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カートは空です
         

超高真空用ファイバーフィードスルーフランジ


  • Fiber Feedthrough CF and KF40 Flanges for Ultra-High Vacuum
  • SMA Terminated on Both Sides
  • Available for 200 - 1200 nm, 400 - 2400 nm, or 0.3 - 5.5 µm

VC2H2S

CF Flange for
Ø200 µm SMA Fibers

Front

Back

VK4L4S

KF40 Flange for
Ø400 µm SMA Fibers

ADASMAV

Vacuum-Compatible Mating Sleeve

Application Idea

The MV11L05 Vacuum-Compatible Multimode Patch Cable connected to the VK4H1S Fiber Feedthrough KF40 Flange using the ADASMAV Vacuum-Compatible Mating Sleeve. The feedthrough can be can be mated to a vacuum system using a wing nut clamp and an O-ring carrier (not shown).

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Fiber Feedthrough Common Specifications
Insertion Loss≤2.3 dB
Max Optical Power1 W
Leak Rate≤1 x 10-10 mbar⋅L/s (Helium Standard)

特長

  • SMAコネクタ付きファイバを真空チャンバに素早く接続
  • CF(Ø2.75インチ)フランジまたはKF40(Ø2.17インチ)フランジから選択可能
  • ハーメチックシールされたマルチモードステップインデックスファイバ
    • コア径: Ø100 µm、Ø200 µm、Ø400 µm、Ø600 µm
    • 透過波長: 200~1200 nm(高OH)、400~2400 nm(低OH)、0.3~5.5 µm(中赤外用)
  • 当社の真空対応マルチモードファイバーパッチケーブルに対応
  • 高温でベイキングが可能
    • 高OHと低OHファイバは250 °Cまで
    • 中赤外(MIR)ファイバは90 °Cまで
  • 真空対応のアダプタおよびフランジを取り付けるための部品をご用意(下記参照)

当社では、Ø2.75インチ(DN40)CFフランジ(コンフラットフランジ)システムおよびKF40フランジシステムの両方に対応する超高真空用のファイバーフィードスルーを製造しています。こちらのフィードスルーにより、SMA905コネクタ付きファイバーパッチケーブルとアダプタを使用した超高真空システムへの光入力が可能です。ファイバーフィードスルーにはハーメチックシールされたステップインデックスマルチモードファイバがステンレススチール製シェル内に組み込まれており、挿入損失は≤2.3 dBと低く、最大1 Wの入力パワーに対応します。フランジは、クリーンルーム環境に運搬されるまでの間の汚染から保護するために2重のバッグに入れられています。

ファイバーフィードスルーの両端にはオス型SMA905コネクタが付いています。ファイバーパッチケーブルを接続するにはアダプタをご使用いただけます。 真空環境下におけるフィードスルーを真空対応のパッチケーブルに接続するために、真空対応SMA-SMAアダプタADASMAV(下記参照)をご用意しております。 このアダプタはSUS304ステンレススチール製で、超高真空システムで使用できるよう設計されています。高OHまたは低OHファイバのフィードスルーには、通気口として本体にØ1.6 mmの穴が開いており、中に閉じ込められたガスを逃します。 ファイバーパッチケーブルを真空環境下で使用する際には、ケーブルが真空対応であることをご確認ください。 中赤外域用KF40フランジファイバーフィードスルー(型番VK4F1S)には、堅牢に取り付け、ハーメチックシールされた長さ451.6 mmのInF3マルチモードファイバーケーブルと、真空側と反対のケーブル端にオス型SMA905が付いています。

高OHと低OHのファイバーフィードスルーには、独自のレーザ溶接部があり、従来の接着剤による接合部より構造が頑丈で、リークレートを大幅に抑制します。また、これらのレーザ溶接部とガラス-金属のハーメチックシールにより、クリーニングしやすい外表面のみが真空に直接さらされることになります。フィードスルーの真空にさらされる側には接着剤が使用されていないため、真空システムの汚染とガス放出は最小限に抑えられます。

当社では追加部品として高真空用CFフランジ部品KFフランジ付き部品&アクセサリ、その他真空対応部品のラインナップをご用意しております。


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超高真空用CFおよびKF40フランジのフィードスルーに使用されている
高OHファイバの損失特性データ

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中赤外用KF40フランジのフィードスルーに使用されている
ファイバの損失特性データ

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超高真空用CFおよびKF40フランジのフィードスルーに使用されている
低OHファイバの損失特性データ

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CFフランジ(コンフラットフランジ)用ファイバーフィードスルー

Ultra-High Vacuum Fiber Feedthrough CF Flange Cross-Section
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超高真空用ファイバーフィードスルーCFフランジ(コンフラットフランジ)の
断面図
  • 真空レベル1 x 10-10Torrまで使用可能
  • Ø2.75インチ(DN40)CFフランジに適合
  • ハーメチックシールされたファイバ端がリークを防止
  • 耐久性に優れ、アウトガスの少ないSUS304ステンレススチール製
  • 本体はレーザ溶接、真空側は接着剤不使用
  • CFフランジ取付け用ネジセットや銅製ガスケットは別売り(下記参照)

当社の超高真空対応Ø2.75インチ(DN40)ファイバーフィードスルーCFフランジは、SMA905コネクタ付きファイバーパッチケーブルとアダプタを使用し、超高真空システムへの光入力が可能です。SUS304ステンレススチール製で、10-10Torrまでの超高真空システムでご使用いただけます。

CF型のフランジは、銅製ガスケット(下記参照)を適切に使用することでナイフエッジ機構を利用して密閉可能となります。これらのフィードスルーにはM6貫通穴が6つ付いており、あらゆる標準規格のDN40 CFフランジにボルトで固定できます。接合部のボルトをしっかりと締めた時に、ナイフエッジは銅製ガスケットに「噛み付き」、変形します。圧力がかかった銅は全ての機械加工による凹みと表面欠損を埋め、漏れのない密閉を生み出します。なお、銅製ガスケットとボルトは別途ご購入が必要となりますのでご留意ください。 

注:取付け用ネジやCFフランジ用銅製ガスケットは付属しておりません。

Item #Fiber CoreFiberWavelength RangeNAMaximum Temperature
VC2H1SØ100 µmHigh OH200 - 1200 nm0.22 ± 0.02250 °C
VC2L1SLow OH400 - 2400 nm
VC2H2SØ200 µmHigh OH200 - 1200 nm
VC2L2SLow OH400 - 2400 nm
VC2H4SØ400 µmHigh OH200 - 1200 nm
VC2L4SLow OH400 - 2400 nm
VC2H6SØ600 µmHigh OH200 - 1200 nm
VC2L6SLow OH400 - 2400 nm
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
VC2H1S Support Documentation
VC2H1SCustomer Inspired! Ø2.75インチCFフランジ用ファイバーフィードスルー、高OH、コア径Ø100 µm、200~1200 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
Lead Time
VC2L1S Support Documentation
VC2L1SCustomer Inspired! Ø2.75インチCFフランジ用ファイバーフィードスルー、低OH、コア径Ø100 µm、400~2400 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
5-8 Days
VC2H2S Support Documentation
VC2H2S2.75インチCFフランジ用ファイバーフィードスルー、高OH、コア径Ø200 µm、200~1200 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
Lead Time
VC2L2S Support Documentation
VC2L2S2.75インチCFフランジ用ファイバーフィードスルー、低OH、コア径Ø200 µm、400~2400 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
5-8 Days
VC2H4S Support Documentation
VC2H4SCustomer Inspired! 2.75インチCFフランジ用ファイバーフィードスルー、高OH、コア径Ø400 µm、200~1200 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
Lead Time
VC2L4S Support Documentation
VC2L4SCustomer Inspired! Ø2.75インチCFフランジ用ファイバーフィードスルー、低OH、コア径Ø400 µm、400~2400 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
Lead Time
VC2H6S Support Documentation
VC2H6S2.75インチCFフランジ用ファイバーフィードスルー、高OH、コア径Ø600 µm、200~1200 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
Lead Time
VC2L6S Support Documentation
VC2L6S2.75インチCFフランジ用ファイバーフィードスルー、低OH、コア径Ø600 µm、400~2400 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
Lead Time

KF40フランジ用ファイバーフィードスルー

Ultra-High Vacuum Fiber Feedthrough KF40 Flange Cross-Section
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超高真空用高OHならびに低OHファイバーフィードスルーKF40フランジ内部の断面図
  • 真空レベル1 x 10-8 Torrまで使用可能
  • KF40(Ø2.17インチ)フランジに適合
  • ハーメチックシールされたファイバ端がリークを防止
  • 耐久性に優れ、アウトガスの少ないSUS304ステンレススチール製
  • 高OHならびに低OHファイバーフィードスルーにレーザ溶接された本体
  • 高OHならびに低OHファイバーフィードスルーの真空側は接着剤不使用
  • KF40フランジ用センタリングOリングキャリアならびにウィングナットクランプもご用意(下記参照)

当社の超高真空対応ファイバーフィードスルーKF40フランジと、SMA905コネクタ付きファイバーパッチケーブルとアダプタを使用し、超高真空システムへの光入力が可能です。SUS304ステンレススチール製で、10-8 Torrまでの超高真空システムでご使用いただけます。KFフランジはNW、QFまたはDNフランジとも呼ばれ、使い易く、メンテナンスや再利用も容易なため、真空システムを簡単に構築できます。 中赤外ファイバーフィードスルー(型番VK4F1S)には、堅牢に取り付け、ハーメチックシールされた長さ451.6 mmのInF3マルチモードファイバーケーブルと、真空側と反対のケーブル端にオス型SMA905が付いています。

これらのKFフランジはISOに準拠した真空対応の金具で、ウィングナットクランプとOリングキャリア(どちらも下記参照)を使用し真空システムに結合が可能です。ウィングナットクランプの角度付き部分がフランジの間にあるOリングを圧縮し、素早く真空封止します。ウィングナットクランプはM5 x 0.8ネジ付きで、手だけで締め付けることが可能なため、システム内でKFフランジの交換が簡単に行えます。なお、Oリングキャリアとウィングナットクランプは別途ご購入いただく必要がありますのでご注意ください。

Item #Fiber CoreFiberWavelength RangeNAMaximum Temperature
VK4H1SØ100 µmHigh OH200 - 1200 nm0.22 ± 0.02250 °C
VK4F1SMIR (InF3)0.3 - 5.5 µm0.26 ± 0.0290 °C (Bake Out); 75 °C (Operating)
VK4L1SLow OH400 - 2400 nm0.22 ± 0.02250 °C
VK4H2SØ200 µmHigh OH200 - 1200 nm
VK4L2SLow OH400 - 2400 nm
VK4H4SØ400 µmHigh OH200 - 1200 nm
VK4L4SLow OH400 - 2400 nm
VK4H6SØ600 µmHigh OH200 - 1200 nm
VK4L6SLow OH400 - 2400 nm
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
VK4H1S Support Documentation
VK4H1SKF40フランジ用ファイバーフィードスルー、高OH、コア径Ø100 µm、200~1200 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
5-8 Days
VK4F1S Support Documentation
VK4F1SKF40フランジ用ファイバーフィードスルー、 InF3マルチモードファイバ、コア径Ø100 µm、0.3~5.5 µm、NA0.26、SMAコネクタ
¥156,000
5-8 Days
VK4L1S Support Documentation
VK4L1SKF40フランジ用ファイバーフィードスルー、低OH、コア径Ø100 µm、400~2400 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
5-8 Days
VK4H2S Support Documentation
VK4H2SKF40フランジ用ファイバーフィードスルー、高OH、コア径Ø200 µm、200~1200 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
5-8 Days
VK4L2S Support Documentation
VK4L2SKF40フランジ用ファイバーフィードスルー、低OH、コア径Ø200 µm、400~2400 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
5-8 Days
VK4H4S Support Documentation
VK4H4SKF40フランジ用ファイバーフィードスルー、高OH、コア径Ø400 µm、200~1200 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
Lead Time
VK4L4S Support Documentation
VK4L4SKF40フランジ用ファイバーフィードスルー、低OH、コア径Ø400 µm、400~2400 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
Lead Time
VK4H6S Support Documentation
VK4H6SNEW!KF40フランジ用ファイバーフィードスルー、高OH、コア径Ø600 µm、200~1200 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
5-8 Days
VK4L6S Support Documentation
VK4L6SNEW!KF40フランジ用ファイバーフィードスルー、低OH、コア径Ø600 µm、400~2400 nm、NA0.22、SMA
¥53,560
Lead Time

真空対応SMA-SMAアダプタ

Vacuum Compatibility Specifications
Vacuum Compatibility as Packageda10-10 Torr
Materials304 Stainless Steel
Preparation and PackagingChemically Cleaned and Double Vacuum Bagged
Stainless Steel Outgassing Rate at 20 °C1.8 x 10-8 Torr-Liters/s/cm2
  • 真空システムに部品を入れる前には、適切な手順でクリーニングを実施し、ベークアウトオーブンで予備加熱して水分や表面の揮発性物質を取り除いておくことをお勧めします。
Vacuum SMA Adapter Vent Hole
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ADASMAVにはØ1.6 mmの通気口が付いています。
  • 超高真空用途向けエアスペース型SMA-SMAアダプタ
  • SUS304ステンレススチール製
  • 挿入損失<1.5 dB(Ø200 µmコアのマルチモードファイバ同士を接続した場合の損失の典型値)
  • クリーンルーム用2重包装
  • 当社の真空対応マルチモードファイバーパッチケーブルに対応

当社のアダプタADASMAVはSMA-SMAアダプタADASMAの真空対応バージョンです。 SUS304ステンレススチール製のこのアダプタは、超高真空システム内 (>10-10 Torr)で使用できるよう設計されております。本体にあるØ1.6 mmの通気口により、コネクタ装着時に閉じ込められた空気を逃します(右の画像をご覧ください)。 ADASMAVは標準型とは異なり、SMA905式コネクタのみしか対応しません。 SUS304ステンレススチール製ワッシャならびにナットがカスタム仕様のマウント向けに付属しています。

その他の真空対応部品
当社のパッチケーブルのほとんどは真空対応向けに特別注文が可能です。 詳細は当社までお問い合わせください。

真空対応
当社の真空対応アダプタは、梱包前に化学洗浄され、真空での用途向けに処理されています。 10-10 Torrまでの真空状態では、袋から取り出してそのままお使いいただけます。 追加洗浄や加工によりさらに低い圧力での使用も可能です。ただし、ステンレススチールのアウトガスにより制限されます(上の表をご覧ください)。 実際に稼働されている真空システムに対して、これらの部品や材料については適正であるかの判断に関しては、ステンレススチールの材質特性とお客様が行われる洗浄方法により決定してください。 なお、真空用途向けではないキャップやパネルをADASMAVと共に使用することはお勧めしません。

この他にも真空用途でお使いいただける真空対応部品をご用意しております。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
ADASMAV Support Documentation
ADASMAV真空対応SMA-SMAアダプタ
¥3,764
Today

CFフランジ用銅製ガスケットならびにフランジ取付用ネジセット

CF Flange Gasket
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銅製ガスケットVGA10付きビューポートVPCHW42-C
  • ステンレススチール製(18-8)フランジ取付用ネジセットVMH6の内容
    • ボルト6個(銀メッキ、1/4"-28 x 1.25"、12ポイント)
    • ナット6個、ワッシャ12個
  • Ø2.75インチCFフランジを用いて密閉する銅製ガスケット(1個使用)
    • 101銅合金(純度99.99%)、OFHC(無酸素銅) 
    • VGC10:1/4硬質銅ガスケット 
    • VGA10:アニール済み銅ガスケット

当社ではØ2.75インチCFフランジを結合するための取付用ネジセットと銅製ガスケットをご用意しております。フランジは、ナイフエッジ機構を利用して、接合部品間を密閉します。密閉にはよく銅製ガスケットが採用されています。接合部のボルトをしっかりと締めた時に、ナイフエッジは銅製ガスケットに「噛み付き」、変形します。押し出された金属は全ての機械加工による凹みと表面欠損を埋め、漏れのない密閉を生み出します。

1/4硬質銅ガスケットならびにアニール済み銅ガスケットはそれぞれ10個セットでご用意しております。フランジの応力により光学素子が変形する可能性を低くするため、ビューポートには柔らかい方のアニール銅ガスケットのご使用をお勧めいたします。ステンレススチール製の取付用ネジセットには、銀メッキボルト6個、ナット6個、ワッシャ12個が含まれます。ボルトの銀メッキが潤滑油としてボルトのステンレススチール面とナットの摩耗を防止します。

取付手順
まずはじめにCFフランジのナイフエッジ面に埃や傷がないことを確認してください。その後ボルト穴の向きを選び、ガスケットを(リーク溝があれば、それとアライメントさせながら)挿入します。ワッシャをスライドさせてボルト上に取り付け、ボルトをフランジに差しこみ、もう1個ワッシャをつけてからナットを締め付けます。ボルトは手で締め付け、その後2つのレンチを使用してボルト頭部を保持し、ナットを回します。ナットは星型の順番で徐々に1/8~1/4ほど締め付けていきます。この手順を追うことにより、ガスケットの圧力と変形が均等で信頼ある密閉ができます。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
VMH6 Support Documentation
VMH6CFフランジ取付用ネジセット、銀メッキボルト6個、ナット6個、ワッシャ12個
¥2,276
5-8 Days
VGC10 Support Documentation
VGC10Ø2.75インチCFフランジ用1/4硬質銅ガスケット(OFHC純度99.99%)、10個入り
¥5,356
5-8 Days
VGA10 Support Documentation
VGA10Ø2.75インチCFフランジ用アニール済み銅ガスケット(OFHC純度99.99%)、10個入り
¥12,051
Lead Time

KF40フランジ用センタリングOリングキャリアおよびウィングナットクランプ

Item #Included O-Ring Dimensions
ODIDThickness
KF40CR-F2.05"1.65"0.20"
  • KF40フランジ用センタリングOリングキャリアKF40CR-F
    • KFフランジ間のOリングの位置を固定
    • 2つのKFの接合部を真空封止
    • フルオロカーボン製のOリング付き
  • KF40フランジ用ウィングナットクランプKF40WNC
    • Oリングを間に挟んで組み立てられた2つのKF40フランジを固定
    • 手で素早く締め付け可能(ツール不要)

当社では、KF40フランジを真空システムに接続するためのセンタリングOリングおよびウィングナットクランプをご用意しています。ウィングナットクランプの角度付き部分がフランジの間にあるOリングを圧縮し、素早く真空封止します。ウィングナットクランプはM5 x 0.8ネジ付きで、手だけで締め付けることが可能なため、システム内でKFフランジの交換が簡単に行えます。

最良の性能を得るために、Oリングには真空対応グリースをごく薄く塗布する必要があります。塗布は手で行いますが、その際は手袋を着用し、グリースの量はOリングに艶が出るくらいにしてください。ご使用前に、Oリングとそれを取り付ける接合面に埃が付着していないかを確認してください。適切に接合できなかったり、空気が漏れたりする原因となります。Oリングに乾腐やひび割れ、破れ、または使用時に発生する埃の堆積などがないかを常に確認してください。リークを起こすおそれのあるOリングは交換してください。真空下ではKFの接続部がさらに圧縮され、ウィングナットクランプが緩んでしまうことがあります。クランプをさらに締め付けることは可能ですが、締め付けすぎないようにしてください。システムが大気圧に戻った時にウィングナットが取り外しにくくなったり、動かなくなったりするおそれがあります。また、真空下ではウィングナットクランプを取り外さないでください。

当社では、KF16およびKF25フランジのサイズに対応するウィングナットクランプおよび Oリングもご用意しています。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
KF40CR-F Support Documentation
KF40CR-FKF40フランジ用センタリングOリングキャリア、フルオロカーボン製Oリング付き
¥1,586
5-8 Days
KF40WNC Support Documentation
KF40WNCKF40フランジ用ウィングナットクランプ
¥1,281
5-8 Days
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