電動アクチュエーター、移動量10 mm以下


  • High-Resolution Piezo Inertia, Stepper, and DC Servo Actuators
  • Compatible with a Wide Range of Stages
  • Velocities Up to 5 mm/s

MPIA10VF

10 mm Travel, Compact
Piezo Inertia Actuator,
Vacuum Compatible

Z906

6 mm Travel, DC Actuator

DRV208

8 mm Travel,
Stepper Motor Actuator

ZFS06

6 mm Travel, Compact
Stepper Motor Actuator

Related Items


Please Wait
Item #ZFS06ZST206Z906Z906VDRV208MPIA10
PIAK10		MPIA10VF
PIAK10VF
Travel6 mm (0.24")6 mm (0.24")8 mm (0.31")10 mm (0.39")
Motor Type2-Phase StepperDC Servo w/ Encoder2-Phase StepperPiezo Inertia Acuator
Mounting1/4"-80 Thread1/4"-80 ThreadØ3/8" (Ø9.525 mm) Barrel or Ø10 mm Barrel3/16"-100 Thread1/4"-80 Thread3/16"-130 Thread1/4"-100 Thread or Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel
Vacuum RatingN/AN/A10-6 TorrN/AN/A10-6 Torr10-6 Torr
Required ControllerKST201KDC101BSC201, BSC202, BSC203,
or MST602		KIM001 or KIM101

    特長

    • 移動量：10 mm以下
    • ステッピングモータ、サーボモータ、ピエゾ慣性アクチュエータの3タイプをご用意
    • アクチュエータにより先端は回転または非回転
    • ステージやマウントの手動マイクロメータと交換可能

    当社の電動アクチュエータは、光学的な位置決め装置と組み合わせて使用するように設計されています。 これらの製品は軽量なパッケージながら高分解能であるため、要求の厳しい光学システムを自動化するためのデバイスとして適しています。こちらの移動量10 mm以下の電動アクチュエータの駆動機構には、2相ステッピングモータ、エンコーダ付きDCサーボモータ、ピエゾ慣性アクチュエータの3種類のタイプをご用意しています。DCサーボモータまたはピエゾ慣性アクチュエータを用いた真空対応モデルは、10-6 Torrまでの真空でご使用いただけます。各モデルの概要は右の表に、詳細は以下に記載しております。

    Quick Links to Other Motorized Actuators
    10 mm (0.39") or Less Travel12 mm or 13 mm (1/2") Travel25 mm (1") Travel50 mm (2") Travel

    アクチュエータZFS06およびZST206

    ピン配列

    Schematic
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

    高密度D-Sub15ピンコネクタのピン配列

    PinDescriptionPinDescription
    1Limit Ground8Reserved for Future Use
    2CCW Limit Switch9Reserved for Future Use
    3CW Limit Switch10Vcc (+5 VDC)
    4Motor Phase B -11Reserved for Future Use
    5Motor Phase B +12Reserved for Future Use
    6Motor Phase A -13Reserved for Future Use
    7Motor Phase A +14Reserved for Future Use
     -- 15Ground
    Connectors Terminating the Converter Cable
    Click to Enlarge
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

     

    アクチュエータZ906

    ピン配列

    Schematic
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

    高密度D-Sub15ピンコネクタのピン配列

    PinDescriptionPinDescription
    1Ground (Limit and Vcc)9Resistive Identification
    2Forward Limit10+5 VDC
    3Reverse Limit11Encoder Channel A
    4Reserved for Future Use12Reserved for Future Use
    5Motor (-)13Encoder Channel B
    6Reserved for Future Use14Pin 2 Identification EEPROM
    7Motor (+)15Pin 1 Identification EEPROM
    8Reserved for Future Use
    Connectors Terminating the Converter Cable
    Click to Enlarge
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタのピン配列

     

    アクチュエータZ906V

    アクチュエータZ906Vに付いている真空対応の一体型ケーブルの先端には、メス型10ピンIDCソケットコネクタが付いています。アクチュエータZ906Vには、このメス型IDCソケットコネクタと高密度D-Subオス型15ピンコネクタとの間のアダプタとして、短い変換ケーブルが付属しています。これを用いて推奨コントローラであるKDC101に接続することができます。この変換ケーブルの終端コネクタを下の写真に示します。なお、この変換ケーブルは真空には対応しておりません。 メス型IDCソケットコネクタのピン配列と、そのメス型IDCソケットコネクタに接続された高密度D-Subオス型コネクタのピン配列を下の表に示します。

    ピン配列

    IDC Socket Pin Diagram
    メス型10ピンIDCソケットコネクタ
    (Amphenol社製T812シリーズ、2.54 mmピッチ)
    Connectors Terminating the Converter Cable
    Click to Enlarge
    メス型10ピンIDCソケットコネクタ
    (Amphenol社製T812シリーズ、2.54 mmピッチ)

    メス型10ピンIDCソケットコネクタのピン配列

    PinDescriptionPinDescription
    1Motor (+)6Motor (-)
    2Vcc7Limit Ground
    3Channel A8Reverse Limit
    4Channel B9Forward Limit
    5Ground10Not Connected

    ピン配列

    Schematic
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

    Male HDDB15 Connector Pin Out

    PinDescriptionPinDescription
    1Ground (Limit and Vcc)8Reserved For Future Use
    2Forward Limit9Ident Resistor
    3Reverse Limit10Vcc (+5 VDC)
    4Reserved For Future Use11Encoder Channel A
    5Motor (-)12Reserved for Future Use
    6Reserved for Future Use13Encoder Channel B
    7Motor (+)14, 15Reserved For Future Use
    Connectors Terminating the Converter Cable
    Click to Enlarge
    変換ケーブルの両側の終端コネクタ 左の写真は高密度D-Subオス型15ピンコネクタを、右の写真はオス型10ピンIDCソケットコネクタを示しています。

     

    アクチュエータDRV208

    ピン配列

    Schematic
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

    高密度D-Sub15ピンコネクタのピン配列

    PinDescriptionPinDescription
    1Limit Switch 0 V9For Future Use
    2Limit Switch 0 V10+5 V
    3CW Limit Switch11-
    4Motor Phase B -ve12-
    5Motor Phase B +ve13+5 V
    6Motor Phase A -ve14-
    7Motor Phase A +ve15Ground
    8- - -
    Connectors Terminating the Converter Cable
    Click to Enlarge
    高密度D-Subオス型15ピンコネクタ

    例：ステッピングモータで駆動するアクチュエータのマイクロステップあたりの直線移動量に関する計算

    ZFSシリーズのステッピングモーターアクチュエータは、1回転あたり24フルステップです。ドライバKST201で駆動する場合、フルステップあたり2048マイクロステップになるため、モータの1回転あたりでは49 152マイクロステップになります。モータの出力軸はギア比400:9(約44.444:1)のギアヘッドに接続されています。従って、1.0 mmピッチの送りネジを1回転させて1.0 mmの直線移動をさせるには、モータを44.444回転させる必要があります。

    送りネジ1回転あたりのマイクロステップ数は以下のように与えられます。

    マイクロステップ数 x ギア比 = 49 152 x 44.444 = 2 184 511.5マイクロステップ/送りネジ1回転

    また、マイクロステップ毎の送りネジの直線移動量(理論値)は以下の通りです。

    1.0 mm / 2 184 511.5 = 0.46 x 10-6 mm = 0.46 nm.

    ステッピングモータアクチュエータに関する計算のまとめ

    Item #Required DriverFull Steps per RevolutionMicrosteps per RevolutionGearbox RatioDisplacement per Microstepa
    ZFS06KST2012449 15244.444:10.46 nm
    ZST20640.866:10.50 nm
    DRV208BSC201, BSC202, BSC203,
    or MST602    		200409 600N/A2.4 nm
    • これは理論計算値であるため、参照用としてのみご使用ください。アクチュエータの性能を評価する指標としてはご使用いただけません。

     

    例：Z9シリーズサーボモータアクチュエータのエンコーダ分解能に関する計算

    Z9シリーズのサーボモータアクチュエータでは、サーボモータ1回転あたりのエンコーダ出力は512カウントになります。モータの出力軸はギア比67.49:1の遊星ギアヘッドに取り付けられているため、1.0 mmピッチの送りネジを1回転させて1.0 mmの直線移動をさせるには、モータを67.49回転させる必要があります。

    従って、送りネジ1回転あたりのエンコーダ出力数は以下のように与えられます。

    エンコーダ出力数 x ギア比 = 512 x 67.49 = 34 555エンコーダ出力数/送りネジ1回転

    エンコーダの理論分解能、すなわちエンコーダ1カウントあたりの送りネジによる直線移動量(理論値)は、以下のように与えられます。

    1.0 mm / 34 555カウント= 2.9 x 10-5 mm = 29 nm.

    サーボモータアクチュエータに関する計算のまとめ

    Item #Required DriverEncoder Counts per RevolutionGearbox RatioEncoder Resolution
    Z906KDC10151267.49:129 nm
    Z906V

    Posted Comments:
    Marco Baruzzo  (posted 2024-10-22 12:33:59.433)
    Is PIAK10 compatible with K6XS?
    spolineni  (posted 2024-10-29 11:38:00.0)
    Thank you for reaching out with your inquiry. The K6XS mount features 1/4"-80 adjuster screws for pitch, yaw, and z-axis adjustments, and 3/16"-100 screws for x- and y-axis adjustments. The PIAK10 actuator, with its 1/4"-80 threaded barrel, is well-suited for the pitch, yaw, and z-axis adjustments on the K6XS. For x- and y-axis adjustments, we recommend the MPIA10 actuator, as its 3/16"-100 threaded barrel is compatible with those adjustments. I’ll be in touch to discuss your specific requirements and provide any further assistance you may need.
    Franklin Wei  (posted 2022-12-05 00:17:39.137)
    Is there an equivalent of ZFS06 which can be fitted to an SCP05 X-Y 0.5" translation mount? Our application requires a very compact actuator with 1mm of travel in X and Y for automatic confocal pinhole alignment.
    DJayasuriya  (posted 2022-12-05 10:59:25.0)
    Thank you for your inquiry. Unfortuantely we dont have cage mounts that would work with actuators yet. We have got in touch with you directly to discuss your application.
    Franklin Wei  (posted 2022-12-05 00:11:49.243)
    I believe there is an error in the Auto CAD PDF drawing of ZFS06: the callout on the mounting thread says '1/4"-80 UNC', with the 'UNC' meaning unified national coarse threads, but this is incorrect - the national coarse thread pitch for 1/4" is 20 TPI, not 80. I believe '1/4"-80 UNS' would be the appropriate callout here.
    Warren Massey  (posted 2022-08-03 14:02:51.247)
    How many FULL steps per revolution is the motor that is used in this actuator?
    cwright  (posted 2022-08-05 06:33:59.0)
    Response from Charles at Thorlabs: Thank you for your query. There are 24 Full Steps per revolution in the ZFS06 actuator with 2048 µsteps per Full Step, totalling 49,152 µsteps per revolution.
    guanghai zhang  (posted 2020-05-03 09:19:19.12)
    Hellow, can this modtor be controler by BCS101, the last generation controlor? Best, Weili
    DJayasuriya  (posted 2020-05-05 04:39:03.0)
    Thank you for your inquiry. Unfortunately these new motor types are not implemented in our legacy firmware used with BCS101. Sorry
    Filip Munz  (posted 2019-08-20 00:43:57.353)
    Is this Piezo Inertia Actuator (PIAK10) suitable for high vacuum (cca 0.5 mtorr)? Or can we use rather integrated optic mount like KC1-P? The purpose is a sample adjustment in the chamber. Can you provide also a suitable feedthrough (ideally with KF40 dimensions)?
    rmiron  (posted 2019-08-20 05:31:14.0)
    Response from Radu at Thorlabs: Hello Filip. Unfortunately, PIAK10 is completely unsuitable for vacuum applications. However, we are very seriously looking into expanding our range of vacuum-compatible products. I will relay your feedback internally in the hope that it will accelerate the process. In the meantime, you could use POLARIS-K1S2P or POLARIS-K1S3P which are piezo-driven, vacuum compatible, 1" mounts. The Polaris line also contains vacuum-compatible posts. If longer travel ranges are required, you could use our Z812V or Z812BV vacuum-compatible actuators. With regards to feedthroughs, we only offer KF16 & KF25 ones on our website (https://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=12861). However, we could offer KF40 ones as a custom item. If you would like to order such custom feedthroughs, please contact your local technical support team.
    Jin Ic Kim  (posted 2019-03-28 23:06:49.767)
    When I use two PIAK10 in KM100 mirror mount, contact point of one out of two hole is not surface, so there is damage occurs at the tip of actuator as the tip rotates. The other comment is that the actuator seems not return its position when I start at 0 to 20000, then send signal to return 0, sometimes big deviation I have. I'm doing wrong?
    user  (posted 2019-04-03 07:31:30.0)
    Response from Arunthathi at Thorlabs: Thanks for your query. I have contacted you directly requesting for further information to troubleshoot the issue
    alfred  (posted 2016-09-10 13:00:27.96)
    Dear Sir: I come from Chroma ATE Inc. I have some question for this apt™ Stepper Motor Controllers Type:BSC203 with Motor Type :DRV001(see on the motor's connecter) 1.I'd like to know device unit about the motor: (nm/Pulse?) According to ThorLab official specification value: a.Minimum Incremental Movement:60nm/pulse.Does device unit? b.Lead Screw Pitch:0.5mm.Does express motor rotation one circle forward 0.5mm? c.Microsteps per Revolution of Leadscrew:Does express motor rotation one circle need 409600pulse? So (Lead Screw Pitch/Microsteps per Revolution of Leadscrew)=Minimum Incremental Movement,but 1.2nm is not equal 60nm ，why? 2.Kinesis software(Actuator set APT600L X Axis) a.Step Size=0.5mm: motor rotation one circle forward 0.5mm? but autaul half circle I see. b.Travel:8mm ,but I could move 12 mm (show on the current device postion). Does I configuration error? Thank you.
    bwood  (posted 2016-09-12 11:09:51.0)
    Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your feedback. I believe this relates to the conversion between microsteps to real world units. For the DRV001 connected to the BSC203, 1mm equates to 819200µs. I will be in direct contact with you so I can gather more details on your system, and troubleshoot you Kinesis issue in more detail.
    alfred  (posted 2016-09-09 13:13:17.31)
    Dear Sir: I come from Chroma ATE Inc. I have some question for this apt™ Stepper Motor Controllers Type:BSC203 with Motor Type :8 mm Travel Stepper Motor Actuator As I use Win32 development(refernece ThorLab exmaple code),set velocity=3838090,position=1715200,Acceleration=2253,Motor vibration occurs,(unit:device unit) but use Kinesis's APP(Version:1.7.0.0),set velocity=2.5,position=10,Acceleration=2，Motor move smooth,(unit:mm) 1.I'd say that this is not the exact setting we wanted on Win32 code. 2.What number is the Minimum Incremental Movement? Thank you.
    bwood  (posted 2016-09-12 08:36:18.0)
    Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your feedback. The answers to these questions will depend on the specific method you are using to control your BSC203, and the system you are trying to build. We will be in direct contact to get further details on your setup and to discuss how to control the BSC203.
    benju  (posted 2011-03-22 01:53:48.0)
    can this be operated with a t-cube stepper controller as well?
    jjurado  (posted 2011-03-22 09:46:00.0)
    Response from Javier at Thorlabs to benju: Thank you for contacting us with your request. The DRV001 actuators are not compatible with the T-Cube controllers, as they require a higher current input in order to be operated. I will contact you directly for further support.
    jean-thomas.landry  (posted 2009-09-23 11:18:40.0)
    good morning, Is the pdf drawing of drv001 showing it at maximum extension? regards,
    klee  (posted 2009-09-24 10:02:13.0)
    A response from Ken at Thorlabs to jean-thomas.landry: No, the drawing is not showing it at maximum extension. The minimum length is 134mm and the maximum length is 142mm.
    Back to Top

    小型ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 6 mm


    Click to Enlarge
    ミラーマウントKM100。2つのネジアジャスタがそれぞれアクチュエータZFS06に替えられています。
    Item #ZFS06
    Travel6 mm (0.24")
    Backlasha< 15 m
    Bidirectional Repeatability< 5.0 m
    Home Location Accuracy< 5.0 m
    Maximum Load Capacity40 N (8.99 lbs)
    Velocity2.0 mm/s (Max)
    Acceleration10 mm/s2 (Max)
    Gearbox Ratio400:9 (Approx. 44:1)
    Limit SwitchesHall Effect
    Lead Screw Pitch1.0 mm
    Motor Type2-Phase Stepper
    Microsteps per Revolution of the Motorb24 Full Steps
    2048 µsteps per Full Step
    49 152 µsteps per Revolution
    Calculated Minimum Incremental Motionc0.46 nm
    Operating Temperature5 to 40 °C (41 to 104 °F)
    Dimensions (L x W x H)86.5 mm x 35.0 mm x 19.0 mm
    (3.40" x 1.38" x 0.75")
    Cable Length0.6 m (2')
    ConnectorHDDB15
    Required ControllerKST201
    • バックラッシュによる誤差はソフトウェアの設定を調整することで補正できます。
    • 当社のTST101 T-Cube™ステッピングモーターコントローラTST101(旧製品)を使用して測定
    • 詳細は「計算」タブをご覧ください。
    • 小型パッケージ:長さ86.5 mm、完全収納式
    • 後部のつまみネジによる手動調整が可能
    • アクチュエータ先端は非回転
    • 1/4"-80ネジの取付け部を有するミラーマウントと移動ステージに対応
    • 移動量13 mmおよび25 mmの製品もご用意

    当社の電動式アクチュエータZFS06は、完全収納時の長さが86.5 mmのコンパクトなパッケージに収められており、滑らかで精密な直線移動を行うことができます。形状がコンパクトであるため、アクチュエータの先端からオプトメカニクス部品までの距離が短くなり、アクチュエータZST206に比べて質量中心と接触点の距離が短くなります。アクチュエータには1/4"-80ネジ付きのバレルが付いており、1/4"-80ネジの取付け部を有するミラーマウントや位置決めステージに取り付けることができます。

    このアクチュエータは小径の2相バイポーラステッピングモータで駆動することができ、最高速度としては2.0 mm/sが得られます。アクチュエータの先端が非回転で接触するため、摩耗や摩擦が低減されてより滑らかに動作します。アクチュエータに電源を供給していないときは、後部のつまみネジを使用して手動調整をすることも可能です。電源供給中につまみネジを回転すると、アクチュエータのモータが損傷する恐れがありますのでご注意ください。

    アクチュエータZFS06にはステッピングモータが内蔵されており、このモータは最大40 Nまでの負荷に抗して移動させるのに十分なトルクを有しています。全移動範囲にわたり非常に小さいステップサイズで動作できるため、優れた柔軟性、小さなバックラッシュ(＜15 µm)、および高分解能といった特長を実現できます。減速比400:9のギアヘッドを使用しており、49 152マイクロステップ/回転の性能を有するステッピングモータードライバKST201と組み合わせて使用したときは、1マイクロステップあたりの理論上の移動量は0.46 nmになります(詳細は「計算」タブをご覧ください)。

    ホール効果リミットスイッチを用いて、ユニットのオーバードライブの防止と、精度5.0 μm未満での初期位置へのホーミングを実現しています。ZFSシリーズのアクチュエータには長さ0.6 mのケーブルが付いており、その先端には当社のステッピングモーターコントローラKST201に対応する15ピンD-Subコネクタが接続されています(「ピン配列」タブをご覧ください)。これに接続できる、長さ1 mのエクステンションケーブル(PAA614)も別途ご用意しています。

    ZFS06は、1/4"-80ネジの取付け部を有する手動の移動ステージやミラーマウントを特に狭い空間で使用する時に、それらの手動アジャスタの代替品として使用できるように設計されています。取り付ける際は、単純に既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、アクチュエータZFS06をねじ込んでください。右上の写真では、KM100 の2つのつまみネジの代わりに、2つの電動式アクチュエータZFS06が付いています。

    DC Servo Controller
    Click to Enlarge

    必要なコントローラ
    KST201

    • 1 回転につき49 152マイクロステップ
    • 出力電圧15 V、12 W
    • 台形または
      S字型の速度プロファイル
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    ZFS06 Support Documentation
    ZFS06Customer Inspired! 小型ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 6 mm、1/4”-80ネジ
    		￥179,833
    7-10 Days
    Back to Top

    ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 6 mm

    DC Servo Controller
    Click to Enlarge

    必要なコントローラ:
    KST201

    • 1 回転につき49 152マイクロステップ
    • 出力電圧15 V、12 W
    • 台形または
      S字型の速度プロファイル
    Item #ZST206
    Travel6 mm (0.24")
    Backlasha< 15 µm
    Bidirectional Repeatability< 5.0 µm
    Home Location Accuracy< 5.0 µm
    Maximum Load Capacity40 N (8.99 lbs)
    Velocity2.0 mm/s (Max)
    Acceleration10 mm/s2 (Max)
    Gearbox Ratio29 791:729 (Approx. 41:1)
    Limit SwitchesHall Effect
    Lead Screw Pitch1.0 mm
    Motor Type2-Phase Stepper
    Microsteps per Revolution of the Motorb24 Full Steps
    2048 µsteps per Full Step
    49 152 µsteps per Revolution
    Calculated Minimum Incremental Motion0.5 nm
    Operating Temperature5 to 40 °C (41 to 104 °F)
    Dimensions (L x W)111.0 mm x 19.0 mm
    (4.37" x 0.75")
    Cable Length0.6 m (2')
    ConnectorHDDB15
    Required ControllerKST201
    • バックラッシュによる誤差はソフトウェアの設定を調整することで補正できます。
    • 当社のT-Cube™ステッピングモーターコントローラTST101(旧製品)を使用して測定
    • アクチュエータ先端は非回転
    • バイポーラステッピングモーターアクチュエータ：長さ111.0 mm
    • 1/4"-80ネジ付きバレル
    • 1/4"-80ネジの取付け部を有するミラーマウントと移動ステージに対応
    • 移動量13 mmおよび25 mmの製品もご用意

    当社のZSTシリーズのアクチュエータは、111.0 mm長のパッケージ内で滑らかで精密な直線移動を行うことができます。このアクチュエータは小径の2相バイポーラステッピングモータで駆動することができ、最高速度としては2.0 mm/sが得られます。アクチュエータの先端が非回転で接触するため、摩耗や摩擦が低減されてより滑らかに動作します。アクチュエータには1/4"-80ネジ付きのバレルが付いており、1/4"-80ネジの取付け部を有するミラーマウントや位置決めステージに取り付けることができます。

    ZST200シリーズのアクチュエータには全てステッピングモータが内蔵されており、このモータは最大40 Nまでの負荷に抗して移動させるのに十分なトルクを有しています。全移動範囲にわたり非常に小さいステップサイズで動作できるため、優れた柔軟性、小さなバックラッシュ(＜15 µm)、および高分解能といった特長を実現できます。減速比41:1のギアヘッドを使用しており、49 152マイクロステップ/回転の性能を有するステッピングモータードライバKST201と組み合わせて使用したときは、1マイクロステップあたりの理論上の移動量は0.5 nmとなります(詳細は「計算」タブをご覧ください)。

    ホール効果リミットスイッチを用いて、ユニットのオーバードライブの防止と、精度5.0 μm未満での初期位置へのホーミングを実現しています。このアクチュエータには長さ0.6 mのケーブルが付いており、その先端には当社のステッピングモーターコントローラKST201に対応する15ピンD-Subコネクタが接続されています。これに接続できる、長さ1 mのエクステンションケーブル(PAA614)も別途ご用意しています。

    ZST206は、特に1/4"-80ネジの取付け部を有するステージやミラーマウントに付いている手動アジャスタの交換用品として設計されています。り付ける際は、単純に既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、アクチュエータZST206をねじ込んでください。


    Click to Enlarge
    ミラーマウントKM100。2つのネジアジャスタがそれぞれアクチュエータZST206に替えられています。
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    ZST206 Support Documentation
    ZST206ステッピングモーターアクチュエータ、移動量 6 mm、1/4”-80ネジ
    		￥151,517
    Today
    Back to Top

    DCサーボモーターアクチュエータ、移動量6 mm

    Item #Z906
    Travel Range6 mm (0.24")
    Encoder Resolutiona34 555 counts/mm
    (Linear Displacement)
    Maximum Pushing Force45 N
    Homing Repeatability±5 µm
    Uncompensated Backlash6 µm
    Uncompensated Bidirectional Repeatability±3 µm
    Residual Backlash After Compensationb0.1 µm
    Compensated Bidirectional Repeatability±0.3 µm
    Travel Accuracyc6 µm
    Minimum Repeatable Incremental Movement0.2 µm
    Maximum Speedd2.6 mm/s
    Maximum Acceleration4 mm/s2
    Maximum Phase to Phase Resistance33.0 Ω
    Maximum Phase to Phase Inductance0.6 mH
    Tested Lifetimee>100 000 Cycles
    Operating Temperature Range41° to 104° F (5° to 40° C)
    Weight0.13 kg
    Motor TypefDC Servo
    Cable Length485.0 mm (19.09")
    Required ControllerKDC101
    • 詳細は「計算」タブをご覧ください。
    • 内側へ移動する場合、システムはバックラッシュを補正するために、ターゲット位置を超えて300 µm内側まで移動します。
    • デフォルトのバックラッシュ補正は一定の力に対して行われます。
    • 速度を2.6 mm/sまで上げる場合、速度リップルや加減速プロファイルの歪みが発生する可能性があります。制御性能を向上させたいときは、最大速度を2.3 mm/s以下に制限してください。
    • 送りネジに9 Nの負荷をかけて試験しました。
    • 15 V電源のパルス幅変調(PWM)による可変電圧
    • DCサーボアクチュエータr
    • サブマイクロメートルの分解能
    • 最大動作速度：2.6 mm/s
    • 移動量6 mmの様々な手動アクチュエータと交換可能
    • 1/4"-80ネジの取付け部が付いたステージやマウントに取付け可能
    • リミットスイッチ付き(ゼロ点とアクチュエータ保護用)
    • 移動量12 mmおよび25 mmの製品もご用意

    当社の電動アクチュエータZ906は、ミラーマウントやステージのような光学的位置決め装置と組み合わせて使用するように設計されています。 これらの製品は軽量なパッケージながら高分解能であるため、要求の厳しい光学実験システムを自動化するためのデバイスとして適しています。

    電子機械式のリミットスイッチにより、オーバードライブの防止と正確なホーミングの位置決めが可能です。内蔵されているモータは最大速度2.6 mm/sまで動作しますが、仕様に示す制御性能を得るために最大速度を2.3 mm/s以下に制限して駆動することをお勧めします。エンコーダの精度はモータ1回転あたり512カウントで、最小分解能は約29 nmになります。詳細は「計算」タブをご覧ください。

    Z906は、特に1/4"-80ネジの取付け部を有するステージやミラーマウントに付いている手動アジャスタの交換用品として設計されています。取り付ける際は、単純に既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、このアクチュエータをねじ込んでください。下の写真は、片方のネジアジャスタをアクチュエータZ906に交換したミラーマウントKM100です。このユニットには長さ485 mmのケーブルが付いています。 長さ2.5 mのエクステンションケーブル(型番PAA632)も別途ご用意しています。

    DCサーボコントローラKDC101は、Z9シリーズのアクチュエータを駆動するのに必要なドライバです。最新のKinesisまたはXAソフトウェアはこちらからダウンロードいただけます。KDC101をZ9シリーズアクチュエータと組み合わせてご使用いただくには、バージョン2.2.8以上のファームウェアが必要です(バージョン1.14.40以上のKinesisソフトウェアをダウンロードしていただくと付属しています)。旧バージョンのファームウェアでもZ9シリーズを駆動できますが、その場合、アクチュエータはZ8と呼ばれます。

    より大きな移動量が必要な場合には、移動量12 mmのZ912や移動量25 mmのZ925といったアクチュエータをご検討ください。当社では10-6 Torrまでの真空圧力に対応するZ906Vもご提供しています。この製品には長さ485 mmのリボンケーブル、IDCコネクタ、コントローラKDC101用変換ケーブルが付属しています。詳細は下記の製品紹介をご参照ください。

    DC Servo Controller
    Click to Enlarge

    必要なコントローラ：
    KDC101

    • 1回転あたりのエンコーダ出力は34 555カウント
    • 出力電圧15 V、2.5 W
    • 台形の速度プロファイル
    Z906 in Km100
    Click to Enlarge
    View Imperial Product List
    型番数量Description
    Z9061DCサーボモーターアクチュエータ、移動量6 mm、1/4"-80ネジ
    KM1001キネマティックマウント、Ø25 mm～Ø25.4 mm光学素子用
    ME1-P011保護膜付き銀ミラー (円形) -Ø25.4mm -厚さ3.2mm
    PH21Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ2インチ(インチ規格)
    TR21Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ2インチ(インチ規格)
    SH8S0501#8-32ステンレススチール製キャップスクリュ、長さ1/2インチ、50個入り(インチ規格)
    CF1251クランプフォーク、Ø31.8 mm台座ベース用、31.5 mmザグリ穴スロット(ミリ＆インチ規格共用)
    SH25S06311/4"-20ステンレススチール製キャップスクリュ、長さ5/8インチ、25個入り(インチ規格)
    View Metric Product List
    型番数量Description
    Z9061DCサーボモーターアクチュエータ、移動量6 mm、1/4"-80ネジ
    KM1001キネマティックマウント、Ø25 mm～Ø25.4 mm光学素子用
    ME1-P011保護膜付き銀ミラー (円形) -Ø25.4mm -厚さ3.2mm
    PH50/M1Ø12 mm～Ø12.7 mmポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ50 mm(ミリ規格)
    TR50/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ50 mm(ミリ規格)
    SH4MS121M4 x 0.7ステンレススチール製キャップスクリュ、長さ12 mm、50個入り(ミリ規格)
    CF1251クランプフォーク、Ø31.8 mm台座ベース用、31.5 mmザグリ穴スロット(ミリ＆インチ規格共用)
    SH6MS121M6 x 1.0ステンレススチール製キャップスクリュ、長さ12 mm、25個入り(ミリ規格)
    ミラーマウントKM100。片方のネジアジャスタがアクチュエータZ906に替えられています。
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    Z906 Support Documentation
    Z906DCサーボモーターアクチュエータ、移動量6 mm、1/4"-80ネジ
    		￥117,382
    7-10 Days
    Back to Top

    真空対応DCサーボモーターアクチュエータ、移動量6 mm

    Item #Z906V
    Travel Range6 mm (0.24")
    Encoder Resolutiona34 555 counts/mm
    (Linear Displacement)
    Maximum Pushing Force45 N
    Homing Repeatability±5 µm
    Uncompensated Backlash6 µm
    Uncompensated Bidirectional Repeatability±3 µm
    Residual Backlash After Compensationb0.1 µm
    Compensated Bidirectional Repeatability±0.3 µm
    Travel Accuracyc6 µm
    Minimum Repeatable Incremental Movement0.2 µm
    Maximum Speedd2.6 mm/s
    Maximum Acceleration4 mm/s2
    Maximum Phase to Phase Resistance33.0 Ω
    Maximum Phase to Phase Inductance0.6 mH
    Tested Lifetimee> 100 000 Cycles
    Operating Temperature Range41° to 104° F (5° to 40° C)
    Vacuum Rating10-6 Torr
    Weight80 g
    Motor TypefDC Servo
    Cable Length485.0 mm (19.09")
    Required ControllerKDC101
    • 詳細は「計算」タブをご覧ください。
    • 内側へ移動する場合、システムはバックラッシュを補正するために、ターゲット位置を超えて300 µm内側まで移動します。
    • デフォルトのバックラッシュ補正は一定の力に対して行われます。
    • 速度2.6 mm/sでは、速度リップルや加減速プロファイルの歪みが発生する可能性があります。制御性能を向上させるには、最大速度を2.3 mm/s以下に制限してください。
    • 送りネジに9 Nの負荷をかけて試験しました。
    • 15 V電源のパルス幅変調(PWM)による可変電圧
    • 6 VDCサーボアクチュエータ
    • サブマイクロメートルの分解能
    • 最大動作速度：2.6 mm/s
    • 移動量6 mmの様々な手動アクチュエータと交換可能
    • 1/4"-80の取付けネジが付いたステージやマウントに取付け可能
    • リミットスイッチ付き(ゼロ点とアクチュエータ保護用)
    • 10-6 Torrまでの真空度に対応
    • 移動量12 mmおよび25 mmの製品もご用意

    アクチュエータZ906Vは、上記のアクチュエータZ906と同様の特長と仕様を有しますが、さらに10-6までの真空圧力下でご使用いただくことができます。このアクチュエータには、真空対応のサーボモータ、リン青銅製の内部カップリング機構や取付けブッシュ、高真空用グリースなどが使用されています。

    アクチュエータZ906Vには、IDCコネクタの付いた、長さ485 mmの真空対応フラットリボンケーブルが付属しています。このケーブルの導線は標準的なAWG28、ピッチは1.27 mm、絶縁体はフッ化エチレンプロピレン(FEP)です。コントローラKDC101用のコンバーターケーブルも付属していますが、真空対応ではないため、チャンバの外でのみご使用ください。

    DCサーボコントローラKDC101は、Z9シリーズのアクチュエータを駆動するのに必要なドライバです。最新のKinesisまたはXAソフトウェアはこちらからダウンロードいただけます。KDC101を真空対応アクチュエータZ9シリーズに使用するには、ファームウェアバージョンは2.2.8以降、Kinesisソフトウェアバージョンは1.14.44以降であることが必要です。

    より長い移動量が必要な場合には、移動量12 mmのアクチュエータZ912Vや移動量25 mmのアクチュエータZ825BVをご覧ください。真空対応のステージやミラーマウントをご希望の場合は、当社までご相談ください。

    DC Servo Controller
    Click to Enlarge

    必要なコントローラ：
    KDC101

    • 1 回転あたり34,555マイクロステップ
    • 2.5 W、15 Vの出力
    • 台形の速度プロファイル
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    Z906V Support Documentation
    Z906V真空対応DCサーボモーターアクチュエータ、移動量6 mm、1/4"-80ネジ
    		￥153,714
    7-10 Days
    Back to Top

    ステッピングモーターアクチュエータ、移動量8 mm

    NanoMax Modular Actuators
    Click to Enlarge
    DRV208は3軸NanoMaxステージに取り付けることができます。
    Item #DRV208
    Travel8 mm (0.31")
    Unidirectional Repeatability3.6 µm
    Bidirectional Repeatability5.0 µm
    Absolute Accuracy17.1 µm
    Maximum Force180 N
    Maximum Velocity5 mm/s
    Maximum Acceleration5 mm/s2
    Full Step Angle1.8°
    FeedbackNone
    Limit SwitchesHall Effect
    Lead Screw Pitch0.5 mm
    Homing Repeatability13.5 µm
    Motor Type2-Phase Stepper
    Microsteps per Revolution of Leadscrew409 600
    Compatible ControllersaBSC201
    BSC202
    BSC203
    MST602
    • 全移動量:8 mm
    • 最大発生力:180 N
    • アクチュエータ先端は非回転
    • 500 mmのD型コネクタ付きケーブルが付属
    • 3 mのエクステンションケーブルも付属
    • アダプタMCA1またはMCA2を用いて、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)またはØ10 mm取付けバレルに変換可能

    モジュール型ステッピングモーターアクチュエータDRV208は、当社の3軸ならびに6軸NanoMax™フレクシャーステージ用に設計されています。M22 x 0.75のねじ付きフランジにより直接NanoMaxステージに取り付けられるため、要件に応じてアクチュエータを各軸ごとにお選びいただけます。クイック接続アダプタMCA1またはMCA2を用いることで、アクチュエータを標準的なØ3/8インチ(Ø9.525 mm)あるいはØ10 mm取付クランプ付きステージに取り付けることも可能です。さらにアクチュエータDRV208は、ピエゾアクチュエータDRV120 も取付け可能で、組み合わせることにより、電子制御によるピエゾ駆動で20 µmの微動調整が可能になります。

    こちらのアクチュエータの移動範囲は8 mmで、最大速度は5 mm/sです。この強力なステッピングモータードライバの最大発生力は180 Nです。

    モータの後軸にあるローレット付きノブは、アクチュエータの電源がOFFの時に手動アジャスタとして使えます。 なお、開ループシステムにおいてアクチュエータの位置を手動調整した場合、アクチュエータと制御ソフトウェアの位置表示が一致しなくなります。この不一致はホーミング操作を行ってアクチュエータを元の位置(ゼロ)に戻すことで修正できます。これはアクチュエータの電源をONにした直後にも行う操作です。ノブはステッピングモータからの振動を吸収する慣性ダンパとしても機能します。

    ユニットにはステッピングモータをコントローラに接続する15ピンD型コネクタ付きケーブル(長さ500 mm)が付属します。長さ3 mのエクステンションケーブル(型番PAA613も付属します。短いケーブルが必要な場合には、長さ1 mのケーブルPAA612を別途ご用意しています。

    DC Servo Controller
    Click to Enlarge

    コントローラ:
    BSC201, BSC202, or BSC203

    • 1 回転あたり409 600マイクロステップ
    • 25 W、48 Vの出力
    • 台形または
      S字型の速度プロファイル
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    DRV208 Support Documentation
    DRV208モジュール型NanoMaxステッピングモーターアクチュエータ、移動量8 mm
    		￥84,033
    Today
    MCA1 Support Documentation
    MCA1モジュール式クイック接続アダプタ、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)取付用
    		￥3,065
    7-10 Days
    MCA2 Support Documentation
    MCA2モジュール式クイック接続アダプタ、Ø10 mm取付用
    		￥3,065
    7-10 Days
    Back to Top

    ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量10 mm


    Click to Enlarge

    必要なコントローラ:
    KIM001またはKIM101

    • KIM001:シングルチャンネル出力
    • KIM101: 4チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
    • 上面パネルによる単体での操作、またはUSB経由のPC制御が可能
    • 出力電圧:85 V～125 V
    Item #aMPIA10PIAK10
    Travel10 mm (0.39")
    Step Sizeb,c10 - 30 nm (Typ.)
    ≤30 nm (Max)
    Step Size AdjustabilitydUp to 30% Max
    Step Frequency2 kHz
    BacklashNone
    Active Preload13 N Maxe30 N Maxf
    Angular ResolutiongØ1/2" Mirror Mounts:
    <1 rad="" typ="" td="">    		Ø1" Mirror Mounts: 0.5 μrad (Typ.)
    Ø2" Mirror Mounts: 0.3 μrad (Typ.)
    Recommended Max
    Axial Load Capacityh    		N/A2.5 kg (5.5 lbs)
    Speed
    (Continuous Stepping)b,c
    		1.2 - 3.6 mm/min. (Typ.)
    ≤3.6 mm/min. (Max)
    Drive Screw6-80 Thread,
    Hard PVD Coated    		1/4"-80 Thread,
    Hard PVD Coated
    Motor TypePiezoelectric Inertia
    Mounting Feature
    (Auxiliary)    		3/16"-100 Thread with
    Lock Nut    		1/4"-80 Thread with Lock Nut
    (Ø3/8" [Ø9.525 mm] Barrel)
    Operating Temperature10 to 40 °C (50 to 104 °F)
    Dimensions48.9 x 21.4 x 14.6 mm
    (1.93" x 0.84" x 0.57”)    		72.9 x 31.5 x 17.0 mm
    (2.87" x 1.24" x 0.67”)
    Cable Length1.0 m (3.28')
    ConnectorSMC, Female
    Required ControlleriKIM001 or KIM101
    • 仕様値はピエゾ慣性コントローラKIM101を用いて測定しています。
    • 個々のデバイスの性能はこの範囲内でばらつきます。.
    • 一方向に移動している間、各デバイスのステップサイズには20%以下の変動があり、通常それに再現性はありません。開ループ型であるため、コンポーネントのバラツキ、移動方向および使用条件などにより、この変動がさらに大きくなる可能性があります。これはKinesisでの設定に適用されます。
    • ピエゾアクチュエータへの電圧を変えることで調整できます。詳細はコントローラのマニュアルをご参照ください。
    • 軸方向にこれ以上大きな負荷をかけることは可能ですが、ステップサイズが小さくなったり、アクチュエータの動作が止まったりする可能性があります。
    • 軸力をアクチュエータ先端に負荷することで、仕様のステップサイズが得られます。ステップ動作を向上させるために、最小でも5 Nのプリロードを負荷することをお勧めします。
    • アクチュエータMPIA10については、Ø12 mm～Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)ミラーマウントに取り付けて、13 Nの最大プリロードを負荷したときの角度分解能(典型値)を示しています。アクチュエータPIAK10については、Ø25 mm～Ø25.4 mm(Ø1インチ)またはØ50 mm～Ø50.8 mm(Ø2インチ)ミラーマウントに取り付けて、30 Nの最大プリロードを負荷したときの角度分解能(典型値)を示しています。
    • これ以上の水平方向の負荷にも耐えられますが、ステップサイズの典型値が小さくなる可能性があります。.
    • コントローラは別売りです。
    • キネマティックマウントまたはケージシステム用光学マウントに取付け可能な3/16"-100または1/4"-80のネジ付きバレル
    • 小型設計
      • MPIA10: 21.4 mm x 14.6 mm (W x H)
      • PIAK10: 31.5 mm x 17.0 mm (W x H)
    • 最大ステップサイズ(典型値)：30 nm
    • アジャスターネジのノブで手動調整が可能
    • 高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適した製品

    当社の移動量10 mmのピエゾ慣性アクチュエータは、コンパクトながらピエゾによる10 mmの移動と高分解能な直線移動制御が可能です。アクチュエータMPIA10は13 N 、PIAK10は30 Nまでの最大プリロードを負荷することができ、バックラッシュも生じません。このステップサイズは、コントローラKIM101またはKIM101、およびKinesisソフトウェアを用いて、最大ステップサイズ(約30 nm)の30%まで調整が可能です。しかし開ループであるため、ピエゾのヒステリシスや動作方向などの使用条件によって、システムのステップサイズは最大20%程度変化する可能性があり、また一般に再現性もありません。この変動を除去するには外部フィードバックシステムが必要です。

    アクチュエータMPIA10の取付けバレルには3/16"-100ネジが付いており、これで当社の多くのØ12 mm～Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)キネマティックマウントや、30 mmまたは60 mmケージシステム用の光学マウントに取り付けられます。アクチュエータPIAK10の取付けバレルには1/4"-80ネジが付いており、これで当社の多くのØ25 mm～Ø25.4 mm(Ø1インチ)およびØ50 mm～Ø50.8 mm(Ø2インチ)キネマティックマウントに取り付けられます。当社ではØ3/8インチ取付けクランプの付いた移動ステージを駆動できる、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルの付いた移動量13 mm、25 mmおよび50 mmのアクチュエータもご用意しています。

    このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期安定性が必要とされる用途に適しています。ピエゾアクチュエータを用いてアクティブにネジを移動させていないときは、アジャスターネジのノブを用いて手動調整が可能です。ノブは2.0 mm六角レンチでも操作できます。アクチュエータPIAK10の制御ケーブルは、スペースが限られた用途にも対応できるように、その方向を最大110°の範囲で調整できます(こちらアクチュエータPIAK10の制御ケーブルは、スペースが限られた用途にも対応できるように、その方向を最大110°の範囲で調整できます(こちらから拡大写真をご覧いただけます)。

    多段チップ型ピエゾアクチュエータを用いたこれらのアクチュエータの最大動作速度は3.6 mm/分です。このピエゾモータは、移動中は送りネジの先端を回転させるように設計されています。これらのデバイスは、非常に短いパルス幅を使用してアクチュエータを連続的にステッピングし、「スリップ-スティック」という動作をします。そのため、一般に60～70 dB程度の可聴ノイズが発生します。ピエゾ慣性アクチュエータを用いた「スリップスティック」モータの設計については、こちらをご覧ください。

    必要なコントローラ
    当社のピエゾ慣性アクチュエータを操作するにはコントローラKIM001またはKIM101が必要です。これらのコントローラには信号発生器が内蔵されており、85 V～125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルスを出力できます。各アクチュエータには長さ1.0 mのケーブルが付いています。長さ1.5 mの SMCコネクタ付き延長ケーブル(型番PAA101)、およびオス-オスのSMCアダプタ(型番T5026)も別途ご用意しております。注：ケーブルの静電容量のため、制御ケーブルの全長は2.5 mを超えないようにご注意ください。詳細は製品紹介ページをご参照ください。

    Mirror Mount with Piezo Inertia Motors
    Click to Enlarge
    アクチュエータPIAK10を取り付けたØ25 mm～Ø25.4 mm(Ø1インチ)ミラー用マウントKM100
    (それぞれ別売りです)
    Mirror Mount with Piezo Inertia Motors
    Click to Enlarge
    アクチュエータMPIA10を取り付けた30 mmケージシステム用直角キネマティックミラーマウントKCB1(/M)
    (それぞれ別売りです)
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    MPIA10 Support Documentation
    MPIA10Customer Inspired! 小型ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量10 mm、3/16"-100ネジ
    		￥104,106
    7-10 Days
    PIAK10 Support Documentation
    PIAK10ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量10 mm、1/4"-80ネジ
    		￥82,838
    Today
    Back to Top

    真空対応ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量10 mm

    Inertia Motor
    Click to Enlarge
    アクチュエータPIAK10VFを取り付けたミラーマウントKS1TV(それぞれ別売り)
    Mirror Mount with Piezo Inertia Motors
    Click to Enlarge
    アクチュエータMPIA10VFを取り付けたØ12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子用移動マウントPOLARIS-05XY(それぞれ別売り)
    Mirror Mount with Piezo Inertia Motors
    Click to Enlarge
    アクチュエータMPIA10VFを取り付けたØ12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子用マウントPOLARIS-K05 (それぞれ別売り)
    Item #aMPIA10VFPIAK10VF
    Travel10 mm (0.39")
    Step Sizeb,c10 - 20 nm (Typ.),
    ≤30 nm (Max)    		10 - 30 nm (Typ.),
    ≤30 nm (Max)
    Step Size AdjustabilitydUp to 30%
    Step Frequency2 kHz Max
    BacklashNone
    Active Preload13 N Maxe30 N Maxf
    Angular Resolution1.1 μrad (Typ.)g with
    POLARIS-K05
    Ø1/2" Mirror Mount    		0.5 μrad (Typ.) with
    KS1TV Ø1" Mirror Mount
    Recommended Max
    Axial Load Capacity    		N/A2.5 kg (5.5 lbs)h
    Speed
    (Continuous Stepping)b,c    		1.2 - 2.4 mm/min. (Typ.),
    ≤3.6 mm/min. (Max)    		1.2 - 3.6 mm/min. (Typ.)
    ≤3.6 mm/min. (Max)
    Drive Screw6-80 Thread,
    Hard PVD Coated    		1/4"-80 Thread,
    Hard PVD Coated
    Motor TypePiezoelectric Inertia
    Mounting Feature
    (Auxiliary)    		3/16"-130 Thread
    with Lock Nut    		1/4"-100 Thread with Lock Nuti
    (Ø3/8" [Ø9.525 mm] Barrel)
    Operating Temperature10 to 40 °C5 to 40 °C
    Bakeout Temperature130 °C Max
    Dimensions48.9 mm x 20.7 mm x 14.6 mm
    (1.93" x 0.81" x 0.57")    		77.7 mm x 31.5 mm x 17.0 mm
    (3.06" x 1.24" x 0.67")
    Cable Length0.75 m (2.5') Flying Lead for Vacuum,
    1.0 m (3.3') of Coaxial Cable for Wiring Outside Chamber
    ConnectorSMC, Female
    Vacuum Rating10-6 Torr
    Required ControllerjKIM001 or KIM101
    • 仕様値はピエゾ慣性コントローラKIM101を用いて測定しています。
    • 個々のデバイスの性能はこの範囲内でばらつきます。
    • Kinesisで与えられた設定に対して、各デバイスが1方向に移動している間のステップサイズは最大20%変動する可能性があり、また一般にその再現性もありません。開ループ型であるため、コンポーネントのバラツキ、移動方向および使用条件などにより、この変動はさらに大きくなる可能性があります。
    • ピエゾアクチュエータへの電圧を変えることで調整できます。詳細はコントローラのマニュアルをご参照ください。
    • 軸方向にこれ以上の大きな負荷をかけることは可能ですが、ステップサイズが小さくなったり、アクチュエータの動作が止まったりする可能性があります。
    • 軸力をアクチュエータ先端に負荷することで、仕様のステップサイズが得られます。ステップ動作を向上させるために、最小でも5 Nのプリロードを負荷することをお勧めします。
    • 軸方向の最大許容荷重13 Nにおいて
    • これ以上の水平方向の負荷にも耐えられますが、ステップサイズの典型値が小さくなる可能性があります。
    • このアクチュエータは当社のPolarisミラーマウントにはご使用いただけません。
    • コントローラは別売りです。
    • MPIA10VF: 3/16"-130ネジ付き取付けバレル、一部のØ12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子用Polarisマウントに取付け可能
    • PIAK10VF: 1/4"-100ネジ付き取付けバレル、ミラーマウントKS1TVに取付け可能
    • 小型設計
      • MPIA10VF: 20.7 mm x 14.6 mm (W x H)
      • PIAK10VF: 31.5 mm x 17.0 mm (W x H)
    • 最大ステップサイズ(典型値)：30 nm
    • アジャスターネジのノブで手動調整が可能
    • 10-6 Torrまでの真空圧力に対応
    • 高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適した製品

    移動量10 mmの真空対応ピエゾ慣性アクチュエータは、10-6 Torrまでの真空でご使用いただけます。これらはコンパクトなパッケージながら、ピエゾ制御により高分解能での長距離直線移動が可能です。アクチュエータMPIA10VFは13 Nまで、PIAK10VFは30 Nまでの最大プリロードを負荷することができ、バックラッシュも生じません。ステップサイズは、対応するコントローラやKinesis®ソフトウェアを用いて最大30%(約30 nmまで)の調整が可能です。しかし開ループであるため、ピエゾのヒステリシスや動作方向などの使用条件によって、システムのステップサイズは最大20%変動する可能性があり、また一般にその再現性もありません。絶対位置決めを必要とする用途では、外部フィードバックシステムが必要になります。

    アクチュエータMPIA10VFには3/16"-130ネジ付きバレルが付いており、3/16"-130アジャスターネジを使用するØ12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子用Polaris® マウントに取り付けられます。アクチュエータPIAK10VFには1/4"-100ネジ付きバレルが付いており、ミラーマウントKS1TVなどに取り付けられます。なお、アクチュエータPIAK10VFは、1/4"-100アジャスタを使用するマウントであっても、Polarisマウントには対応しませんのでご注意ください。Polarisマウントでは、ボールがサファイアシートの中心に接触し、また全移動範囲でネジに適切なクリアランスが得られるように、特定のボールサイズと特別に設計された先端のアクチュエータを必要とします。アクチュエータPIAK10VFの場合、ボール先端ではなく、ネジの側面がサファイアシートに接触するため、Polarisマウントにはご使用いただけません。当社ではØ3/8インチ取付けクランプの付いた移動ステージに使用できる、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルの付いたアクチュエータ(移動量013 mm、25 mm、50 mm)もご用意しています。

    これらのアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期安定性が共に必要とされる用途に適しています。ピエゾアクチュエータを用いてアクティブにネジを移動させていないときは、アジャスターネジのノブを用いて手動調整が可能です。ノブは2.0 mm六角レンチでも操作できます。

    アクチュエータには長さ0.75 mのリード線が付いており、そのほかに真空チャンバの外での接続用に長さ1.0 mのSMCコネクタ付き同軸ケーブルが付属しています。このリード線とケーブルは必要に応じて切断可能ですが、真空槽の内外を合わせた全長は2.0 mを超えないようにしてください。アクチュエータ PIAK10VFのリード線の位置は最大110°の範囲で回転調整ができるため、スペースが限られた用途にも対応しやすくなっています(写真はこちらをクリック)。

    これらのアクチュエータには長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータが使用されており、最大移動速度として3.6 mm/minが得られます。このピエゾモータは、移動中は送りネジの先端を回転させるように設計されています。ピエゾ慣性技術を用いた「スリップスティック」モータの設計については、こちらをご覧ください。

    必要なコントローラ
    これらのピエゾ慣性アクチュエータを駆動するには、コントローラKIM001またはKIM101が必要です。標準的なピエゾコントローラでは、このアクチュエータを駆動することはできません。これらのドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V～125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。

    詳細はこちらのの製品紹介ページをご参照ください。


    Click to Enlarge

    必要なコントローラ:
    KIM001またはKIM101

    • KIM001: シングルチャンネル出力
    • KIM101: 4チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
    • 上面パネルによる単体での操作、またはUSB経由でのPC制御が可能
    • 出力電圧：85 V～125 V
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    MPIA10VF Support Documentation
    MPIA10VFNEW!Customer Inspired! 真空対応ミニピエゾ慣性アクチュエータ、移動量10 mm、3/16"-130取付けネジ
    		￥136,726
    Lead Time
    PIAK10VF Support Documentation
    PIAK10VFCustomer Inspired! 真空対応ピエゾ慣性アクチュエータ、移動量10 mm、1/4"-100取付けネジ
    		￥119,564
    7-10 Days
    Back to Top

    グリースキット

    • 注入器入りApiezon 100グリース、1.5 cc入り
    • 便利でムダのない低価格パッケージ
    • アクチュエータの寿命を延長
    • 注入しやすい容器入り
    • 10-9 Torrまでの真空に対応

    この Apiezonグリースは、優れた焼き付き防止特性を備えています。このグリースには潤滑性を高めるための PTFEが含まれていて、当社のZST、ZFS、Z9シリーズのアクチュエータの親ネジを再潤滑するのに適しています。 この製品は使いやすい注入器入りで、汎用および10-9 Torrまでの真空用途の両方にお使いいただけます。適する動作温度は 10 ～30 °Cです。

    注： Z9、ZFSおよびZSTシリーズのモータの親ネジは10,000サイクルまたは 6か月ごとに潤滑油を差すことをお勧めします。

    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    GKZ8 Support Documentation
    GKZ8グリースキット、Z9、ZFSおよびZSTアクチュエータ用
    		￥2,941
    7-10 Days
    Back to Top

    ステッピングモーター＆DCサーボモーター用駆動ケーブル

    DRV、ZSTおよびZFSシリーズのステッピングモーターアクチュエータと、Z9シリーズのDCサーボモーターアクチュエータには、必要なコントローラとの接続用ケーブルが付いています。これらのケーブルのエクステンション用としてご使用いただけるケーブルも、別途ご用意しています。

    ステッピングモータ用ケーブル
    当社ではステッピングモーターアクチュエータとコントローラを接続するための様々なケーブルをご用意しております。ZST、ZFSおよびDRVシリーズのステッピングモーターアクチュエータと、BSCシリーズのベンチトップ型コントローラ、K-Cube®コントローラKST201、およびラック型制御モジュールMST602との間の接続をサポートしています。ステッピングモータとコントローラの組み合わせに対して使用可能なケーブルは、下の表をご参照ください。各ケーブルのピン配列については、こちらの製品紹介ページをご覧ください これらのケーブルはコネクタが同じであっても、ピン配列が適合しないモータとコントローラにはお使いいただけませんのでご注意ください。

    DCモータ用ケーブル
    PAA632はZ9シリーズのDCモーターアクチュエータ用のケーブル(長さ2.5 m)です。このケーブルはK-Cube DCサーボモーターコントローラKDC101との接続用として作られています。このケーブルのピン配置はこちらの製品紹介ページをご覧ください。 15ピンコネクタが使われていますが、当社のステッピングモータには対応しておりません。

    KST201 K-Cube ControllerBSC Benchtop Controller and
    MST602 Rack Controller    		KDC101 K-Cube Controllera
    PAA614 (1 m)--
    ZST and ZFS Stepper Motor Actuator
    PAA614 (1 m)bPAA612 (1 m) or
    PAA613 (3 m)    		-
    DRV Series Stepper Motor Actuatorb
    --PAA632 (2.5 m)
    Z9 DC Servo Motor Actuator
    • 緑色で網掛けされた欄はDCサーボモータ用のハードウェアを示しています。
    • K-CubeコントローラKST201は、当社のステッピングモーターアクチュエータDRV225およびDRV250の低速駆動用としてはご利用いただけますが、アクチュエータDRV208にはご利用いただけません。
    +1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
    PAA612 Support Documentation
    PAA612ステッピングモータ用駆動ケーブル、DA15オス型-DE15メス型、1 m
    		￥9,482
    7-10 Days
    PAA613 Support Documentation
    PAA613ステッピングモータ用駆動ケーブル、DA15オス型-DE15メス型、3 m
    		￥11,352
    Today
    PAA614 Support Documentation
    PAA614Customer Inspired! ステッピングモータ用駆動ケーブル、DE15オス型-DE15メス型、1 m
    		￥9,154
    Lead Time
    PAA632 Support Documentation
    PAA632DCサーボモータ用ケーブル、Z9シリーズ用、DE15オス型-DE15メス型、2.5 m
    		￥9,032
    Today
    Additional 電動アクチュエータ
  • 移動量10 mm以下

  • 移動量12 mmおよび13 mm

  • 移動量25 mm

  • 移動量50 mm