PN5FC3 - 多段チップ型ピエゾアクチュエータ(3軸、せん断型2個+縦変位型1個)、各軸変位量7.0 µm、5.0 x 5.0 x 18.0 mm、フラットエンドプレート付き | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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