ピエゾ慣性ステージ用コントローラー ORIC®


  • Open- and Closed-Loop Operation Available
  • High Positioning Resolution Up to 10 nm
  • Piezo Inertia Linear and Rotation Stages Supported
  • Multiple Controllers can be Linked to Drive Multiple Stages

PDXC

Software Package Provides GUI, Drivers, and Third-Party Programming Support

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Piezo Inertia Drive Stage
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PDXCの前面および背面
(詳細は「ピン配列」タブをご覧ください)

特長

  • 開ループおよび閉ループの両動作をサポート
  • SMCおよび15ピンDサブポートが使用可能
  • ピエゾ慣性アクチュエータを装備した直線移動ステージおよび回転ステージに対応
  • モジュール式のリニア増幅器と高出力電源との組み合わせにより、ピーク電流10 Aの供給が可能
  • 高電流と最適化された波形との組み合わせにより、ステージを最大20 mm/sで安定駆動
  • 10 nmの最高位置分解能
  • 閉ループモード時には、最適化されたPIDパラメータにより±2%の速度偏差を実現
  • 閉ループモードでの動的調整により、ステージを任意の位置に10 nm以内で停止可能
  • 数台のコントローラを同時に動作させ、複数のステージを同時に制御するデイジーチェーンモードをサポート
  • デイジーチェーンモードではデバイス間の時間遅延が低減

当社のピエゾ慣性ステージ用コントローラORIC®は、エンコーダ付きのピエゾ慣性直線移動ステージPDX1/M用に設計されており、前面パネルの15ピンDサブポートを介してコントローラに接続することで、開ループおよび閉ループの何れのモードでも駆動することができます。コントローラの前面パネルにはSMCポートも2つあり、当社の開ループ方式のピエゾ慣性直線移動ステージPD1/M(1軸)とPD1D/M(2軸)、およびピエゾ慣性回転ステージPDR1/Mを駆動できます。ステージPD1/MまたはPDR1/Mを2台まで、同じステップサイズで同じ方向に同時に駆動できます。

内蔵のソフトウェアにより、ユニット上のボタン、LCDディスプレイ、ノブ、または外部トリガ信号を使用することでフル操作が可能です。この便利なローカル制御では、DサブとSMC間での出力モードの切り替え、開ループ動作と閉ループ動作の切り替え、ホーミングやエンコーダの校正などを、PCに接続せずにユニットのLCD画面を用いて行うことができます。一般的なHIDマウスを前面パネルのUSBポートに接続し、ホイールを前後にスクロールしてステージの動きを制御することもできます。このコントローラは、背面パネルのUSBまたはRS-232ポートを介して、ソフトウェアプラットフォームを用いてPCによる遠隔制御を行うこともできます。

デイジーチェーンモードは複数のコントローラをRJ-45ケーブルで接続することでアクティブ化でき、それにより複数のステージを低遅延で動かすことができます。エンコーダ付きステージの外部I/O制御も、9ピン I/Oポートを介して行うことができます。これには、ステージ位置のアナログ入出力信号やトリガ入出力信号が含まれます。Trigger In、Trigger Out、Analog In、およびAnalog Outの各ピンからの信号をBNCに分岐するためのI/Oケーブルが付属します。シングルまたはマルチチャンネル動作をサポートする複数の外部トリガーモードが内蔵されており、ラスタ走査のような1軸以上の動作を必要とする用途にも対応できます。

ユニットには日本国内用の電源コードが付属します。すべての用途において、お手持ちの電源ソケットに適したプラグの付いたIEC320準拠の電源コードをご使用ください。また、背面パネルに記載された定格電圧が日本国内の電源に合致し、適切なヒューズが取り付けられていることをご確認ください。コントローラPDXCは、100~240 VAC、50~60 Hzの電源に対応しています。

Piezo Inertia Drive Stage
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PDXCの外観図 詳細については「ピン配列」のタブもご参照ください。

Performance Specificationsa
SMC PortNumber of PortsTwo
Voltage0 to 40 V
Frequency20 kHz Max
D-Sub PortNumber of PortsOne
Voltage-10 to 50 V
Frequency20 kHz Max
Max Current Limit10 A
Front USBType A, USB Host 2.0
Back USBType B, USB Device 2.0
I/O PortVoltage of Analog In/Out-10 to 10 V, ±2%
Voltage of Trigger In/Out0 to 5 V, TTL
Daisy Chain PortsTwo RJ-45 Ports
Dimensions (L x W x H)314.2 mm x 150.0 mm x 83.7 mm
(12.37” x 5.91” x 3.30”)
Weight5 kg
Operating Temperature10 - 35°C
Input Power100 - 240 VAC, 50 - 60 Hz
Compatible StagesPDX1(/M)
PD1(/M)b
PD1D(/M)b
PDR1(/M)b
  • 全てのポートについての情報は、「ピン配列」タブをご覧ください。
  • PDXCはコントローラKIMx01よりも高い周波数で動作しますが、最大出力電圧は低くなります。そのため、ステージPD1/MおよびPDR1/Mを小さなステップサイズで高速に駆動できますが、駆動する力/トルクは小さくなります。

PDXCの前面パネル

15ピン Dサブ

ステージPDX1/M用

D-SUB 15
開ループおよび閉ループ動作用:最高分解能10 nm、最大速度20 mm/s
Pin(s)Voltage RangeNameDescription
1-7.5 to +12.5 VEncoder_B_NEncoder B-
2-7.5 to +12.5 VEncoder_B_PEncoder B+
30 VGNDDigital Ground
4-7.5 to +12.5 VEncoder_A_NEncoder A-
5-7.5 to +12.5 VEncoder_A_PEncoder A+
6,7--Reserved
8+5 V+5 V5 V Power
9-7.5 to +12.5 VEncoder_Z_NEncoder Z-
10-7.5 to +12.5 VEncoder_Z_PEncoder Z+
11-10 to +50 VSigOut2Piezo Output 2
120 VPGNDPower Ground
13-10 to +50 VSigOut1Piezo Output 1
145 V TTLEEPROM1-Wire EEPROM
15--Reserved

CH1 & CH2
SMCオス

ステージPD1/M、PD1D/M、PDR1/M用

SMC Male
0~40 V
SMCポートは開ループステージの制御用にご使用いただけます。

USB Type A

USB Type A
一般的なHIDマウスを接続し、ホイールを前後にスクロールしてステージの動きを制御することができます。開ループ動作に設定されている場合は、デバイスはスクロールするたびに設定されたパルス数だけ移動します。閉ループ動作に設定されている場合は、スクロールするたびに設定されたステップ距離だけ移動します。

PDXCの背面パネル

2つのRJ-45ポート

SMC Male
別のPDXCデバイスに接続するには、付属のイーサネットケーブルでINまたはOUTポートに接続します。最大12台のデバイスを直列に接続できます。

I/Oポート

15 Pin IO
Trigger In、Trigger Out、Analog In、およびAnalog Outのピンからの信号をBNCに分岐するためのI/Oケーブルが付属します。
PinVoltage RangeNameDescription
15 V TTLExt_Sync_pDaisy-Chain Clock
25 V TTLExt_Sync_nDaisy-Chain Clock
3-N.C.Not Connected
40 VGNDGround Pin
50 VGNDGround Pin
6-N.C.Not Connected
7-10 to +10 VRS_485_pPositive Differential Signal of Daisy-Chain
8-10 to +10 VRS_485_nNegative Differential Signal of Daisy-Chain
PinVoltage RangeNameDescription
1-10 to +10 VAnalog InInput a New Target Position
20 VGNDGround Pin
30 to 5 VTrigger InTrigger to Update New Target Position
40 VGNDGround Pin
5--Reserved
6-10 to +10 VAnalog OutOutput to Reflect the Actual Position
70 to 5 VTrigger OutTrigger When Actual Position is on Target
80 VGNDGround Pin
9--Reserved

PC接続

USB Type B

USB 3.0
USBポートを介してPC接続にし、ソフトウェアまたはコマンドラインで制御を行います。

RS-232

RS-232
PCに接続してコマンドラインで制御を行います。
Pin(s)Voltage RangeNameDescription
1-N.C.Not Connected
2-15 to +15 VTXDTransmits Data
3-15 to +15 VRXDReceives Data
4-N.C.Not Connected
50 VGNDGround Pin
6,7,8,9-N.C.Not Connected

コントローラPDXCには以下のアクセサリが付属します。

  • 両端にCat5eのオスコネクタの付いた長さ2 mのイーサネットケーブル
  • 一端に9ピン Dサブメス型コネクタ、他端に4つのオス型BNCコネクタが付いた、長さ0.5 mのI/Oケーブル
  • Type A オス型コネクタとType B オス型コネクタの付いた、長さ2 mのUSBケーブル
  • NEMA 5-15-P オス型コネクタとIEC 320 C13/C14 メス型コネクタの付いた、長さ1.5 mの電源ケーブル(日本国内用)

ソフトウェア

PDXCバージョン1.2.0

ソフトウェアパッケージPDXCには、サードパーティでの開発用に、GUI、ドライバ、LabVIEW™/C++/Python SDKが含まれています。

Software Download

当社では、ピエゾステージ用コントローラPDXCを制御するためのPDXCソフトウェアパッケージをご用意しています。このコントローラは、ピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージPD1/MおよびPD1D/M、光学式エンコーダの付いたピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージPDX1/M、ピエゾ慣性アクチュエータ付き回転ステージPDR1/Mに対応しています。このソフトウェアパッケージには2つの使い方があります。1つはGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを用いる方法で、直ちにコントローラの直接的な操作や制御を行なうことができます。もう1つはサードパーティ開発用の一連のプログラミングインターフェイスを用いる方法で、ご希望の開発言語(LabVIEW™/C++/Python SDK)により、カスタム仕様の位置決めやアライメント用のプログラムを簡単に作成することができます。


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ピエゾ慣性ステージ用コントローラORIC®

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