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ビデオ測定システム、マルチセンサー


  • High-Speed, Non-Contact 3-Axis Coordinate Measurement
  • Superior Stability and Accuracy from Granite Base and Gantry
  • Multisensor: Video, Touch, and Laser Sensors
  • High-Accuracy Air or Mechanical Bearings

VSA463

Video Measurement System
305 mm x 305 mm x 200 mm Range
Shown with Coaxial Light and Touch Probe

VSA713

Video Measurement System
711 mm x 610 mm x 200 mm Range
Shown with Adjustable Quadrant Light

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オプションをお探しですか?

当社のマルチセンサビデオシステムは、ご用途に合わせてカスタマイズが可能です。お探しの製品が見つからない場合やシステム選択のご相談は当社へお問合せ下さい。

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システムの価格はコンポーネントの選択によって変わります。ご要望に応じてお見積もりをいたします。

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検査用としての活用例

  • 回路基板
  • 電子機器
  • 半導体
  • PC部品
  • 製造
  • ソーラーパネル
  • ガスケット
  • プレス加工
  • 医療機器

特長

  • 5種類のXYZ測定範囲:
    • 305 mm x 305 mm x 200 mm (リニアモータ)
    • 305 mm x 460 mm x 200 mm (リニアまたはサーボモータ)
    • 610 mm x 711 mm x 200 mm (リニアまたはサーボモータ)
    • 760 mm x 965 mm x 200 mm (リニアモータ)
    • 915 mm x 1270 mm x 200 mm (リニアモータ)
  • すべてのシステムはCNCおよび手動による操作が可能
  • 高コントラストイメージング用の高解像度ビデオセンサ
  • マルチセンサ計測用のレーザおよびタッチプローブ
  • 表面およびエッジ部分を強調するためのLEDを複数の種類から選択可能
  • 安定性に優れた花崗岩(グラナイト)のベースにより高い精度と再現性を実現
  • 人間工学に基づいた床設置型のワークステーションによりシンプルで優れた操作性を実現
  • 高度で多機能な計測制御ソフトウェアMetLogix®aM3 またはHeidenhain®b IK5000 
当社のVideoMic測定システムを使用した機械加工部品の検査。ソフトウェア Heidendain IK500 (動画の左下参照) を使用

独自の座標測定機(CMM、三次元測定機)の構築

  • ベースシステムを選択(必須。詳細は「ベースシステム」タブ参照)
  • ビデオシステムを選択(必須。詳細は「ビデオ構成」タブ参照)
    • カメラ、ズームレンズ、照明、ソフトウェア
  • 追加のセンサおよびアクセサリを選択(オプション。詳細は「アクセサリ」タブ参照)
    • タッチプローブ、レーザーセンサ、プラテンガラス、ソフトウェア、CPUのアップグレード

ビデオ測定システムVideoMic®は、高速で非接触の3軸座標測定(三次元計測)を高精度で行うことができます。これらのマルチセンサ測定機では、初回製品、製品サンプル、あるいは製造工程全体で重要な寸法を簡単に確認することができます。このシステムの広い視野と高解像度センサを活用した自動検査プロトコルにより、大量の部品の連続検査や同時検査を簡単に実行できます。公差レポートとエクスポートユーティリティを使用すると、閾値を設定して製造工程を適宜修正したり、必要に応じて製造工程を中断して廃棄品を最小限に抑えたりすることができます。全世界で1000以上のシステムが使用されています。各システムは長寿命で、完全なモジュール式になっており、品質保証や生産設備の要件に合わせて簡単に拡張できます。

ベースシステムは7種類あり、すべて花崗岩製で、軸分離されたベースとガントリで構成されています。詳細については「ベースシステム」タブをご覧ください。VSAで始まる型番の製品は、エアーベアリング付きのバランス型非接触磁気リニアモータを使用して各移動軸の位置決めをし、VSMで始まる型番の製品は、ブラシレスサーボ駆動のグランドボールねじを使用して各移動軸の位置決めをします。 3つのモータの軸とそれぞれに対応するエンコーダは花崗岩の構造体に直接結合されており、非常に正確で安定性があり、環境の影響を受けにくいシステムになっています。

ベースシステムをお選びいただいた後は、当社のCCDカメラ、ズームレンズ、照明などの幅広いラインナップから用途に合わせてビデオシステムをカスタマイズできます。詳細については、「ビデオ構成」タブをご覧ください。システムの汎用性や機能性を向上させるためのアクセサリも、オプションとして多数ご用意しています。それにはRenishaw®cタッチプローブ、レーザーセンサ、ヒンジ付き空圧式プラテンガラス、タッチパネル式モニタ、統計処理用コントロールソフトウェア、インポート/エクスポートユーティリティなどが含まれます。オプション品の詳細については「アクセサリ」タブをご覧ください。

ベースシステムの選択やカスタマイズ、その他のオプションについては当社までご相談ください。

  1. MetLogixはMetLogix社の登録商標です。
  2. Heidenhainは Dr. Johannes Heidenhain社の登録商標です。
  3. RenishawはRenishaw社の登録商標です。

オプションをお探しですか?

当社のベースシステムは、ご用途に合わせてカスタマイズが可能です。移動距離の延長やその他のオプションについてのご相談は当社へお問合せ下さい。

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Base System Optionsa
Base System
Item #
VSA303VSA463VSM463VSA713VSM713VSA963VSA1273
Stage BearingsAirAirMechanicalAirMechanicalAirAir
Stage MotorsLinearLinearServoLinearServoLinearLinear
XY Measuring
Range
305 mm x 305 mm
(12" x 12")
460 mm x 305 mm
(18" x 12")
711 mm x 610 mm
(28" x 24")
965 mm x 760 mm
(38" x 30")
1270 mm x 915 mm
(50" x 36")
Z Measuring
Range
200 mm (8")
Typical Unit
Dimensions
  • 詳細については「仕様」タブをご参照ください。


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フードを取り外したビデオCMMシステムVSA713
(写真には、以下のビデオシステムオプションおよびアクセサリのサブセットが表示されています:倍率12Xのズームレンズシステム、倍率0.67Xのエクステンションチューブ、1.3 MPカメラ、電動式4分割照明、リング照明、プロファイル照明、ソフトウェアIK500、空圧式プラテンガラス)

ベースシステムの特長

このCMMのベースシステムは軸分離構造のガントリ型になっており、Y軸(ステージ)は移動軸XおよびZ(イメージングシステムおよび照明)を支持する花崗岩製のブリッジの下に広がっています。花崗岩は品質管理や計測に係る部門で一般に使用されますが、この材料を当社のビデオCMMシステムのような長距離移動ステージなどに使用すると、多くのメリットが得られます。花崗岩は熱膨張係数が小さいため周囲の温度変化の影響を受けにくく、また特に長い部材の場合に経時的に生じる反りも小さいという性質があります。さらに、理想に近い2次元のフラットな平面を作ることができます。

様々な用途に対応するために、大小様々なフォーマットのシステムをご用意しています。最小フォーマットのXY測定範囲は305 mm x 305 mmで、少量または小さな部品を検査する施設に適しています。これに対して最大フォーマットのXY測定範囲は1270 mm x 915 mmで、大小の部品を大量に、かつ高スループットで検査する施設に適しています。


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VSAシリーズの非接触型磁気トラック(上側)と金製の0.10 µmエンコーダ(下側)

花崗岩の構造体に結合された移動ステージおよびエンコーダ
各モータの回転軸とそれらに対応するエンコーダは花崗岩の構造体に直接結合されており、X軸とZ軸はガントリ上に、Y軸はベース上に組み込まれています。この配置により、閉ループ型制御システム全体で機械部品が少なくなるためシステムの剛性が増し、ベースから離れたY軸ステージの作動距離と、ガントリから離れたカメラシステムの作動距離が短くなります。作動距離が短くなることでコンパクトになり、それによりアッベ誤差が減少して位置決め性能が向上します。

各軸は軸外力の影響を低減するため、中央で駆動されています。これにより摩耗が減少し、各軸のモータの全体的な機能が向上します。エアーベアリングを使用すると、花崗岩ベースの中心のガイドが、エアーベアリングで浮いたY軸ステージの下に見えます(右の写真参照)。このタイプのベアリングを使用する場合、ステージが適切に中央で駆動されるように、このガイドを横にオフセットする必要があります。

モータおよびベアリングのオプション
VSAで始まる型番のベースは、エアーベアリング付きのバランス型非接触磁気リニアモータを使用して各移動軸の位置決めをし、VSMで始まる型番のベースは、ブラシレスサーボ駆動のグランドボールねじを使用して各移動軸の位置決めをします。どちらのタイプのベースも正確、迅速かつ静かにステージの位置決めをします。


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VSAシリーズのシステムには摩擦のないエアーベアリングがついているため、摩耗せず、潤滑剤が不要です。清浄な空気または窒素の加圧供給源が必要です。

エアーベアリングは摩耗せず、潤滑剤も不要で、使用中における微粒子の飛散もないため、長期的なメンテナンスは容易になります。エアーベアリングは、埃、ごみ、デブリ、その他の液体などがある可能性のある、清浄でない環境での使用はお勧めいたしません。また、清浄な空気または窒素の加圧供給源も必要です。メカニカルベアリングとレールには定期的に潤滑剤を使用することをお勧めします。


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コントロールパネルには、制御用のジョイスティックとトラックボールが付属します。トラックボールを使用すると、細かい正確な動きの感触を得ることができます。

人間工学に基づいて設計されたワークステーション
各VideoMic™ システムには回転の可能な、または使用者の身長に合わせて高さ調節の可能なワークステーションが付属します。ワークステーションには、21.5インチLCDモニタ、キーボード、マウス、制御パネルが付いています。制御パネル(左の写真参照)には、ステージとカメラを手動で位置決めするためのジョイスティックとトラックボール、緊急停止スイッチ、システム全体をON/OFFするための電源ボタン、ジョイスティックまたはトラックボールの動作を設定するための3つのボタンが2セット、データを選択するためのEnter/Okボタンが付いています。

ジョイスティックおよびトラックボール
ジョイスティックおよびトラックボールを使用して、ステージやガントリに取り付けられたカメラシステムの動きをいつでも制御できます。いつどちらを使用するかは使用者によりますが、トラックボールは操作とそのシステム応答との間の信号遅延を最小化するように設計されているため、ハイレベルでの精密な操作を行うことができます。ジョイスティックは2軸または3軸の調整用に設定できます。3軸ジョイスティックに設定した場合、ハンドルを左または右に回転させるとカメラアセンブリのZ軸上での位置を変えることができます。

制御ボタン
ジョイスティックとトラックボールの下には、同じ3つのコントロールボタンのセットがあります。左から右に、Z軸トグルボタン、軸ロックボタン、精密位置調整トグルボタンとなっています。ボタンがアクティブになるとボタン下のライトが緑色に点灯します。Z軸トグルボタンはジョイスティックとトラックボールの機能をX/Y軸動作からZ軸動作に切り替えます。3軸ジョイスティックに設定されている場合は、トラックボールに対してのみ影響します。軸ロックボタンを使用すると、各単一軸上での直線移動を切り替えることができます。精密位置調整トグルボタンは、ジョイスティックとトラックボールの動作感度を低下させ、システムの精密位置調整を補助します。EnterおよびOKボタンを使用するとソフトウェア制御に素早くアクセスでき、データポイント(測定位置)を素早く選択して検査プロトコルを作成することができます。

緊急停止ボタン
装置全体の電源をOFFにします。緊急時にのみご使用ください。

ビデオシステムのカスタマイズ

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当社のマルチセンサビデオシステムは、ご用途に合わせてカスタマイズが可能です。お探しの製品が見つからない場合やシステム選択のご相談は当社へお問合せ下さい。

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ビデオCMMシステムのカスタマイズには、面照明やプロファイル照明、カメラ、ズームレンズシステム、計測用ソフトウェアパッケージなどが必要です。システムのカスタマイズ用オプションについては、以下のセクションをクリックするとご覧いただけます。

金属プレス加工品の検査に使用されている当社のビデオシステム。プレス加工品の表面を電動式4分割ライトで照明しています。

アクセサリのオプション

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当社のマルチセンサビデオシステムは、ご用途に合わせてカスタマイズが可能です。お探しの製品が見つからない場合やシステム選択のご相談は当社へお問合せ下さい。

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当社のビデオ測定機は、タッチトリガープローブと非接触レーザープローブを1台の機械に装備することで機能を向上させることができます。このマルチセンサの機能によりシステムの柔軟性が高められ、システムを切り替えることなく非常に複雑な部品の精密な測定や検査が可能になります。当社のアクセサリのラインナップについては、下記の各セクションをクリックし、展開してご覧ください。

当社のビデオシステムで製品を検査する様子。Renishaw®タッチトリガープローブを使用しています。

Exploring the Options?

Thorlabs' Multisensor Video Systems are customized to meet the demanding needs of your application. If you do not see a product or specification that you require or you are looking for assistance selecting a system, please contact me. Our Measurement Systems Team is happy to help and can provide system recommendations based on your needs.

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Thorlabs Measurment Systems Manager
Ike Jariel
General Manager
Thorlabs Measurement Systems

Click to View Specifications:

Specifications for each of our seven base systems as well as our video system options and select accessories are available below. The most popular options are highlighted in green.

For complete details on all of the ways that Thorlabs' Optek Video Systems can be customized, please see the Video System Options and Accessories tabs or contact us using the link to the right.


Base Systems

Our Video CMM System come in five base sizes. All are available with air bearings and linear motors as a standard, except for the VSM463 and VSM713, which include ball-bearings and a servo motor. The most popular option is highlighted in green below.

VideoMic® Video Inspection Systems Specifications
Base System Item #a VSA303 VSA463 VSM463 VSA713 VSM713 VSA963 VSA1273
XYZ Control
Stage Bearings Air Air Mechanical Air Mechanical Air Air
Stage Motors Linear Linear Servo Linear Servo Linear Linear
Measurement
(Travel) Range
X-Y 305 mm x 305 mm
(12" x 12")
460 mm x 305 mm
(18" x 12")
711 mm x 610 mm
(28" x 24")
965 mm x 760 mm
(38" x 30")
1270 mm x 915 mm
(50" x 36")
Z 200 mm (8")
Accuracyb X-Y
(E2)
(1.5 + 5L/1000) µm (2.5 + 5L/1000) µm (1.5 + 5L/1000) µm (2.5 + 5L/1000) µm (1.5 + 5L/1000) µm
Z
(E1)
(1.5 + 5L/1000) µm
Velocity X-Y ≤760 mm/s
Z 150 mm/s
Repeatability Z ±3 µm (±0.00012") at High Magnification
Granite Flatness ≤0.005 mm (Over Any 700 mm Area)
Roughness Ra0.4 (Equivalent to RMS16)
Waviness ≤0.001 mm / 100 mm x 100 mm
Unit Dimensions
Footprint Width 870 mm (34") 1020 mm (40") 1270 mm (50") 1520 mm (60") 2140 mm (85")
Depth 1020 mm (40") 1020 mm (40") 1630 mm (64") 1880 mm (74") 2350 mm (93")
Total Height 1730 mm (68") 1730 mm (68") 1730 mm (68") 1860 mm (73") 1800 mm (71")
Approximate System Weight
(Crated / Uncrated)
885 kg (1950 lbs) / 590 kg (1300 lbs) 1043 kg (2300 lbs) / 726 kg (1600 lbs) 1630 kg (3600 lbs) / 1225 kg (2700 lbs) 2041 kg (4500 lbs) / 1588 kg (3500 lbs) 2994 kg (6600 lbs) / 2450 kg (5400 lbs)
Approximate Footprint Overhangc Control
Station
up to 635 mm (25")
Printer Tray up to 280 mm (11")
Top Clearance Allow for Approximately 1220 mm (48") for Servicing
Rear Clearance Allow for Approximately 610 mm (24") for Servicing
Typical Unit Dimensions
General
Operating Temperature Range 20 ± 0.5 °C (67° - 69 °F)
Rate 0.25 °C/hr (0.5 °F/hr)
Relative Humidity
(Non-Condensing)
30% - 80%
Line Voltage 115 / 230 VAC, 50 / 60 Hz, Single Phase, 1.0 kW
Air Supply
(Air Bearings Only)
Velocity 85 L/m (3 CFM)
Dry Air
- 85 L/m (3 CFM)
Dry Air
- 85 L/m (3 CFM)
Dry Air
Pressure 7 - 8.25 Bar (100 - 120 PSI) 7 - 8.25 Bar
(100 - 120 PSI)
7 - 8.25 Bar (100 - 120 PSI)
  • The base item number indicates the unit size, measurement range, and bearing/motor type of the chosen system. The magnification optics, camera, and lighting options can then be customized to suit a specific application. Contact TMS-Sales@thorlabs.com for help in selecting system options and specifications.
  • L is the point-to-point travel distance, or diagonal travel distance. This applies to a thermally stable system at 20 °C using a certified artifact, pixel value of 2 µm or less, evenly distributed load, and a standard measuring plane. 
  • The control station includes the monitor, keyboard, mouse, and control pad; it is mounted at the front of the unit. The printer tray is an optional accessory that is mounted at the rear of the unit.

CCD Cameras

Specifications for our 1.3 MP and 5 MP camera can be found below, with plots to the right showing each cameras sensitivity to wavelengths in the visible spectra. The most popular option is highlighted in green.


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5 MP Camera Response with Included IR Filter

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1.3 MP Camera Response with Included IR Filter
Camera Specifications
Resolution 1.3 MP 5 MP
Sensor Type Interline SXGA Progressive
Color CCD: ICX424AQ
Interline QSXGA Progressive
Color CCD: ICX625AQ
Pixels
(H x V)
1348 x 976 2536 x 2068
Active Pixels (H x V)
 1280 x 966 2448 x 2058
Imaging Area
(H x V)
4.8 mm x 3.6 mm 8.4 mm x 7.1 mm
Pixel Size  3.75 µm x 3.75 µm 3.45 µm x 3.45 µm
Optical Format  1/3" 2/3"
Frame Rate 40 fps 15 fps
Filter IR Cut-On Filter
Video Output Format Digital 8, 10, or 12 bit Raw Data or RGB 8 bit


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Transmission does not include an auxiliary lens or extension tube. An AR coating minimizes reflections in the visible spectra (about 400 - 700 nm).

Zoom Lenses

A zoom lens system consists of three modules: the zoom lens, an auxiliary lens, and an extension tube. Each module can be viewed in the first three columns of the below tables. Specifications of the entire three part system, including system magnification and field of view, can be found by reading horizontally across from your selection. Note that field of view is dependant on the camera format being used.

The most popular system options are highlighted in green. Please contact TMS-Sales@thorlabs.com if a telecentric zoom lens is required.

Zoom Lenses with Coaxial Light Input
Specifications for a 12X and 6.5X system with a side-mounted coaxial light input will be the same as those in the below tables, however the transmission may drop slightly due to the additional beamsplitter the light must pass though. Additionally, the 0.25X, 0.5X, and 0.75X auxiliary lenses are not compatible with this zoom lens version. The internal coaxial light will illuminate a circular area of 14 mm and 11 mm in diameter for the 12X and 6.5X zoom lenses, respectively. Any field of view (FOV) larger than these values will have darkened corners.

12X Zoom Lens System Specifications
6.5X Zoom Lens System Specifications

Objectives

Specifications for our four objectives can be found below. Please contact TMS-Sales@thorlabs.com for help configuring a system or to inquire about other options.

Item # Wavelength Range Ma WD EFL NA EA Typical Transmission OFN PFL AR Coating
Reflectance
LMUL-10X-UVB 240 - 360 nm 10X 20.0 mm 20 mm 0.25 10.0 mm Icon
Raw Data
24 95.0 mm <1.5% per Surface
(240 - 360 nm)
LMUL-20X-UVB 20X 15.3 mm 10 mm 0.36 7.2 mm Icon
Raw Data
LMUL-50X-UVB 50X 12.0 mm 4 mm 0.42 3.4 mm Icon
Raw Data
TL1X-SAPb 420 - 700 nm 1X 8.0 mm 200 mm 0.03 23.4 mm Icon
Raw Data
22 95.0 mm Ravg < 0.5%
per Surface @ 0° AOI
(420 - 700 nm)
MY5X-802 436 - 656 nm 5X 34.0 mm 40 mm 0.14 11.2 mm Transmission Icon 24 95 mm Not Available
MY10X-803 10X 34.0 mm 20 mm 0.28 11.2 mm Transmission Icon
MY20X-804 20X 20.0 mm 10 mm 0.42 8.4 mm Transmission Icon
MY50X-805 50X 13.0 mm 4 mm 0.55 4.4 mm Transmission Icon
  • When Used with a 200 mm Focal Length Tube Lens
  • Specifications are for the objective with the included wave plate attached.

M = Magnification
WD = Working Distance
EFL = Effective Focal Length

PFL = Parfocal Length
NA = Numerical Aperture
OFN = Optical Field Number




Probe Body Options
Series TP20 TP200 SP600
Sensor Type Kinematic Strain Gauge Scanning
Application Auto or Manual CMM, Suitable for Most Applications Auto or Manual CMM with High Accuracy High-Speed, Contact Form Scanning and Fast Point Measurement Applications
Renishaw Stylus Range
M2 Threaded M2 Threaded M3 Threaded
Module Changing Racks Manual and Motorized

Renishaw® Tactile Probes

Thorlabs' video systems are compatible with most Renishaw TP20 and TP200 series 3-axis, touch-trigger probes and SP600 series 3-axis scanning probes. These are sold as a kit that is preconfigured onto the video system. Each kit includes a probe body, probe module, and an optional manual or motorized module changing rack. 

Specifications for a selection of Renishaw's probe modules can be found below. Please contact TMS-Sales@thorlabs.com for help in selecting system options or to inquire about other options. The most popular option is highlighted in green.

TP20 Series Probe Options and Specificationsa
Module Sense Direction Pre-Travel
Variation
Unidirectional
Repeatability
Trigger Force (N)
(Stylus Lengtha)
Overtravel Force (N)
(Stylus Lengtha)
Overtravel
Displacement
Repeatability of
Stylus Changing
XYb Z XY +Z -Z XY (deg.) +Z (mm) -Z (mm)
Low Force (LF) ±X, ±Y, +Z ±0.60 µm ±0.35 µm 0.055 0.65 0.09 1.15 N/A ±14 3.1 N/A Motorized: ±0.50 μm
Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF) ±0.80 µm ±0.35 µm 0.08 0.75 0.2 - 0.3 3.5 N/A ±14 4 N/A
Medium Force (MF)
±1.00 µm ±0.50 µm 0.10
(25 mm)
1.9
(25 mm)
0.2 - 0.4
(25 mm)
7
(25 mm)
N/A ±14 3.7 N/A
Extended Force (EF) ±2.00 µm ±0.65 µm 0.10
(50 mm)
3.2
(50 mm)
0.2 - 0.5
(50 mm)
10
(50 mm)
N/A ±14 2.4 N/A
6 Way (6W) ±X, ±Y, ±Z ±1.50 µm ±1.00 µm 0.14 1.60 0.25 2.5 9 ±14 4.5 1.5
  • For stylus lengths of 10 mm, unless stated otherwise, and velocities of 480 mm/min.
  • Low Force Direction
TP200 Series Probe Options and Specifications
Module Sense
Direction
Unidirectional
Repeatability
XY Form
Measurement Deviation
XYZ Form
Measurement Deviation
Trigger Force (N) Overtravel Forcea (N) Repeatability of
Stylus Changing
Trigger 1 Trigger 2 Trigger 1 Trigger 2 Trigger 1 Trigger 2 XYb Z XY Z
Low Force (LF) ±X, ±Y, ±Z ±0.40 µm ±0.50 µm ±0.80 µm ±0.90 µm ±1 µm ±1.4 µm 0.02 0.07 0.1 - 0.15 1.6 Motorized: ±0.50 μm
Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF) 0.2 - 0.4 4.9
Extended Overtravel (EO)
0.2 - 0.4 4.9
  • At a displacement of 0.50 mm.
  • Low Force Direction
SP600 Series Scanning Probe Options and Specifications
Module Sense Direction Measurement Range Overtravel Range Resolution Spring Rate Damping
SP600 ±X, ±Y, ±Z ±1 mma X, Y and -Z Protected by
Kinematic Joint.
0.1 µm - 1 µm 120 gmf/mm in X, Y, Z
(Nominal)
20% in X,Y,Z
(Typical)
  • In All Axes and Orientations with a 50 mm long, 4.6 g Stylus.

Laser Sensors

The Conoscopic Holography Laser Sensor utilizes interchangeable objectives at the output port that determine the measuring range of the sensor. Two of the more popular objectives are specified below; other options are available if the application requires it. The Triangulation Displacement Sensor does not use an objective, and is selected based on its measurement range. Please contact TMS-Sales@thorlabs.com for help in selecting system options or to inquire about other options. The most popular options are highlighted in green.

Triangulation Displacement Sensor Specifications
Measuring Range 25 mm 50 mm
Measuring Range Spread Start (SMR) 25 mm 35 mm
Mid (MMR) 27.5 mm 60 mm
End (EMR) 50 mm 85 mm
Linearityb ≤ ±0.08% ≤ ±0.08%
Repeatability at Measuring Rate   1 µm 2 µm
Measuring Rate 2 kHz
Spot Diameter (±10%) SMR 100 x 140 µm 90 x 120 µm
MMR 120 x 130 µm 230 x 240 µm
EMR 390 x 500 µm 630 x 820 µm
Minimum 55 x 50 µm 70 x 65 µm
Laser Power < 1 mW
Laser Color Red (670 nm)
Laser Safety Class Class 2 in Accordance with
DIN EN 60825-1 : 2008-05
  • Other measurement ranges are available. Please contact TMS-Sales@thorlabs.com to inquire about other options.
  • Linearity is the largest deviation from a best-fit straight line over the measurement range. It is specified as a percentage over the full measurement range.
Conoscopic Holography Sensor Specifications
Included Objective
Effective Focal Lengtha
25 mm 50 mm
Measuring Range 1.8 mm 8 mm
Standoff 14 mm 44 mm
Linearityb ±0.17% ±0.08%
Repeatability 0.06 µm 0.10 µm
X Laser Spot Size 27 µm 37 µm
Angular Coverage 150° 170°
Measurement Frequency ≤3000 Hz
Color Red
Laser Safety Class Class 2, IEC 60825-1:2007c
Compatible Software IK500
  • The objective is interchangeable and other objectives are available. Please contact
    TMS-Sales@thorlabs.com to inquire about other options.
  • Linearity is the largest deviation from a best-fit straight line over the measurement range. It is specified as a percentage over the full measurement range.
  • Complies with 31CFR 1040.10 and 1040.11 Class II - FDA

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