レチクル


  • Crosshair or Concentric Circle Pattern
  • UV Fused Silica Substrate Offers High Transmission
  • 19.0 mm, 21.0 mm, or 1" Diameters

R1DS2P

R1DS3N

Negative

R19DS11P

Positive

Concentric Circles Aid
Centering of Imaged Objects

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General Specifications
Diameter Tolerance+0.0/-0.1 mm
SubstrateUV Fused Silica
Substrate Thickness1.5 mm (0.06")
Surface Flatnessλ at 633 nm
Surface Quality60-40 Scratch-Dig
OD of Chrome Coating (Typ.)3 at 633 nm

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図1. ネガティブのレチクルR1DS3Nと、すりガラス面をレチクルに向けた拡散板DG10-1500。この組合せで、キネマティックアダプタKAD11Fと移動マウントLM1XY(/M)に取り付けられた半導体レーザーモジュールCPS520用のアライメントターゲットを構成しています。光は拡散板の研磨面に入射されています。

特長

  • ポジティブとネガティブの十字線パターン、および同心円パターン
  • Ø19.0 mm、Ø21.0 mm、Ø25.4 mm(Ø1インチ)をご用意
  • UV溶融石英(UVFS)基板
  • 厚さ0.120 µmのクロム層から成るパターン

レチクルはイメージングシステムのアイピースに挿入できるように設計された光学素子で、十字線もしくは同心円のパターンをイメージング対象物に重ねて使用します。 このパターンにより基準位置が示されるので、イメージング対象物を中心に設置することができます。 透過用途で使用されるため、当社のテストターゲットがソーダライムガラス製であるのに対し、レチクルはUV溶融石英基板で作られています。 UV溶融石英基板は、赤外線域からUV域まで高い透過率を有しています。

当社のレチクルの多くはポジティブまたはネガティブのパターンを選択いただけます。 ポジティブのレチクルは、高反射で真空スパッタリングされたクロムパターンが透明な基板にコーティングされており、フロントライトや一般的な用途にお使いいただけます。 ネガティブのレチクルの基板にも同様のクロムコーティングが施されており、パターンは透明です。こちらはバックライトの明るい照明の場合に適しています。

このページでご紹介している全ての製品は、当社のMaryland州Jessupにある半導体デバイス工場で製造しています。 当社では多岐に渡る製造ノウハウで、お客様のニーズに合わせて、イメージングシステムの校正と測定にお使いいただける製品をご提供しております。 パターンは、マスクアライナで接触型フォトリソグラフィによりガラス基板上に加工されています。 パターン加工後には、基板に化学エッチングを施し、クラス100のクリーンルーム内で洗浄します。

当社では、イメージングシステム用のテストターゲット、校正用ターゲット、ステージ用マイクロメータも取り扱っております。


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図3.図1でレーザがミスアライメントされた際のレチクル

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図2. 図1でレーザがアライメントされた際のレチクル
UV Fused Silica Transmission Curve
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1.0 mmのUV溶融石英基板の場合の透過率。
3.2 µmまでの波長については「グラフ」タブをご覧ください。

以下の透過率曲線は、厚さ1.0 mmのUV溶融石英基板を用い、垂直入射で測定されています。 こちらでご紹介しているレチクルは厚みが1.5 mmあるため、実物の透過率は若干低くなります。

UV Fused Silica Transmission Curve
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200 nm~3.2 µmの波長域での透過率

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お気軽に当社まで
ご連絡ください。

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Customization Parameters
Substrate SizeaMin8 mm x 8 mm (5/16" x 5/16")
Max85 mm x 85 mm (3.35" x 3.35")
Substrate MaterialsSoda Lime Glass
UV Fused Silica
Quartz
Coating MaterialReflective or Antireflective Chrome
Coating Optical Density> 3b or > 6c @ 430 nm
Minimum Pinhole/SpotØ1 µm
Minimum Line Width1 µm
Line Width Tolerance-0.25 / +0.50 µm
Maximum Line Density250 lines/mm
  • 基板はご要望のサイズや形状にダイシングが可能です(上記MIN~MAXの範囲内)。
  • UV溶融石英(UVFS)基板と標準的なソーダ石灰ガラス基板の光学濃度(OD)は430 nmで3以上
  • 石英基板と一部のソーダ石灰ガラス基板の光学濃度(OD)は430 nmで6以上

カスタムおよび組み込み用途(OEM用途)向けテストターゲットとレチクル

当社のフォトリソグラフィ設計と製造能力により、様々なパターン素子を作ることが可能です。米国サウスカロライナ州コロンビアにある当社の施設では、テストターゲット、グリッド型歪テストターゲット、レチクルを製造しております。 これらは顕微鏡、イメージングシステム、光学アライメントのセットアップなど様々な用途に適用されてきました。

標準品のテストターゲットやレチクルに加え、ソーダ石灰基板、UV溶融石英(UVFS)基板、石英基板から8 mm x 8 mm~85 mm x 85 mmまでのカスタムクロムパターンのテストターゲット等をご提供可能です。基板はご用途に応じた形状に切断可能です。フォトリソグラフィによるコーティングプロセスにより、1 µmまでのクロムパターンが可能です。下ではサンプルパターンがご覧いただけます。またこの下の例のようにポジパターンとネガパターンで作成可能です。

カスタム仕様のテストターゲットやレチクルのお見積りについては、当社までお問い合わせください。

用途例

  • エッチングレチクル
  • グレースケールマスク
  • 高分解能レチクル
  • 測定用レチクル
  • レクリエーション用スコープ
  • ノッチ付きレチクル
  • アイピース目盛
  • 照明用十字レチクル
  • オブストラクションターゲット
  • 双眼鏡レチクル

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ポジパターンとネガパターンの十字ターゲット

こちらでは当社のエンジニアが推奨するレチクル、テストターゲット、歪みターゲット、校正ターゲットの適切なクリーニング方法をご紹介いたします。

クリーニング手順

  1. できればポリビニルアルコール(PVA)製の清潔な濡れスポンジを使用し、食器用洗剤でレチクルやターゲットの正面と裏面を優しくこすります。
  2. 水ですすぎます。
  3. 清潔で乾燥した空気によるブローで乾かすか、清潔な面にレチクルやターゲットを置いて自然乾燥させます。

タオルや布、またはワイプを使用して拭くことはお勧めしません。汚れがまだ残る場合には、レチクルやターゲットを食器洗剤を混ぜた水溶液に1時間付け置き、必要であればこれを繰り返します。


Posted Comments:
Mark Wilder  (posted 2021-06-25 13:58:05.987)
I've used this reticle extensively in a number of setups, with alignment telescopes and theodolites. I find the crosshair to actually be a bit too narrow to be able to readily see. It would be great if you could make a 20 and/or a 40 micron version.
YLohia  (posted 2021-06-28 10:18:34.0)
Thank you for your feedback. We will consider offering a thicker crosshair in the future.
Carla Coltharp  (posted 2021-02-23 11:50:37.81)
Hi, What is the tolerance for the centration of the pattern relative to the part's outer diameter? Thanks!
YLohia  (posted 2021-02-24 10:08:45.0)
Hello, we do not have a strict tolerance for the centration of the R1D2SN, but we expect it to be off by up to +/-0.25 mm in the worst case scenario.
Daniel Schlenk  (posted 2020-07-17 07:59:34.737)
Dear Sir or Madame, can you also provide customized reticles? Our design would be very simple: A filled circle in the center of a round substrate. Please finde more details below. Thank you for your efforts. Best regards, Daniel Schlenk Color: Black / Dark (visible wavelength range) Reticle Diameter: 46mm (42mm to 48mm possible) Reticle Thickness: about 3.0mm (other thickness possible) 8Design: one filled circle in the center, 6mm diameter. What is the accuracy in the position of the circle? (required: a few µm)
YLohia  (posted 2020-07-17 10:36:00.0)
Hello Daniel, thank you for contacting Thorlabs. Custom reticles can be requested by emailing your local Thorlabs Tech Support team (in your case, europe@thorlabs.com). We will reach out to you directly to discuss this further.
user  (posted 2019-10-02 04:53:29.167)
what is the thickness tolerance of the 1,5mm thick substrate?
YLohia  (posted 2019-10-02 09:52:38.0)
Hello, thank you for contacting Thorlabs. The tolerance on the thickness of the R19DS11P is 1.4986 mm +0.000/-0.2032 mm. The diameter tolerance is +0.0/-0.1 mm.
jijin  (posted 2019-01-31 20:49:47.887)
* Is it possible to get a customized Positive Concentric Circle Reticle
YLohia  (posted 2019-01-31 09:32:42.0)
Hello, thank you for contacting Thorlabs. Custom reticles can be requested by emailing techsupport@thorlabs.com with your exact requirements and order quantity. We will reach out to you directly to discuss this further.
user  (posted 2017-03-16 17:49:03.593)
Negative Crosshair Reticle, 19mm, UVFS and both positive and negative reticles at 0.5" diameter would be very useful/helpful. Thanks!
tfrisch  (posted 2017-03-23 09:55:03.0)
Hello, thank you for contacting Thorlabs. If you are interested in a custom version, please reach out to us at TechSupport@Thorlabs.com, we may be able to offer something suitable for your application.
schneider  (posted 2014-12-09 10:22:11.213)
Hello. I am using the R19DS13P for alignment. Looking at the reticle under a simple microscope and assuming the cicles to be 1mm apart (500µm line separation) the line width seems to be less than 25 µm (10-15µm). Is this correct? From the description:"The pattern is formed from lines that are 25 µm wide."
myanakas  (posted 2015-01-14 02:15:59.0)
Response from Mike at Thorlabs: Thank you for your feedback. The linewidth of the concentric circles should be 10 um, while the linewidth of the crosshairs should be 25 um. We are currently working to get this updated on the website.
michael.wegner  (posted 2013-11-14 12:49:17.18)
Dear Sirs For a high precision alignment telescope built almost solely of Thorlabs components :-) I use your reticles R1DS3N and R1DS3P. Now there is my question: Can you please tell me how precise the shape of the circles is deviating from the ideal circular shape? This question I should answer to my project steering comitee here. Thanks in advance and best Regards Michael Wegner Senior Engineer Metrology Department Swissoptic AG Heerbrugg, Switzerland P.S. Please answer by E-Mail: michael.wegner@swissoptic.com
jlow  (posted 2013-12-11 08:49:51.0)
Response from Jeremy at Thorlabs: The centration tolerance is ±125µm. The outer diameter tolerance is +0.0/-0.2mm. I will contact you via e-mail to discuss about this.
user  (posted 2013-07-07 21:04:15.717)
The custom reticles tab shows some useful reticles. Why don't you sell those too?
tcohen  (posted 2013-07-11 16:24:00.0)
Response from Tim at Thorlabs: Thank you for contacting us! The custom reticles tab was made to describe our capabilities for customs. There is a large tooling cost for releasing a new reticle and so we chose the most popular versions for initial release. We also have more test targets at http://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=4338. We appreciate feedback on designs that would be most useful for you as we continue to release new products. I see that you didn’t leave any contact information but we would be interested in your feedback. To discuss this further please contact us at techsupport@thorlabs.com.

十字線レチクル

Crosshair Pattern
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十字パターン
Reticle in Mounting Adapter
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取付けアダプタSM1AD19に取り付けられたR19DS11P
  • エッジ部分まで伸びた十字線
  • ポジティブ型の十字線レチクルは、Ø19.0 mm、Ø21.0 mm、Ø25.4 mm(Ø1インチ)から選択可能
  • Ø25.4 mm(Ø1インチ)のネガティブ型の十字線レチクルもご用意

当社の十字線レチクルは、イメージング対象物に基準パターンを重ねてご使用いただけます。 幅10 µmの十字線がレチクルの直径にわたって刻印されています。 厚さ1.5 mmのUV溶融石英基板の片面にはクロムめっきが施されており、また、200~1200 nmの波長範囲において90%以上の透過率を有しています。

Ø19.0 mmのレチクルは、取付けアダプタAD19TまたはSM1AD19に挿入することでØ25.4 mm(Ø1インチ)のマウントに取り付け可能です。 AD19Tにはネジ切り加工がないので、標準のØ25.4 mm(Ø1インチ)マウントに取り付け可能です。一方、SM1AD19にはSM1の外径ネジ切り加工があるので、SM1シリーズのネジ付きオプトメカニクス部品に適用できます。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
R19DS11P Support Documentation
R19DS11PCustomer Inspired! Positive Crosshair Reticle, Ø19.0 mm, UVFS
¥8,899
5-8 Days
R21DS5P Support Documentation
R21DS5PCustomer Inspired! Positive Crosshair Reticle, Ø21.0 mm, UVFS
¥8,899
5-8 Days
R1DS3P Support Documentation
R1DS3PCustomer Inspired! Positive Crosshair Reticle, Ø1", UVFS
¥8,899
Today
R1DS3N Support Documentation
R1DS3NCustomer Inspired! Negative Crosshair Reticle, Ø1", UVFS
¥8,899
Today

同心円レチクル

Numbered Concentric Circles
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番号付けされた同心円パターン
Reticle in Mounting Adapter
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取付けアダプタAD19Tに取り付けられたR19DS13P
  • 十字線の上に刻印された1 mm間隔の番号付き同心円
  • ポジティブパターンは、Ø19.0 mm、Ø21.0 mm、Ø25.4 mm(Ø1インチ)から選択可能
  • Ø25.4 mm(Ø1インチ)のネガティブパターンもご用意

同心円レチクルは、中央の十字線と10までの番号が振られた1 mm間隔の同心円から構成されています。 パターンは幅10 µmの線で形成されています。 厚さ1.5 mmのUV溶融石英基板の片面にはクロムめっきが施されており、また、200~1200 nmの波長範囲において90%以上の透過率を有しています。

Ø19.0 mmのレチクルは、取付けアダプタAD19TまたはSM1AD19に挿入することでØ25.4 mm(Ø1インチ)のマウントに取付け可能です。 AD19Tにはネジ切り加工がないので、標準のØ25.4 mm(Ø1インチ)マウントに取付け可能です。一方、SM1AD19にはSM1の外径ネジ切り加工があるので、SM1シリーズのネジ付きオプトメカニクス部品に適用できます。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
R19DS13P Support Documentation
R19DS13PCustomer Inspired! Positive Concentric Circle Reticle, Ø19.0 mm, UVFS
¥8,899
Today
R21DS7P Support Documentation
R21DS7PCustomer Inspired! Positive Concentric Circle Reticle, Ø21.0 mm, UVFS
¥8,899
5-8 Days
R1DS2P Support Documentation
R1DS2PCustomer Inspired! Positive Concentric Circle Reticle, Ø1", UVFS
¥8,899
Today
R1DS2N Support Documentation
R1DS2NCustomer Inspired! Negative Concentric Circle Reticle, Ø1", UVFS
¥8,899
Today