Engineered Diffusers®のチュートリアル


Engineered Diffusers®のチュートリアル


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はじめに
Engineered Diffusers®*は、入射ビーム強度分布を均一化し、非ガウシアン強度分布を得られるように設計されています。当社では、トップハット型の強度プロファイルを円形、正方形、直線形の分布パターンで生成可能なEngineered Diffusersをご用意しております。一般的な拡散板では発散角、照明の空間的分布、強度プロファイルに対してこのような高度な制御はできません。ポリマEngineered Diffusersは円形、正方形、長方形の分布パターンを生成可能なコスト効率の良い製品です(詳細は「ポリマ拡散板」タブをご覧ください)。これらの拡散板は低パワーの用途に対応しています。一方で、UV溶融石英Engineered Diffusersも、円形の分布パターンを生成可能ですが (詳細は「UV溶融石英拡散板」タブをご覧ください)、損傷閾値が高いため高パワーの用途にご使用いただけます。

当社のEngineered Diffusersの詳細、技術、製造については「テクノロジ」タブをご覧ください。

*Engineered Diffusers®は、VIAVI Solutions社の登録商標です。

Engineered Diffuser Surface 2
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Figure 2.2  Engineered DiffuserのSEM像(拡大)
Engineered Diffuser Surface 1
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Figure 2.1  Engineered DiffuserのSEM像

Engineered Diffuser®のテクノロジ
当社のEngineered Diffusersは、ビームプロファイルがしっかりと制御され、リソグラフィーシステムや、アウトドア照明、ディスプレイ、バックライト、ディスプレイ輝度の強化、プロジェクタースクリーンなどの幅広い用途で使用できます。

すりガラス、乳白ガラス、ホログラフィック素子などの均一拡散板は、開口全体に渡って連続して均一的な表面パターンが構成されており、照明部の形ならびに強度プロファイルに関しては限定的な制御しかできず、また、入射光の利用効率が大きくできません。また、ホログラフィック拡散板は、通常コヒーレント光を用いた単色用途に限られています。一方、Engineered Diffuserは、個々に異なった形状で形成されたマイクロレンズユニットによって構成されているので、広帯域に対応し、光分布ならびにビームプロファイルを制御することが可能です。

拡散板を形成する各マイクロレンズユニットは、その形状や位置について、個別に規定されてます。同時に、入射ビームの強度プロファイルに変化があっても安定して拡散し、そして可視域ならびに赤外域でも確実に使用できるように、マイクロレンズ分布は、所望のビームプロファイルを形成するための確率分布関数に従いランダム化されています。マイクロレンズの分布はまた、出射光のゼロオーダの輝点ならびに回折によるアーティファクトを取り除くように設計されます。このようにして、Engineered Diffuserは、ランダムかつ確定的な性質を持つことができるのです。

Engineered Diffuser Fabrication
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Figure 2.3  マスタ製造過程の略図

製造
マイクロレンズアレイのマスタはVIAVI Solutions社が開発したレーザ書込みシステムによって製造されます。Figure 2.3のように、この書込みシステムは、ラスタースキャンモードでpoint-by-pointに厚い層のフォトレジストを露光します。レーザービームの強度を走査中に変調すると、フォトレジストへの露光度も変化します。結果、Figure 2.1と2.2.のSEM像でみられるような深さのある表面が作り上げられました。

他の拡散板テクノロジとの比較
一般的に使われる拡散板には、プリズムガラスの集積バー、すりガラス、乳白ガラス、ホログラフィック拡散板、回折拡散板などがあります。プリズムガラスの集積バーは、時々高性能なシステムに使用されることがありますが、高価でスペースを占領してしまう大きさとなっております。すりガラスならびに乳白ガラスは、すべての方向において光を均等に散乱しますが、出力プロファイルを制御する性能は高くありません。また、このようなシンプルな拡散板における透過効率は一般的に低くなります。ホログラフィック拡散板は、これらの拡散板よりも優れた性能を持ちますが、ガウシアンと同様の強度プロファイルと円形または楕円形のパターンしか作ることができません。一般的なビーム形成の性能については、回折素子が入射ビームを任意の形に形成するのに優れています。しかし、狭い拡散角に限定され、波長には非常に敏感で、入射ビームと同一線上にあるゼロオーダの輝点を失くすことができません。対照的に、Engineered Diffuserは、高い透過効率に加え、拡散光の発散角、空間分布、ならびに強度プロファイルを制御することができるのです。

Engineered Diffuserの製品テクノロジーと性能の詳細はこちらのカタログをご覧ください。

はじめに
Engineered Diffusers®は入射面から拡散され、円形または正方形のビームプロファイルの非ガウシアン強度分布の光を生成するよう設計されています。Figure 3.1、3.3、3.5、3.7、3.9では、633 nmのコリメート光をEngineered Diffusersに照射したときの、拡散ビーム中心部の強度分布の理論近似曲線を示しています。Figure 3.2、3.4、3.6、3.8では488 nm、637 nm、785 nm、1064 nmのレーザ波長で試験したときのデータで、波長による出射プロファイルの変化を示しています。各グラフの網掛け部分は、Engineered Diffusersの発散角を示しています。このタブの最後では、これらのデータや結論を得るために用いられたセットアップと手順を説明しています。

円形パターンEngineered Diffusersの透過光強度グラフ

diffuser, tophat transmitted intensity profileClick to Enlarge
Figure 3.1  ED1-C20の理論データ

diffuser, top hat transmission intensityClick to Enlarge
Figure 3.2  ED1-C20の試験データ
生データ
diffuser, transmission, tophat intensity distributionClick to Enlarge
Figure 3.3  ED1-C50の理論データ

diffuser, top hat transmission intensityClick to Enlarge
Figure 3.4  ED1-C50の試験データ
生データ

正方形パターンEngineered Diffusersの透過光強度グラフ

diffuser, tophat, transmission intensityClick to Enlarge
Figure 3.5  ED1-S20の理論データ

diffuser, top hat transmission intensityClick to Enlarge
Figure 3.6  ED1-S20の試験データ
生データ

diffuser, top hat transmission intensityClick to Enlarge
Figure 3.7  ED1-S50の理論データ

diffuser, top hat transmission intensityClick to Enlarge
Figure 3.8  ED1-S50の試験データ
生データ

ラインパターンEngineered Diffusersの透過光強度グラフ

diffuser, tophat transmission line profile
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Figure 3.9  ED1-L4100の理論データ

実験セットアップ
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型番数量Description
Sources and Heat Sinks
LP488-SF201SMピグテールファイバ付き半導体レーザ、488nm、20mW、ピンコードB、FC/PCコネクタ
LP637-SF701SMピグテールファイバ付き半導体レーザ、637nm、70mW、ピンコードG、FC/PCコネクタ
LP785-SF1001SMピグテールファイバ付半導体レーザ、785nm、100mW、ピンコードH、FC/PCコネクタ
DBR1064S11064 nm, 40 mW, Butterfly DBR Laser, SM Fiber, FC/APC, Internal Isolator
LDM9LP1LD/TEC Mount for Thorlabs Fiber-Pigtailed Laser Diodes
LM14S2114ピンバタフライパッケージ半導体レーザーマウント
Collimators and Associated Mounts
TC06FC-5431543 nm, f=5.96 mm, NA=0.28, FC/PC Triplet Collimator
TC06FC-6331633 nm, f=6.01 mm, NA=0.28, FC/PC Triplet Collimator
TC06APC-7801780 nm, f=6.06 mm, NA=0.28, FC/APC Triplet Collimator
TC06APC-106411060 nm, f=6.12 mm, NA=0.28, FC/APC Triplet Collimator
KAD12F1SM1キネマティックピッチ・ヨーアダプタ、Ø12 mm円筒形部品用
LMR11Ø1インチ光学素子用レンズマウント、固定リング1個付属、#8-32タップ穴 (インチ規格)
TR31Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ3インチ(インチ規格)
PH31Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ3インチ (インチ規格)
R21スリップオン式カラー、Ø1/2インチポスト用 (インチ規格)
Engineered Diffusers and Associated Mounts
ED1-C201Engineered Diffuser、Ø25.4mm、20°、円形パターン
ED1-C501Engineered Diffuser、Ø25.4mm、50°、円形パターン
ED1-S201Engineered Diffuser、Ø25.4mm、20°、正方形パターン
ED1-S501Engineered Diffuser、Ø25.4mm、50°、正方形パターン
CP331SM1ネジ付き30 mmケージプレート、厚さ0.35インチ、固定リング2個付属、#8-32タップ穴(インチ規格)
TR31Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ3インチ(インチ規格)
PH21Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ2インチ(インチ規格)
R21スリップオン式カラー、Ø1/2インチポスト用 (インチ規格)
CR11連続回転ステージ、#8-32、#6-32および#4-40タップ穴 (インチ規格)
CR1A1回転ステージCR1用アダプタープレート (インチ規格)
Collection Lens and Associated Mounts
LA1304-ML1Ø1/2" N-BK7 Plano-Convex Lens, SM05-Threaded Mount, f = 40 mm, Uncoated
SM05L201SM05レンズチューブ、ネジ深さ50.8 mm(2インチ)、固定リング1個付属
SM05RC1SM05レンズチューブ用スリップリング、#8-32タップ穴(インチ規格)
TR31Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ3インチ(インチ規格)
PH61Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ6インチ (インチ規格)
Detector and Associated Mounts
SM05PD1A1大面積Siフォトダイオード、マウント付き、350~1100 nm、カソード接地
SMR051Ø1/2インチレンズマウント、SM05内ネジ付き(突き当てなし)、#8-32タップ穴(インチ規格)
SM05D5D1リング作動アイリス (Ø0.6~Ø5.0 mm)、SM05ネジ付き
TR22Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ2インチ(インチ規格)
MFF1011電動フィルターフリップマウント、Ø1インチ光学素子用ホルダ、#8-32タップ穴 (インチ規格)
LMR052Ø1/2インチ光学素子用レンズマウント、固定リング1個付属、#8-32タップ穴(インチ規格)
TR31Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ3インチ(インチ規格)
RA902直角ポストクランプ、Ø1/2インチポスト用、3/16”六角穴(インチ規格)
PH41Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ4インチ (インチ規格)
TR61Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ6インチ(インチ規格)
Stages and General Parts
PBG3648F1UltraLight Breadboard, 36" x 48" x 0.98", 1/4"-20 Taps
MP101プラットフォーム付き高剛性スタンド、1/4"-20タップ穴、高さ:151.4 ~216.4 mm(インチ規格)
HDR501高耐荷重回転ステージ、SM2ネジ付き中央開口(インチ規格)
XT34-500134 mmコンストラクションレール、長さ500 mm
XT34D2-306長さ30 mm、XT34シリーズ取付用プラットフォーム、M6ザグリ穴1つ
XT34C2634 mmレール用 両面アリ溝式クランプ、長さ30 mm
FSR11光ファイバ収納リール、Ø900 µm光ファイバーケーブル用
T743-1.01高性能黒色マスキングテープ、25 mm x 55 mロール
Controllers and Drivers
TED200C1ベンチトップ型TECコントローラ、±2A、12W
LDC205C1ベンチトップ型LD電流コントローラ、±500 mA HV、ケーブル1本付属(長さ1.5 m)
BSC20111軸ベンチトップ型ステッピングモーターコントローラ
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型番数量Description
Sources and Heat Sinks
LP488-SF201SMピグテールファイバ付き半導体レーザ、488nm、20mW、ピンコードB、FC/PCコネクタ
LP637-SF701SMピグテールファイバ付き半導体レーザ、637nm、70mW、ピンコードG、FC/PCコネクタ
LP785-SF1001SMピグテールファイバ付半導体レーザ、785nm、100mW、ピンコードH、FC/PCコネクタ
DBR1064S11064 nm, 40 mW, Butterfly DBR Laser, SM Fiber, FC/APC, Internal Isolator
LDM9LP1LD/TEC Mount for Thorlabs Fiber-Pigtailed Laser Diodes
LM14S2114ピンバタフライパッケージ半導体レーザーマウント
Collimators and Associated Mounts
TC06FC-5431543 nm, f=5.96 mm, NA=0.28, FC/PC Triplet Collimator
TC06FC-6331633 nm, f=6.01 mm, NA=0.28, FC/PC Triplet Collimator
TC06APC-7801780 nm, f=6.06 mm, NA=0.28, FC/APC Triplet Collimator
TC06APC-106411060 nm, f=6.12 mm, NA=0.28, FC/APC Triplet Collimator
KAD12F1SM1キネマティックピッチ・ヨーアダプタ、Ø12 mm円筒形部品用
LMR1/M1Ø25 mm~Ø25.4 mm光学素子用レンズマウント、固定リング1個付属、M4タップ穴 (ミリ規格)
TR75/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ75 mm(ミリ規格)
PH75/M1Ø12 mm~Ø12.7 mm ポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ75 mm (ミリ規格)
R2/M1スリップオン式カラー、Ø12 mm~Ø12.7 mmポスト用 (ミリ規格)
Engineered Diffusers and Associated Mounts
ED1-C201Engineered Diffuser、Ø25.4mm、20°、円形パターン
ED1-C501Engineered Diffuser、Ø25.4mm、50°、円形パターン
ED1-S201Engineered Diffuser、Ø25.4mm、20°、正方形パターン
ED1-S501Engineered Diffuser、Ø25.4mm、50°、正方形パターン
CP33/M1SM1ネジ付き30 mmケージプレート、厚さ8.9 mm、固定リング2個付属、M4タップ穴(ミリ規格)
TR75/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ75 mm(ミリ規格)
PH50/M1Ø12 mm~Ø12.7 mmポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ50 mm(ミリ規格)
CR1/M1連続回転ステージ、M4および#4-40タップ穴 (ミリ規格)
CR1A/M1回転ステージCR1/M用アダプタープレート (ミリ規格)
R2/M1スリップオン式カラー、Ø12 mm~Ø12.7 mmポスト用 (ミリ規格)
Collection Lens and Associated Mounts
LA1304-ML1Ø1/2" N-BK7 Plano-Convex Lens, SM05-Threaded Mount, f = 40 mm, Uncoated
SM05L201SM05レンズチューブ、ネジ深さ50.8 mm(2インチ)、固定リング1個付属
SM05RC/M1SM05レンズチューブ用スリップリング、M4タップ穴(ミリ規格)
TR75/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ75 mm(ミリ規格)
PH150/M1Ø12 mm~Ø12.7 mm ポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ150 mm (ミリ規格)
Detector and Associated Mounts
SM05PD1A1大面積Siフォトダイオード、マウント付き、350~1100 nm、カソード接地
SMR05/M1Ø12 mm~Ø12.7 mmレンズマウント、SM05内ネジ付き(突き当てなし)、M4タップ穴(ミリ規格)
SM05D5D1リング作動アイリス (Ø0.6~Ø5.0 mm)、SM05ネジ付き
TR50/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ50 mm(ミリ規格)
MFF101/M1電動フィルターフリップマウント、Ø25 mm~Ø25.4 mm光学素子用ホルダ、M4タップ穴 (ミリ規格)
LMR05/M2Ø12 mm~Ø12.7 mm光学素子用レンズマウント、固定リング1個付属、M4タップ穴 (ミリ規格)
TR75/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ75 mm(ミリ規格)
RA90/M2直角ポストクランプ、Ø12.7 mmポスト用、5 mm六角穴(ミリ規格)
PH100/M1Ø12 mm~Ø12.7 mm ポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ100 mm (ミリ規格)
TR150/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ150 mm(ミリ規格)
Stages and General Parts
PBG90120A1UltraLightブレッドボード、900 mm x 1200 mm x 25 mm、M6タップ穴(ミリ規格)
MP10/M1プラットフォーム付き高剛性スタンド、M6 x 1.0タップ穴、高さ:151.4 ~216.4 mm(ミリ規格)
XT34-500134 mmコンストラクションレール、長さ500 mm
XT34D2-306長さ30 mm、XT34シリーズ取付用プラットフォーム、M6ザグリ穴1つ
XT34C2634 mmレール用 両面アリ溝式クランプ、長さ30 mm
T743-1.01高性能黒色マスキングテープ、25 mm x 55 mロール
FSR11光ファイバ収納リール、Ø900 µm光ファイバーケーブル用
HDR501高耐荷重回転ステージ、SM2ネジ付き中央開口(インチ規格)
Controllers and Drivers
TED200C1ベンチトップ型TECコントローラ、±2A、12W
LDC205C1ベンチトップ型LD電流コントローラ、±500 mA HV、ケーブル1本付属(長さ1.5 m)
BSC20111軸ベンチトップ型ステッピングモーターコントローラ
Figure 3.10  注:上の実験セットアップでは、回転マウントNR360Sa(旧製品)を使用しています。高性能黒色マスキングテープを使用して、レーザ光を反射する可能性のある金属を覆っています。ここではLMR05(/M)を取り付けた電動式フリップマウントMFF101(/M)は使用していません。
Light Preparation
Wavelength (nm)4886377851064
SourceLP488-SF20LP637-SF70LP785-SF100DBR1064S
Heat SinkLDM9LPLM14S2
CollimatorTC06FC-543TC06FC-633TC06APC-780TC06APC-1064

手順
試験には488 nm、637 nm、785 nm、1064 nmの4波長を選びました。データの取得には右の試験装置を用いました(Figure 3.10のリンクからこのセットアップのすべての部品リストがご覧いただけます)。光路はブレッドボード表面から約35 cmの高さに設定しました。ファイバ出力光源からの光は、トリプレットコリメータでコリメートされます。ここでは、設計波長が、光源の波長にできるだけ近いコリメータを使用しました。自由空間ビームを1種類のポリマEngineered Diffusersに入射します。出射された拡散プロファイルの光は、レンズチューブSM05L20に取り付けられた平凸レンズLA1304で部分的に集光されます。信号はフォトダイオードSM05PD1Aにより0.5°毎にサンプリングされます。このアセンブリはレールXT34-500の端に取り付けられています。レールの反対側は回転ステージNR360Sa(旧製品) に取り付けられ、その回転ステージの回転中心は試験対象のEngineered Diffusersに一致するように配置されています。そのためディテクタとレンズアセンブリは右下の図のようにビームプロファイルの中心を掃引し、出射角に対して規格化された強度をプロットできます。Engineered Diffusersとディテクタ間の距離は約43 cmです。出射角はEngineered Diffusersが光路に設置されていないときの光軸を基準として定義しています。周辺光の影響を軽減するために、半導体レーザの駆動電流を1 kHzの正弦波で変調し、信号はロックインアップを用いて検出しています。セットアップの制御とデータ取得には、LabVIEWでプログラムを作成して使用しました。

試験についての制約
型番毎に1つの製品のみを試験していますb。試験は除振装置のないブレッドボードPBG11113c上で行なったため、安定性に影響が出ている可能性があります。拡散形状の中心部のみを計測したため、正方形プロファイルの隅などを含め、中心部以外の場所では一致しない場合があります。

結果
拡散ビームプロファイルの波長による違いは、プロファイルの中心部では僅かであることが判明しました。Figure 3.1、3.3、3.5、3.7、3.9のグラフは、生成されるビームプロファイルを理論的に推定したものです。Figure 3.2、3.4、3.6,、3.8では、理論モデルを検証するために様々な波長で試験したデータをまとめています。

  • こちらは旧製品です。最新の代替品はHDR50となります。
  • ED1-L4100は試験を実施していません。
  • こちらは旧製品です。最新の代替品はPBG90120Aとなります。
Item #TheoreticalExperimentalRaw Data
Circular PatternsED1-C20Click Here
ED1-C50Click Here
Square PatternsED1-S20Click Here
ED1-S50Click Here
Line PatternED1-L4100Not AvailableNot Available

Figure 4.1では、当社のUV溶融石英Engineered Diffuser® EDG5C20の理論的かつ実験的なビームプロファイルを示しています。理論データは拡散板に633nmのコリメート光を照射した際の、発散ビームプロファイルの中心を通る強度の近似値であり、0°を基準とした相対強度に正規化されています。透過強度の実験データは、後述する散乱計のセットアップを使用し、635 nmのコリメート光を使用して収集したもので、20個の独立した拡散板での測定値の平均であり、個々の測定値は0°の値に正規化されています。青く網掛けされた範囲は、拡散板の仕様の発散角を示し、0°での透過強度を基準とした相対強度のFWHMによって定義されています。

Transmitted Intensity of the EDG5C20 Engineered Diffuser
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Figure 4.1  UV溶融石英Engineered Diffuser EDG5C20の理論的および
実験的ビームプロファイル
青く網掛けされた範囲は、仕様の発散角を示しています。


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型番数量Description
Laser Input and Collimation
S1FC6351ファブリペローベンチトップ型レーザ光源、635nm、2.5mW、FC/PC
FG105LCA1Multimode Fiber, 0.22 NA, Low OH, Ø105 µm Core, 400 - 2400 nm
RC12FC-P011Protected Silver Reflective Collimator, 450 nm - 20 µm, RFL = 50.8 mm, FC/PC
KM100T1キネマティックマウント、Ø25.0 mm~Ø25.4 mm薄型光学素子用、SM1ネジ付き
TR43Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ4インチ(インチ規格)
PH43Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ4インチ (インチ規格)
BA11取付けベース、1インチ x 3インチ x 3/8インチ(インチ規格)
PF20-03-P012保護膜付き銀ミラー(円形)、Ø50.8 mm、厚さ12 mm
KM2002キネマティックマウント、Ø50 mm~Ø50.8 mm光学素子用
BE12台座型ベースアダプタ、Ø1.25インチ、1/4”-20ネジ付き(インチ規格)
CF1252クランプフォーク、Ø31.8 mm台座ベース用、31.5 mmザグリ穴スロット(ミリ&インチ規格共用)
Spatial Filter Assembly and Associated Optics
KT3111空間フィルターシステム、光学素子&ピンホールは別売り(インチ規格)
N10X-PF110X Nikon Plan Fluorite Imaging Objective, 0.3 NA, 16 mm WD
P100K1Ø25.4 mm(Ø1インチ)マウント付きピンホール、ピンホール径100 ± 4 µm、ステンレススチール製
Al2550G-A1Ø25.0 mm Diffraction-Limited N-BK7 Aspheric Lens, f = 50.0 mm, NA = 0.20, AR Coated: 350 - 700 nm
CXY1A130 mmケージシステム用XY移動マウント、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子用
ER6-P41Ø6 mmケージアセンブリーロッド、長さ 152.4 mm、4個入り
BLP011Pシリーズ高さ調整機能付きポスト (インチ規格)
PF175B1クランプフォーク、Ø47.0 mm台座ベース用、53.8 mmザグリ穴付き(ミリ&インチ規格共用)
Sample Mounting
HDR501高耐荷重回転ステージ、SM2ネジ付き中央開口(インチ規格)
NR360SP81ステージHDR50(/M)用アダプタープレート、SM1ネジ穴付き、30 mmケージ対応、1/4"-20および#8-32タップ穴付き
XRN25DR31幅50.7 mmアリ溝式レール、長さ500 mm
MBR61アルミニウム製ブレッドボード、 Ø6.00" x 0.50"、1/4"-20穴密度2倍(インチ規格)
EDG5C201Ø1/2" Unmounted UV Fused Silica Engineered Diffuser, 20° Circle Pattern
LMR051Ø1/2インチ光学素子用レンズマウント、固定リング1個付属、#8-32タップ穴(インチ規格)
TR21Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ2インチ(インチ規格)
PH21Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ2インチ(インチ規格)
QRP021手動式360°回転ステージ、ハードストップ2つ付き(インチ規格)
BSC20111軸ベンチトップ型ステッピングモーターコントローラ
Signal Detection
MC2000B1光チョッパーシステム、10/100スロットブレード(36°)MC1F10HP付き、100 VAC (日本国内向け)
TR62Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ6インチ(インチ規格)
PH22Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ2インチ(インチ規格)
BE1R2台座型マグネットベースアダプタ、Ø1.25インチ、1/4”-20ネジ付き(インチ規格)
P1000K1Ø25.4 mm(Ø1インチ)マウント付きピンホール、ピンホール径1000 ± 10 µm、ステンレススチール製
CXY1A130 mmケージシステム用XY移動マウント、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子用
SM05PD3A1マウント付きSiフォトダイオード、320~1100 nm、カソード接地
SM1A6FW1ネジ変換アダプタ、SM1外ネジ&SM05内ネジ、刻み目付き
CP331SM1ネジ付き30 mmケージプレート、厚さ0.35インチ、固定リング2個付属、#8-32タップ穴(インチ規格)
ER2-P41Ø6 mmケージアセンブリーロッド、長さ 50.8 mm、4個入り
LA1951-A-ML1Ø1" N-BK7 Plano-Convex Lens, SM1-Threaded Mount, f = 25.4 mm, ARC: 350-700 nm
TR31Ø1/2インチポスト、#8-32ネジ、1/4”-20タップ穴付き、長さ3インチ(インチ規格)
PH31Ø1/2インチポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ3インチ (インチ規格)
XRN25-RC21レールキャリア、幅2インチアリ溝付きステージ用、#8-32タップ穴&1/4”ザグリ穴(インチ規格)
AMP1021トランスインピーダンスアンプ、利得切り替え型、利得1/10/100 kV/A、帯域幅100 kHz
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型番数量Description
Laser Input and Collimation
S1FC6351ファブリペローベンチトップ型レーザ光源、635nm、2.5mW、FC/PC
FG105LCA1Multimode Fiber, 0.22 NA, Low OH, Ø105 µm Core, 400 - 2400 nm
RC12FC-P011Protected Silver Reflective Collimator, 450 nm - 20 µm, RFL = 50.8 mm, FC/PC
KM100T1キネマティックマウント、Ø25.0 mm~Ø25.4 mm薄型光学素子用、SM1ネジ付き
TR100/M3Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ100 mm(ミリ規格)
PH100/M3Ø12 mm~Ø12.7 mm ポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ100 mm (ミリ規格)
BA1/M1取付けベース、25 mm x 75 mm x 10 mm(ミリ規格)
PF20-03-P012保護膜付き銀ミラー(円形)、Ø50.8 mm、厚さ12 mm
KM2002キネマティックマウント、Ø50 mm~Ø50.8 mm光学素子用
BE1/M2台座型ベースアダプタ、Ø31.8 mm、M6ネジ付き(ミリ規格)
CF1252クランプフォーク、Ø31.8 mm台座ベース用、31.5 mmザグリ穴スロット(ミリ&インチ規格共用)
Spatial Filter Assembly and Associated Optics
KT311/M1空間フィルターシステム、光学素子&ピンホールは別売り(ミリ規格)
N10X-PF110X Nikon Plan Fluorite Imaging Objective, 0.3 NA, 16 mm WD
P100K1Ø25.4 mm(Ø1インチ)マウント付きピンホール、ピンホール径100 ± 4 µm、ステンレススチール製
Al2550G-A1Ø25.0 mm Diffraction-Limited N-BK7 Aspheric Lens, f = 50.0 mm, NA = 0.20, AR Coated: 350 - 700 nm
CXY1A130 mmケージシステム用XY移動マウント、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子用
ER6-P41Ø6 mmケージアセンブリーロッド、長さ 152.4 mm、4個入り
BLP01/M1Pシリーズ高さ調整機能付きポスト (ミリ規格)
PF175B1クランプフォーク、Ø47.0 mm台座ベース用、53.8 mmザグリ穴付き(ミリ&インチ規格共用)
Sample Mounting
HDR50/M1高耐荷重回転ステージ、SM2ネジ付き中央開口(ミリ規格)
NR360SP81ステージHDR50(/M)用アダプタープレート、SM1ネジ穴付き、30 mmケージ対応、1/4"-20および#8-32タップ穴付き
XRN25DR31幅50.7 mmアリ溝式レール、長さ500 mm
MBR150/M1アルミニウム製ブレッドボード、Ø150.0 mm x 12.7 mm、M6穴密度2倍(ミリ規格)
EDG5C201Ø1/2" Unmounted UV Fused Silica Engineered Diffuser, 20° Circle Pattern
LMR05/M1Ø12 mm~Ø12.7 mm光学素子用レンズマウント、固定リング1個付属、M4タップ穴 (ミリ規格)
TR50/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ50 mm(ミリ規格)
PH50/M1Ø12 mm~Ø12.7 mmポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ50 mm(ミリ規格)
QRP02/M1手動式360°回転ステージ、ハードストップ2つ付き(ミリ規格)
BSC20111軸ベンチトップ型ステッピングモーターコントローラ
Signal Detection
MC2000B1光チョッパーシステム、10/100スロットブレード(36°)MC1F10HP付き、100 VAC (日本国内向け)
TR150/M2Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ150 mm(ミリ規格)
PH50/M2Ø12 mm~Ø12.7 mmポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ50 mm(ミリ規格)
BE1R/M2台座型マグネットベースアダプタ、Ø31.8 mm、M6ネジ付き(ミリ規格)
P1000K1Ø25.4 mm(Ø1インチ)マウント付きピンホール、ピンホール径1000 ± 10 µm、ステンレススチール製
CXY1A130 mmケージシステム用XY移動マウント、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子用
SM05PD3A1マウント付きSiフォトダイオード、320~1100 nm、カソード接地
SM1A6FW1ネジ変換アダプタ、SM1外ネジ&SM05内ネジ、刻み目付き
CP33/M1SM1ネジ付き30 mmケージプレート、厚さ8.9 mm、固定リング2個付属、M4タップ穴(ミリ規格)
ER2-P41Ø6 mmケージアセンブリーロッド、長さ 50.8 mm、4個入り
LA1951-A-ML1Ø1" N-BK7 Plano-Convex Lens, SM1-Threaded Mount, f = 25.4 mm, ARC: 350-700 nm
TR75/M1Ø12.7 mmポスト、M4ネジ、M6タップ穴付き、長さ75 mm(ミリ規格)
PH75/M1Ø12 mm~Ø12.7 mm ポストホルダ、バネ付き六角固定つまみネジ付き、長さ75 mm (ミリ規格)
XRN25-RC2/M1レールキャリア、幅50.7 mmアリ溝付きステージ用、M4 x 0.7タップ穴&M6ザグリ穴(ミリ規格)
AMP1021トランスインピーダンスアンプ、利得切り替え型、利得1/10/100 kV/A、帯域幅100 kHz
Figure 4.3  UV溶融石英Engineered Diffuserからの散乱光を測定してビームプロファイルを特定するために、散乱計を構築しました。

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Figure 4.2  ビームプロファイルの動きを表す図

実験手順
UV溶融石英Engineered Diffuserからの635 nmのレーザ光の拡散パターンを測定するために散乱計を構築します。Figure 4.3に実験セットアップの写真を掲載しています。使用するコンポーネント一覧は写真下のリンクからご覧いただけます。この実験セットアップではロックインアンプが使用されていますが、一覧には含まれておりませんのでご注意ください。ファイバーレーザS1FC635からの出力光をコリメータRC12FC-P01を使用してコリメートし、次に空間フィルターシステムKT311/Mを使用してクリーンで空間的に均一なガウシアンビームを生成しました。コリメートされたビームは、ロックインアンプに同期させた光チョッパMC2000Bで変調し、試験対象の拡散板に入射させました。拡散板は、アルミニウム製ブレッドボードMBR150/M上の回転プラットフォームQRP02/Mに取り付けられ、回転マウントHDR50/Mの中央開口部を介して光学テーブルに直接取り付けました。フォトダイオードSM05PD3Aを取り付けたレールXRN25DR3を回転マウントに接続することで、ディテクタは拡散板からの発散ビームプロファイルの中心を掃引することができます(Figure 4.2参照)。ディテクタは拡散板から約13.5 cmの距離に取り付けられ、出射角は発散板が光路内にないときの本来の光軸を基準に定義されます。ディテクタはロックインアンプに同期され、機器制御とデータ取得用のLabVIEWプログラムを使用してによって0.1°ごとに信号を収集しました。規格化された強度は出射角の関数としてグラフ化されます。

この実験の重要な点は、光チョッパとフォトダイオードディテクタと同期した空間フィルタとロックインアンプを使用することです。この構成では、拡散板からの低強度の散乱も検出できるため、ビームプロファイルを正確に測定できます。


Posted Comments:
user  (posted 2021-10-26 00:47:39.78)
hello, can the engineered diffusers be used for MCWHLP1 led source if I buy the collimation adapter SM1U25-A?
soswald  (posted 2021-10-27 04:00:08.0)
Dear customer, thank you for your feedback. The engineered diffusers can be used for the beam of the MCWHLP1. For mounting you'll need a thread adapter from the SM2 threading of SM1U25-A to the SM1 threading of the diffuser mounts, e.g. SM2A6.