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ビデオ測定システム、マルチセンサー


  • High-Speed, Non-Contact 3-Axis Coordinate Measurement
  • Superior Stability and Accuracy from Granite Base and Gantry
  • Multisensor: Video, Touch, and Laser Sensors
  • High-Accuracy Air or Mechanical Bearings

VSA463

Video Measurement System
305 mm x 305 mm x 200 mm Range
Shown with Coaxial Light and Touch Probe

VSA713

Video Measurement System
711 mm x 610 mm x 200 mm Range
Shown with Adjustable Quadrant Light

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オプションをお探しですか?

当社のマルチセンサビデオシステムは、ご用途に合わせてカスタマイズが可能です。お探しの製品が見つからない場合やシステム選択のご相談は当社へお問合せ下さい。

ご予算について

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デモ機をご希望の場合は、当社へお問合せ下さい。

検査用としての活用例

  • 回路基板
  • 電子機器
  • 半導体
  • PC部品
  • 製造
  • ソーラーパネル
  • ガスケット
  • プレス加工
  • 医療機器

特長

  • 5種類のXYZ測定範囲:
    • 305 mm x 305 mm x 200 mm (リニアモータ)
    • 305 mm x 460 mm x 200 mm (リニアまたはサーボモータ)
    • 610 mm x 711 mm x 200 mm (リニアまたはサーボモータ)
    • 760 mm x 965 mm x 200 mm (リニアモータ)
    • 915 mm x 1270 mm x 200 mm (リニアモータ)
  • すべてのシステムはCNCおよび手動による操作が可能
  • 高コントラストイメージング用の高解像度ビデオセンサ
  • マルチセンサ計測用のレーザおよびタッチプローブ
  • 表面およびエッジ部分を強調するためのLEDを複数の種類から選択可能
  • 安定性に優れた花崗岩(グラナイト)のベースにより高い精度と再現性を実現
  • 人間工学に基づいた床設置型のワークステーションによりシンプルで優れた操作性を実現
  • 高度で多機能な計測制御ソフトウェアMetLogix®aM3
ビデオ測定システムVideoMic®の特長、オプション、アクセサリの概要がご覧いただけます。

独自の座標測定機(CMM、三次元測定機)の構築

  • ベースシステムを選択(必須。詳細は「ベースシステム」タブ参照)
  • ビデオシステムを選択(必須。詳細は「ビデオ構成」タブ参照)
    • カメラ、ズームレンズ、照明、ソフトウェア
  • 追加のセンサおよびアクセサリを選択(オプション。詳細は「アクセサリ」タブ参照)
    • タッチプローブ、レーザーセンサ、プラテンガラス、ソフトウェア、CPUのアップグレード

ビデオ測定システムVideoMic®は、高速で非接触の3軸座標測定(三次元計測)を高精度で行うことができます。これらのマルチセンサ測定機では、初回製品、製品サンプル、あるいは製造工程全体で重要な寸法を簡単に確認することができます。このシステムの広い視野と高解像度センサを活用した自動検査プロトコルにより、大量の部品の連続検査や同時検査を簡単に実行できます。公差レポートとエクスポートユーティリティを使用すると、閾値を設定して製造工程を適宜修正したり、必要に応じて製造工程を中断して廃棄品を最小限に抑えたりすることができます。全世界で1000以上のシステムが使用されています。各システムは長寿命で、完全なモジュール式になっており、品質保証や生産設備の要件に合わせて簡単に拡張できます。

ベースシステムは7種類あり、すべて花崗岩製で、軸分離されたベースとガントリで構成されています。詳細については「ベースシステム」タブをご覧ください。VSAで始まる型番の製品は、エアーベアリング付きのバランス型非接触磁気リニアモータを使用して各移動軸の位置決めをし、VSMで始まる型番の製品は、ブラシレスサーボ駆動のグランドボールねじを使用して各移動軸の位置決めをします。 3つのモータの軸とそれぞれに対応するエンコーダは花崗岩の構造体に直接結合されており、非常に正確で安定性があり、環境の影響を受けにくいシステムになっています。

ベースシステムをお選びいただいた後は、当社のCCDカメラ、ズームレンズ、照明などの幅広いラインナップから用途に合わせてビデオシステムをカスタマイズできます。詳細については、「ビデオ構成」タブをご覧ください。システムの汎用性や機能性を向上させるためのアクセサリも、オプションとして多数ご用意しています。それにはRenishaw®bタッチプローブ、レーザーセンサ、ヒンジ付き空圧式プラテンガラス、タッチパネル式モニタ、統計処理用コントロールソフトウェア、インポート/エクスポートユーティリティなどが含まれます。オプション品の詳細については「アクセサリ」タブをご覧ください。

ベースシステムの選択やカスタマイズ、その他のオプションについては当社までご相談ください。

  1. MetLogixはMetLogix社の登録商標です。
  2. RenishawはRenishaw社の登録商標です。

オプションをお探しですか?

当社のベースシステムは、ご用途に合わせてカスタマイズが可能です。移動距離の延長やその他のオプションについてのご相談は当社へお問合せ下さい。

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Base System Optionsa
Base System
Item #
VSA303VSA463VSM463VSA713VSM713VSA963VSA1273
Stage BearingsAirAirMechanicalAirMechanicalAirAir
Stage MotorsLinearLinearServoLinearServoLinearLinear
XY Measuring
Range
305 mm x 305 mm
(12" x 12")
460 mm x 305 mm
(18" x 12")
711 mm x 610 mm
(28" x 24")
965 mm x 760 mm
(38" x 30")
1270 mm x 915 mm
(50" x 36")
Z Measuring
Range
200 mm (8")
Typical Unit
Dimensions
  • 詳細については「仕様」タブをご参照ください。


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フードを取り外したビデオCMMシステムVSA713
(写真には、以下のビデオシステムオプションおよびアクセサリのサブセットが表示されています:倍率12Xのズームレンズシステム、倍率0.67Xのエクステンションチューブ、1.3 MPカメラ、電動式4分割照明、リング照明、プロファイル照明、ソフトウェアIK500、空圧式プラテンガラス)

ベースシステムの特長

このCMMのベースシステムは軸分離構造のガントリ型になっており、Y軸(ステージ)は移動軸XおよびZ(イメージングシステムおよび照明)を支持する花崗岩製のブリッジの下に広がっています。花崗岩は品質管理や計測に係る部門で一般に使用されますが、この材料を当社のビデオCMMシステムのような長距離移動ステージなどに使用すると、多くのメリットが得られます。花崗岩は熱膨張係数が小さいため周囲の温度変化の影響を受けにくく、また特に長い部材の場合に経時的に生じる反りも小さいという性質があります。さらに、理想に近い2次元のフラットな平面を作ることができます。

様々な用途に対応するために、大小様々なフォーマットのシステムをご用意しています。最小フォーマットのXY測定範囲は305 mm x 305 mmで、少量または小さな部品を検査する施設に適しています。これに対して最大フォーマットのXY測定範囲は1270 mm x 915 mmで、大小の部品を大量に、かつ高スループットで検査する施設に適しています。


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VSAシリーズの非接触型磁気トラック(上側)と金製の0.10 µmエンコーダ(下側)

花崗岩の構造体に結合された移動ステージおよびエンコーダ
各モータの回転軸とそれらに対応するエンコーダは花崗岩の構造体に直接結合されており、X軸とZ軸はガントリ上に、Y軸はベース上に組み込まれています。この配置により、閉ループ型制御システム全体で機械部品が少なくなるためシステムの剛性が増し、ベースから離れたY軸ステージの作動距離と、ガントリから離れたカメラシステムの作動距離が短くなります。作動距離が短くなることでコンパクトになり、それによりアッベ誤差が減少して位置決め性能が向上します。

各軸は軸外力の影響を低減するため、中央で駆動されています。これにより摩耗が減少し、各軸のモータの全体的な機能が向上します。エアーベアリングを使用すると、花崗岩ベースの中心のガイドが、エアーベアリングで浮いたY軸ステージの下に見えます(右の写真参照)。このタイプのベアリングを使用する場合、ステージが適切に中央で駆動されるように、このガイドを横にオフセットする必要があります。

モータおよびベアリングのオプション
VSAで始まる型番のベースは、エアーベアリング付きのバランス型非接触磁気リニアモータを使用して各移動軸の位置決めをし、VSMで始まる型番のベースは、ブラシレスサーボ駆動のグランドボールねじを使用して各移動軸の位置決めをします。どちらのタイプのベースも正確、迅速かつ静かにステージの位置決めをします。


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VSAシリーズのシステムには摩擦のないエアーベアリングがついているため、摩耗せず、潤滑剤が不要です。清浄な空気または窒素の加圧供給源が必要です。

エアーベアリングは摩耗せず、潤滑剤も不要で、使用中における微粒子の飛散もないため、長期的なメンテナンスは容易になります。エアーベアリングは、埃、ごみ、デブリ、その他の液体などがある可能性のある、清浄でない環境での使用はお勧めいたしません。また、清浄な空気または窒素の加圧供給源も必要です。メカニカルベアリングとレールには定期的に潤滑剤を使用することをお勧めします。


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コントロールパネルには、制御用のジョイスティックとトラックボールが付属します。トラックボールを使用すると、細かい正確な動きの感触を得ることができます。

人間工学に基づいて設計されたワークステーション
各VideoMic™ システムには回転の可能な、または使用者の身長に合わせて高さ調節の可能なワークステーションが付属します。ワークステーションには、21.5インチLCDモニタ、キーボード、マウス、制御パネルが付いています。制御パネル(左の写真参照)には、ステージとカメラを手動で位置決めするためのジョイスティックとトラックボール、緊急停止スイッチ、システム全体をON/OFFするための電源ボタン、ジョイスティックまたはトラックボールの動作を設定するための3つのボタンが2セット、データを選択するためのEnter/Okボタンが付いています。

ジョイスティックおよびトラックボール
ジョイスティックおよびトラックボールを使用して、ステージやガントリに取り付けられたカメラシステムの動きをいつでも制御できます。いつどちらを使用するかは使用者によりますが、トラックボールは操作とそのシステム応答との間の信号遅延を最小化するように設計されているため、ハイレベルでの精密な操作を行うことができます。ジョイスティックは2軸または3軸の調整用に設定できます。3軸ジョイスティックに設定した場合、ハンドルを左または右に回転させるとカメラアセンブリのZ軸上での位置を変えることができます。

制御ボタン
ジョイスティックとトラックボールの下には、同じ3つのコントロールボタンのセットがあります。左から右に、Z軸トグルボタン、軸ロックボタン、精密位置調整トグルボタンとなっています。ボタンがアクティブになるとボタン下のライトが緑色に点灯します。Z軸トグルボタンはジョイスティックとトラックボールの機能をX/Y軸動作からZ軸動作に切り替えます。3軸ジョイスティックに設定されている場合は、トラックボールに対してのみ影響します。軸ロックボタンを使用すると、各単一軸上での直線移動を切り替えることができます。精密位置調整トグルボタンは、ジョイスティックとトラックボールの動作感度を低下させ、システムの精密位置調整を補助します。EnterおよびOKボタンを使用するとソフトウェア制御に素早くアクセスでき、データポイント(測定位置)を素早く選択して検査プロトコルを作成することができます。

緊急停止ボタン
装置全体の電源をOFFにします。緊急時にのみご使用ください。

ビデオシステムのカスタマイズ

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当社のマルチセンサビデオシステムは、ご用途に合わせてカスタマイズが可能です。お探しの製品が見つからない場合やシステム選択のご相談は当社へお問合せ下さい。

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ビデオCMMシステムのカスタマイズには、面照明やプロファイル照明、カメラ、ズームレンズシステム、計測用ソフトウェアパッケージなどが必要です。システムのカスタマイズ用オプションについては、以下のセクションをクリックするとご覧いただけます。

金属プレス加工品の検査に使用されている当社のビデオシステム。プレス加工品の表面を電動式4分割ライトで照明しています。

アクセサリのオプション

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当社のマルチセンサビデオシステムは、ご用途に合わせてカスタマイズが可能です。お探しの製品が見つからない場合やシステム選択のご相談は当社へお問合せ下さい。

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当社のビデオ測定機は、タッチトリガープローブと非接触レーザープローブを1台の機械に装備することで機能を向上させることができます。このマルチセンサの機能によりシステムの柔軟性が高められ、システムを切り替えることなく非常に複雑な部品の精密な測定や検査が可能になります。当社のアクセサリのラインナップについては、下記の各セクションをクリックし、展開してご覧ください。

当社のビデオシステムで製品を検査する様子。Renishaw®タッチトリガープローブを使用しています。

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当社のマルチセンサビデオシステムは、ご用途に合わせてカスタマイズが可能です。お探しの製品が見つからない場合やシステム選択のご相談は当社へお問合せ下さい。

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下のリンクをクリックすると仕様がご覧いただけます。

当社の7種類のベースシステム、ビデオシステム、アクセサリの仕様を以下に示します。 最も一般的に選択されるオプションは緑色でハイライト表示されています。

当社のOptekビデオシステムのカスタマイズについては、「ビデオ構成」および「アクセサリ」の各タブをご覧いただくか、右のボックス内のContact Usボタンから当社までお問い合わせください。


ベースシステム

当社のビデオCMMのベースシステムには5種類のサイズがございます。VSM463、VSM713を除くすべての製品には、標準でエアベアリングとリニアモータが装備されています。VSM463、VSM713にはボールベアリングとサーボモータが装備されています。 最も一般的に選択されるオプションは緑色でハイライト表示されています。

VideoMic® Video Inspection Systems Specifications
Base System Item #aVSA303VSA463VSM463VSA713VSM713VSA963VSA1273
XYZ Control
Stage BearingsAirAirMechanicalAirMechanicalAirAir
Stage MotorsLinearLinearServoLinearServoLinearLinear
Measurement
(Travel) Range
X-Y305 mm x 305 mm
(12" x 12")
460 mm x 305 mm
(18" x 12")
711 mm x 610 mm
(28" x 24")
965 mm x 760 mm
(38" x 30")
1270 mm x 915 mm
(50" x 36")
Z200 mm (8")
AccuracybX-Y
(E2)
(1.5 + 5L/1000) µm(2.5 + 5L/1000) µm(1.5 + 5L/1000) µm(2.5 + 5L/1000) µm(1.5 + 5L/1000) µm
Z
(E1)
(1.5 + 5L/1000) µm
VelocityX-Y≤760 mm/s
Z150 mm/s
RepeatabilityZ±3 µm (±0.00012") at High Magnification
GraniteFlatness≤0.005 mm (Over Any 700 mm Area)
RoughnessRa0.4 (Equivalent to RMS16)
Waviness≤0.001 mm / 100 mm x 100 mm
Unit Dimensions
FootprintWidth870 mm (34")1020 mm (40")1270 mm (50")1520 mm (60")2140 mm (85")
Depth1020 mm (40")1020 mm (40")1630 mm (64")1880 mm (74")2350 mm (93")
Total Height1730 mm (68")1730 mm (68")1730 mm (68")1860 mm (73")1800 mm (71")
Approximate System Weight
(Crated / Uncrated)
885 kg (1950 lbs) / 590 kg (1300 lbs)1043 kg (2300 lbs) / 726 kg (1600 lbs)1630 kg (3600 lbs) / 1225 kg (2700 lbs)2041 kg (4500 lbs) / 1588 kg (3500 lbs)2994 kg (6600 lbs) / 2450 kg (5400 lbs)
Approximate Footprint OverhangcControl
Station
up to 635 mm (25")
Printer Trayup to 280 mm (11")
Top ClearanceAllow for Approximately 1220 mm (48") for Servicing
Rear ClearanceAllow for Approximately 610 mm (24") for Servicing
Typical Unit Dimensions
General
Operating TemperatureRange20 ± 0.5 °C (67° - 69 °F)
Rate0.25 °C/hr (0.5 °F/hr)
Relative Humidity
(Non-Condensing)
30% - 80%
Line Voltage115 / 230 VAC, 50 / 60 Hz, Single Phase, 1.0 kW
Air Supply
(Air Bearings Only)
Velocity85 L/m (3 CFM)
Dry Air
-85 L/m (3 CFM)
Dry Air
-85 L/m (3 CFM)
Dry Air
Pressure7 - 8.25 Bar (100 - 120 PSI)7 - 8.25 Bar
(100 - 120 PSI)
7 - 8.25 Bar (100 - 120 PSI)
  • ベースシステムの型番はサイズ、測定範囲、ベアリング/モータのタイプを示しています。オプションの拡大光学系、カメラ、および照明は用途に合わせてカスタマイズできます。システムの選択やその他のオプションについてのご質問等は、当社までお問い合わせください。
  • Lは点から点への移動距離または対角移動距離です。これらの式は、認証済みのアーティファクト、2 µm以下のピクセル値、均等に分散された負荷、および標準測定面を用いて、20°Cの環境に置かれた熱安定性に優れたシステムで測定するときに適用されます。
  • 制御ステーションには、モニタ、キーボード、マウス、制御パッドが含まれます。これらはユニット前面に付いています。プリンター用トレイはオプションのアクセサリで、ユニット背面に取り付けられます。

CCDカメラ

当社の1.3 および5メガピクセルカメラの仕様は下表をご覧ください。また右のグラフは、各カメラの可視スペクトル域における感度の波長依存性を示しています。最も一般的に選択されるオプションは緑色でハイライト表示されています。


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付属のIRフィルタを取り付けた5メガピクセルカメラの感度特性

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付属のIRフィルタを取り付けた1.3メガピクセルカメラの感度特性
Camera Specifications
Resolution1.3 MP5 MP
Sensor TypeInterline SXGA Progressive
Color CCD: ICX424AQ
Interline QSXGA Progressive
Color CCD: ICX625AQ
Pixels
(H x V)
1348 x 9762536 x 2068
Active Pixels (H x V)
 1280 x 9662448 x 2058
Imaging Area
(H x V)
4.8 mm x 3.6 mm8.4 mm x 7.1 mm
Pixel Size 3.75 µm x 3.75 µm3.45 µm x 3.45 µm
Optical Format 1/3"2/3"
Frame Rate40 fps15 fps
FilterIR Cut-On Filter
Video Output FormatDigital 8, 10, or 12 bit Raw Data or RGB 8 bit


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上の透過率は補助レンズやエクステンションチューブを付けていない状態での値です。ARコーティングにより可視スペクトル域(およそ400~700 nm)における反射率は最小限に抑えられています。

ズームレンズ

ズームレンズシステムは、ズームレンズ、補助レンズ、エクステンションチューブの3つのモジュールで構成されています。各モジュールは下表の最初の3列に記載されています。3つのモジュールを組み合わせたシステム全体の倍率や視野などの仕様については、お選びいただいたモジュールの行の右側の欄をご覧ください。視野はご使用になるカメラのフォーマットに依存しますのでご注意ください。

最も一般的に選択されるシステムは緑色でハイライト表示されています。テレセントリックズームレンズをお探しの場合は、当社までお問い合わせください。

同軸ライトの光入射用ポート付きズームレンズ
側面に同軸ライトの光入射用ポートが取付けられた倍率12Xおよび6.5Xのシステムの仕様は、以下の表の仕様と同じです。ただし、光は追加されたビームスプリッタを通過しなければならないため、透過率はわずかに低下する場合があります。 また、倍率0.25X、0.5Xおよび0.75Xの補助レンズは、このタイプのズームレンズには対応しておりません。内部の同軸光は円形のエリアに照射されますが、その直径は倍率12Xのズームレンズで14 mm、倍率6.5Xのズームレンズで11 mmです。この範囲よりも視野が大きい場合は4隅が暗くなります。

12X Zoom Lens System Specifications
6.5X Zoom Lens System Specifications

対物レンズ

以下に対物レンズの仕様を示します。カスタマイズやその他のオプションについてのご質問等は、当社までお問い合わせください。

Item #Wavelength RangeMaWDEFLNAEATypical TransmissionOFNPFLAR Coating
Reflectance
LMUL-10X-UVB240 - 360 nm10X20.0 mm20 mm0.2510.0 mmIcon
Raw Data
2495.0 mm< 1.5% per Surface(240 - 360 nm)
LMUL-20X-UVB20X15.3 mm10 mm0.367.2 mmIcon
Raw Data
LMUL-50X-UVB50X12.0 mm4 mm0.423.4 mmIcon
Raw Data
TL1X-SAPb420 - 700 nm1X8.0 mm200 mm0.0323.4 mmIcon
Raw Data
2295.0 mmRavg < 0.5%
per Surface @ 0° AOI
(420 - 700 nm)
MY5X-802436 - 656 nm5X34.0 mm40 mm0.1411.2 mmTransmission Icon2495 mmNot Available
MY10X-80310X34.0 mm20 mm0.2811.2 mmTransmission Icon
MY20X-80420X20.0 mm10 mm0.428.4 mmTransmission Icon
MY50X-80550X13.0 mm4 mm0.554.4 mmTransmission Icon
  • 焦点距離200 mmのチューブレンズを使用した時
  • こちらの仕様は付属の波長板を取り付けた状態での値です。

M=倍率
WD=作動距離
EFL=有効焦点距離

PFL=同焦点距離
NA=開口数
OFN =光学視野数




Probe Body Options
SeriesTP20TP200SP600
Sensor TypeKinematicStrain GaugeScanning
ApplicationAuto or Manual CMM, Suitable for Most ApplicationsAuto or Manual CMM with High AccuracyHigh-Speed, Contact Form Scanning and Fast Point Measurement Applications
Renishaw Stylus Range
M2 ThreadedM2 ThreadedM3 Threaded
Module Changing RacksManual and Motorized

Renishaw®タッチプローブ

当社のビデオシステムは、Renishaw社のTP20およびTP200シリーズの多くの3軸タッチトリガープローブ、およびSP600シリーズの3軸走査プローブに対応します。これらはキットとして販売されており、あらかじめビデオシステムに組み込まれています。各キットにはプローブ本体、プローブモジュールおよびオプションの手動交換用または自動交換用のモジュールチェンジラックが含まれます。

Renishaw製プローブモジュールのラインナップと仕様については下の表をご覧ください。システムの選択やその他のオプションについてのご質問等は、当社までお問い合わせください。最も一般的に選択されるオプションは緑色でハイライト表示されています。

TP20 Series Probe Options and Specificationsa
ModuleSense DirectionPre-Travel
Variation
Unidirectional
Repeatability
Trigger Force (N)
(Stylus Lengtha)
Overtravel Force (N)
(Stylus Lengtha)
Overtravel
Displacement
Repeatability of
Stylus Changing
XYbZXY+Z-ZXY (deg.)+Z (mm)-Z (mm)
Low Force (LF)±X, ±Y, +Z±0.60 µm±0.35 µm0.0550.650.091.15N/A±143.1N/AMotorized: ±0.50 μm
Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF)±0.80 µm±0.35 µm0.080.750.2 - 0.33.5N/A±144N/A
Medium Force (MF)
±1.00 µm±0.50 µm0.10
(25 mm)
1.9
(25 mm)
0.2 - 0.4
(25 mm)
7
(25 mm)
N/A±143.7N/A
Extended Force (EF)±2.00 µm±0.65 µm0.10
(50 mm)
3.2
(50 mm)
0.2 - 0.5
(50 mm)
10
(50 mm)
N/A±142.4N/A
6 Way (6W)±X, ±Y, ±Z±1.50 µm±1.00 µm0.141.600.252.59±144.51.5
  • 特に記載がない場合は、長さ10 mmのスタイラスを使用して480 mm/分の速度で測定しています。
  • Low Force Direction
TP200 Series Probe Options and Specifications
ModuleSense
Direction
Unidirectional
Repeatability
XY Form
Measurement Deviation
XYZ Form
Measurement Deviation
Trigger Force (N)Overtravel Forcea (N)Repeatability of
Stylus Changing
Trigger 1Trigger 2Trigger 1Trigger 2Trigger 1Trigger 2XYbZXYZ
Low Force (LF)±X, ±Y, ±Z±0.40 µm±0.50 µm±0.80 µm±0.90 µm±1 µm±1.4 µm0.020.070.1 - 0.151.6Motorized: ±0.50 μm
Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF)0.2 - 0.44.9
Extended Overtravel (EO)
0.2 - 0.44.9
  • At a displacement of 0.50 mm.
  • Low Force Direction
SP600 Series Scanning Probe Options and Specifications
ModuleSense DirectionMeasurement RangeOvertravel RangeResolutionSpring RateDamping
SP600±X, ±Y, ±Z±1 mmaX, Y and -Z Protected by
Kinematic Joint.
0.1 µm - 1 µm120 gmf/mm in X, Y, Z
(Nominal)
20% in X,Y,Z
(Typical)
  • In All Axes and Orientations with a 50 mm long, 4.6 g Stylus.

レーザーセンサ

コノスコープホログラフィーレーザーセンサでは、出力ポートに交換可能な対物レンズを使用しますが、これでセンサの測定範囲が決定されます。一般的な2つの対物レンズを以下の表に記載しています。用途に応じた他のオプションもございます。三角測量方式レーザ変位センサでは対物レンズを使用せず、測定範囲をもとに選択されます。システムの選択やその他のオプションについてのご質問等は、当社までお問い合わせください。最も一般的に選択されるオプションは緑色でハイライト表示されています。

Triangulation Displacement Sensor Specifications
Measuring Range25 mm50 mm
Measuring Range SpreadStart (SMR)25 mm35 mm
Mid (MMR)27.5 mm60 mm
End (EMR)50 mm85 mm
Linearityb≤ ±0.08%≤ ±0.08%
Repeatability at Measuring Rate  1 µm2 µm
Measuring Rate2 kHz
Spot Diameter (±10%)SMR100 x 140 µm90 x 120 µm
MMR120 x 130 µm230 x 240 µm
EMR390 x 500 µm630 x 820 µm
Minimum55 x 50 µm70 x 65 µm
Laser Power< 1 mW
Laser ColorRed (670 nm)
Laser Safety ClassClass 2 in Accordance with
DIN EN 60825-1 : 2008-05
  • 上記以外の測定範囲にも対応可能ですので、ご要望の際は当社までお問い合わせください。
  • リニアリティは測定範囲において最もフィットする直線からの最大偏差を表します。測定範囲全体におけるパーセンテージで示しています。
Conoscopic Holography Sensor Specifications
Included Objective
Effective Focal Lengtha
25 mm50 mm
Measuring Range1.8 mm8 mm
Standoff14 mm44 mm
Linearityb±0.17%±0.08%
Repeatability0.06 µm0.10 µm
X Laser Spot Size27 µm37 µm
Angular Coverage150°170°
Measurement Frequency≤3000 Hz
ColorRed
Laser Safety ClassClass 2, IEC 60825-1:2007c
Compatible SoftwareIK500
  • 対物レンズは交換可能です。交換用の対物レンズもご用意していますので、 ご要望の際は当社お問い合わせください。
  • リニアリティは測定範囲において最もフィットする直線からの最大偏差を表します。測定範囲全体におけるパーセンテージで示しています。
  • 31CFR 1040.10および1040.11 Class II - FDAに準拠

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