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NanoMax™6軸ナノポジショナ


  • Six Independent Degrees of Freedom: X, Y, Z, Pitch, Yaw, and Roll
  • Modular High-Resolution Drive Options
  • Open- and Closed-Loop Piezo Versions

MAX609

No Actuators,
User Configurable

MAX603D

Differential Micrometers

US Patent 6,467,762

MAX683

Stepper Motors

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上の使用例では、NanoMaxシリーズ3軸フレクシャーステージに高さ調整アダプタAMA554(/M)を使用することにより、デッキ高を6軸ステージと同じ112.5 mmとして、6軸ステージと3軸ステージを直列配置しています。
Common Specificationsa
TravelX, Y, Z4 mm (0.16")
θx, θy, θz6° (105 mrad)
Travel MechanismParallel Flexure
Deck Height (Nominal)112.5 mm (4.43")
Optical Axis Height (Nominal)125 mm (4.92")
Load Capacity (Max)1 kg (2.2 lbs)
Crosstalk (Max)80 µm
RMS Repeatability30 nm over 30 μm
0.1% Over Full Travel Range
Thermal Stability1 µm/°C
StiffnessX, Z1 N/µm
Y0.5 N/µm
Top Plate
Mounting

Holes
Imperial Plate
Metric Plate
  • 仕様の詳細については「仕様」タブをご覧ください。

特長

  • XYZ方向への移動量:4 mm
  • θx、θy、θz(ロール、ピッチ、ヨー)の移動量:6°(105 mrad)
  • すべての回転自由度に関して共通な回転中心をもつため、アライメントが簡単、クロストークも抑制
  • パラレルフレクシャ設計による滑らかな連続動作と長期安定性
  • 上面プレートの溝により多軸ステージアクセサリがアライメント設置可能
  • ピエゾアクチュエータ付きの場合、分解能は最高1 nm
  • 高剛性フレクシャ設計:
    • X および Z: 1 N/µm
    • Y: 0.5 N/µm
  • 高い共振周波数:>130 Hz(±10%)
  • 一体構造のシングルムービングプラットフォーム設計
  • アジャスタをすべて底部に結合したことによりクロストークを最小限に抑制
  • アクチュエータが交換可能なモジュール型設計
  • メンテナンス箇所が少ない機構であるため、維持コストを抑制

当社のNanoMax™シリーズ6軸ナノポジショナは、ファイバ結合システムやサブミクロンの分解能が必要な用途に適しています。 XYZ方向への移動量は4 mm、θx、θy、θz(ロール、ピッチ、ヨー)の移動量は6°(105 mrad)です。最大耐荷重は1 kgとなっております。ピエゾアクチュエータや、差動型またはステッピングモーターアクチュエータを組み込んだタイプとアクチュエータ無しのタイプをご用意しています。ステージのデッキ高は公称値で112.5 mmで、当社の5軸ステージキットと同じです。アダプタープレートを用いると、デッキ高が62.5 mmの当社の3軸および4軸フレクシャーステージを112.5 mmまで上げ、6軸ステージの高さに合わせることができます。 

パラレルフレクシャ設計により、精密かつ滑らかな連続動作が実現し、摩擦もごく僅かとなります。 複雑な多軸の位置決めには、移動ステージを積み重ねた積層型の構成よりも、コンパクトなユニット1つに3自由度以上を有するパラレルフレクシャ設計のステージの方が大幅に性能が上がります。詳細については「設計の特長」タブをご覧ください。

当社のNanoMaxシリーズ6軸ステージは、ナノポジショニングに効果的な特長が2つあります。3つの回転軸は回転中心が共通であること、そしてすべてのアクチュエータを直接底部に結合した設計(特許取得済み)により、システム内での不要な移動(クロストーク)が最小限に抑えられていることです。


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取り外し可能なステンレススチール製のプローブ先端がすべての回転軸に共通な回転中心を指しています。

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こちらのファイバ結合の用途には、拡張用プラットフォームAMA029D(/M)を使用し、半導体レーザを6軸ステージの前面に取り付けています。

共通の回転中心
NanoMaxシリーズ6軸ステージには、左の写真のように可動プラットフォームの前部にステンレススチール製のプローブが付いており、その先端がすべての回転軸に共通な回転中心を示しています。全回転軸に共通な回転中心となっていることにより、θx、θy、θz(ロール、ピッチ、ヨー)を調整する際に直進動作を補償する必要がなくなるため、システムのアライメント時間が短縮されます。可動プラットフォームが移動すると、回転中心も底部に対して動き、可動プラットフォームに対する位置を保持します。この回転中心の公称位置は、右の表の青いインフォアイコン()をクリックするとご覧いただけます。詳細については「設計の特長」タブをご覧ください。

精密アクチュエータ
NanoMaxシリーズ6軸ステージはモジュール設計のため、アクチュエータを自由に取り外し、交換することができます。対応可能なアクチュエータについては「アクチュエータ」のタブをご覧ください。差動マイクロメータを予め組み込んだ手動式、またはステッピングモーターアクチュエータを組み込んだ電動式のステージもご用意しております。アクチュエータが組み込まれていないステージも右利き用または左利き用でご提供しております。アクチュエータは、システム内で意図しない動作(クロストーク)が最小限に留まるよう、すべて直接底部に結合しています。この特性はサブミクロンの分解能を必要とするあらゆる用途に適しています。ナノポジショニングの用途には、ピエゾアクチュエータ内蔵型タイプもございます。

ピエゾ素子の選択
ステージに開ループまたは閉ループのピエゾコントローラを用いることによってナノメートルレベルの分解能を得ることができます。ステージの中に組み込まれているピエゾアクチュエータの移動量は30 µmで、当社でラインナップしている開ループまたは閉ループのピエゾコントローラで制御可能です(対応コントローラについては「仕様」のタブをご覧ください)。さらにこのステージをNanoTrakコントローラ (例:K-Cubeベンチトップまたはラックシステム型モジュール)に結合させると、高性能の自動アライメント機能を有するシステムを構成できます。このシステムでは、熱ドリフトなどの外的要因に起因する結合効率の低下を抑制し、光のスループットを維持することができます。こちらのピエゾステージには駆動ケーブルPAA100が6本、閉ループシステムの場合にはフィードバックコンバーターケーブルPAA622が6本付属しています。

開ループピエゾアクチュエータ付きステージには歪ゲージ変位センサがありません。20 nmまでの位置分解能が必要な用途に適しています。一方、閉ループピエゾアクチュエータ付きタイプには歪ゲージ変位センサが付いており、ピエゾ素子の変位にリニアに比例するフィードバック電圧信号を送ります。このフィードバックシグナルにより分解能は5 nmまで向上するので、すべてのピエゾ素子に特有のヒステリシス、クリープ、サーマルドリフトの補償に使用できます。

なお、ピエゾ機構はマイクロメーターアクチュエータと接触することにより上面のステージを動かします。マイクロメーターアクチュエータを外してステージを動作させる場合、ブランクプラグを適用しないとピエゾアクチュエータは機能しません。ブランクプラグのご注文は当社までご連絡ください。

アクセサリを簡単にアライメント
当社では下表のとおり幅広いアクセサリをご用意しており、顕微鏡の対物レンズ、コリメーターパッケージ、導波路やファイバなどが取り付けられます。これらのアクセサリは、6軸ステージの上面プラットフォームの中央のキー溝で簡単にアライメントが可能です。上面プラットフォームのキー溝により、アクセサリのアライメントを維持したままで、迅速に構成の変更が行えます。

Multi-Axis Stage Accessories
Fiber ClampsFiber RotatorWaveGuide MountsDiode MountOptical MountsKinematic MountsPlatformsExtension PlatformsFiber ChucksSlide HoldersPitch and Yaw StagesAdapter Plates
Fiber
Mounts
Fiber
Rotators
Waveguide
Mounts
Diode
Mounts
Fixed
Mounts
Kinematic
Mounts
Top
Plates
a
Extension
Platforms
Fiber
Chucks
Slide
Holders
a
Kinematic
Platforms
Adapter
Plates
  • こちらの製品はNanoMaxシリーズ4軸ならびに6軸ステージに対応しておりません。

ステージ仕様

Item #MAX601D(/M)MAX602D(/M)MAX603D(/M)MAX681(/M)MAX682(/M)MAX683(/M)MAX607(/M)aMAX608(/M)aMAX609(/M)a
Included DrivesDRV3 Differential Micrometer DrivesDRV208 Stepper Motor ActuatorsbN/A
TravelX, Y, Z4 mmc
θx, θy, θz6° (105 mrad)
Deck Height (Nominal)112.5 mm (4.43")
Optical Axis Height (Nominal)125 mm (4.92")
Load Capacity (Max)1 kg (2.2 lbs)
Arcuate Displacement
(Max)
80 µm
Thermal Stability1 µm/°C
RMS Repeatability30 nm over 30 µm
0.1% Over full travel range
StiffnessX-Axis
Z-Axis
1 N/µm
Y-Axis0.5 N/µm
Moving
Top Plate
Dimensions
Imperial
Metric
Item #MAX601D(/M)MAX602D(/M)MAX603D(/M)MAX681(/M)MAX682(/M)MAX683(/M)MAX607(/M)aMAX608(/M)aMAX609(/M)a
Theoretical Resolution with External Drives
X, Y1.5 µm1.8 nmdN/A
Z1.0 µm1.2 nmd
θx, θy, θz17 µrad0.021 µradd
Item #MAX601D(/M)MAX602D(/M)MAX603D(/M)MAX681(/M)MAX682(/M)MAX683(/M)MAX607(/M)aMAX608(/M)aMAX609(/M)a
Internal Piezo Specifications
ControlN/AOpen LoopClosed LoopN/AOpen LoopClosed LoopN/AOpen LoopClosed Loop
Drive Voltage Range0 - 75 V0 - 75 V0 - 75 V
TravelX, Y, Z30 µm30 µm30 µm
θx, θy, θz1.8 arcmin
(0.52 mrad)
1.8 arcmin
(0.52 mrad)
1.8 arcmin
(0.52 mrad)
Capacitance1.8 µF1.8 µF1.8 µF
Theoretical ResolutioneX, Y, Z1.0 nm1.0 nm1.0 nm
θx, θy, θz0.018 µrad0.018 µrad0.018 µrad
Included Piezo CablesSix PAA100Six PAA100
Six PAA622
Six PAA100Six PAA100
Six PAA622
Six PAA100Six PAA100
Six PAA622
Compatible Piezo ControllersBPC303
MDT693B
MPZ601
KPZ101
KNA-VIS
KNA-IR
MNA601/IR
BNT001/IR
BPC303
MPZ601
KPZ101 w/ KSG101
KNA-VIS
KNA-IR
MNA601/IR
BNT001/IR
BPC303
MDT693B
MPZ601
KPZ101
KNA-VIS
KNA-IR
MNA601/IR
BNT001/IR
BPC303
MPZ601
KPZ101 w/ KSG101
KNA-VIS
KNA-IR
MNA601/IR
BNT001/IR
BPC303
MDT693B
MPZ601
KPZ101
KNA-VIS
KNA-IR
MNA601/IR
BNT001/IR
BPC303
MPZ601
KPZ101 w/ KSG101
KNA-VIS
KNA-IR
MNA601/IR
BNT001/IR
  • 左手系もご用意しております。
  • 長さ3 mのエクステンションケーブルPAA613も付属しています。
  • X軸とY軸方向のギア比は1:1.5なので、マイクロメータが1 mm移動するとステージは1.5 mm移動します。その他の軸のギア比は1:1です。 
  • コントローラ BSC201を使用
  • BPC30xシリーズのコントローラと16ビットのDACを使用した場合の典型値 

差動マイクロメータ仕様

Item #DRV3
Travel Range8 mm (0.31") Coarse, 300 µm Fine
Resolution5.0 µm Coarse, 0.5 µm Fine
Coarse Adjustment
(with Vernier Scale)
500 µm/rev
Fine Adjustment
(with Vernier Scale)
50 µm/rev

ステッピングモータの仕様

Item #DRV208
Travel8 mm (0.3")
Unidirectional Repeatability3.6 µm
Bidirectional Repeatability5.0 µm
Absolute Accuracy17.1 µm
Maximum Force180 N
Maximum Velocity5 mm/s
Maximum Acceleration5 mm/s2
Full Step Angle1.8°
FeedbackNone
Limit SwitchesHall Effect
Lead Screw Pitch0.5 mm
Homing Repeatability13.5 µm
Motor Type2-Phase Stepper
Microsteps per Revolution
of Leadscrew
409,600
Recommended ControllersBSC203
MST602

共振周波数

Resonant Frequency for Given Loads
AxisMassResonant Frequency
X25 g135 Hz
55 g132 Hz
110 g128 Hz
Y25 g122 Hz
55 g119 Hz
110 g114 Hz
Z25 g118 Hz
55 g114 Hz
110 g110 Hz
アクチュエータの取り外し方
Installing a DRV003 Micrometer
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ステップ2
刻み付きノブを回して外し、アクチュエータを取り除きます。
Installing a DRV003 Micrometer
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ステップ1
アクチュエータを反時計回りに回し、プラットフォームから離します。

モジュール式アクチュエータのオプション

すべてのNanoMaxシリーズの6軸システムはアクチュエータを自由に取り外し、交換することができるモジュール設計となっております。よって各軸でどの程度自動化するのか、また分解能はどの程度必要なのか、ということを考慮して、アクチュエータを組み合わせカスタマイズすることが可能です。

アクチュエータの交換方法は3つのステップで完了します。まず、アクチュエータの送りネジをステージの移動体から離れるところまで戻します。それからアクチュエータをステージに取り付けている刻みノブを回して外します。最後に新しいアクチュエータを同じ刻み付きノブを使用してステージに取り付けます。

当社のNanoMaxシリーズ6軸ステージに対応するアクチュエータを以下にまとめています。アクチュエータによっては移動範囲が長いものもありますが、すべてのNanoMaxシリーズ6軸ステージのXYZ方向への移動量は4 mm、ロール、ピッチ、ヨーの移動量は6°です。各アクチュエータの詳細については、ステッピングモータ付きアクチュエータ差動マイクロメータとつまみネジドライバまたは埋込み型ピエゾアクチュエータの製品ページをご覧ください。

Item #DRV004DRV3DRV208DRV120
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DRV004DRV3DRV208DRV120
Actuator TypeThumbscrewDifferential MicrometeraStepper MotorbPiezoelectric with Feedback
Travel Range8 mm (0.31")cCoarse: 8 mm (0.31")c
Fine: 300 µm
8 mm (0.31")c20 µm
Adjustment500 µm/revolutionCoarse: 500 µm/revolution
Fine: 50 µm/revolution
-
Resolution1.0 µmCoarse: 5.0 µm
Fine: 0.5 µm
200 steps/rev of Leadscrew5 nmd
Compatible Controllers-Benchtop: BSC200 Series
Rack Module: MST602
Benchtop: BPC300 Series
Rack Mount: MPZ601
K-Cubes: KNA-VIS, KNA-IR,
or KPZ101 with KSG101
  • MAX601D/M、MAX602D/M、MAX603D/Mステージに付属
  • MAX681/M、 MAX682/M、MAX683/Mステージに付属
  • NanoMaxステージによって移動範囲は4 mmに制限
  • 閉ループ

変位センサ

7ピンLEMOオス型

MAX603D/M、MAX683/M、MAX609(L)/M

LEMO Male

PinDesignation
1+15 V
2Oscillator +
30 V
4Signal Out -
5Signal Out +
6-15 V
7Travel

ピエゾアクチュエータ入力端子

SMCオス型

MAX602D/M、MAX603D/M、
MAX682/M、MAX683/M、
MAX608(L)/M、MAX609(L)/M

SMA Male

最大入力電圧(公称値):75 V
絶対最大入力電圧:100 V

ステッピングモータDRV208コネクタ

Dタイプオス型

MAX681/M、MAX682/M、MAX683/M

DB15 Male

PinDescriptionPinDescription
1Limit Switch 0 V9For Future Use
2Not Connected10+5 V
3CW Limit Switch11-
4Motor Phase B -ve12-
5Motor Phase B +ve13+5 V
6Motor Phase A -ve14-
7Motor Phase A +ve15Ground
8---

NanoMaxシリーズ6軸ステージの設計特

 

特許取得済みパラレルフレクシャ設計


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図1: パラレルフレクシャの簡略図

パラレルフレクシャ設計のプラットフォーム
複雑な多軸の位置決めには、移動ステージを積み重ねた積層型の構成よりも、コンパクトなユニット1つに3自由度以上を有するパラレルフレクシャ設計のステージの方が大幅に性能が上がります。当社のNanoMax™シリーズのナノポジショニングプラットフォームは、特許取得済みのパラレルフレクシャ技術に基づいています。概念設計の出発点は、剛性体には6つの自由度が備わっていることに気付いたことから始まりました。各アクチュエータに1自由度ずつ制御させることにより、剛性体は6つのアクチュエータで完全に制御されることになります。

可動プラットフォームのパラレルフレクシャ設計は、高安定性と高分解能という従来にはない組み合わせの性能を6軸ナノポジショナにもたらします。このステージの機械的剛性は、従来の積層型フレクシャ設計よりもひと桁上回っています。ほかにもパラレルフレクシャ設計には従来の積層型ステージと比べて作業高さがはるかに低いこと、外力に対する抵抗力が強いこと、ダンピング性能が優れていることなどの利点が挙げられます。また可動部品も少ないため、可動プラットフォームの慣性も減少します。これは、高速自動アライメントに適した性能です。

こちらの設計は、下記で説明している積層型設計にみられる誤差の累積問題も解決します。

なおパラレルフレクシャには、シリアルフレクシャと同様にクロストーク(またはarcuate motion)があることにご留意ください。ステージが中心位置から片側に動く場合、その垂直方向において約20 μm/mm移動します。複数の軸が一度に動いた場合その影響は大きくなりますが、従来のステージでのランダムな位置決め誤差とは異なり、このクロストークは予測可能なので僅かな調整だけで修正することができます。この程度のarcuate motionは、通常、ファイバやの光学部品のアライメントを乱すことはほとんどありません。また、NanoTrak™自動アライメントコントローラを使うと、コントローラ自身がこれらの影響を自動的に補償します。arcuate motionが特定のアライメントや位置決め用途の限定的なパラメータである場合、その影響もまたソフトウェアで補償することができます。


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図2: シリアル(積層型)フレクシャの簡略図

従来のシリアル(積層型)多軸プラットフォーム
多軸システムは従来、図2のように単軸機構を積み重ねることによって構築されています。軸数が増えるにつれ、設計は複雑になり、扱いにくくなります。また、積層型アクチュエータは変形しやすくなり、位置決め誤差が生じる場合があります。

従来の多軸ステージ(ローラーベアリング、ボールベアリング、フレクシャ構造)では、ステージを積み重ねることで、誤差が累積していました。2つのステージを積み重ねる際には、コサイン誤差とアッベ誤差を考慮に入れる必要があります。コサイン誤差は、2つのステージが互いに直交配列されていない場合に生じます。アッベ誤差は、上側のステージに有限の高さがあることから生じます。ステージ下側のロール、ピッチ、ヨー誤差は積層型システムの全体の高さにより増幅します。別の5つのステージの上に6番目の自由度を積み上げる機構の6軸ステージでは、このような状況は特に顕著でした。従来のステージにおいて、これらの誤差が累積することによって、全体的な精度は個々のステージに比べて著しく低下します。

パラレルフレクシャ設計は、誤差が累積するという問題を解決します。この設計思想では、フレクシャを、各端にフレキシブルな接続機構が付いた1本の頑丈なロッドとして捉えており、これは2つの回転自由度を提供しています。上面プレートをロッドを介してベース部分に接続することにより、このロッド構造がステージの動きを制約しています。このようなロッド6本が、それぞれにステージの適切な制御を行ないます。

上面プレートに接続されていないフレクシャーロッドの端は、上部プレートを動かすためにリニアアクチュエータに接続されます。対応する1対のフレクシャーロッドを同じ方向に動かすと直線移動を、逆方向に動かすと回転運動を行ないます。

 

少ない部品数とメンテナンス、そして長い製品寿命

正確なモーションコントロールのためには、一連の流れの中で可動部品をできるだけ少なくすることが望ましいことが示されてきました。部品間の接合部分には、顕微鏡レベルの不完全さが存在し、部品間の摩擦を起こしている可能性があります。このような摩擦は予測や制御が不可能なので、高性能設計にはもっとも望ましくない要素です。パラレルフレクシャープラットフォームは可動部品が少ないので精密なモーションコントロールが可能です。30 μmの移動を1 μmステップで実施した試験では、RMS双方向再現性は30 nmとなっており、NanoMaxシリーズ6軸ステージ全範囲では0.1%となります。この性能は、プラットフォーム内の静的ならびにキネマティックな摩擦をなくすパラレルフレクシャ機構により得られています。

NanoMaxシリーズ6軸プラットフォームは可動部品が少ないので、操作の際にひどく摩耗することはありません。可動部品にベアリングがないので、時間の経過とともに位置決めの性能が劣化することがありません。メンテナンスが必要な部品は駆動アクチュエータだけになるので、メンテナンス費用も削減できます。また、ステージのメンテナンスのためにセットアップを全て解体する必要はありません。アクチュエータは素早く簡単に交換できるので、システムの停止時間とそれによるロスを最小限に抑えます。しかしアクチュエータを取り除く際、プラットフォームの位置は移動してしまいます。

 

すべての回転軸に共通な回転中心


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図3: 取り外し可能なステンレススチール製のプローブ先端が、ステージのすべての回転軸に共通な回転中心を示しています。共通の回転中心を示した図はこちらからご覧いただけます。

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図4: ステンレススチール製のプローブはステージ前部の刻み付きノブを緩めることにより、いつでも取り外し可能です。

NanoMaxシリーズ6軸ステージの特長は、3つのすべての回転軸(θx、θy、θz)に対して共通の1つの回転中心なのでアライメントが簡単なことです。つまり、軸の回転アライメントを調整する際に、直進動作を補償する必要が無くなりました。この特長により、導波路などの複雑なアライメントを必要とするシステムの調整時間を大幅に短縮できます。

通常、ファイバーホルダはファイバの先端の回転中心となるよう、移動範囲の中央に取り付けられます。上面プレートの設置については、マニュアルの13ページをご覧ください。 可動プラットフォームが中心点から移動した場合、回転中心も底部に対して動くため、可動プラットフォームに対する位置関係が保持されます。取り付けたアクセサリがプラットフォームにアライメントされた後は、ユニットの前面にあるノブを緩めてステンレススチール製のプローブを取り外すことができます(図4参照)。5:6軸ステージに組み込まれた様々なアクチュエータ。「アクチュエータ」のタブではすべての対応可能アクチュエータがご覧いただけます。

 

固定型、モジュール式、高分解能アクチュエータ


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図5: 6軸ステージに組み込まれた様々なアクチュエータ。「アクチュエータ」のタブではすべての対応可能アクチュエータがご覧いただけます。

すべてのアクチュエータは、システム内の不要な動作が最小限に抑えられるよう、可動する上面プレートではなく、システムの底部に直接接続されています。これにより、比較的容易に、より高い分解能で手動操作を行うことができます。電動および自動化用途においては、アクチュエータの振動や衝撃が可動プラットフォームに与える影響はほとんどありません。

当社のNanoMaxシリーズ6軸ステージはモジュール設計のため、アクチュエータを自由に取り外し、交換することができます。 よって各軸で必要な動作量、または必要な分解能に応じて、アクチュエータを組み合わせカスタマイズすることが可能です。

当社では、精密つまみネジドライバ、差動マイクロメータ、電動式アクチュエータ、ピエゾエクステンダなどのアクチュエータを多数取り揃えております。図5では、それぞれの軸に様々な種類のアクチュエータが取り付けられているのがご覧いただけます。ステージは、このモジュール性により、ありとあらゆる用途で用いることができる汎用性の高い製品となっております。ピエゾアクチュエータが内蔵しているタイプもご用意しております。こちらの移動量は30 μm、分解能は最高1.0 nmで、開ループまたは歪ゲージ位置フィードバック機能付き(閉ループ)をご用意しております。性能と安定性を高めるために、駆動電圧は内蔵回路によって制御され、熱変動を補償します。

対応可能なアクチュエータについては「アクチュエータ」のタブをご覧ください。差動マイクロメータを予め組み込んだ手動式、またはステッピングモーターアクチュエータを組み込んだ電動式のステージもご用意しております。

 

低プラットフォーム高とキー溝によるアクセサリのアライメント


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図7: 上の使用例では、3軸MicroBlock小型フレクシャーステージに高さ調整アダプタAMA554(/M)を使用することにより、デッキ高を6軸ステージと同じ112.5 mmに合わせています。

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図6: 上の使用例では、NanoMaxシリーズ3軸フレクシャーステージに高さ調整アダプタAMA554(/M)を使用することにより、デッキ高を6軸ステージと同じ112.5 mmとして、6軸ステージと3軸ステージを直列配置しています。

当社の6軸ステージは安定性向上のため、プラットフォームの高さが112.5 mmと低くなっております。この高さにより当社の5軸ステージキットにも対応可能です。図6と図7で示しているようにアダプタープレートを使用することによって当社のデッキ高62.5 mmの3軸および4軸lフレクシャーステージを112.5 mmまで上げ、6軸ステージの高さに合わせることができます。 

上面プラットフォームの中央にキー溝があるので、アクセサリのアライメントを維持したままで、迅速に構成の変更が行えます。幅広いアクセサリをご用意しており、顕微鏡の対物レンズ、コリメーターパッケージ、導波路やファイバなどが取り付けられます。

 

 

 


Posted Comments:
alfred  (posted 2016-09-12 11:08:21.167)
Dear Sir: I come from Chroma ATE Inc. I have some question for this apt™ Stepper Motor Controllers Type:BSC203 with Motor Type :DRV001(see on the motor's connecter) and Stage Type :MAX604 - 6-Axis NanoMax Stage, Stepper Motors, No Piezos, Right-Handed(see on the stage's box) 1.I'd like to know device unit about the motor: (nm/Pulse?) According to ThorLab official specification value: a.Minimum Incremental Movement:60nm/pulse.Does device unit? b.Lead Screw Pitch:0.5mm.Does express motor rotation one circle forward 0.5mm? c.Microsteps per Revolution of Leadscrew:Does express motor rotation one circle need 409600pulse? So (Lead Screw Pitch/Microsteps per Revolution of Leadscrew)=Minimum Incremental Movement,but 1.2nm is not equal 60nm ,why? 2.Kinesis software(Actuator set APT600L X Axis) a.Step Size=0.5mm: motor rotation one circle forward 0.5mm? but autaul half circle I see. b.Travel:8mm ,but I could move 12 mm (show on the current device postion). Does I configuration error? 3.We use MAX604/M stage,I'd like to know (Roll,Pitch,Yaw) device unit. I have seen MAX604/M Manual, but I'm not sure. page:21 path:https://www.thorlabs.com/drawings/11c303460db0cce4-17B504EE-5056-010E-86CD5C9A5BF9295C/MAX604_M-Manual.pdf Thank you.
bwood  (posted 2016-09-12 11:49:35.0)
Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your feedback. I believe this relates to the conversion between microsteps to real world units. For the DRV001 connected to the BSC203, 1mm equates to 819200µs. I will be in direct contact with you so I can gather more details on your system, and troubleshoot you Kinesis issue in more detail.
ngaber  (posted 2015-06-02 17:00:21.813)
Dear Sir, Don'y you provide a Left-Handed version from this stage: 6-Axis NanoMax Stage, Differential Drives, Closed-Loop Piezos, Right-Handed, Metric?
cevered  (posted 2015-06-03 07:34:38.0)
Response from Chris at Thorlabs: Yes, we can provide a left handed version of MAX603D/M at the same price. We will contact you directly via email with a quote.
a.andreski  (posted 2015-02-04 02:18:52.783)
Are the definitions of the rotational angles such that every successive rotation happens about the rotated coordinate system (intrinsic rotation) or the original one (extrinsic rotation)? Thanks!
msoulby  (posted 2015-02-05 08:05:21.0)
Response from Mike at Thorlabs: A unique mechanical feature of the NanoMax 600 Series is that there is a single common pivot point for all three of the rotation axes. In practical terms this means that the need for compensating lateral movement is nearly eliminated when making rotational alignment movements. The common pivot point is marked by a pin and can be viewed in the drawing link below http://www.thorlabs.de/thorcat/22800/MAX601D_M-AutoCADPDF.pdf
a.andreski  (posted 2013-10-21 15:26:49.763)
Is de RMS repeatability given in closed loop mode?
msoulby  (posted 2013-10-23 09:02:00.0)
Response from Mike at Thorlabs: Yes the RMS repeatability was measured in closed loop mode.
jlow  (posted 2012-08-09 10:21:00.0)
Response from Jeremy at Thorlabs: I will get in contact with you directly to look at your VI and resolve this issue.
fontainenh  (posted 2012-08-08 15:06:44.0)
I have a Nanomax 6-axis stage with DRV001 steppers. I need to have the z-axis translation very short beyond home position of 0.000 mm because my inverted microscope objective has a 0.35 mm working distance and it will strike the bottom of my window if it goes higher than that. The problem is that when I home my motors (using Labview 2011 ActiveX), the motor positions the platform about 2 mm above the location where the DRV001 first re-engages the stage when it homes and then the position gets initialized at that position to be 0.0000. I cannot translate to negative values, 0.000 is the minimum. This leaves my objective too far under the window (by about 1.65 mm). If I adjust the height of the objective upward to best focus, then do a subsequent home command, it lowers the platform (and window) and it crashes into my objective. I noticed the pitch on the z-axis loads as 0.5 mm, but if I change manually to 0.75 mm in APT User, then the z-axis home positioning seems to work correctly. But I have to do that manually. How can I change the settings so that the correct parameters load when launching my labview VI.
apalmentieri  (posted 2010-01-11 11:48:12.0)
A response from Adam at Thorlabs: Yes, the Max600 series can provide tip and tilt adjustments to help limit the defocusing of the substrate. However, the defocusing element also depends on the substrate being used and the sample size that you are imaging. Also, there may be a better stage system that we can provide which may be more compatible with your microscope. One system that you may want to consider is a MAX300 series stage with a APY002. I will email you directly to get more information about your setup.
kim.feijen  (posted 2010-01-11 05:20:04.0)
I would like to use the stage to adjust a substrate parallel to an objective of a microscope (remove tilt) and then translating it X and Y without defocussing the substrate. Is this possible?
Laurie  (posted 2008-11-20 16:40:34.0)
Response from Laurie at Thorlabs to amirhossein: Thank you for your interest in our 6-axis stages. Someone from our technical support staff will contact you and work with your directly to determine the best stage for your application.
amirhossein.tehranchi  (posted 2008-11-14 14:52:23.0)
Dear Sir/Madam, I need a package for fiber to waveguide alignment including 2 six-axis stages without motors but including the piezos on x, y and z of them and necessary apparatus and controllers. Meanwhile, how much does the cost differ with motors? I need to have the possibility and the quotes with discount, ASAP as we are going to buy soon lots of equipments from THORLABS for our lab. Regrads Amirhossein Tehranchi EED, L-6813 Lassonde Bldg. Ecole Polytechnique University of Montreal Montreal H3T 1J4 Canada 514 340 4711
lsandstrom  (posted 2008-10-23 07:07:05.0)
What is the tolerance on each axis with respect to the common pivor point?

多軸ステージセレクションガイド


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上の使用例では、NanoMaxシリーズの3軸フレクシャーステージを6軸ステージの前に置き、高さ調整アダプタAMA554(/M)を使用してデッキ高112.5 mmに整合させています。

3軸ステージ
当社では3種類の3軸ステージをご用意しております。NanoMaxフレクシャーステージ、MicroBlockコンパクトフレクシャーステージ、RollerBlock長距離移動ステージです。どのステージも公称デッキ高は62.5 mmです。NanoMaxシリーズの3軸ステージでは、内蔵型の閉ループまたは開ループのピエゾアクチュエータのほかに、ステッピングモータや差動アク チュエータ、その他のピエゾアクチュエータなどのモジュール型駆動オプションをご用意しております。MicroBlockステージには、差動マイクロメー ターアクチュエータや精密つまみネジが付いていますが、それらのアクチュエータは取り外しができません。RollerBlockステージのアクチュエータ は、Ø9.5 mmの取付けバレルが付いたアクチュエータであれば交換可能です。

4軸ならびに5軸ステージ
当社の4軸ならびに5軸ステージは、3軸ならびに6軸の高性能アライメントステージと比較した場合、導波路や複雑な光学素子の静的な位置決めにより適しています。5軸ステージの公称高さは、62.5 mmまたは112.5 mmになります。3軸または4軸ステージの高さを5軸MicroBlockあるいは6軸NanoMaxステージに合わせて112.5 mmに上げたい場合には、ライザーブロック(高さ調整ブロック)AMA554(/M)をご使用いただけます。。

6軸ステージ
当社のNanoMax 6軸ナノポジショナは複雑な多軸ポジショニングシステムに適しており、公称デッキ高は112.5 mmです。こちらのステージは共通の回転中心を有しています。また特許取得済みの平行フレクシャ設計により、すべてのアクチュエータがベースに直接結合 し、システム内の不要な動きを最小限に抑えています。ピエゾ素子はオプションで閉ループでも開ループでも組み込めます。モジュール型設計のためアクチュ エータを交換することができ、すべての軸で手動式、またはピエゾ素子による電動式にすることが可能です。アクチュエータが付属しないタイプについては、右 手系、左手系のどちらの構成でもご用意しております。 3軸ステージの高さを112.5 mmに上げたい場合には、右の写真のように高さ調整アダプタAMA554(/M)のご使用をお勧めいたします。

当社の多軸ステージのラインナップならびに比較は下の表でご覧ください。

 

3軸ステージ

Item #MAX313DMAX312DMAX311DMAX383MAX381MAX303MAX302MAX301MBT602MBT616DRB13MRBL13D
Stage TypeNanoMax Flexure StagesMicroBlock Compact
Flexure Stages
RollerBlock Long Travel Stages
Included DrivesDRV3 Differential MicrometersDRV208 Stepper Motor ActuatorsN/AFine Thread ThumbscrewsDifferential Micrometers148-801ST
Micrometer Drives
DRV304
Differential Micrometers
Built-in PiezosN/AOpen
Loop
Closed LoopN/AClosed LoopN/AOpen LoopClosed LoopN/AN/A
Travel (X, Y, Z)4 mm (0.16")13 mm (0.51")
Deck Height (Nominal)62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)1 kg (2.2 lbs)4.4 kg (9.7 lbs)
Thermal Stability1 µm/°C-
Weight1.00 kg (2.20 lbs)0.64 kg (1.40 lbs)0.59 kg (1.30 lbs)

4軸ステージ

Item #MBT401D
MBT401D/M
MBT402D
MBT402D/M
Stage Type4-Axis Thin-Profile MicroBlock Device Stage4-Axis Low-Profile MicroBlock Device Stage
Included DrivesDifferential Micrometers
Built-in PiezosN/A
TravelHorizontal Axis (Y)a13 mm (0.51")
Vertical Axis (Z)6 mm (0.24")
Pitch (θy)±5°
Yaw (θz)±5°
Deck Height (Nominal)62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)0.5 kg (1.1 lbs)
  • 光軸(X)に対して垂直

5軸ステージ

Item #MBT401D (MBT401D/M) or
MBT402D (MBT402D/M) with
MBT501
PY005
Stage Type5-Axis MicroBlock Device Platform SystemCompact 5-Axis Platform
Included DrivesDifferential Micrometers100 TPI Actuators
Built-in PiezosN/A
TravelOptical Axis (X)13 mm (0.51")3 mm (0.12")
Horizontal Axis (Y)13 mm (0.51")3 mm (0.12")
Vertical Axis (Z)6 mm (0.24")3 mm (0.12")
Pitch (θy)±5°±3.5°
Yaw (θz)±5°±5°
Deck Height (Nominal)112.5 mm (4.43")62.5 mm (2.46")a
Optical Axis Height (Nominal)125 mm (4.92")75 mm (2.95")a
Load Capacity (Max)0.5 kg (1.1 lbs)0.23 kg (0.5 lbs)
  • 公称デッキ高は62.5 mmと光軸高さ75 mmを得るには高さ調整アダプタPY005A2(/M)ならびに取付けプレートMMP1(/M)を使用してください。

6軸ステージ

Item #MAX601D
MAX601D/M
MAX602D
MAX602D/M
MAX603D
MAX603D/M
MAX681
MAX681/M
MAX682
MAX682/M
MAX683
MAX683/M
MAX607
MAX607/M
MAX607La
MAX607L/Ma
MAX608
MAX608/M
MAX608La
MAX608L/Ma
MAX609
MAX609/M
MAX609La
MAX609L/Ma
Stage Type6-Axis NanoMax Flexure Stage
Included DrivesDRV3 Differential MicrometersDRV208 Stepper Motor ActuatorsN/A
Built-in PiezosN/AOpen LoopClosed LoopN/AOpen LoopClosed LoopN/AOpen LoopClosed Loop
TravelX, Y, Z4 mm (0.16")
θx, θy, θz
Deck Height (Nominal)112.5 mm (4.43")
Optical Axis Height (Nominal)125 mm (4.92")
Load Capacity (Max)1.0 kg (2.2 lbs)
  • 左手系のバージョン

NanoMaxシリーズ6軸ステージ、差動アジャスタ付き


Item #aMAX601D(/M)MAX602D(/M)MAX603D(/M)
Manual Drive Specifications
Included DrivesDRV3 Differential Micrometer Drives
TravelX, Y, ZCoarseb: 4 mm (0.16")
Fine: 300 µm
θx, θy, θzCoarse: 6° (105 mrad)
Fine: 18 arcmin (5.2 mrad)
Coarse Adjustmentc
(with Vernier Scale)
500 µm/rev
Fine Adjustmentc
(with Vernier Scale)
50 µm/rev
Piezo Specifications
ControlN/AOpen LoopClosed Loop
Drive Voltage Range0 - 75 V
Travel RangeX, Y, Z30 µm
θx, θy, θz1.8 arcmin (0.52 mrad)
Theoretical
Resolutiond
X, Y, Z1.0 nm
θx, θy, θz0.018 µrad
Included Piezo CablesSix PAA100Six PAA100
Six PAA622
  • 仕様の詳細「仕様」タブをご参照ください。
  • 差動アクチュエータDRV3の全移動量(粗動)は8 mmです。この範囲はステージによって4 mmまたは6°(105 mrad)に制限されています。
  • マイクロメータのX軸およびY軸方向への1 mmの移動はギア比1:1.5のため、ステージの1.5 mmの移動にあたりますのでご注意ください。他の軸のギア比は1:1です。
  • BPC30xシリーズのコントローラと16ビットのDACを使用した場合の典型値
  • 手動調整用差動マイクロメータDRV3を組み込み済み
  • 閉ループまたは開ループのピエゾ内蔵型、またはピエゾ無しでご用意
  • オプションのピエゾアクチュエータの移動量: 30 µm
  • モジュール設計なので、アクチュエータは取り外して交換可能
  • アジャスタをすべてベースに接続したことによりクロストークを最小限に抑制

当社の差動アジャスタ付き6軸NanoMaxステージのX、Y、Z方向への粗調整移動量は4 mm、微調整移動量は300 µmです。 また、θx、θy、θz(ロール、ピッチ、ヨー)移動量は6°(105 mrad)、微調整移動量は18 arcmin(5.2 mrad)となっています。 粗調整用アジャスタには10 µm単位のバーニヤ目盛が付いており、分解能は5 µmとなります。 微調整用アジャスタには1 µm単位のバーニヤ目盛が付いており、分解能は0.5 µmです。 ステージのこれらの分解能と移動範囲は、シングルモードファイバや導波路のアライメントシステムにおいて結合効率を最適化するのに便利です。 また目盛は、システム内での絶対的な位置決めのための基準とすることもできます。 マイクロメータのX軸ならびにY軸方向への1 mmの移動は、ステージの1.5 mmの移動にあたりますのでご注意ください。 詳細は、マニュアルの10ページをご覧ください。 付属のアクチュエータはモジュール設計なので、交換が可能です。詳細と対応可能なアクチュエータのラインナップについては「アクチュエータ」タブをご覧ください。

上記の特長に加えて、NanoMaxステージMAX602D/MとMAX603D/Mにはそれぞれ開ループ、そして閉ループのピエゾアクチュエータが内蔵されており、移動量は30 µmとなっております。 開ループ設計のタイプには歪ゲージセンサが内蔵されていません。 ピエゾアクチュエータの理論的な分解能は、X、Y、Z軸方向に1 nm、 θx、θy、θz回転軸方向に0.018 µradです。 閉ループシステムを使用してフィードバックループを構成することにより、ピエゾ素子に特有のヒステリシス、クリープ、熱ドリフトが補正されます。 こちらのピエゾステージには駆動ケーブルPAA100が6本、閉ループシステムの場合にはフィードバックコンバーターケーブルPAA622が6本付属しています。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MAX601D Support Documentation
MAX601DNanoMax 6軸ステージ、差動アジャスタ付き、右手方向(インチ規格)
¥852,493
3-5 Days
MAX602D Support Documentation
MAX602DNanoMax 6軸ステージ、差動アジャスタ付き、右手方向、開ループピエゾ付き(インチ規格)
¥1,410,271
3-5 Days
MAX603D Support Documentation
MAX603DNanoMax 6軸ステージ、差動アジャスタ付き、右手方向、閉ループピエゾ付き(インチ規格)
¥1,723,274
3-5 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MAX601D/M Support Documentation
MAX601D/MNanoMax 6軸ステージ、差動アジャスタ付き、右手方向(ミリ規格)
¥852,493
3-5 Days
MAX602D/M Support Documentation
MAX602D/MNanoMax 6軸ステージ、差動アジャスタ付き、右手方向、開ループピエゾ付き(ミリ規格)
¥1,410,271
3-5 Days
MAX603D/M Support Documentation
MAX603D/MNanoMax 6軸ステージ、差動アジャスタ付き、右手方向、閉ループピエゾ付き(ミリ規格)
¥1,723,274
3-5 Days

NanoMaxシリーズ6軸ステージ、ステッピングモーターアクチュエータ付き

Item #aMAX681(/M)MAX682(/M)MAX683(/M)
Stepper Motor Drive Specifications
Included DrivesDRV208 Stepper Motor Actuators
TravelbX, Y, Z4 mm (0.16")c
θx, θy, θz6° (105 mrad)
Max Velocity5 mm/s
Max Acceleration5 mm/s2
Included Motor
Extension Cables
Six PAA613
Recommended DriversBSC203 and MST602
Piezo Specifications
ControlN/AOpen LoopClosed Loop
Drive Voltage Range0 - 75 V
Travel
X, Y, Z30 µm
θx, θy, θz1.8 arcmin (0.52 mrad)
Theoretical Resolutiond
X, Y
1.8 nm
Z1.2 nm
θx, θy, θz0.021 µrad
Included Piezo CablesSix PAA100Six PAA100
Six PAA622
  • 詳細については、「仕様」タブをご参照ください。
  • なおXY軸では、1:1.5のギア比により、マイクロメータのX軸ならびにY軸方向への1 mmの移動は、ステージの1.5 mmの移動にあたりますのでご注意ください。その他の軸のギア比は1:1です。
  • ステッピングモータ DRV208の全移動範囲は8 mmです。この範囲は、ステージにより4 mm、または6°(105 mrad)に制限されます。
  • BPC30xシリーズのコントローラと16ビットのDACを使用した場合の典型値
  • 自動アライメント用ステッピングモーターアクチュエータDRV208を構成済み
  • 閉ループまたは開ループのピエゾ内蔵型、またはピエゾ無しでご用意
  • ピエゾアクチュエータの移動量:30 µm
  • モジュール設計なので、アクチュエータは取り外して交換可能
  • アジャスタをすべて底部に結合したことによりクロストークを最小限に抑制

当社のステッピングモーターアクチュエータ付きNanoMaxシリーズ6軸ステージは、XYZ方向に4 mm、θx、θy、θz(ロール、ピッチ、ヨー)は6°(105 mrad)移動します。アクチュエータは5.0 µmの双方向再現性があります。ホール効果リミットスイッチがモータのホーミングに適した高い再現性をもたらします。この機能はゼロポイントへの高度な再現性を求められる自動アライメントの用途において重要です。これらのステージは高い再現性と小さなステップにより、高精密自動ファイバ入射システムなどの微小動作の用途に適したステージになっております。付属のアクチュエータはモジュール設計なので、交換が可能です。「アクチュエータ」のタブで対応可能なアクチュエータのラインナップをご覧ください。各ステージには長さ3 mのステッピングモーターアクチュエータ用のエクステンションケーブルPAA613が6本付属します。

上記の特長に加えて、NanoMaxステージMAX682/MとMAX683/Mにはそれぞれ開ループ、そして閉ループのピエゾアクチュエータが内蔵されており、ピエゾの移動量は30 µmとなっております。開ループ設計のタイプには歪ゲージセンサが内蔵されていません。ピエゾアクチュエータの理論的な分解能は、X、Y、Z軸方向に1 nm、θx、θy、θz回転軸方向に0.018 µradです。閉ループシステムを使用してフィードバックループを構成することにより、ピエゾ素子に特有のヒステリシス、クリープ、熱ドリフトが補正されます。ピエゾステージには駆動ケーブルPAA100が6本と、閉ループシステムの場合、フィードバックコンバーターケーブルPAA622も6本付属します。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MAX681 Support Documentation
MAX681NanoMax 6軸ステージ、ステッピングモータ付き、右手方向、ピエゾ無し(インチ規格)
¥1,045,218
3-5 Days
MAX682 Support Documentation
MAX682NanoMax 6軸ステージ、ステッピングモータ付き、右手方向、開ループピエゾ付き(インチ規格)
¥1,547,429
3-5 Days
MAX683 Support Documentation
MAX683NanoMax 6軸ステージ、ステッピングモータ付き、右手方向、閉ループピエゾ付き(インチ規格)
¥1,923,736
3-5 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MAX681/M Support Documentation
MAX681/MNanoMax 6軸ステージ、ステッピングモータ付き、右手方向、ピエゾ無し(ミリ規格)
¥1,045,218
3-5 Days
MAX682/M Support Documentation
MAX682/MNanoMax 6軸ステージ、ステッピングモータ付き、右手方向、開ループピエゾ付き(ミリ規格)
¥1,547,429
3-5 Days
MAX683/M Support Documentation
MAX683/MNanoMax 6軸ステージ、ステッピングモータ付き、右手方向、閉ループピエゾ付き(ミリ規格)
¥1,923,736
3-5 Days

NanoMaxシリーズ6軸ステージ、アクチュエータ無し

Item #aMAX607(/M)
MAX607L(/M)
MAX608(/M)
MAX608L(/M)
MAX609(/M)
MAX609L(/M)
Piezo Specifications
ControlN/AOpen LoopClosed Loop
Drive Voltage Range0 - 75 V
Travel
X, Y, Z30 µm
θx, θy, θz1.8 arcmin (0.52 mrad)
Theoretical
Resolutiond
X, Y, Z1.0 nm
θx, θy, θz0.018 µrad
Included Piezo CablesSix PAA100Six PAA100
Six PAA622
  • 詳細については、「仕様」タブをご参照ください。対応可能なアクチュエータについては「アクチュエータ」のタブをご覧ください。
  • アクチュエータ無しタイプ
  • 閉ループまたは開ループのピエゾ内蔵型、またはピエゾ無しでご用意
  • ピエゾアクチュエータの移動量:30 µm
  • モジュール設計なので、アクチュエータは取り外して交換可能
    (詳細は「アクチュエータ」のタブをご覧ください)
  • アジャスタをすべて底部に結合したことによりクロストークを最小限に抑制

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6軸ステージに組み込まれた様々なアクチュエータ。「アクチュエータ」のタブではすべての対応可能アクチュエータがご覧いただけます。

こちらのNanoMaxシリーズ6軸ステージは、アクチュエータをカスタマイズされる用途向けに設計されています。アクチュエータ組み込み後の移動量は、XYZ方向に4 mm、θx、θy、θz(ロール、ピッチ、ヨー)は6°(105 mrad)です。精度や自動化の有無によって各軸が構成可能となります。つまみネジを使用したマルチモードファイバ入射システムや、ステッピングモータを使用した自動アライメントのセットアップの用途など、要求に応じて軸を構成します。対応アクチュエータのラインナップについては「アクチュエータ」のタブをご覧ください。

上記の特長に加えて、MAX608またはMAX609から始まる型番についてはそれぞれ開ループ、そして閉ループのピエゾアクチュエータが内蔵されており、移動量は30 µmとなっております。開ループ設計のタイプには歪ゲージセンサが内蔵されていません。ピエゾアクチュエータの理論的な分解能は、X、Y、Z軸方向に1 nm、θx、θy、θz回転軸方向に0.018 µradです。閉ループシステムを使用してフィードバックループを構成することにより、ピエゾ素子に特有のヒステリシス、クリープ、熱ドリフトが補正されます。ピエゾステージには駆動ケーブルPAA100が6本と、閉ループシステムの場合、フィードバックコンバーターケーブルPAA622も6本付属します。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MAX607 Support Documentation
MAX607NanoMax 6軸ステージ、右手方向 (インチ規格)
¥597,026
Lead Time
MAX607L Support Documentation
MAX607LNanoMax 6軸ステージ、左手方向 (インチ規格)
¥597,026
Lead Time
MAX608 Support Documentation
MAX608NanoMax 6軸ステージ、右手方向、開ループピエゾ付き (インチ規格)
¥1,170,419
Lead Time
MAX608L Support Documentation
MAX608LNanoMax 6軸ステージ、左手方向、開ループピエゾ付き (インチ規格)
¥1,170,419
Lead Time
MAX609 Support Documentation
MAX609NanoMax 6軸ステージ、右手方向、閉ループピエゾ付き (インチ規格)
¥1,494,676
Lead Time
MAX609L Support Documentation
MAX609LNanoMax 6軸ステージ、左手方向、閉ループピエゾ付き (インチ規格)
¥1,494,676
Lead Time
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
MAX607/M Support Documentation
MAX607/MNanoMax 6軸ステージ、右手方向 (ミリ規格)
¥597,026
3-5 Days
MAX607L/M Support Documentation
MAX607L/MNanoMax 6軸ステージ、左手方向 (ミリ規格)
¥597,026
3-5 Days
MAX608/M Support Documentation
MAX608/MNanoMax 6軸ステージ、右手方向、開ループピエゾ付き (ミリ規格)
¥1,170,419
Lead Time
MAX608L/M Support Documentation
MAX608L/MNanoMax 6軸ステージ、左手方向、開ループピエゾ付き (ミリ規格)
¥1,170,419
Lead Time
MAX609/M Support Documentation
MAX609/MNanoMax 6軸ステージ、右手方向、閉ループピエゾ付き (ミリ規格)
¥1,494,676
Lead Time
MAX609L/M Support Documentation
MAX609L/MNanoMax 6軸ステージ、左手方向、閉ループピエゾ付き (ミリ規格)
¥1,494,676
3-5 Days
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