Products HomeUV透過型回折格子
- Transmission Gratings Designed for Optimum Performance in the UV (Down to 235 nm) or Deep UV (Down to 190 nm)
- Four Groove Densities Available: 300, 600, 830, and 1200 Grooves/mm
GTD13-06
Deep UV Transmission Grating, 600 Grooves/mm
GTU13-03
UV Transmission Grating, 300 Grooves/mm
GTD13-12
Deep UV Transmission Grating, 1200 Grooves/mm
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| Selection Guide | |
|---|---|
| Transmission Gratings | |
| Ruled | UV |
| Visible | |
| Near IR | |
| Volume Phase Holographic | Visible |
| Near IR | |
| Reflective Gratings | |
| Ruled | UV |
| Visible | |
| Near IR | |
| Mid IR | |
| Holographic | |
| Echelle | |
| General Specifications | |
|---|---|
| Substrate | UV-Grade Fused Silica |
| Side Length | 12.7 mm (0.50") |
| Face Dimensional Tolerance | ±0.5 mm (0.02") |
| Thickness | 2.0 mm (0.08") |
| Thickness Tolerance | ±0.2 mm (0.01") |
| Surface Quality | 60-40 Scratch-Dig |
特長
- UV(紫外)域に適した特性
- 深紫外(DUV)域用回折格子ではソラリゼーション耐性が向上
- 回折格子を固定して使用する用途に適した製品
- 12.7 mm × 12.7 mm
- 300、600、830、1200本/mmの溝密度から選択可能
これらの12.7 mm × 12.7 mmのUV(紫外)域用透過型回折格子は、UVグレードの溶融石英製です。最短動作波長が190 nmの製品(DUV域用、GTDから始まる型番)と、235 nmの製品(標準的なUV域用、GTUから始まる型番)をご用意しています。ビーム分割の用途にもお使いいただけるように、全ての性能曲線には0次光および1次光のデータを示しています。回折効率に関しては「仕様」タブのEfficiency Curvesをご覧ください。
深紫外(DUV)域用回折格子はソラリゼーションに対する耐性が向上し、また190～400 nmで優れた透過性能が得られるため、UV域で長時間使用する用途に適しています。
透過型回折格子では、高い回折効率を得るために、溝間隔を比較的広くする必要があります。溝間隔が狭くなると回折角が大きくなるため、使用される基板材料の屈折率特性によって長波長側の透過率が制限され、性能も低下します。しかし、この回折格子の分散特性は、小型の検出器アレイを用いたコンパクトなシステムには適しています。また、これらの回折格子は、比較的偏光の影響を受けません。
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Figure 1.1 回折格子の1つの側面(a)には、表面と平行にブレーズ方向を示す矢印が印されています(ブレーズ方向の定義は「回折格子のチュートリアル」でご覧いただけます)。反対側の側面(b)には回折格子面に垂直な矢印が印されており、これは光の透過方向を示しています。
透過型回折格子は、回折格子を固定して使用する分光器のような用途に適しています。回折格子に入射した光は、入射面の反対側から、波長に応じて一定の角度で分散して出射します。透過型回折格子はアライメントの影響を受けにくいので、アライメントエラーを最小限に抑えられます。これらの溝構造を有する透過型回折格子は、紫外(UV)スペクトル域で性能を発揮するように設計されており、様々なレベルの分散特性を有する製品をご用意しています。この透過型回折格子の回折効率は、同じスペクトル範囲用の刻線回折格子やホログラフィック回折格子などの反射型回折格子と比較すると、多くの場合は同等の性能を示します。用途に適した回折格子を選ぶための情報については、「回折格子ガイド」タブをご参照ください。
マウントとアダプタ
当社の回折格子は、長方形光学素子用マウントKM100C(右手系)またはKM100CL(左手系)に直接取り付けられるため、精密で安定な取付けとアライメントが可能です。
注意:
回折格子は水分、指紋、エアロゾル、ほんの少しの研削材などが接触しただけで損傷します。回折格子は、必要時のみ、側面だけを持って取り扱ってください。回折格子の表面に指の油分がつかないように、ラテックス製手袋などを着用する必要があります。回折格子のクリーニングは、クリーンな乾燥空気か窒素で埃を吹き飛ばす方法以外では行わないでください。溶剤も回折格子の表面に損傷を与える可能性があります。
当社では、回折格子を機械構造的なセットアップに組み込む作業は、クリーンルーム内で行います。回折格子をサブアセンブリやセットアップに組み込む必要がある場合は、当社までご相談ください。
| UV Ruled Transmission Blazed Diffraction Gratings | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Item # | Minimum Operating Wavelength | Grooves/mm | Groove Angle | Efficiency Curvesa,b | Dimensions | Thickness Tolerance | Substrate Material |
| GTD13-03 | 190 nm | 300 | 8.6° |  | 12.7 mm x 12.7 mm x 2.0 mm | ±0.2 mm | UVFS |
| GTD13-06 | 600 | 17.5° |  | ||||
| GTD13-06A | 600 | 22° |  | ||||
| GTD13-08 | 830 | 19.4° |  | ||||
| GTD13-12 | 1200 | 26.7° |  | ||||
| GTU13-03 | 235 nm | 300 | 8.6° |  | 12.7 mm x 12.7 mm x 2.0 mm | ||
| GTU13-06 | 600 | 22° |  | ||||
| GTU13-08 | 830 | 19.4° |  | ||||
| GTU13-12 | 1200 | 36.9° |  | ||||
回折格子のチュートリアル
はじめに
回折格子は、透過型、反射型のどちらも回折格子内の繰り返し構造により異なる波長の光を分離します。この構造により、入射光の振幅、位相のいずれか、または両方が変化し、出射光に干渉縞が生じます。透過型の場合、細いスリットが狭い間隔で多数配置されていることにより繰り返し構造が実現されています。このマルチスリットにおける放射照度を波長と位置の関数として解くと、
= 0°のときの全ての回折格子に当てはまる次のような一般式が得られます。
この式は回折格子の式として知られています。この式では、間隔
の回折格子により、
λに依存した離散的な角度(
)で光を偏向する様子を表しています。ここでは回折次数です。回折角 は、回折格子の表面垂線から測定した出射光の出射角です。(1)の式から、次数が与えられると、異なる波長の光は異なる角度で回折格子を出ることが分かります。これは白色光源の場合は、波長特性が角度依存を持つ連続スペクトルとして表されることを示しています。
Figure 48A 透過型回折格子
透過型回折格子
一般的な回折格子の1つに透過型回折格子があります。Figure 48Aで示しているこの表面に溝のある回折格子は、透明な基板に狭い幅の溝を一定距離離して繰り返しスクラッチまたはエッチングすることによって作られます。この構造により、光が散乱する領域ができます。
入射光は表面垂線からの角度で回折格子に入射します。次数が大きくなると、出力角度(表面垂線からの角度)も大きくなります。入射角0°の場合の一般的な回折格子の式(1)を、幾何学的条件を考慮して変形すると、透過型回折格子の式は以下のようになります。
ここでFigure 48Aのように回折格子の表面垂線を基準として入射光と回折光の角度が反対側となるとき、とは正(+)とします。この場合、格子垂線に対して同じ側であれば は負となります。
Figure 48B 反射型回折格子
反射型回折格子
一般的な回折格子として、ほかに反射型回折格子があります。反射型回折格子は、一般的に、表面に平行な溝を刻んだ光学素子に金属コーティングを施して作製します。反射型回折格子は、マスタをエポキシやプラスチックにインプリントする方法でも作製可能です。いずれの場合でも、光は異なる次数ならびに波長に応じて異なる角度で刻線面から反射されます。反射型回折格子の例がFigure 48Bに示されています。透過型と同様の幾何学配置として設定すれば、反射型回折格子の方程式は以下のようになります。
ここで、Figure 48Bのように入射光ならびに回折光が回折格子の表面垂線に対して互いに反対側にあればは正、は負とします。回折格子の垂線に対して互いに同じ側であれば、角度は両方とも正です。
反射型も透過型も0次光の場合には回折パターンがないため、通常の表面反射、または透過のように見えます。 = として(2)の式を解くと、得られる解は=0のみで、波長や格子の間隔に依存しないことが分かります。この条件では波長に依存した情報が得らません。
この問題は、特殊な表面反射形状を有する繰り返し表面パターンを作製することによって解決することができます。このタイプの回折格子は通常ブレーズド(または刻線)回折格子と呼ばれています。詳細については下記をご覧ください。
ブレーズド(刻線)回折格子
Figure 48D ブレーズド回折格子、0次光の反射
Figure 48C ブレーズド回折格子の形状
ブレーズド回折格子は、刻線回折格子の名でも知られていますが、特殊な形状をした反射型または透過型の回折格子で、特定の回折次数において最大の回折効率を発揮するように設計されています。つまり、光量のほとんどが設計した回折次数に収まり、他の次数(特に0次)への光量の配分による損失が最小限に留められます。この設計により、ブレーズド回折格子はブレーズ波長と呼ばれる特定の波長で動作します。
ブレーズ波長はブレーズド回折格子を決定づける3つの特性のうちの1つです。他の2つはFigure 48Cに示している溝またはファセット(facet)の間隔、そしてブレーズ角
です。ブレーズ角は、Figure 48Cに示すように回折格子に平行な面と表面構造の間の角度です。これはまた表面垂線とファセット垂線の間の角度でもあります。Figure 48Cではブレーズ方向の定義も示しています。この矢印は当社のすべてのブレーズド(刻線)回折格子の1つの側面に印されています。
ブレーズド回折格子は、これまで説明してきた透過型ならびに反射型回折格子と形状が似ています。入射角()と次の反射角()は、回折格子の表面垂線を基準として決定されます。大きな違いは、鏡面反射が回折格子の表面垂線ではなく、ブレーズ角に依存するということです。つまり、回折格子のブレーズ角を変更するだけで回折効率が変えられます。
ブレーズド回折格子を使用した場合の0次光の反射をFigure 48Dに示しています。 = 0ではの角度で入射した光はで反射します。(3)の式により、得られる解は = –のみです。これは平面における鏡面反射と似ています
Figure 48F ブレーズド回折格子、格子表面に垂直に入射した光
Figure 48E ブレーズド回折格子、ファセットによる鏡面反射
Figure 48Eに示すように、ブレーズド回折格子における鏡面反射はその表面構造により、平面における鏡面反射とは異なります。ブレーズド回折格子での鏡面反射
は、ブレーズ角に依存します。反射角が回折格子表面垂線に対してと同じ側にある場合、この角度は負として定義されます。簡単な幾何学的計算により下記(4)式が導かれます。
Figure 48Fは= 0°、すなわちビームが回折格子表面に垂直に入射した場合を示しています。この場合、0次反射光も0°の方向を向いています。(3)と(4)の式により、下記(5)式のようにブレーズ角の2倍の回折格子の方程式を得ます。
反射型回折格子のリトロウ構成
リトロウ構成とはブレーズド回折格子における特定の配置を意味し、モノクロメータや分光計で重要な役割を果たします。この時、は回折効率が最大となる角度になります。この構成では光の入射角と回折の角度が同じ = であり、 > 0のため、下記(6)式が得られます。
Figure 48G リトロウ構成
リトロウ角度
は、最大の光強度の次数( = 1)、設計波長
ならびに格子の間隔によって決まります。リトロウ角度は設計波長においてブレーズ角度と同じであることは簡単に示されます。当社のブレーズド回折格子のリトロウ/ブレーズ角はすべて回折格子の仕様表に記載されています。
垂直に入射した光に対する回折次数が大きくなるにつれ、波長に依存する角度間隔も大きくなることが分かります(= 0°の場合、はが増加すると増加します)。高次回折パターンの使用は、次数が低い回折パターンと比べて不利な点が2点あります。(1)次数が高くなると回折効率が減少すること、そして(2)以下で定義されるフリースペクトルレンジ
が狭くなることです。
ここで
は中心波長、は次数です。
高次回折パターンにおける1つ目の問題点は、大きいブレーズ角と比較的低い溝密度で構成された特殊な刻線回折格子であるエシェル回折格子を使用することで解決します。大きいブレーズ角は、高次回折にエネルギを集めるのに適しています。2つ目の問題点は、回折格子、分散プリズム、あるいは他の分散光学素子など、別の光学素子を使用して、エシェル回折格子を通った後に波長/次数を分離することで解決できます。
Figure 48H 体積位相ホログラフィック回折格子
透過型体積位相ホログラフィック回折格子(VPHグレーティング)
従来の回折格子とは異なり、体積位相ホログラフィック回折格子(VPHグレーティング)の表面には溝がついていません。体積型位相ホログラフィック回折格子は、2つのガラス基板の間に重クロム酸ゼラチン(DCG)フィルムが入っている構成となっております。VPHグレーティングは、ブレーズド回折格子で生じる周期エラーを低減するために設計されています。表面の溝密度の高い回折格子では偏光依存損失の問題もあります。こちらのユニークな透過型1次回折格子は、高い回折効率のピーク、低い偏光依存性損失、広い帯域幅での均一な性能といった特性を有します。
回折格子パターンは、一定の距離間隔のラインの繰り返しで構成されています。透過型回折格子の干渉パターンはFigure 48Hに示すようにプレートの平面に対して垂直なため、あらゆる周波数の光がプレートを通ることができます。回折は入射光がDCGフィルムを通るときに起こります。そのために性能を決定する3つの要素は、フィルムの厚さ、バルクの屈折率(ブラグ面間の平均屈折率)、変調指数(ブラグ面間の屈折率の差)です。入射光は表面垂線から測定された角度で回折格子に入射します。次数が大きくなると、出力角度(表面垂線からの角度)も大きくなります。上述の回折格子の式は、体積型位相ホログラフィック回折格子では回折角を算出するのに用いることができます。なぜなら分散がライン密度に依存するからです。回折格子の品質は干渉縞のコントラストによって決定します。コントラストが弱いということは、回折効率が低いか、全く回折格子が形成されていないことを意味します。
DCGフィルムは、複数の品質管理工程を経て基準の性能を満たすことを確認後、適切なサイズに切断されています。フィルムは2つのガラスカバーの間に封止され、材質の品質が下がることを防いでいます。DCGフィルムが2枚のガラス基板に入っているため、VPHグレーティングは耐性が高く、寿命が長いうえに、容易に損傷を受けやすい回折格子と比較してメンテナンスしやすい製品となっております。
Figure 48J ホログラフィック回折格子
ホログラフィック表面回折格子
ブレーズド回折格子は設計波長において高い回折効率を発揮しますが、ゴーストなどの周期エラーの発生や比較的大きな散乱光量により、高感度測定に悪影響を及ぼすことがあります。ホログラフィック回折格子はこのようなエラーを低減または取り除くために設計されています。しかし、ホログラフィック回折格子は、ブレーズド回折格子と比べて回折効率が低いという欠点があります。
ホログラフィック回折格子は、マスタを用いて刻線回折格子と同様のプロセスにより作成されます。マスタのホログラフィック回折格子は通常、感光性材料に2本のレーザービームを干渉させて露光することによって作られます。干渉パターンを周期パターンとして表面に露光し、その後物理的または化学的に処理を行い、正弦波形状のパターンを形成します。ホログラフィック回折格子の例はFigure 48Jに示しております。
なお、分散は1 mmあたりの溝の数のみで決まり、溝の形状には影響されません。よって、ホログラフィック回折格子も刻線ブレーズド回折格子と同じ回折格子の方程式が使用可能です。
| Posted Comments: | |
ikucukkara
(posted 2019-01-29 21:24:42.613) Is it possible to buy transmission UV grating GTU13-12 in the size of 25mm x 25mm. And the price please.
Thanks for your answer in advance. YLohia
(posted 2019-01-29 09:49:48.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. Quotes for custom items can be requested by emailing techsupport@thorlabs.com. We will reach out to you directly to discuss the possibility of offering this. |
透過型回折格子
透過型回折格子は刻線回折格子と体積型位相ホログラフィック回折格子の2種類をご用意しております。 刻線回折格子は、透明な基板に繰り返し平行な構造をスクラッチまたはエッチングすることによって作られます。これらの回折格子は鋸歯の形状をしており、レプリケーションと呼ばれる工程でマスタからエポキシやプラスチックにインプリントして製造されています。体積型位相ホログラフィック回折格子は、2つのガラス基板の間に重クロム酸ゼラチン(DCG)フィルムが入っている構成となっております。これらの回折格子では、DCGフィルムに正弦波の回折パターンがにレーザ描画されています。詳細については「回折格子のチュートリアル」のタブをご参照ください。
| 刻線回折格子 | ||
|---|---|---|
 | UV | 透過型刻線回折格子は、入射光を回折格子の反対側の特定の角度方向に発散させます。それぞれの製品は仕様化されている波長範囲において適切な回折効率が得られるように、刻線されています。また比較的偏光依存性は小さく、同じ波長範囲の反射型回折格子と同等の回折効率を有します。分光器のように固定型回折格子が必要な用途に適しています。 |
| Visible | ||
| Near IR | ||
| UV域用刻線(ブレーズド)透過型回折格子 |
|---|
| 可視域用刻線(ブレーズド)透過型回折格子 |
|---|
| 赤外域用刻線(ブレーズド)透過型回折格子 |
|---|
| 体積型位相ホログラフィック回折格子 | |||
|---|---|---|---|
 | Volume Phase Holographic | 体積型位相ホログラフィック回折格子は、2つのガラス基板の間にDCGフィルムが入っている構成となっております。こちらのユニークな透過型回折格子はメンテナンスが容易で、高い1次回折効率のピークと、広い帯域幅で均一な性能を発揮します。 | |
| 可視(VIS)域用VPH透過型回折格子 |
|---|
| 近赤外(NIR)域用VPH透過型回折格子 |
|---|
反射型回折格子
反射型回折格子は、平行な溝を刻んだ光学素子の表面に金属コーティングを施すことで作製されます。当社の反射型回折格子は、マスタからエポキシやプラスチックにインプリントする、レプリケーションと呼ばれる工程により作製されています。いずれの場合でも、光は異なる次数ならびに波長に応じて異なる角度で刻線面から反射されます。当社の刻線反射型回折格子はブレーズド回折格子とも呼ばれますが、その表面はすべて鋸歯の形状をしています。一方で、ホログラフィック反射型回折格子は正弦波の形状をしています。詳細については「回折格子のチュートリアル」のタブをご参照ください。
| 刻線回折格子 | ||
|---|---|---|
 | UV | 刻線回折格子はブレーズ角によりホログラフィック回折格子よりも高い回折効率を得られます。ブレーズ波長に近い波長を中心とした用途に適しています。当社では刻線回折格子を様々なサイズとブレーズ角でご用意しております。. |
| Visible | ||
| Near IR | ||
| Mid IR | ||
| UV域用刻線(ブレーズド)反射型回折格子 |
|---|
| 可視域用刻線(ブレーズド)反射型回折格子 |
|---|
| 近赤外域用刻線(ブレーズド)反射型回折格子 |
|---|
| 中赤外域用刻線(ブレーズド)反射型回折格子 |
|---|
| ホログラフィック回折格子 | |||
|---|---|---|---|
 | Holographic | ホログラフィック回折格子は周期エラーが発生しにくいため、刻線回折格子で生じるようなゴーストイメージが発生しません。少ない迷光、および高い信号対雑音比が必要となるラマン分光法などの用途に適しています。 | |
| ホログラフィック正弦波反射型回折格子 |
|---|
| エシェル回折格子 | |||
|---|---|---|---|
 | Echelle | エシェル回折格子は高次光用に設計された長い周期の回折格子です。通常、ほかの回折格子やプリズムと併用してオーバーラップしている回折次数を分離します。高分解能分光の用途に適しています。 | |
| エシェル刻線(ブレーズド)回折格子 |
|---|
用途に適した回折格子を選ぶには、下記のような様々な要素を考慮する必要があります。
回折効率:
一般的に刻線回折格子は、ホログラフィック回折格子より回折効率が高くなります。ホログラフィック回折格子は回折効率が低くなりますが、有効波長範囲は広くなります。刻線回折格子の高い回折効率は、蛍光励起ほか、光誘起性の化学反応などの用途に適していると考えられます。
ブレーズ波長:
刻線回折格子には、回折格子基板表面をエッチングして鋸歯状の溝が作られています。それにより、ブレーズ波長付近で鋭い効率のピークが得られます。ホログラフィック回折格子のブレーズ化は難しく、正弦波状の溝となります。よって設計波長付近での効率のピークも低くなります。狭い波長範囲を中心とした用途には、その波長でブレーズ化されている刻線回折格子が有効と考えられます。
迷光:
溝の作成法の違いにより、ホログラフィック回折格子は刻線回折格子よりも迷光が少なくなります。刻線回折格子のすべての溝は一括して機械加工されているため、エラーの頻度も高くなります。ホログラフィック回折格子は、リトグラフの工程で作製されるため、一般的に刻み目のない滑らかなマスタとなります。これらのマスタから作製されたレプリカは迷光が少なくなります。迷光が少ないホログラフィック回折格子は、高い信号対雑音比が必要となるラマン分光法などの用途に適しています。
分解能:
回折格子の分解能は、2つの波長を空間的に分離する能力です。分解能はレイリの基準を回折最大値に適用することによって求められます。この基準では、1つの波長の最大値がもう1つの波長の最小値に一致する場合、この2つの波長は分解できる、としています。色分解能(R)はR = λ/Δλ = n*Nで定義されます。Δλは分解する波長差、nは回折次数、Nは照射されている範囲の溝の数です。エシェル回折格子では、高次の回折次数を利用するため、分解能が高くなります。
偏光依存:
表面の溝密度が高い回折格子には偏光依存性損失の問題があり、垂直偏光と比べて特に平行偏光において回折効率が大幅に低くなることがあります。体積型位相ホログラフィック回折格子は、高い空間周波数において低い偏光依存性損失が要求される用途向けに設計されています。
回折格子の詳細と用途に適した回折格子の選択については「回折格子のチュートリアル」をご参照ください。
表面に溝が付いた回折格子の注意点:
表面が溝がついた回折格子は指紋、エアロゾル、水分のほか、ほんの少しの研磨材が接触しただけで損傷する場合があります。回折格子は、必要時のみ、側面だけを持って取り扱ってください。回折格子の表面に指の油分がつかないよう、ラテックス製手袋などを着用する必要があります。溶剤も回折格子の表面に損傷を与える可能性があります。クリーンで乾燥した空気か、窒素で埃を吹き飛ばす方法以外に回折格子のクリーニングは行わないでください。回折格子表面の引っかき傷などの小さな表面的な欠陥では、通常、回折格子の特性に影響を与えることはありません。一方、体積型位相ホログラフィック回折格子は、一般的な光学素子のクリーニング手順でクリーニングが可能で、高い耐性もあります。
UV透過型回折格子