Products Home / 電動ステージ / 電動直線移動ステージ(リニアステージ):移動量30 mm / Kinesis®直線移動ステージ(リニアステージ)、移動量30 mm、コントローラー内蔵、ブラシ付きDCサーボモーターKinesis®直線移動ステージ(リニアステージ)、移動量30 mm、コントローラー内蔵、ブラシ付きDCサーボモーター
- 30 mm Linear Travel at Speeds up to 2.4 mm/s
- Integrated DC Servo Motors and Control Electronics
- Bidirectional Repeatability of ±1.0 µm
M30X
30 mm X Translation Stage
M30XY
30 mm XY Translation Stage
Application Idea
The KVS30 30 mm Vertical Servo Stage, M30XY XY Stage, and DDR100 Rotation Stage can be combined for an XYZ-yaw configuration.
Please Wait
| Key Specificationsa | ||
|---|---|---|
| Item # | M30X(/M) | M30XY(/M) |
| Travel | 30 mm (1.18") | 30 mm x 30 mm (1.18" x 1.18") |
| Load (Max) | Horizontal: 5.0 kg (11.02 lbs) Vertical: 2.0 kg (4.41 lbs) | |
| Speed (Max) | 2.4 mm/s | |
| Bidirectional Repeatability | ±1.0 µm | |
| Pitch Angular Deviation | ±100 µrad | |
| Yaw Angular Deviation | ±50 µrad | |
| Dimensions | 115 mm x 115 mm x 25 mm (4.53" x 4.53" x 0.98") | 115 mm x 115 mm x 40 mm (4.53" x 4.53" x 1.57") |
Click to Enlarge
こちらの直線移動ステージには、PC制御と外部トリガ用のコネクタが付いています。
特長
- 1軸および2軸の高精度電動移動ステージ
- USBを介したPCによるリモート操作
- I/Oポートを介した双方向の外部トリガ(5 V TTL)
- DCサーボ駆動による滑らかな直線移動
- Kinesis® 制御用ソフトウェア一式が付属
- M6タップ穴が付いた大型の取付けプラットフォーム
- 日本国内用の電源が付属
- ZまたはXZ移動ステージとするための垂直取付け用ブラケットM30A2/M(別売り)
電動移動ステージM30X/MおよびM30XY/Mは、駆動回路が内蔵されたDCサーボ駆動の直線移動ステージ(リニアステージ)です。全移動範囲にわたり、精密で安定した直線移動による位置調整ができます。 各ステージのモータは、ピッチ方向とロール方向の偏差を最小限に抑えながら、115 mm x 115 mmの大型プラットフォームに取付けられた最大5.0 kgまでの荷重を移動させることができます。再循環ベアリングと光学式リニアエンコーダにより、高い位置決め精度と再現性が得られます。仕様の詳細については、「仕様」タブをご参照ください。
上部プレートには、光学サブアセンブリを取り付けるための25個のタップ穴(M6 x 1.0)が25.0 mm間隔で開いています(「用途例」タブで取付け例をご覧いただけます)。各ユニットのベースにはM6ネジに対応した貫通穴が4つあり、これでステージをブレッドボードに取り付けます。
ステージ側面のUSBポートを介してPCに接続し、当社のKinesis®ソフトウェアを使用して制御することができます。このソフトウェアでは新しい.NETコントロールを使用できるため、最新のC#、Visual Basic、LabVIEW™、あるいはその他の.NET対応言語を使用してカスタムプログラムを作成することもできます。パラメータはPC上で設定でき、またそれをユニット内の不揮発性メモリに保存できます。次にユニットを作動させたときには、それらの設定が自動的に適用されます。詳細については「Kinesisソフトウェア」タブおよび「Kinesisチュートリアル」タブをご覧ください。また、ユニットの2つのI/Oポートを使用して、双方向の外部トリガが可能です。
ユニット日本国内用の電源が付属します。ユニット側面に付いているコネクタは、不用意に接続が外れないように、クランプM30A1を用いて固定することができます。これは、このステージを垂直方向に取り付けたり、あるいは他のステージやアセンブリの上に取り付けるときに有用です。なお、電源(PSU)をコンセントの差込口に接続する前に、PSUとステージを接続しておいてください。ステージのPC制御に必要なUSBケーブルも付属しています。
アクセサリ
直角ブラケットアダプタM30A2/Mを用いてステージM30X/MまたはM30XY/Mを垂直に取り付け、Z軸方向に移動させることができます。このブラケットと複数のステージを組み合わせて、XZやXYZの移動ステージを構築することもできます。ケーブルの支持補強用として、ケーブルクランプM30A1をご利用いただけます。ステージを垂直方向に取り付けたり、ほかのステージやアセンブリの上に取り付けたりするときには、このケーブルクランプの使用を推奨します。
| Specifications | ||
|---|---|---|
| Item # | M30X(/M) | M30XY(/M) |
| Travel | 30 mm (1.18") | 30 mm x 30 mm (1.18" x 1.18") |
| Max Speed | 2.4 mm/s | |
| Acceleration | 5.0 mm/s2 | |
| Bidirectional Repeatability | ±1.0 µm | |
| Backlasha | N/A | |
| Min Incremental Movement | 2.5 µm | |
| Home Location Accuracy | ±1.75 µm | |
| Max Load | Horizontal Mounting: 5.0 kg (11.02 lbs) Vertical Mounting: 2.0 kg (4.41 lbs) | |
| Accuracy | 8 µm | |
| Pitch Angular Deviation | ±100 µrad | |
| Yaw Angular Deviation | ±50 µrad | |
| Horizontal Straightness | ±2.5 µm | |
| Vertical Straightness | ±2.5 µm | |
| Limit Switches | X | X and Y |
| Bearing Type | High Rigidity Recirculating Precision Linear Bearing | |
| Motor Type | Brushed DC Motor | |
| Motor Output | ||
| Motor Drive Voltage | ±15 V | |
| Motor Drive Current (per Axis, Loaded)b | < 100 mA (Horizontal Movement) < 150 mA (Vertical Movement) | |
| Control Algorithm | Digital PID Filter (16 Bit) | |
| Position Counter | 32 Bit | |
| Velocity Profie | Trapezoidal | |
| Input Power Requirements | ||
| Voltage | 15 V Regulated DC | |
| Current | 500 mA (Peak) | |
| General Data | ||
| Operating Temperature | 5 to 40 °C | |
| Dimensions (W x D x H) at Mid Travel | 115 mm x 115 mm x 25 mm (4.53" x 4.53" x 0.98") | 115 mm x 115 mm x 40 mm (4.53" x 4.53" x 1.57") |
| Weight | 0.8 kg (1.76 lbs) | 1.2 kg (2.65 lbs) |
PC接続
USB 2.0 Mini-ABコネクタ
I/O 1MMCX Female | I/O 2MMCX Female |
 | |
| +5 V TTL | +5 V TTL |
| これらのコネクタを外部トリガ信号(5 V TTLレベル)の入力に使用するか、あるいは出力に使用するかは、コネクタごとに独立に設定できます。 | |
| 入力モードにおいては、1.5 V以下の電圧はLowレベル、3.5 V以上の電圧はHighレベルとして認識されます。入力端は弱くプルアップされているため、何も接続されていない入力端はデフォルトではHighレベルになります。弱くプルアップされているため、メカニカルスイッチなどのパッシブ型デバイスを直接入力端子に接続することができます。 | |
| 出力モードでは、ポートは5 Vのプッシュプル動作(最大電流8 mA)を行います。 | |
電源
3.15 mmジャックコネクタ
ステージM30X/Mには下記のコンポーネントが含まれます。
- 1軸移動ステージ
- MMCXオス-BNCオスケーブル(2本)、長さ1.8 m、50 Ω
- USB2.0 A-Mini-Bケーブル、1.5 m、黒
- 15 VDC電源(国内用)
ステージM30XY/Mには下記のコンポーネントが含まれます。
- 2軸移動ステージ
- MMCXオス-BNCオスケーブル(2本)、長さ1.8 m、50 Ω
- USB2.0 A-Mini-Bケーブル、1.5 m、黒
- 15 VDC電源(国内用)
用途例
直線移動ステージM30X/M、M30XY/Mの上部プレートには25.0 mm間隔のタップ穴(M6 x 1.0)があり、当社ではこれに取り付けられる移動ステージをご用意しています。こちらの直線移動ステージは、移動軸を追加してアセンブリを構築できるため、検査、レーザのアライメント、ファイバへの光結合時のアライメント、顕微鏡など、様々な用途にご使用いただけます。 アセンブリの例は下の表でご覧いただけます。
| M30X(/M) and M30XY(/M) Example Assemblies | ||||
|---|---|---|---|---|
| Item #s | M30X(/M) M30XY(/M) M30A1 (Qty. 2) M30A2(/M) | M30XY(/M) M30A1 KVS30(/M) | M30XY(/M) MAX311D(/M) | M30X(/M) M30A1 PY004Z8(/M)a |
| Image (Click to Enlarge) |  |  |  |  |
| Axis Configuration | XYZ | XYZ | XY and XYZ | X and Pitch/Yaw |
| Integrated Controllers |  | | -b | -c |
| Fully Automated | | | | |
| Motor Type | DC Servo | DC Servo | DC Servo Closed-Loop Piezo | DC Servo |
| Vertical Load | 2 kg | 5 kg | 1 kg | 4 kg |
| Travel | 30 mm (X, Y, and Z) | 30 mm (X, Y, and Z) | Servo: 30 mm (X and Y) | ±2.5° (Pitch) ±4.0° (Yaw) 30 mm (X) |
| Piezo: 20 µm +0.2 µm / -0.0µm (X, Y, and Z) Coarse Differential: 4 mm (X, Y, and Z) Fine Differential: 0.3 mm (X, Y, and Z) | ||||
| Repeatability | ±1 µm (X, Y, and Z) | ±1 µm (X and Y) ± 0.12 µm (Z) | Servo: ±1 µm Piezo: ±25 nm | - |
| Accuracy | 8 µm (X, Y, and Z) | 8 µm (X and Y) 0.9 µm (Z) | - | - |
| Velocity | 2.4 mm/s (X, Y, and Z) | 2.4 mm/s (X and Y) 8 mm/s (Z) | - | - |
当社のKinesis®ソフトウェアは、KinesisおよびAPT™シリーズのデバイスの制御にご使用いただけます。小型で低出力のシングルチャンネルドライバ(K-CubeやT-Cubeなど)から、高出力でマルチチャンネルの19インチラックナノポジショニングシステム(APTラックシステム)まで、幅広い種類のモーションコントローラに対応しています。
Kinesisソフトウェアでは新しい.NETコントロールが使用できるため、サードパーティの開発者が最新のC#、Visual Basic、LabVIEW™、あるいはその他の.NETに対応する言語を使用してカスタムプログラムを作成することができます。また、.NETフレームワークを使用しないアプリケーション用にローレベルのDLLライブラリも含まれています。Central Sequence Managerは、当社のすべてのモーションコントロール用ハードウェアの統合と同期をサポートしています。
これらの共通のソフトウェアプラットフォームにより、1種類のソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるAPTおよびKinesisコントローラを1つのアプリケーションの中で簡単に組み合わせることができます。低出力の1軸システムから高出力の多軸システムまでのあらゆるコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御できます。
このソフトウェアパッケージには2つの使い方があります。1つはGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを用いる方法で、商品到着後すぐにコントローラの直接的な操作や制御を行なうことができます。もう1つは一連のプログラミングインターフェイスを用いる方法で、ご希望の開発言語によりカスタム仕様の位置決めやアライメント用のプログラムを簡単に作成することができます。
ソフトウェア
Kinesisバージョン1.14.47
このKinesisソフトウェアパッケージには、KinesisおよびAPT™ システムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。
下記もご用意しております。
- 通信プロトコル
Kinesis用GUI画面
Kinesis®ソフトウェアでは新しい.NETコントロールが使用でき、最新の最新のC#, Visual Basic, LabVIEW™、ほかの.NET対応言語を使用する開発者がカスタムにプログラムを作成することもできます。
C#
このプログラミング言語はマルチプログラミングパラダイムやマルチプログラミング言語が使用可能となるよう設計されているため、複雑な問題が簡単かつ効率的に解決できます。型付け、命令型、宣言型、関数型、ジェネリック、オブジェクト指向、そしてコンポーネント指向が含まれます。 この共通のソフトウェアプラットフォームにより、1セットのソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるKinesisコントローラを簡単に組み合わせることができます。このようにして1軸システムのコントローラから多軸システムのコントローラまで、様々なコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが可能となりました。
Kinesisシステムソフトウェアを使用するには2つの手段があります。コントローラを直接つないで制御を行なう付属のGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティ、またはご希望の開発言語でカスタム仕様の位置決めやアライメントを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。
Kinesisモーションコントロールライブラリの構築の参考となる実行可能なプロジェクト機能拡張例については下のリンクをクリックしてください。なお、Quick Startのプロジェクト例の実行には別の統合開発環境(IDE)(Microsoft Visual Studioなど)が必要です。C#のプロジェクト例はKinesisソフトウェアパッケージに付属する.NETコントロールで実行可能です(詳細は「Kinesisソフトウェア」タブをご覧ください)。
 | Click Here for the Kinesis with C# Quick Start Guide Click Here for C# Example Projects Click Here for Quick Start Device Control Examples | |
LabVIEW
LabVIEWは、.Netコントロールを介してKinesisまたはAPTベースのコントローラとの通信に使用できます。LabVIEWでは、ツールとオブジェクトでフロントパネルとして知られるユーザーインターフェイスを構築した後、グラフィカル表記の関数を使ってコードを追加し、フロントパネルのオブジェクトを制御します。下記のLabVIEWチュートリアルでは.Netコントロールを使用してLabVIEW内KinesisまたはAPT駆動デバイス用の制御GUIを作成するための情報をご提供しています。 LabVIEWでコントローラを制御する基本的な方法や、LabVIEW GUIを用いてデバイスを操作する前に行うべき設定の手順についても解説しています。
 | Click Here to View the LabVIEW Guide Click Here to View the Kinesis with LabVIEW Overview Page | |
| Posted Comments: | |
user
(posted 2023-10-12 13:55:03.793) Hi, trying to code a M30X/M in LabVIEW and due to it having integrated control, wondering which DLL to use in LabVIEW, as its not clear. do'neill
(posted 2023-10-20 09:16:50.0) Response from Daniel at Thorlabs. The DLL that is needed is Thorlabs.MotionControl.Benchtop.DCServoCLI.dll. This due to the fact these share a lot more functionality with these benchtop device rather than the integrated stages. Jia-Jung Ho
(posted 2023-06-26 15:38:52.303) Hi,
We have a brand new M30X/M and it is experiencing some weird jittering issue. Whenever we start the movement (or even homing), the stage start to show a buzzling sound and the Kinesis software indicating an error. The stage is then disabled on the Kinesis software.
We are suspecting maybe there is a short. Since I have once touched the metal railing with a metal piece and trigger such buzzling.
Please help us fix this issue.
Thank you very much,
JJ fguzman
(posted 2023-06-27 05:01:16.0) Thanks for your enquiry. Sorry to see you are having problems with your stage. We will contact you directly to troubleshoot this further and check your application. |
電動リニアステージ
電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。
ピエゾステージ
これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。
| Piezoelectric Stages | ||||
|---|---|---|---|---|
| Product Family | ORIC® PDXZ1 Closed-Loop 4.5 mm Vertical Stage | ORIC® PD2 Open-Loop 5 mm Stage | ORIC® PDX2 Closed-Loop 5 mm Stage | |
| Click Photo to Enlarge |  |  |  | |
| Travel | 4.5 mm | 5 mm | ||
| Speed | 1 mm/s (Typ.)a | 10 mm/s (Typ. Max)b | 8 mm/s (Typ.)c | |
| Drive Type | Piezoelectric Inertia Drive | |||
| Possible Axis Configurations | Z | X, XY, XYZ | ||
| Mounting Surface Size | 45.0 mm x 42.0 mm | 13 mm x 13 mm | ||
| Additional Details | ||||
| Piezoelectric Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | ORIC® PD1 Open-Loop 20 mm Stage | ORIC® PD1D Open-Loop 20 mm Monolithic XY Stage | ORIC® PDX1 Closed-Loop 20 mm Stage | ORIC® PD3 Open-Loop 50 mm Stage | |
| Click Photo to Enlarge |  |  |  |  | |
| Travel | 20 mm | 50 mm | |||
| Speed | 3 mm/s (Typ. Max)a | 20 mm/s (Typ. Max)b | 10 mm/sc | ||
| Drive Type | Piezoelectric Inertia Drive | ||||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | |
| Mounting Surface Size | 30 mm x 30 mm | 80 mm x 30 mm | |||
| Additional Details | |||||
| Piezoelectric Stages | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | Nanoflex™ 20 µm Stage with 5 mm Actuator | Nanoflex™ 25 µm Stage with 1.5 mm Actuator | Elliptec® 28 mm Stage | Elliptec® 60 mm Stage | LPS710E 1.1 mm Vertical Stage | |
| Click Photo to Enlarge |  |  |  |  |  | |
| Travel | 20 µm + 5 mm Manual | 25 µm + 1.5 mm Manual | 28 mm | 60.0 mm | 1.1 mm | |
| Maximum Velocity | - | 180 mm/s | 90 mm/s | - | ||
| Drive Type | Piezo with Manual Actuator | Resonant Piezoelectric Motor | Amplified Piezo | |||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X | Z | |||
| Mounting Surface Size | 75 mm x 75 mm | 30 mm x 30 mm | 15 mm x 15 mm | 21 mm x 21 mm | ||
| Additional Details | ||||||
ステッピングモーターステージ
こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。ステージの多くは多軸構成(PLSXY)や、多軸ステージ(PLSX、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)への組み込みが可能です。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。
| Stepper Motor Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | PLSX with and without PLST(/M) Top Plate 1" Stage | PLSXY with and without PLST(/M) Top Plate 1" Stage | LNR Series 25 mm Stage | LNR Series 50 mm Stage | |
| Click Photo to Enlarge |  |  |  |  | |
| Travel | 1" | 25 mm | 50 mm | ||
| Maximum Velocity | 7.0 mm/s | 2.0 mm/s | 50 mm/s | ||
| Possible Axis Configurations | X, XY | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | ||
| Mounting Surface Size | 3" x 3" | 60 mm x 60 mm | 100 mm x 100 mm | ||
| Additional Details | |||||
| Stepper Motor Stages | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | NRT Series 100 mm Stage | NRT Series 150 mm Stage | LTS Series 150 mm Stage | LTS Series 300 mm Stage | MLJ250 50 mm Vertical Stage | |
| Click Photo to Enlarge |  |  |  |  |  | |
| Travel | 100 mm | 150 mm | 150 mm | 300 mm | 50 mm | |
| Maximum Velocity | 30 mm/s | 50 mm/s | 3.0 mm/s | |||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | Z | |||
| Mounting Surface Size | 84 mm x 84 mm | 100 mm x 90 mm | 148 mm x 131 mm | |||
| Additional Details | ||||||
DCサーボモーターステージ
脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。
| DC Servo Motor Stages | ||||
|---|---|---|---|---|
| Product Family | MT Series 12 mm Stages | PT Series 25 mm Stages | MTS Series 25 mm Stage | MTS Series 50 mm Stage |
| Click Photo to Enlarge |  |  |  |  |
| Travel | 12 mm | 25 mm | 25 mm | 50 mm |
| Maximum Velocity | 2.6 mm/s | 2.4 mm/s | ||
| Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | ||
| Mounting Surface Size | 61 mm x 61 mm | 101.6 mm x 76.2 mm | 43 mm x 43 mm | |
| Additional Details | ||||
| DC Servo Motor Stages | ||||
|---|---|---|---|---|
| Product Family | M30 Series 30 mm Stage | M30 Series 30 mm Monolithic XY Stage | M150 Series 150 mm XY Stage | KVS30 30 mm Vertical Stage |
| Click Photo to Enlarge |  |  |  |  |
| Travel | 30 mm | 150 mm | 30 mm | |
| Maximum Velocity | 2.4 mm/s | X-Axis: 170 mm/s Y-Axis: 230 mm/s | 8.0 mm/s | |
| Possible Axis Configurations | X, Z | XY, XZ | XY | Z |
| Mounting Surface Size | 115 mm x 115 mm | 272.4 mm x 272.4 mm | 116.2 mm x 116.2 mm | |
| Additional Details | ||||
ダイレクトドライブステージ
こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。
| Direct Drive Stages | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Product Family | DDS Series 50 mm Stage | DDS Series 100 mm Stage | DDS Series 220 mm Stage | DDS Series 300 mm Stage | DDS Series 600 mm Stage |
| Click Photo to Enlarge |  |  |  |  |  |
| Travel | 50 mm | 100 mm | 220 mm | 300 mm | 600 mm |
| Maximum Velocity | 500 mm/s | 300 mm/s | 400 mm/s | 400 mm/s | |
| Possible Axis Configurations | X, XY | X, XY | X | X | |
| Mounting Surface Size | 60 mm x 52 mm | 88 mm x 88 mm | 120 mm x 120 mm | ||
| Additional Details | |||||
ズーム
Click for Details
ステージの図面
- 30 mmの直線移動
- 双方向再現性: ±1.0 µm
- 最小移動量: 2.5 µm
- デッキ高: 25 mm
- USB経由でのPCによるリモート制御
- I/Oポートを介した双方向の外部トリガ(5 V TTL)
こちらの1軸電動移動ステージは、距離30 mmの安定した精密直線移動と、滑らかで再現性の高い動作が可能です。115 mm x 115 mmの大型のプラットフォームに最大5.0 kgまでの負荷を搭載し、最大速度2.4 mm/sで移動できます。
USBコネクタを介して、Kinesis® 制御用ソフトウェア(一式)によるPC制御が可能です。2つのI/Oポートにより、双方向での外部トリガ(5 V TTL)が可能です。それらのポート用に、各ステージにはケーブルCA3272が2本付属します。交換用のケーブルは別売りでご提供しています(下記参照)。ステージには国内用電源が付属します。
ズーム
Click for Details
ステージの図面
- XおよびY方向の移動量: 30 mm
- 双方向再現性: ±1.0 µm
- 最小移動量: 2.5 µm
- デッキ高: 40 mm
- USB経由でのPCによるリモート制御
- I/Oポートを介した双方向の外部トリガ(5 V TTL)
こちらの2軸電動移動ステージは、1軸あたり距離30 mmの安定した精密直線移動と、滑らかで再現性の高い動作が可能です。115 mm x 115 mmの大型のプラットフォームに最大5.0 kgまでの負荷を搭載し、最大速度2.4 mm/sで移動できます。ステージM30XY/Mはモノリシック構造のため、分解して2つの1軸ステージにすることはできませんのでご注意ください。
USBコネクタを介して、Kinesis® 制御用ソフトウェア(一式)によるPC制御が可能です。2つのI/Oポートにより、双方向での外部トリガ(5 V TTL)が可能です。それらのポート用に、各ステージにはケーブルCA3272が2本付属します。交換用のケーブルは別売りでご提供しています(下記参照)。ステージには国内用電源が付属します。
ズーム
Click to Enlarge
ケーブルクランプM30A1を取付けたステージM30XY(/M)(それぞれ別売りです)
- Z, XZまたはXYZ軸の移動ステージを構築するための垂直取付け用ブラケットM30A2/M
- ケーブル保持用クランプM30A1
直角ブラケットM30A2/Mは、ステージM30X/MおよびM30XY/Mの垂直取付用として設計されています。各ステージのベースの四隅に取付へ穴が付いており、4本のM6 x 1.0キャップスクリュで取付けブラケットに固定できます。精密にアライメントできるように、各面にはØ3 mm位置決めピン用の穴があります。ステージを垂直方向に動かす場合は、特定の方向で直角ブラケットに取り付ける必要があります。詳細についてはマニュアルをご覧ください。垂直方向に取り付けるときには、接続されたケーブルの支持用としてケーブルクランプM30A1を使用することをお勧めします。なお、M30X/MまたはM30XY/Mを垂直移動用に取り付けた場合は、耐荷重は2.0 kgに減少します。
ケーブルクランプM30A1を用いると、ステージM30X/MおよびM30XY/Mに接続されたケーブルを、さらにしっかりと保持できます。ステージを垂直方向に取り付けたり、ほかのステージやアセンブリの上に取り付けたりするときには、このケーブルクランプの使用を推奨します。
ズーム- 移動ステージM30X/M、M30XY/Mのトリガーポート用ケーブル
- MMCXオスとBNCまたはSMAオスコネクタ付き
- 周波数範囲:DC～6 GHz
- インピーダンス：50 Ω
- 最大動作電圧：170 V
こちらのケーブルを用いると、ステージM30X/MおよびM30XY/MのI/Oポート経由で、それらとの外部トリガ信号の入出力ができます。ケーブルCA3339(長さ1 m)およびCA3272(1.8 m)にはBNCオスコネクタ、CA3439(長さ1 m)にはSMAオスコネクタが付いています。
 直線移動、1軸＆2軸: 移動量30 mm |