向とヨー方向の偏差は125 µrad未満です。コンパクトな設置面積を特長としており、またスチール製のクロスローラーベアリングを用いて精密な移動を実現しています。モノリシック構造の上下プレートにはマイクロメーターマウントが組み込まれており、安定性の向上と内部応力の最小化のためアルミニウム鋳造材(Cast Tool and Jig Aluminum)から加工されています。なお、この多軸ステージは分解して1軸ステージとしてご使用いただくことはできませんのでご注意ください。また当社では1軸または2軸ステージをご用意しております。

各ステージの製造後には、移動の直線性に関するピッチ偏差、ヨー偏差、および垂直真直度の検査を行っています。これにより個々のステージが全移動範囲において仕様値を満たすことを保証しています。検査結果の概要は各ステージごとに添付される個別のデータシートに記載されています。こちらをクリックするとサンプルデータがご覧いただけます。

XYZ Translation Stage Mounting
Click to Enlarge

底部の取付け穴の1個は、真ん中の位置のマイクロメータを取り外すことで使用できるようになります。

取付け面にはM6タップ穴が12.5 mm間隔で7つ付いています。ステージの軸は側面の固定用ブラケットと2 mm六角ネジで固定でき、これは位置ずれ防止用として使用できます。ステージは、下のプレートを移動すると見える4つのM6用ザグリ穴を用いて光学テーブルに直接固定することができます。なお、プレートに取り付けられているマイクロメータが1つの取付け穴を塞いでしまうため、使用するネジや六角ドライバによっては、まずこのマイクロメータを取り外す必要があります。各ステージの底部には、Ø2.4 mmのアライメント用穴(3/32インチ位置決めピン用)が4つ付いています。

注:マイクロメータの取り外しは、送りネジがステージの移動部と完全に離れてからか、または固定ブラケットが完全に締め付けられている状態で行ってください。そうしないと、ステージが損傷したり、仕様性能を満たすために再校正が必要になったりする場合があります。

これらのステージの各軸にはミリ単位の目盛が付いたマイクロメーターヘッドが付いており、その1回転あたりの移動量は500 µmです。マイクロメータはローレット加工されたノブで動かせますが、より細かな移動には2.0 mm六角レンチを使用できます。マイクロメータは、側面のフレクシャークランプを2 mm六角レンチで緩めることで、いつでも取り外しや交換が可能です。このフレクシャークランプは、Ø9.5 mmの取付けバレルが付いたマイクロメータであれば保持することができます。


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XYZステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング

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LX30小型XYZ移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
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