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電動アクチュエータ、移動量25 mm


  • Piezo Inertia, DC Servo, or Stepper Actuators with 25 mm of Travel
  • Load Capacities Up to 55 lbs (25 kg) Available
  • Maximum Speeds Up to 50 mm/s Available
  • Compatible with a Wide Range of Stages

PIA25

Piezo Inertia Actuator

ZFS25B

Compact Stepper Motor Actuator

Z825B

DC Actuator

Z825BV

Vacuum Compatible

DRV225

Trapezoidal Stepper Motor Actuator

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ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量25 mm

コントローラ
KIM101

  • 4つの出力チャンネル(1チャンネルの単独操作または2チャンネルの同時操作が可能)
  • トップパネルによる単体での操作、またはUSB接続によるプラグアンドプレイでPC制御による操作が可能 
  • 出力電圧:85 V~125 V
Item #PIA25
Travel25 mm
Typical Step Sizea20 nm
Maximum Step Sizeb<30 nm
Step Size Adjustabilityc≤30%
Maximum Step Frequencyd2000 Hz
BacklashNone
Maximum Axial Preloade25 N
Recommended Maximum
Axial Load Capacityf
2.5 kg (5.51 lbs)
Velocity
2 mm/min (Typical)
<3.5 mm/min (Maximum)
Drive Screw1/4"-80 Thread, Hard PVD Coated
Motor TypePiezoelectric Inertia
Mounting OptionsØ3/8" (9.525 mm) Barrel
3/8"-40 Threaded Barrel
Operating Temperature10 to 40 °C (50 to 104 °F)
Dimensions2.81" x 1.24" x 0.67”
(71.4 mm x 31.5 mm x 17.0 mm)
Cable Length1.0 m (3.28')
ConnectorSMC, Female
Compatible ControllerKIM101
  • この値は部品のバラツキや方向の変化、および用途によって20%にわたって変動する可能性があります。 
  • この値はコントローラKIM101およびKinesisソフトウェアを用いて双方向に最大30%の調整が可能です。 
  • コントローラKIM101およびKinesisソフトウェアを用いて調整可能です。
  • コントローラKIM101 を使用しています。
  • 軸力をアクチュエータ先端に付加して仕様の刻み幅を実現します。ステップ動作を向上させるために最低でも5 Nのプリロードをお勧めいたします。
  • これ以上の荷重にも耐えられますが、刻み幅の典型値に影響が出ます。 

特長

  • 31.5 mm x 17.0 mm (W x H)の小型設計
  • 20 nmのステップサイズ(典型値)
  • 後部のつまみネジによる手動調整が可能
  • 最大動作電圧:125 V
  • 3/8”-40ネジ、またはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)取付けバレルを使用して移動ステージに取付け可能
  • 移動量10 mm13 mm50 mmのタイプもご用意
  • 高分解能の相対位置決めが必要とされる設定や保持の用途に対応 
  • 制御ケーブルの角度は、最大110°まで調節可能

当社のピエゾ慣性アクチュエータPIA25は、コンパクトなパッケージで、ピエゾ制御でも長い移動範囲を有しており、高分解能の直線移動を可能にします。最大2.5 kgまでの耐荷重です。また、バックラッシュなしで典型的なステップ20 nmを実現するため、最大30 Nのプリロードを付与できます。コントローラKIM101およびKinesis®ソフトウェアを用いて、刻み幅を30%まで、最大約30 nmまでの調整が可能です。ただし、開ループ設計やヒステリシスおよび用途によってシステムの刻み幅は20%程度変動する可能性があります。この変化に対応するために外部フィードバックシステムが必要です。

また、このアクチュエータには当社の様々な移動および回転ステージに対応できるように前面に3/8”-40ネジの付いたØ3/8インチ(Ø9.525 mm)の取付けバレルも付いています。 1/4”-80ネジ付きのミラーマウントには移動量10 mmのピエゾ慣性アクチュエータが対応しています。 このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるので、ナノメートルレベルの分解能や長期にわたるアライメントの安定性を必要とする用途に適しています。ピエゾ素子の駆動中以外はいつでも、後部のつまみネジまたは2 mm六角レンチを使用して手動調整を行うことができます。

Inertia Motor
Click for Details

スペースが限られている用途向けに制御ケーブルの角度を最大110°まで調節可能

長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータにより、このアクチュエータは最大速度3.5 mm/minで作動します。ピエゾモータは、移動中に親ネジの先端を回転させる設計となっています。右の写真のように、各アクチュエータの制御ケーブルは最大で110°回転するのでスペースの限られた空間で使用することができます。  

ピエゾ慣性「スリップスティック」モーターアクチュエータの設計に関する情報は、こちらからご覧いただけます。

必要なコントローラ
当社のピエゾ慣性アクチュエータPIA25の駆動にはコントローラKIM101が必要です。標準的なピエゾコントローラではこのアクチュエータを駆動することはできません。KIM101には鋸波電圧信号発生器が内蔵されています。これにより、85 V~125 Vの振幅を有し、サブミリ秒のパルスを出力可能です。 また、このドライバは個別動作が可能な4つのチャンネルがあるので、ビームステアリングのように複数の電動式アクチュエータを使用する用途に適しています。

詳細については製品紹介ページをご覧ください。


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+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PIA25 Support Documentation
PIA25ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量25 mm、3/8”-40ネジ&Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
¥71,604
Today

ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 25 mm

専用コントローラ
KST101

  • 1 回転につき 49,152 マイクロステップ
  • 12 W、15 Vの出力
  • 台形またはS字型の
    速度プロファイル

特長

  • アクチュエータ先端は非回転式
  • 双極のステッピングモーターアクチュエータ、長さ:150.5 mm
  • Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル付きステージやマウントに対応
  • 移動量6 mmならびに13 mmのタイプもご用意しております。

アクチュエータZST225Bは、150.5 mm長のパッケージ内で滑らかで精密な線形移動制御を実現します。 小径で2相双極のステッピングモータ駆動により、このアクチュエータは最高速度2.0 mm/sで作動します。 アクチュエータ先端の接触点を非回転式にしたため、摩耗や摩擦が低減され、動作の滑らかさが改善されています。 Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルによって取付けが可能です。

このアクチュエータは最大荷重40 N(4 kg)を移動させる十分なトルクを有するステッピングモータを利用します。 それにより、移動範囲全体に渡り非常に小さいステップサイズを可能にしており、また、低いバックラッシュ(<15 µm)ならびに高分解能を有しております。 減速比41:1のギアヘッド設計により、アクチュエータを49,152マイクロステップ/回転の性能を持つステッピングモータードライバTST101と組み合わせると、理論的な移動量は1マイクロステップ毎に0.5 nmとなります(詳細については「計算」タブをご覧ください)。

SpecificationValue
Travel25 mm (0.98")
Backlasha< 15 µm
Repeatability< 5.0 µm
Home Location Accuracy< 5.0 µm
Maximum Load Capacity40 N (8.99 lb)
Speed2.0 mm/s (Max)
Acceleration10 mm/s2 (Max)
Gearbox Ratio29791:729
(Approx 41:1)
Limit SwitchesHall Effect Sensor
Lead Screw Pitch1.0 mm
Motor Type2-Phase Stepper
Microsteps per Revolution
of the Motorb
24 Full Steps, 2048 µsteps per Full Step
49,152 µsteps per Revolution
Calculated Minimum
Incremental Motion
0.5 nm
MountingØ3/8" (9.525 mm) Barrel
Operating Temperature5 to 40 °C (41 to 104 °F)
Cable Length0.6 m (2 ft)
ConnectorHDDB15
Required ControllerKST101
  • バックラッシュによる誤差はソフトウェアの設定を調整することによって補正することができます。
  • 旧製品のT-Cubeステッピングモーターコントローラ TST101を使用して測定。

ホール効果リミットスイッチは、ユニットのオーバードライブを防ぎ、5.0 μm未満の確度でホーミングが可能です。 ZST225Bには、当社のステッピングモーターコントローラKST101に対応する15ピンDサブコネクタ付きの0.6 m長のケーブルが付属します。

ZST225Bには、単軸移動ステージPT1/MXYZ移動ステージPT3/Mなどの当社の精密マイクロメーターヘッドに対応する用途での取付けが可能な標準のØ9.5 mm(Ø3/8インチ)取付け用バレルが付いています。


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手動アジャスタの代わりにアクチュエータZST225Bを取り付けた1インチ移動ステージLNR25

マイクロステップ毎の線形変位量の計算方法

ZST200シリーズモータの各製品の移動量は24フルステップ/回転で、ドライバKST101で駆動した場合では、移動量は2048マイクロステップ/フルステップとなります。 よって、モータ1回転の移動量は49,152マイクロステップとなります。 モータの出力軸のギア比は40.866:1となっています。 これは1.0 mmピッチの送りネジを1回転させるためにモータを40.866回転させる必要があることを意味しています。 最終的に送りネジを1.0 mm移動させるときを想定します。 マイクロステップ毎のアクチュエータの線形変位量は以下の式を用います。


マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量:

マイクロステップ数 x ギア比= 49,152 x 40.866 = 2,008,645.63

マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量は、

1.0 mm / 2,008,645.63 = 0.49 x 10-6 mm = 0.5 nm

となります。

ピン配列

Schematic
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

コネクタのピン配列

PinDescriptionPinDescription
1Limit Ground8Reserved For Future Use
2CCW Limit Switch9Reserved For Future Use
3CW Limit Switch10Vcc (+5 VDC)
4Motor Phase B-11Reserved For Future Use
5Motor Phase B+12Reserved For Future Use
6Motor Phase A-13Reserved For Future Use
7Motor Phase A+14Reserved For Future Use
 -15Ground
Connectors Terminating the Converter Cable
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

Posted Comments:
ruby.mchone  (posted 2015-04-24 16:12:26.65)
Please provide details on designing the mating part to best press fit the actuator mounting the part. Thank you.
bhallewell  (posted 2015-04-27 10:41:06.0)
Response from Ben at Thorlabs: Thanks for your request here Ruby. This is dependent upon the size of the acceptance bore of the particular stage you would intend to mount this actuator to. To mount the stage into a 0.5" hole we hold the item RBA1 an adapter which would encompass the 3/8" barrel on the actuator. I will contact you directly to discuss this.
martien.veekens  (posted 2015-03-11 13:53:36.193)
Dear Mrs./Mr. To add these parts in our systems we need some more information. We could not find it in the available datasheets. Can you inform me about the materials and surface treatments of the below mentioned parts. ZST225B NRT150/M LNR50SE/M LNR50S/M Thanks in advance for your help.
bhallewell  (posted 2015-03-16 11:40:47.0)
Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your request for this information. I will contact you directly to see if I can clarify surface detail to wihtin your requirements.
mszheng  (posted 2014-09-20 12:23:38.257)
I have a brand new ZST225B that becomes scalding hot once plugged in, without any load or movement at all. It is on default settings. This appears to be a defective unit, can you replace it for us?
msoulby  (posted 2014-09-22 08:43:29.0)
Response from Mike at Thorlabs: Our older model of TST001 and stepper actuators have a different current settings which are set in the APT Config utility. We will contact you directly to learn more about your configuration settings as if these are set incorrectly you could inadvertently supply the incorrect moving and rest currents to the motor causing it to overheat.
hamid.jahroudi  (posted 2014-08-04 11:32:48.177)
Hello I need an actuator for moving in 266 nm steps and with constant velocity and minimum error. I saw "Calculated Minimum Incremental Motion" section but I'm worried about backlash of this apparatus. Overally, can I use this apparatus for my Goal? I'm grateful for your help.:)
msoulby  (posted 2014-08-05 05:47:52.0)
Response from Mike at Thorlabs: The calculated minimum increment is a calculation based on the microstep count of the stepper motor when driven with our TST001 controller. In reality the actual minimum incremental will be much larger than the 0.5nm calculated; this is due to friction, load, mechanical slack in the system and backlash. The actuator is however very capable of moving a very low velocities and sub-micron increments. Our software also has built in backlash correction to compensate for any predictable errors to improve the repeatability of the actuator, this setting can be adjusted by the user or even disabled if necessary.
michael.renner  (posted 2014-05-14 16:20:49.24)
Is it possible to fit the actuators to the 10mm barrels of the metric stages (PT3/m) somehow?
cdaly  (posted 2014-05-22 11:36:38.0)
Response from Chris at Thorlabs: It's is not possible to take an existing PT3/M and replace the micrometers with these actuators, but it is possible for us to provide a custom which uses these. Due to the barrel size (10mm) of the metric micrometer used in the standard PT3/M, the hole is to large for the standard 3/8" actuators barrels. This would be possible with the other metric version of the stage though, which do not eed to have the larger hole, such a PT3A or PT1B.
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
ZST225B Support Documentation
ZST225Bステッピングモーターアクチュエータ、移動量 25 mm、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
¥137,580
Today

小型ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 25 mm

専用コントローラ
KST101

  • 1 回転につき 49,152 マイクロステップ
  • 12 W、15 Vの出力
  • 台形またはS字型の
    速度プロファイル

特長

  • 小型で双極のステッピングモーターアクチュエータ:収納時長さ88.5 mm
  • 後部のつまみネジによる手動調整が可能
  • アクチュエータ先端は非回転式
  • Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル付きステージやマウントに対応
  • 移動量6 mmならびに13 mmのタイプもご用意しております。

当社のアクチュエータZFS25Bは、完全収納時88.5 mm長のコンパクトで流線型のパッケージ内で、滑らかで精密な線形移動制御を実現します。 コンパクトな設計によってアクチュエータの端からオプトメカニクス部品までの距離が縮まり、質量の中心が上記のアクチュエータZST225Bよりも接触点に近い位置になります。

小径で2相双極のステッピングモータ駆動により、このアクチュエータは最高速度2.0 mm/sで作動します。 アクチュエータ先端の接触点を非回転式にしたため、摩耗や摩擦が低減され、動作の滑らかさが改善されています。 アクチュエータに電源が供給されない場合、後部のつまみネジを使用して手動調整が可能です。 電源供給中にこのつまみネジを回転させるとアクチュエータのモータが破損する恐れがありますのでご注意ください。 Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルによって取付けが可能です。

電動アクチュエータZFS25Bは最大荷重40 Nを移動させる十分なトルクを有するステッピングモータを利用します。 移動範囲全体に渡り非常に小さいステップサイズを可能にしており、また、低いバックラッシュ(<15 µm)ならびに高分解能を有しております。 減速比400:9のギアヘッド設計により、アクチュエータを49,152マイクロステップ/回転の性能を持つステッピングモータードライバTST101と組み合わせると、理論的な移動量は1マイクロステップ毎に0.46 nmとなります(詳細については「計算」タブをご覧ください)。

SpecificationValue
Travel25 mm (0.98")
Backlasha< 15 µm
Repeatability< 5.0 µm
Home Location Accuracy< 5.0 µm
Maximum Load Capacity40 N (8.99 lb)
Speed2.0 mm/s (Max)
Acceleration10 mm/s2 (Max)
Gearbox Ratio400:9 (Approx 44:1)
Limit SwitchesHall Effect Sensor
Lead Screw Pitch1.0 mm
Motor Type2-Phase Stepper
Microsteps per Revolution
of the Motorb
24 Full Steps, 2048 µsteps per Full Step
49,152 µsteps per Revolution
Calculated Minimum
Incremental Motion c
0.46 nm
MountingØ3/8" (9.525 mm) Barrel
Operating Temperature5 to 40 °C (41 to 104 °F)
Dimensions (L x W x H)88.5 mm x 35.0 mm x 19.0 mm
(3.48" x 1.38" x 0.75")
Cable Length0.6 m (2 ft)
ConnectorHDDB15
Required ControllerKST101
  • バックラッシュによる誤差はソフトウェアの設定を調整することによって補正することができます。
  • 旧製品のT-Cube™ステッピングモーターコントローラ TST101を使用して測定。
  • 詳細については「計算」タブをご覧ください。

ホール効果リミットスイッチは、ユニットのオーバードライブを防ぎ、5.0 μm未満の確度でホーミングが可能です。 ZFS25Bには、当社のステッピングモーターコントローラKST101に対応する15ピンDサブコネクタ付きの0.6 m長のケーブルが付属します(「ピン配列」タブをご覧ください)。

ZFS25Bには、単軸移動ステージPT1/MXYZ移動ステージPT3/Mなど、当社の精密マイクロメーターヘッドに対応する用途での取付けが可能な標準のØ3/8インチ(Ø9.525 mm)取付け用バレルが付いています。下の写真は、移動ステージLNR25ZFSです。これはステージLNR25シリーズの手動アジャスタの代わりに電動アクチュエータ ZFS25Bを取り付けた構成と同じです。


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アクチュエータZFS25Bは移動ステージLNR25ZFSに付属する部品です。

マイクロステップ毎の線形変位量の計算方法

ZFSシリーズモータの各製品の移動量は24フルステップ/回転で、ドライバKST101で駆動した場合では、移動量は2048マイクロステップ/フルステップ、よってモータ1回転の移動量は49,152マイクロステップとなります。 モータの出力軸のギア比は400:9となっています。 これは1.0 mmピッチの送りネジを1回転させるためにモータを44.445回転させる必要があることを意味しています。 最終的に送りネジを1.0 mm移動させるときを想定します。


マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量:

マイクロステップ数 x ギア比= 49,152 x 44.445 = 2184560.64

マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量は、

1.0 mm / 2184560.64 = 0.46 x 10-6 mm = 0.46 nm

となります。

ピン配列

Schematic
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

コネクタのピン配列

PinDescriptionPinDescription
1Limit Ground8Reserved for Future Use
2CCW Limit Switch9Reserved for Future Use
3CW Limit Switch10Vcc (+5 VDC)
4Motor Phase B-11Reserved for Future Use
5Motor Phase B+12Reserved for Future Use
6Motor Phase A-13Reserved for Future Use
7Motor Phase A+14Reserved for Future Use
 -15Ground
Connectors Terminating the Converter Cable
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

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+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
ZFS25B Support Documentation
ZFS25BCustomer Inspired! 小型ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 25 mm、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
¥162,620
Today

高耐荷重ステッピングモーターアクチュエータ、移動量25 mm

Recommended Controllers
BSC201, BSC202, or BSC203

  • 1 回転あたり409,600マイクロステップ
  • 25 W48 Vの出力
  • 台形または
    S字型の速度プロファイル
Key Specificationsa
Travel Range25 mm (0.98")
Unidirectional Repeatability±1.6 µm
Bidirectional Repeatability±3.9 µm
Maximum Pushing Forceb180 N
Maximum Velocity50 mm/s
Maximum Acceleration50 mm/s2
Limit SwitchesHall Effect
Homing Repeatability±3.6 µm
FeedbackNonec
Motor Type2-Phase Stepper Motor
Full Step Angle1.8°
Lead Screw Pitch1.0 mm
Microsteps per Revolution409 600
Actuator Mass0.58 kg
Compatible ControllersBSC201, BSC202, BSC203,
or MST602
  • 詳細についてはマニュアルをご参照ください。
  • ユニットが適切に機能するにはプリロードが必要です。また荷重を押すためだけに使用してください。引くためには使用しないでください。
  • アクチュエータ内ではフィードバック機能はありませんが、ステージLNR50SE/Mを使用することで閉ループ制御が可能となります。

特長

台形ステッピングモーターアクチュエータDRV225は25 mmの移動を行ない、1方向再現性は±1.6 µmです。当社のステッピングモーターコントローラと使用すると、最小ステップサイズは2.4 nm(理論値)、最大速度は50 mm/s得られます。

このハイブリッドステッピングモータのロータは50個の独立した磁極から構成されており、マイクロステッピングの用途に適しています。1回転あたりのフルステップはさらに409,600マイクロステップに分割されます。回転が増加したことにより分解能が向上するだけでなく、マイクロステップにより1.8°ステップ角以下の滑らかな低速移動が可能になり、振動ノイズが低減されました。

ステッピングモーターアクチュエータDRV225には、台形ネジがついており、標準的なネジに比べてより効率的な高荷重動作が可能となります。

このアクチュエータは当社の移動量50 mmのTravelMax手動ステージに対応します。ステージにDRV225を取り付ける際には、2つのM4キャップスクリュ(長さ40 mm、付属品)を使用してモータをステージの側面に取り付けてください。

Motorized Translation Stage
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手動アジャスタの代わりにアクチュエータDRV225を取り付けたLNR50シリーズの50 mm直線移動ステージ

ピン配列

Schematic
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

サブコネクタのピン配列

PinDescription
1Limit Ground/Returna
2CCW Limit Switch
3CW Limit Switch
4Motor Phase B-
5Motor Phase B+
6Motor Phase A-
7Motor Phase A+
8 to 14Reserved for Future Use
15Earth GND
  • リミットスイッチの接地ワイヤはモータ本体に接続されています。
Connectors Terminating the Converter Cable
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

ピン配列

Schematic
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

コネクタのピン配列

PinDescription
1Limit Ground/Returna
2CCW Limit Switch
3CW Limit Switch
4Motor Phase B-
5Motor Phase B+
6Motor Phase A-
7Motor Phase A+
8 to 14Reserved for Future Use
15Earth GND
  • リミットスイッチのアース線は、モータ筐体に接続されています。
Connectors Terminating the Converter Cable
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

マイクロステップ毎の線形変位量の計算方法

アクチュエータDRV225で使われているステッピングモータは、モータが1回転するたびに200のフルステップを行ないます。各フルステップは2048マイクロステップに分割されます。コントローラBSC201を使用した場合、モータ1回転ごとに409,600のマイクロステップとなります。送りネジのピッチは1.0 mmで、これにより1回転あたり1.0 mmの線形移動が可能になります。アクチュエータ1個のマイクロステップの線形変位は、次の式で計算されます。

1.0 mm(1回転あたり) / 409,600マイクロステップ(1回転あたり)= 2.4 x 10-6 mm(1マイクロステップあたり)

1フルステップあたりの線形変位の計算には、409,600200に置き換えてください。


Posted Comments:
Thorlabs  (posted 2010-11-30 08:55:50.0)
Response from Javier at Thorlabs to Olivier: We currently do not have any stages specifically designed to work with the DRV013 actuator. However, you can use it with our LNR50 2" travel stage (http://www.thorlabs.com/NewGroupPage9.cfm?ObjectGroup_ID=2295&pn=LNR50D). I will contact you directly to discuss your application.
olivier.theobald  (posted 2010-11-29 09:49:26.0)
I am interested with this product for a precise xy motorized table. Which tables would you recommand for a 25mm travel ?
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
DRV225 Support Documentation
DRV225NEW!台形ステッピングモーターアクチュエータ、移動量25 mm
¥120,467
3-5 Days

DCサーボモーターアクチュエータ、移動量25 mm

専用コントローラ
KDC101

  • 1 回転につき34,304マイクロステップ
  • 2.5 W、15 Vの出力
  • 台形の速度プロファイル
SpecificationValue
Travel Range25 mm
Backlash< 8 µm
Bidirectional Repeatability< 1.5 µm
Home Location Accuracy±1.0 µm
Homing Repeatability±1.0 µm
Vertical Load Capacity4.5 kg (Max)
Horizontal Load Capacity9 kg (Max)
Vertical Load Capacitya< 4.0 kg
Horizontal Load Capacitya< 7.5 kg
Velocityb2.6 mm/s (Max)
Acceleration4 mm/s2 (Max)
Absolute On-axis Accuracy130 µm
Percentage Accuracy0.52% (Max)
Phase to Phase Resistance33.0 Ω (Max)
Phase to Phase Inductance0.6 mH (Max)
Motor Typec6 VDC Servo
Minimum Achievable Incremental Movement 0.05 µm
Minimum Repeatable Incremental Movement0.2 µm
Mounting BarrelØ3/8" (9.525 mm)
Weight0.134 kg
  • 推奨。
  • 駆動電圧の公称値は6 Vです。パルス幅変調(PWM)で制御された出力では12 Vまで使用できます。
  • 速度2.6 mm/sでは、加速/減速プロファイルのリップルと歪みが発生する可能性があります。制御を改善するには、最高速度は2.3 mm/sに制限する必要があります。

特長

  • 6 VのDCサーボモーターアクチュエータ
  • サブミクロン単位の分解能
  • 最高速度:2.3 mm/秒
  • 多くの移動量25 mmの手動アクチュエータと交換可能
  • Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル付きステージやマウントに対応
  • ゼロ点とアクチュエータ保護用リミットスイッチ
  • 移動量6 mm12 mmもご用意しています

Z8シリーズの電動アクチュエータは、光学位置決め機器との使用向けに設計されています。 これらの製品はコンパクトで軽量なパッケージで高分解能を有するので、光学実験を自動化する用途に適しています。Z825Bは、既存のZ725モータの代替品として設計され、移動距離は25 mmです。

市販のリミットスイッチにより、オーバードライブの防止と精密なホーム位置決めが可能です。Z8モータの動作速度は2.3 mm/秒です。エンコーダの精度は512 カウント/ 回転で、最小分解能は約29 nmとなります。

Z825Bは、単軸移動ステージPT1/M3軸移動ステージPT3/Mと いったØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルクランプ付きステージやミラーマウントの手動アジャスタの代用品として設計されています。

取付けには、既存の手動アジャスタをマウントから取り外してZ8アクチュエータをねじ込んでください。 下の写真は、軸のひとつにZ825Bを装着した3軸ステージPT3(/M)です。

ユニットには、長さ0.5 mのケーブルが付属します。長さ2.5 mの延長ケーブル(PAA632)は別途お買い求めいただけます。

異なる移動量が必要な場合は、移動量6 mmのZ806および移動量12 mmのZ812のアクチュエータをご覧ください。当社では真空度10-6 torrまでに対応するZ825BVもご提供しています。本製品には0.5 mのリボンケーブル、IDCコネクタ、コントローラKDC101用コンバーターケーブルが付属しています。 詳細は下記を参照ください。

DCサーボコントローラKDC101は、 Z8シリーズのアクチュエータに適したドライバです。旧バージョンのTDC001ユニットは、Z8シリーズモータとのご使用前に、ファームウェアを V1.0.10以降のバージョンにアップグレードする必要があります。アップグレードは、最新のAPTServerソフトウェアにより可能です。ソフトウェアは、こちらからダウンロードできます。

Z825B_App
手動アジャスタの代わりに、XYZ移動ステージPT3(/M)に装着されたモーターアクチュエータZ825B

エンコーダーカウントごとの線形変位の計算方法

Z825Bには、モータ1回転につき512のエンコーダーカウントがあります。モータの出力軸のギアヘッド比は 67:1となります。これにより、1.0 mmピッチの親ネジを1回転させるためにモータを67回転させます。その結果、親ネジは1.0 mm前進します。

エンコーダ1回転によるアクチュエータの線形変位は、次の式で示されます。

512 x 67 = 34,304    親ネジ1回転につき34,304エンコーダーカウント

エンコーダ1カウントによる親ネジの線形変位は、

1.0 mm / 34,304 counts = 2.9 x 10-5 mm (29 nm)

となります。

ピン配列

Schematic
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

コネクタのピン配列

PinDescriptionPinDescription
1Ground (Limit and Vcc)8Reserved For Future Use
2Forward Limit9Ident Resistor
3Reverse Limit10Vcc (+5 VDC)
4Reserved For Future Use11Encoder Channel A
5Motor (-)12Reserved for Future Use
6Reserved for Future Use13Encoder Channel B
7Motor (+)14, 15Reserved For Future Use
Connectors Terminating the Converter Cable
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

Posted Comments:
himada  (posted 2018-11-04 21:58:18.32)
Can we remove the spherical tip and attach another tip?
rmiron  (posted 2018-11-05 06:40:18.0)
Response from Radu at Thorlabs: Unfortunately, this is not possible with Z825B. I will relay your question internally so that it is taken into account when we design the next iteration of this product.
chao.he  (posted 2018-06-07 15:19:34.433)
Hi, I am using Z825B and the KDC101 to control. I can understand the calculation process and the resolution. But how could I know how many rotating steps (number on KDC101 display) corresponding to the real distance moving by one direction? For example, if I change the control number from 0 to 0.25 on KDC, what will be the real distance moving by the Z825B induced? Thanks
rmiron  (posted 2018-06-11 05:53:03.0)
Response from Radu at Thorlabs: I am afraid that I do not know what is the number on KDC101's display that you are referring to. By default, the controller only displays the current position in mm or degrees and the reading should be labelled accordingly. Therefore, no conversion should be necessary. I will contact you directly for clarification purposes.
Javier  (posted 2010-06-17 09:47:59.0)
From Javier at Thorlabs to c.j.lee: You may also be interested in our liquid crystal variable retarder. We offer three different versions which cover the 450-1650 nm wvalength range.(http://www.thorlabs.com/NewGroupPage9.cfm?ObjectGroup_ID=3925&pn=LCR-1-IR1&CFID=2840336&CFTOKEN=81043801)
c.j.lee  (posted 2010-06-17 03:18:36.0)
Is the actuator compatible with your babinet-soilet compensators? (e.g. http://www.thorlabs.com/NewGroupPage9.cfm?ObjectGroup_ID=871). If not, is there a way to automate the compensator?
klee  (posted 2009-07-31 23:38:48.0)
Response from Ken at Thorlabs to davymooree: These DC Servo Motor Actuators are only compatible with TDC001.
davymooree  (posted 2009-07-31 19:44:48.0)
Is this actuator compatible with other motor drivers or only the TDC001?
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
Z825B Support Documentation
Z825BDCサーボモーターアクチュエータ、移動量25 mm、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル、0.5 mケーブル付き
¥88,063
Today
PAA632 Support Documentation
PAA632APT DCサーボモータ用ケーブル、Z8シリーズ用、DE15オス型-DE15メス型、2.5 m
¥7,808
Today

真空対応DCサーボモーターアクチュエータ、移動量25 mm

専用コントローラ
KDC101

  • 1回転につき34,304マイクロステップ
  • 2.5 W、15 Vの出力
  • 台形の速度プロファイル
SpecificationsValue
Travel Range25.0 mm
Backlash< 8 µm
Bidirectional Repeatability< 1.5 µm
Home Location Accuracy< 2 µm
Homing Repeatability±1.0 µm
Vertical Load Capacity4.5 kg (Max)
Horizontal Load Capacity9 kg (Max)
Vertical Load Capacitya< 4.0 kg
Horizontal Load Capacitya< 7.5 kg
Velocityb2.6 mm/s (Max)
Acceleration4 mm/sec2 (Max)
Absolute On-axis Accuracy130 µm
Percentage Accuracy0.52% (Max)
Motor Coil Temperature85 °C (Max)
Limit Switch Life Time> 100,000 Cycles
Motor Typec6 VDC Servo
Min Achievable Incremental Movement0.05 µm
Min Repeatable Incremental Movement0.2 µm
Operating Temperature Range41 to 104 °F
(5 to 40 °C)
Vacuum Rating10-6 Torr
Mounting BarrelØ3/8" (9.525 mm)
Weight0.134 kg
  • 推奨
  • 速度2.6 mm/sでは、加速/減速プロファイルのリップルと歪みが発生する可能性があります。制御を改善するには、最高速度は2.3 mm/sに制限する必要があります。
  • 駆動電圧の公称値は6 Vです。パルス幅変調(PWM)で制御された出力では12 Vまで使用できます。

特長

  • 6 VのDCサーボモーターアクチュエータ
  • サブミクロン単位の分解能
  • 最高速度:2.3 mm/秒
  • 移動量12 mmの多くの手動アクチュエータと交換可能
  • Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル付きステージやマウントに対応
  • ゼロ点とアクチュエータ保護用リミットスイッチ
  • 真空度:10-6 Torr
  • 移動量6 mmおよび12 mmもご用意しています。

Z825BVは、Z825Bと同様の性能を有し、かつ真空に対応したDCサーボモータです。このDCサーボモータは、リン銅製の内部結合機構と取付けブッシュ、高真空グリースを備え、真空に対応しています。この製品は真空度10-6 torrまで対応し、IDCコネクタ付きの0.5 m長リボンケーブルが付属します。このケーブルは、1.27 mmピッチ28AWG導線で、FEP(Fluorinated Ethylene Propylene)で絶縁被覆されています。コントローラKDC101用の変換ケーブルも付属していますが、このケーブルは真空対応ではありませんので、チャンバ外でしか使用できません。

Z825BVは、単軸移動ステージPT1/M3軸移動ステージPT3/Mと いったØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルクランプ付きステージやミラーマウントの手動アジャスタの代用品として設計されています。

取付けには、既存の手動アジャスタをマウントから取り外してZ8アクチュエータをねじ込んでください。下の写真は、特注真空対応ステージPT1(/M)に装着された Z825BVです。特注真空対応のステージについては、当社までお問い合わせください。異なる移動距離が必要な場合は、アクチュエータ 移動量6 mmのZ806Vおよび12 mmのZ812V、Z812BVをご検討ください。

Z825BV App shot

特注真空対応ステージPT1(/M)に装着されたモーターアクチュエータ Z825BV

DCサーボコントローラ KDC101は、 Z8およびZ6シリーズのアクチュエータに適したドライバです。旧バージョンのユニットTDC001は、Z8シリーズモータとのご使用前に、ファームウェア をV1.0.10以降のバージョンにアップグレードする必要があります。アップグレードは、最新のAPTServerソフトウェアにより可能です。ソフトウェアは、こちらからダウンロードできます。

エンコーダーカウントごとの線形変位の計算方法

Z825BVには、モータ、1回転につき512のエンコーダーカウントがあります。モータの出力軸のギアヘッド比は 67:1となります。これにより、1.0 mmピッチの親ネジを1回転させるためにモータを67回転させます。その結果、親ネジは1.0 mm前進します。

エンコーダ1回転によるアクチュエータの線形変位は、次の式で示されます。

512 x 67 = 34,304         親ネジ1回転につき34,304エンコーダーカウント

エンコーダ1カウントによる親ネジの線形変位は、

1.0 mm / 34,304 counts = 2.9 x 10-5 mm (29 nm).

となります。

Z825Vに内蔵されている真空対応のケーブル端には、メス型10ピンIDCソケットコネクタが付いています。Z825Vにはこのメス型IDCソケットコネクタをDタイプオス型HD 15ピンコネクタに変換する短いコンバーターケーブルが付属しているので、推奨のコントローラKDC101にアクチュエータを容易に接続できます。このコンバーターケーブル(右の写真には終端コネクタが表示されています)は、真空対応ではありません。 メス型IDCソケットとDタイプオス型HDコネクタ(メス型IDCソケットコネクタ接続時)のピン配列は下の図をご参照ください。

ピン配列

IDC Socket Pin Diagram
10ピン メス型 IDCソケットコネクタ
(Amphenol社製T812シリーズ、
2.54 mmピッチ)
Connectors Terminating the Converter Cable
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10ピン メス型 IDCソケットコネクタ
(Amphenol社製T812シリーズ、
2.54 mmピッチ)

10ピン メス型 IDCコネクタのピン配列

PinDescriptionPinDescription
1Motor (+ve) (6 V)a6Motor (-ve) (6 V)a
2Vcc (+5 V)7Limit Ground
3Encoder Channel A8Reverse Limit
4Encoder Channel B9Forward Limit
5Ground10Reserved for Future Use
  • モータ駆動電圧の公称値は6 Vです。PWM(パルス幅変調)での
    出力制御には最大12 Vまでの電圧がご使用いただけます。

ピン配列

Schematic
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ

オス型 HDDB15コネクタのピン配列

PinDescriptionPinDescription
1Ground (Limit and Vcc)8Reserved For Future Use
2Forward Limit9Ident Resistor
3Reverse Limit10Vcc (+5 VDC)
4Reserved For Future Use11Encoder Channel A
5Motor (-)12Reserved for Future Use
6Reserved for Future Use13Encoder Channel B
7Motor (+)14, 15Reserved For Future Use
Connectors Terminating the Converter Cable
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コネクタにコンバーターケーブルを取り付けた様子。左図は高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ、右図は10ピン オス型 IDCソケットコネクタ。

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+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
Z825BV Support Documentation
Z825BV真空対応DCサーボモーターアクチュエータ、移動量25 mm、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
¥121,966
3-5 Days

グリースキット

特長

  • 1.5 cc 注入器入りのApiezon100グリース
  • 便利でムダのない低価格パッケージ
  • アクチュエータの寿命を延長
  • 使い易いスポイト入り
  • 10-9 Torrまでの真空に対応

このApiezonグリースは、優れた焼き付き防止特性を備えています。潤滑性を高めるためのPTFEが含まれ、当社ののZST、ZFSおよびZ8シリーズのアクチュエータの親ネジを再潤滑するのに適しています。この製品は使いやすい注入器入りで、汎用および10-9 Torrまでの真空用途の両方にお使いいただけます。適する動作温度は10~30°Cです。

:Z8、ZFSおよびZSTモータの親ネジは50,000サイクルまたは6か月ごとに潤滑油を差すことをお勧めします。


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+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
GKZ8 Support Documentation
GKZ8グリースキット、Z8、ZFSおよびZSTアクチュエータ用
¥2,012
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