傾斜エッジMTFターゲット

Slant Edge Test Target Evaluates Spatial Frequency Response of Imaging System
L-Shaped, 5° Slanted Edge and Ronchi Rulings on 2" x 2" Plate
Four Cross Patterns for Alignment

R2L2S2P

Enlarged View of 10 lp/mm and 20 lp/mm Ronchi Rulings and Cross Pattern on R2L2S2P

Please Wait

概要
カスタム向け
クリーニング
Feedback

Specifications
Design	LR^a Chrome-on-Glass
Substrate	Soda Lime Glass
Chrome Thickness	0.120 µm
Chrome Optical Density	OD ≥3 at 430 nm
Substrate Thickness	0.06" (1.5 mm)
Surface Flatness	≤15 µm
Line Spacing Tolerance^b	±1 µm
Line Width Tolerance^b	±0.5 µm

低反射(Low-Reflectivity)
この公差はターゲットを製造する際に用いられるマスクに対して適用される値であり、必ずしもターゲット自体の公差ではありません。

Click to Enlarge
テストターゲットポジショナXYF1(/M)に取り付けられた傾斜エッジMTFターゲットR2L2S2P　

特長

イメージングシステムの変調伝達関数(MTF)を測定
5°傾斜したL型のパターン(ISO 12233準拠)
10 lp/mm～200 lp/mmまでの20種類のロンキールーリング

傾斜エッジMTFターゲットの傾斜エッジやロンキールーリングを利用して、イメージングシステムの空間周波数応答を測定することができます。傾斜エッジパターンはL型で、ISO 12233に準拠して5°傾斜しています。 20種類のロンキールーリングが刻印され、それぞれの寸法は5 mm x 5 mmです。分解能は10 lp/mm～200 lp/mmの範囲を10 lp/mm間隔で作成されています。このターゲットは、ソーダライムガラス基板に真空スパッタリングで低反射のクロム層を形成して作られています。また、四隅にはアライメント用に十字のパターンが刻印されています。それぞれのパターンはフォトリソグラフィにより加工されているため、エッジ部も約1 µmの精度で形成されています。このエッジのシャープさは、下記の変調伝達関数(MTF)を用いてイメージングシステムの性能を評価する際に大変重要になります。

取付け
このターゲットの取付けにはテストターゲットポジショナXYF1/M (右の写真参照)をご使用いただけます。このマウントは50 mm x 30 mmの範囲でターゲットを移動させることができ、先端がナイロン製の止めネジ(セットスクリュ)を用いてターゲットを固定することができます。マウント背面のアダプタには5つのM4タップ穴が開いており、これを利用してポストを6通りに取付け可能です。

変調伝達関数
変調伝達関数(MTF)は、イメージングシステムの分解能および性能を測定する際に用いられます。 MTFを測定するためのターゲットとしては、正弦波ターゲットや、グリルターゲット、こちらでご紹介している傾斜エッジターゲットなどをはじめとして、何種類かのものがございます。傾斜エッジ法では、こちらのページでご紹介しているような傾斜エッジターゲットが利用されます。このターゲットは、通常1°から5°の角度に傾斜した、明瞭な黒いエッジで構成されています。エッジは可能な限り明瞭に識別できるような手法で作る必要があります。こちらでご紹介しているターゲットの場合には、フォトリソグラフィの手法が用いられています。

MTFを計算するためにはまず、エッジ広がり関数(ESF)を求めます。これは、エッジに近づき通過する際のイメージの強度を空間位置の関数として表したものです(Zhang et al., Proc. SPIE 8293, 2012をご参照ください)。イメージングシステムに欠陥があると、ESFは完全なステップ関数にならず傾斜エッジの境界で傾斜した関数となります。次にESFを微分し、線広がり関数(LSF)を求めます。最後にLSFをフーリエ変換し、規格化してMTFを得ます。このMTFは0～1の範囲で、対周波数でプロットすることができます(通常cycles/mmで測定されます)。対応するMTF値が1に近い周波数は、ほぼ元の分解能で再現されます。周波数が上がると、MTFは0まで下がり、周波数は識別できなくなります。 MTF値が0.5に対応する周波数は通常、異なるイメージングシステムを比較するためのベンチマークとして利用されます。

MATLAB^®やImageJを用いてMTFの計算をする際には、様々な市販のパッケージがご利用いただけます。 1例として、MATLABのパッケージはこちらで、ImageJのパッケージはこちらでご覧いただけます。

Targets Selection Guide
Resolution Test Targets	Calibration Targets	Distortion Test Targets	Slant Edge MTF Target	Stage Micrometers

Questions?

Need a Quote?

ご質問やお見積りのご要望は
お気軽に当社まで
ご連絡ください。

Customization Parameters
Substrate Size^a	Min	8 mm x 8 mm (5/16" x 5/16")
Substrate Size^a	Max	85 mm x 85 mm (3.35" x 3.35")
Substrate Materials		Soda Lime Glass UV Fused Silica Quartz
Coating Material		Chrome^b Low-Reflectivity Chrome^c
Coating Optical Density		≥3^d or ≥6^e @ 430 nm
Minimum Pinhole/Spot		Ø1 µm
Minimum Line Width		1 µm
Line Width Tolerance		-0.25 / +0.50 µm
Maximum Line Density		500 lp/mm

基板はご要望のサイズや形状にダイシングが可能です(上記MIN～MAXの範囲内)。
430 nmでのクロムの反射率 > 40%
430 nmでの低反射クロムの反射率 < 10%
UV溶融石英(UVFS)基板と標準的なソーダ石灰ガラス基板の光学濃度(OD)は430 nmで3以上
石英基板と一部のソーダ石灰ガラス基板の光学濃度(OD)は430 nmで6以上

カスタムおよび組み込み用途(OEM用途)向けテストターゲットとレチクル

当社のフォトリソグラフィ設計と製造能力により、様々なパターン素子を作ることが可能です。米国サウスカロライナ州コロンビアにある当社の施設では、テストターゲット、グリッド型歪テストターゲット、レチクルを製造しております。これらは顕微鏡、イメージングシステム、光学アライメントのセットアップなど様々な用途に適用されてきました。

標準品のテストターゲットやレチクルに加え、ソーダ石灰基板、UV溶融石英(UVFS)基板、石英基板から8 mm x 8 mm～85 mm x 85 mmまでのカスタムクロムパターンのテストターゲット等をご提供可能です。基板はご用途に応じた形状に切断可能です。フォトリソグラフィによるコーティングプロセスにより、1 µmまでのクロムパターンが可能です。下ではサンプルパターンがご覧いただけます。またこの下の例のようにポジパターンとネガパターンで作成可能です。

カスタム仕様のテストターゲットやレチクルのお見積りについては、当社までお問い合わせください。

サンプルパターン

用途例

エッチングレチクル
グレースケールマスク
高分解能レチクル
測定用レチクル
レクリエーション用スコープ
ノッチ付きレチクル
アイピース目盛
照明用十字レチクル
オブストラクションターゲット
双眼鏡レチクル

Click to Enlarge
ポジパターンとネガパターンの十字ターゲット

こちらでは当社のエンジニアが推奨するレチクル、テストターゲット、歪みターゲット、校正ターゲットの適切なクリーニング方法をご紹介いたします。

クリーニング手順

できればポリビニルアルコール(PVA)製の清潔な濡れスポンジを使用し、食器用洗剤でレチクルやターゲットの正面と裏面を優しくこすります。
水ですすぎます。
清潔で乾燥した空気によるブローで乾かすか、清潔な面にレチクルやターゲットを置いて自然乾燥させます。

タオルや布、またはワイプを使用して拭くことはお勧めしません。汚れがまだ残る場合には、レチクルやターゲットを食器洗剤を混ぜた水溶液に1時間付け置き、必要であればこれを繰り返します。

Posted Comments:

Yiğit Can Acar (posted 2023-05-05 04:04:39.673)

Dear Official, I am writing this e-mail from “YUBA Teknoloji”, an optics company in Ankara, Turkey. I am also working as electrical engineer in this firm. In our company, we would like to build an MTF test system with a slanted edge target and off axis parabolic mirror. In your website, i examined your L shaped 5 degree slanted edge MTF target (https://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=7500) and found that this component can be useful for us. However, i have some important questions. First of all, is it avaible to conduct an experiment in visible and near infrared (VIS and NIR) spectrum with this Slant Edge MTF Target ? Since we are planning to illuminate this target from the front, we are going to need a well transparent material in our experiment and we need to know its transmission characteristics. In addition, which type of light source is compatible with this target ? We also would like to order additional mechanical components like XYF1 mount and other holders and post holders. Is it possible for you to come up with a complete suitable set and quotation proposal including Slant Edge Target, XYF1 mount and holders ? Yours Sincerely, Yiğit Can Acar.

ksosnowski (posted 2023-05-11 09:45:06.0)

Hello, thanks for reaching out to Thorlabs. R2L2S2P uses our soda lime substrate, for which the data can be found on our main Resolution Target page (e.g. see R1DS1P). This maintains transmission throughout VIS and NIR ranges, and while we do not have a single light source for all scenarios, we have a variety of broadband lamps like SLS201 which you may consider for this range. I have reached out directly to discuss this application in further detail. Our sales team can also be reached directly via sales@thorlabs.com for a quote.

ksosnowski (posted 2023-05-11 09:45:06.0)

Martin Bordenave (posted 2020-01-07 09:07:12.863)

Dear Sir or Madam, My name is Martin Diego Bordenave, I work as an optical engineering at Satellogic, an Argentinean, earth-observation company. I would like to know is it is possible to buy a Slant Edge MTF Target similar to the R2L2S2P but instead of using a square substrate using a circular substrate of 2" diameter. I look forward to hearing from you. Best regards, Dr. Martín Diego Bordenave Telephone: +54 11 5219 0100 e-mail: martin.bordenave@satellogic.com

YLohia (posted 2020-01-07 12:33:17.0)

Hello Martin, thank you for contacting Thorlabs. Custom items can be requested by emailing us at techsupport@thorlabs.com. I will reach out to you directly to discuss the possibility of offering this custom item.

Ralf Noijen (posted 2019-06-07 04:18:21.85)

Dear Thorlabs, I have two comments. My colleague had ordered the target which we received today. I inspected it under a microscope and found quite some damages, is that normal? Secondly I found a link to a mtf measurement application for imageJ which is not working. Can you please help. BR Ralf

YLohia (posted 2019-06-07 10:56:56.0)

Hello Ralf, thank you for contacting Thorlabs. We are sorry to hear about the damaged item. This is certainly not normal -- I am reaching out to you directly to look into what sort of defects your piece has. Please use this link for the ImageJ package: https://imagej.nih.gov/ij/plugins/se-mtf/index.html. It is a non-Thorlabs website and it is working for on our end.

dmiles (posted 2017-01-09 13:36:40.047)

The Slant Edge MTF Target looks very useful to us. It would help a lot if there were a scale image of it at normal incidence so we could design with the corner of the "L" at the focus of our system before we receive it. We are in a time crunch and our designer would be helped by that information.

tfrisch (posted 2017-01-10 09:37:29.0)

Hello, thank you for contacting Thorlabs. we do have a CAD drawing that may be useful for your application. It can be found by clicking the documents icon below. I will send you a link directly as well.

sebastien.avila (posted 2015-01-07 12:08:20.28)

Hello, I would like to know if the clear parts of the target R2L2S2P are transparent or opaque white? Is it meant to be backlighted? Should I use a diffuse source or a collimated source? Thank you very much. Sébastien AVILA R&D VISION- France

besembeson (posted 2015-01-19 01:12:36.0)

Response from Bweh at Thorlabs: The substrate is made from soda lime so transmission properties will be like that for soda lime in areas without the chrome. R2L2S2P is a positive target designed for front-lit applications. For MTF determination, you would typically image the slanted "L" so diffused or large diameter collimated source should be okay.