Products Home対物ミクロメータ(ステージミクロメータ)およびテストターゲット
- Stage Micrometers and Concentric Squares for Calibrating Distances
- Allows for Precise Measurements of Enlarged Images
R1L3S1P
10 mm Stage Micrometer with
50 µm Divisions
R1L3S5P
Combined Resolution and
Distortion Test Target with Micrometer
R3L3S3P
Concentric Squares Calibration Target
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| General Specifications | |
|---|---|
| Chrome Thickness | 0.120 µm |
| Chrome Optical Density | OD ≥3 at 430 nm |
| Substrate Thickness | 0.06" (1.5 mm) |
| Surface Flatness | ≤15 µm |
| Line Spacing Tolerancea | ±1 µm |
| Line Width Tolerancea | ±0.5 µm |
| Substrate | Soda Lime Glass |
特長
- 水平方向に10 µm～100 µmの目盛が付いた顕微鏡用対物ミクロメータ(ステージミクロメータ) (25.4 mm x 25.4 mmまたは76.2 mm x 25.4 mm)
- 分解能ならびに歪み測定一体型ターゲット (76.2 mm x 25.4 mm)
- 同心正方形ターゲット、0.1 mm～50 mmのポジパターン (76.2 mm x 76.2 mm)
当社ではイメージングシステム内での距離校正用に、対物ミクロメータ(ステージミクロメータ)や同心正方形パターンのテストターゲットをご用意しております。これらのターゲットは真空スパッタリングされた低反射クロムめっき付きのソーダライムガラス基板です。それぞれのパターンはフォトリソグラフィにより加工されているため、エッジ部も約1 µmの精度で形成されています。
取付例
これらのミクロメータやターゲットは、「取付オプション」タブでご覧いただける5種類を含む、当社の顕微鏡スライドホルダの多くに取り付けが可能です。当社では一般的な固定式のスライドホルダ、顕微鏡用スライドホルダ、顕微鏡用ステージなど様々な種類をご用意しています。
固定式スライドホルダMAX3SLHには光学素子を取り付けるためのバネクリップが2つ付いており、当社の全ての3軸フレクシャーステージに取り付けることができます。MAX3SLHは、幅が44.0 mm以上のミクロメータおよびターゲットにのみ対応しています。また、開口部は25.4 mmのため、クロムパターンが取り付け部に隠れてしまう種類もございます。また、当社のテストターゲット位置決めマウントXYF1/M(上の写真参照)は、幅12.7 mm～76.2 mmのミクロメータやターゲットを50 mm x 30 mmの範囲で移動させることが可能です。マウントには、5つのM4タップ穴が付いており、6種類の取付方法が可能です。XYF1/Mは、先端がナイロン製の止めネジ(セットスクリュ)を使用してミクロメータやターゲットを固定します。 なお、マウントのサポート部により、光学素子の両側4.4 mmが隠れるのでご留意ください。顕微鏡用ステージMLS203をお使いいただいている場合は、倒立顕微鏡用スライドホルダMLS203P2をご用意しています。こちらは、幅25 mm～26.5 mmのスライド、ならびに直径30 mm～60 mmのペトリ皿を取り付けることができます。また当社ではケージキューブ用の固定式のホルダFFM1や、ポスト取付け用のホルダSFH2もご用意しております。
| Targets Selection Guide | ||||
|---|---|---|---|---|
| Resolution Test Targets | Calibration Targets | Distortion Test Targets | Slant Edge MTF Target | Stage Micrometers |
| Mounting Options | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Mount Item # | MAX3SLH | XYF1 | MLS203P2 | FFM1 with B3C | SFH2 |
| Image (Click to Enlarge) |  |  |  |  |  |
| Compatible Target Item #s | R1L3S1P, R1L3S2P | R1L1S5Pa, R1L3S1P, R1L3S2P, R3L3S3P | R1L1S5P | R1L1S5P,R1L3S1P, R1L3S2P,R3L3S3P | R1L1S5P,R1L3S1P, R1L3S2P,R3L3S3P |
| Features/Mounting | Mounts to 3-Axis Stages or Any with 1/4"-20 Taps | XY Translation Ø1/2" Post Mountable | Mounts to Our MLS203-1 and MLS203-2 Fast XY Scanning Stages | Ø1/2" Post Mountable | Ø1/2" Post Mountable |
| Customization Parameters | ||
|---|---|---|
| Substrate Sizea | Min | 8 mm x 8 mm (5/16" x 5/16") |
| Max | 85 mm x 85 mm (3.35" x 3.35") | |
| Substrate Materials | Soda Lime Glass UV Fused Silica Quartz | |
| Coating Material | Chromeb Low-Reflectivity Chromec | |
| Coating Optical Density | ≥3d or ≥6e @ 430 nm | |
| Minimum Pinhole/Spot | Ø1 µm | |
| Minimum Line Width | 1 µm | |
| Line Width Tolerance | -0.25 / +0.50 µm | |
| Maximum Line Density | 500 lp/mm | |
カスタムおよび組み込み用途(OEM用途)向けテストターゲットとレチクル
当社のフォトリソグラフィ設計と製造能力により、様々なパターン素子を作ることが可能です。米国サウスカロライナ州コロンビアにある当社の施設では、テストターゲット、グリッド型歪テストターゲット、レチクルを製造しております。 これらは顕微鏡、イメージングシステム、光学アライメントのセットアップなど様々な用途に適用されてきました。
標準品のテストターゲットやレチクルに加え、ソーダ石灰基板、UV溶融石英(UVFS)基板、石英基板から8 mm x 8 mm～85 mm x 85 mmまでのカスタムクロムパターンのテストターゲット等をご提供可能です。基板はご用途に応じた形状に切断可能です。フォトリソグラフィによるコーティングプロセスにより、1 µmまでのクロムパターンが可能です。下ではサンプルパターンがご覧いただけます。またこの下の例のようにポジパターンとネガパターンで作成可能です。
カスタム仕様のテストターゲットやレチクルのお見積りについては、当社までお問い合わせください。
サンプルパターン
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Click to Enlarge用途例
- エッチングレチクル
- グレースケールマスク
- 高分解能レチクル
- 測定用レチクル
- レクリエーション用スコープ
- ノッチ付きレチクル
- アイピース目盛
- 照明用十字レチクル
- オブストラクションターゲット
- 双眼鏡レチクル
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ポジパターンとネガパターンの十字ターゲット
こちらでは当社のエンジニアが推奨するレチクル、テストターゲット、歪みターゲット、校正ターゲットの適切なクリーニング方法をご紹介いたします。
クリーニング手順
- できればポリビニルアルコール(PVA)製の清潔な濡れスポンジを使用し、食器用洗剤でレチクルやターゲットの正面と裏面を優しくこすります。
- 水ですすぎます。
- 清潔で乾燥した空気によるブローで乾かすか、清潔な面にレチクルやターゲットを置いて自然乾燥させます。
タオルや布、またはワイプを使用して拭くことはお勧めしません。汚れがまだ残る場合には、レチクルやターゲットを食器洗剤を混ぜた水溶液に1時間付け置き、必要であればこれを繰り返します。
| Posted Comments: | |
user
(posted 2023-01-11 09:39:39.03) I'd like to know if the +/- 1 μm line spacing tolerance is valid for any pair of lines on the target. Or is the tolerance valid only for neighbouring lines, and the tolerance from the first to the last of for example a group of ten lines may be up to +/- 10 μm?
I suspect it is the former, but can you please confirm? Bill Albert
(posted 2021-12-01 10:40:26.26) Can ThorLabs supply calibration certificates with the Stage Micrometer Calibration Targets? cdolbashian
(posted 2021-12-23 01:59:08.0) Thank you for reaching out to us Bill. Right now, all we can provide is a self certification and/or a certificate of conformance provided you share your product's "TP number", which would be listed on the packaging of your product. We are aiming to provide NIST traceability in the future for our test and resolution targets. Stephanie G
(posted 2021-07-09 06:58:17.04) Are these compatible with transmission illumination? YLohia
(posted 2021-07-12 08:05:30.0) Hello, the positive targets consist of a chrome pattern plated on to a clear substrate and are useful for front-lit and general applications. Alternatively, the negative targets (can be custom ordered by emailing your local Thorlabs Tech Support team or techsales@thorlabs.com if you are in the US) use the same chrome coating to cover the substrate, leaving the pattern itself clear, and work well in back-lit and highly illuminated applications. Richard Krusemark
(posted 2021-06-18 11:35:59.29) You sell this with a specific statement that the unit is "useful for the calibration of distances within imaging systems". Yet this item does not come with any sort of certificate of conformance. Are you kidding me? You can't calibrate something with a complete unknown. Now I have to find a reputable company to calibrate my standards that I just bought that have no standard. I am so glad I waisted my companies money on these. I will be sure not to return to this site for more standards. cdolbashian
(posted 2021-06-25 09:20:35.0) Thank you for reaching out to us at Thorlabs! Following your feedback, we are working on a version of this product which has a calibration/conformance document included. I have reached out to you directly with some more information. |
ズーム
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十字線付き水平スケールR1L1S5Pの拡大図
- 25.4 mm x 25.4 mmのステージミクロメータ
- 接眼レンズ用レチクルまたは対物レンズの倍率を校正
- R1L1S5P:100 µm刻みで十字線の付いた水平スケール
こちらのターゲットには、それぞれ100 µm刻みのミクロメーターパターン、ならびに1 mmごとの数字ラベルが刻印されています。パターンには、長さ20 mmの水平方向のスケールならびに直角に交わる十字線が付いています。どちらのターゲットも、25.4 mm x 25.4 mmのソーダライムガラス基板に真空スパッタリングで低反射のクロム層を形成して作られています。これらのポジティブターゲットは、イメージングシステム内の距離を校正する際に便利です。
ズーム
- 接眼レンズ用レチクルまたは対物レンズの倍率を校正
- R1L3S1P：50 μm刻みで10 mmのスケール
- R1L3S2P：10 μm刻みで1 mmのスケール
- 76.2 mm x 25.4 mm顕微鏡スライドガラスの中心部にスケール
これらのターゲットには、ステージ用ミクロメーターパターンが刻印されています。ミクロメータR1L3S1Pには50 µm刻みで1 mmごとに数字ラベルが刻印された長さ10 mmのスケールが、R1L3S2Pには10 µm刻みで0.1 mmごとに数字ラベルが刻印された長さ1 mmのスケールが付いています。どちらのターゲットも、76.2 mm x 25.4 mmのソーダライムガラス基板に真空スパッタリングで低反射のクロム層を形成して作られています。これらのポジティブターゲットは、イメージングシステム内の距離を校正する際に便利です。
ズーム
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R1L3S5Pの拡大図
| Optical Specifications | |
|---|---|
| Pattern | LRa Chrome |
| Background | Clear |
| Surface Flatness | ≤15 µm |
| Chrome Optical Densityb | ≥3.0 |
- 76.2 mm x 25.4 mmターゲット
- NBS 1963Aパターン、セクタースター、同心円、グリッド、ならびにロンキールーリングほか付き(下の表をご覧ください)
- 光学システムの分解能を測定
- 画像の歪み、非点収差ほかの収差を測定
- スライドホルダMLS203P2を使用して当社の顕微鏡ステージMLS203に取付け可能
当社の76.2 mm x 25.4 mm x 1.5 mmの分解能と歪み測定が一体型になったポジテストターゲットは、ソーダライムガラス基板上に低反射で真空スパッタリングされたクロムめっきが施されており、光学濃度(OD)は430 nmで3以上となっております。 イメージングシステムや顕微鏡システムの校正用途に適しています。 当社のスライドホルダMLS203P2に取付けて、 顕微鏡ステージMLS203で使用できる寸法設計となっております。
テストターゲットにはNBS 1963Aパターン、セクター(Siemens)スター、同心円、グリッド、ならびにロンキールーリングほかが描かれています(下の表をご覧ください)。 分解能、視野歪み、焦点誤差、ならびに非点収差のテストに便利です。 NBS 1963A、セクタースター、ならびに同心円はイメージングの分解能の測定にお使いいただけます。 詳細については、上の「分解能テストターゲット」タブ内をご参照ください。 グリッドは、イメージングシステムによる歪みを測定できます。 ロンキールーリングは、分解能、視野歪み、ならびに同焦点安定性の評価に適しています。
| Target Feature | Details | Target Feature | Details |
|---|---|---|---|
| NBS 1963A | Frequencies from 4.5 cycles/mm to 228 cycles/mm (See List Above) | Concentric Circles | 10 Circles with Radii from 100 µm to 1000 µm in 100 µm Intervals |
| Distortion Grid (Squares) | 3 Grids: 100 lp/mma, 150 lp/mm, 200 lp/mm | Fixed Ronchi Rulings | 3 Rulings:100 lp/mm, 150 lp/mm, and 200 lp/mm |
| Distortion Grid (Dots) | 3 Grids: 400 µm Pitch of Ø80 µm Dots, 200 µm Pitch of Ø 40 µm Dots, 100 µm Pitch of Ø20 µm Dots | Variable Ronchi Rulings | 20 Rulings (Each 1 mm x 1 mm): 10 lp/mm to 200 lp/mm in |
| Two-Point Resolution Dots | Ø25 µm, Ø20 µm, Ø15 µm, Ø12.5 µm, Ø10 µm, Ø7.5 µm, and Ø5 µm | Pinholes | Ø25 µm, Ø20 µm, Ø15 µm, Ø12.5 µm, Ø10 µm, Ø7.5 µm, and Ø5 µm |
| Interdigitated Lines | 6.25 lp/mm, 12.5 lp/mm, 25 lp/mm, 50 lp/mm, 100 lp/mm, | Three Micrometers | 1 mm x 1 mm XY Scale with 50 µm Divisions 1 mm Scale with 10 µm Divisions 10 mm Scale with 50 µm Divisions |
| Sector Star | 36 Bars through 360°, 50 µm Radius Center Circle, and Ten Concentric Circles with Radii from 100 µm to 500 µm in 50 µm Intervals | ||
ズーム
- 76.2 mm x 76.2 mmの同心正方形ターゲット
- イメージングソフトウェアによる測定値の校正
- 低反射の真空スパッタリングクロムめっき
同心正方形ターゲットR3L3S3Pには、長さおよび幅が0.1 mm～50 mmの14種類の同心正方形が描かれています(下表参照)。 ターゲット上にはそれぞれの正方形の幅が明記されています。 このテストターゲットは、ソーダライムガラス基板に真空スパッタリングで低反射のクロム層を形成して作られています。 これらのポジティブターゲットは、イメージングシステム内の距離を校正する際に便利です。
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 ステージミクロメータとテストターゲット |