Common Specificationsa |
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Travel | Horizontal (Y) | 13 mm (0.51") |
Vertical (Z) | 6 mm (0.24") |
Pitch, Yaw (θy, θz) | ±5° (±87.5 mrad) |
Deck Height (Nominal) | 62.5 mm (2.46") |
Optical Axis Height (Nominal) | 75 mm (2.95") |
Load Capacity (Max) | 500 g (1.1 lbs) |
特長
- 2つのモデルをご用意
- MBT401D/M:結合用の2つのステージの間に設置するデバイスをアライメントする薄型ステージ
- MBT402D/M:高さに制限がある用途向けの薄型ステージ
- 高分解能差動マイクロメーターアクチュエータ
- 上面プレートの溝により多軸ステージアクセサリがアライメント設置可能
- 5軸システム構築用に追加の移動軸ステージもご用意
MicroBlock™シリーズ4軸ステージは、当社の高性能多軸ステージに対してフォトニクス部品を精密に位置決めする用途向けに設計されています。この4軸ステージと当社の3軸ステージ(MicroBlock、NanoMax™、またはRollerBlock™シリーズ)の組み合わせは、高性能なファイバ入射やミクロンレベルの分解能が必要なシングルモード導波路の結合に適しています。ステージには光軸のアライメントに必要な2つの移動機構と2つの回転機構のあわせて4つの調整機構がついています。この4つの調整機構で、13 mmの水平移動、6 mmの垂直移動、そして10°のピッチ&ヨー調整が可能です。精密ボールベアリングによる水平調整は、動作範囲が大きく、導波路デバイスの全幅を移動可能です。垂直ならびに回転調整はフレクシャ設計で、精密で滑らかな連続動作を実現し、摩擦もごく僅かとなります。またバックラッシュはありません。
4軸ステージMicroBlockのデッキ高は、3軸ステージシリーズと同じ62.5 mmです。ファイバ結合の用途で、これらの4軸ステージを3軸ステージと共に使用する場合、4軸ステージを光学素子や光学デバイスの静的位置調整用で使用し、3軸システムを入力・出力部の調整用に使用することをお勧めします。右の写真がその例となります。当社のNanoMaxシリーズ6軸ステージと共に使用する場合には、高さ調整アダプタAMA554/Mを使用し、4軸ステージのデッキ高を112.5 mmに上げます。
薄型のMicroBlockシリーズステージMBT401D/Mは、スペースが限られている用途にお勧めです。ステージの幅は91.0 mmと狭いため、隙間があまりない2つのステージの間でも使用可能です。またこのステージの回転機構の中心軸の高さは、光軸と同じ75 mmとなります。一方で薄型のMicroBlockシリーズステージMBT402D/Mは、デッキ高が62.5 mmながら全高は94.7 mmと低くなっております。このステージの可動ステージには多軸ステージアクセサリ取り付け用にM3 x 0.5タップ穴が14個付いていますが、システムの回転機構の中心軸は光軸と一致しません。このステージは、3側面からアクセスが可能なので、システムに部品を取り付け易い構造です。
移動軸の追加
MicroBlockシリーズ4軸ステージ用の追加移動軸ステージMBT501は、ステージMBT401D/MまたはMBT402D/Mに3つ目の移動自由度を提供します。この追加の移動軸は、4軸ステージが有する移動方向に直交するため、システムの光軸に沿った部品の正確な位置決めが可能です。この自由度を追加することにより、ボールベアリング作動ドライバによる13 mmの移動が可能になります。5番目の軸を追加することでステージのデッキ高は112.5 mmに、光軸高さは125 mmに上がります。これにより、当社のNanoMax 6軸ステージと同じ高さになります。
精密アクチュエータ
ステージMBT401D/M、MBT402D/M、および追加移動軸ステージMBT501には、精密差動マイクロメーターアジャスタが付いています。差動アクチュエータには、粗調整用ならびに微調整用として2つの大きなノブがあります。粗調整は1回転につき500 μm、微調整は1回転につき50 μm(公称値)で300 μm移動します。
アクセサリを簡単にアライメント
当社では下表のように、顕微鏡の対物レンズ、コリメーターパッケージ、導波路やファイバなどを取り付けるための幅広いアクセサリをご用意しております。これらのアクセサリは、4軸ステージの上面ステージの中央のキー溝で簡単にアライメントが可能です。上面ステージのキー溝は、アクセサリのアライメントを維持したままで、迅速に構成の変更が行えます。
Item # | MBT401D(/M) | MBT402D(/M) |
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Travel (Coarse) | Horizontal Axis (Y)
| 13 mm | Horizontal Axis (Y)
| 13 mm |
Vertical Axis (Z) | 6 mm | Vertical Axis (Z) | 6 mm |
Pitch Axis (θy) | ±5° | Pitch Axis (θy) | ±5° |
Yaw Axis (θz) | ±5° | Yaw Axis (θz) | ±5° |
Travel (Differential) | Horizontal Axis
| 300 µm | Horizontal Axis
| 300 µm |
Vertical Axis | 300 µm | Vertical Axis | 300 µm |
Pitch Axis | 30 arcmin | Pitch Axis | 12 arcmin |
Yaw Axis | 30 arcmin | Yaw Axis | 30 arcmin |
Coarse Adjustment
| 500 µm/rev |
Fine Adjustment
| 50 µm/rev |
Deck Height | 62.5 mm to the mounting surface of the moving platform. The accessory beam height is 75 mm measured from the bottom surface of the stage. |
Nominal Outer Dimensions (L x W x H) | 3.58" x 7.13" x 5.73" (91.0 mm x 181.1 mm x 145.5 mm) | 5.23" x 6.37" x 3.73" (132.9 mm x 161.9 mm x 94.7 mm) |
Load Capacity | 500 g (1.1 lbs) | 500 g (1.1 lbs) |
Weight | 0.95 kg (2.1 lbs) | 0.9 kg (2.0 lbs) |
Item # | MBT501 |
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Travel (Coarse) | Optical Axis (X)
| 13 mm |
Travel (Differential) | Optical Axis
| 300 µm |
Coarse Adjustment
| 500 µm/rev |
Fine Adjustment
| 50 µm/rev |
Deck Height | 112.5 mm to the mounting surface of the moving platform when attached to a stage with a 62.5 mm deck height. The accessory beam height is 125 mm measured from the bottom surface of the stage. |
Nominal Outer Dimensions (L x W x H) | 5.72" x 3.54" x 1.97" (145.3 mm x 90.0 mm x 50.1 mm) |
Load Capacity | 1.5 kg (3.3 lbs) |
Weight | 0.67 kg (1.47 lbs) |
多軸ステージセレクションガイド
3軸ステージ
当社では3種類の3軸ステージをご用意しております。フレクシャーステージNanoMax、コンパクトフレクシャーステージMicroBlock、長距離移動ステージRollerBlockです。どのステージも公称デッキ高は62.5 mmです。3軸ステージのNanoMaxのラインナップには、内蔵型の閉ループまたは開ループのピエゾアクチュエータのほかに、ステッピングモータや差動アクチュエータ、その他のピエゾアクチュエータなどのモジュール型駆動オプションをご用意しております。MicroBlockステージには、差動マイクロメー ターアクチュエータや精密つまみネジが付いていますが、それらのアクチュエータは取り外しができません。RollerBlockステージのアクチュエータ は、Ø9.5 mmの取付けバレルが付いたアクチュエータであれば交換可能です。
4軸ならびに5軸ステージ
当社の4軸ならびに5軸ステージは、3軸ならびに6軸の高性能アライメントステージと比較した場合、導波路や複雑な光学素子の静的な位置決めにより適しています。5軸ステージの公称高さは、62.5 mmまたは112.5 mmになります。3軸または4軸ステージの高さを5軸MicroBlockあるいは6軸NanoMaxステージに合わせて112.5 mmに上げたい場合には、ライザーブロック(高さ調整ブロック)AMA554(/M)をご使用いただけます。
6軸ステージ
当社のNanoMax 6軸ナノポジショナは複雑な多軸ポジショニングシステムに適しており、公称デッキ高は112.5 mmです。こちらのステージは共通の回転中心を有しています。また特許取得済みの平行フレクシャ設計により、すべてのアクチュエータがベースに直接結合 し、システム内の不要な動きを最小限に抑えています。ピエゾ素子はオプションで閉ループでも開ループでも組み込めます。モジュール型設計のためアクチュ エータを交換することができ、すべての軸で手動式、またはピエゾ素子による電動式にすることが可能です。アクチュエータが付属しないタイプについては、右手系、左手系のどちらの構成でもご用意しております。 3軸ステージの高さを112.5 mmに上げたい場合には、右の写真のように高さ調整アダプタAMA554(/M)のご使用をお勧めいたします。
当社の多軸ステージのラインナップならびに比較は下の表でご覧ください。
3軸ステージ
Item # | MAX313D | MAX312D | MAX311D | MAX383 | MAX381 | MAX303 | MAX302 | MAX301 | MBT602 | MBT616D | RB13M | RBL13D |
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Stage Type | NanoMax Flexure Stages | MicroBlock Compact Flexure Stages | RollerBlock Long Travel Stages |
Included Drives | DRV3 Differential Micrometers | DRV208 Stepper Motor Actuators | N/A | Fine Thread Thumbscrews | Differential Micrometers | 148-801ST Micrometer Drives | DRV304 Differential Micrometers |
Built-in Piezos | N/A | Open Loop | Closed Loop | N/A | Closed Loop | N/A | Open Loop | Closed Loop | N/A | N/A |
Travel (X, Y, Z) | 4 mm (0.16") | 13 mm (0.51") |
Deck Height (Nominal) | 62.5 mm (2.46") |
Optical Axis Height (Nominal) | 75 mm (2.95") |
Load Capacity (Max) | 1 kg (2.2 lbs) | 4.4 kg (9.7 lbs) |
Thermal Stability | 1 µm/°C | - |
Weight | 1.00 kg (2.20 lbs) | 0.64 kg (1.40 lbs) | 0.59 kg (1.30 lbs) |
4軸ステージ
Item # | MBT401D MBT401D/M | MBT402D MBT402D/M |
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Stage Type | 4-Axis Thin-Profile MicroBlock Device Stage | 4-Axis Low-Profile MicroBlock Device Stage |
Included Drives | Differential Micrometers |
Built-in Piezos | N/A |
Travel | Horizontal Axis (Y)a | 13 mm (0.51") |
Vertical Axis (Z) | 6 mm (0.24") |
Pitch (θy) | ±5° |
Yaw (θz) | ±5° |
Deck Height (Nominal) | 62.5 mm (2.46") |
Optical Axis Height (Nominal) | 75 mm (2.95") |
Load Capacity (Max) | 0.5 kg (1.1 lbs) |
5軸ステージ
Item # | MBT401D (MBT401D/M) or MBT402D (MBT402D/M) with MBT501 | PY005 |
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Stage Type | 5-Axis MicroBlock Device Platform System | Compact 5-Axis Platform |
Included Drives | Differential Micrometers | 100 TPI Actuators |
Built-in Piezos | N/A |
Travel | Optical Axis (X) | 13 mm (0.51") | 3 mm (0.12") |
Horizontal Axis (Y) | 13 mm (0.51") | 3 mm (0.12") |
Vertical Axis (Z) | 6 mm (0.24") | 3 mm (0.12") |
Pitch (θy) | ±5° | ±3.5° |
Yaw (θz) | ±5° | ±5° |
Deck Height (Nominal) | 112.5 mm (4.43") | 62.5 mm (2.46")a |
Optical Axis Height (Nominal) | 125 mm (4.92") | 75 mm (2.95")a |
Load Capacity (Max) | 0.5 kg (1.1 lbs) | 0.23 kg (0.5 lbs) |
6軸ステージ