Products HomeMicroBlockシリーズ5軸ステージキット、デッキ高112.5 mm
- Five Degrees of Freedom: Three Translation and Two Rotation
- Ideal for Orienting Components with Respect to an
Alignment Stage - High-Precision Differential Drives
MBT402D and MBT501
5-Axis System
MBT401D and MBT501
5-Axis System
±5° of Pitch and Yaw Rotation
13 mm of Horizontal and Axial Translation
6 mm of Vertical Translation
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| Common Specificationsa | ||
|---|---|---|
| Travel | Horizontal (Y) | 13 mm (0.51") |
| Vertical (Z) | 6 mm (0.24") | |
| Optical Axis (X) | 13 mm (0.51") | |
| Pitch, Yaw (θy, θz) | ±5° (±87.5 mrad) | |
| Deck Height (Nominal) | 112.5 mm (4.43") | |
| Optical Axis Height (Nominal) | 125 mm (4.92") | |
| Load Capacity (Max) | 500 g (1.1 lbs) | |
特長
- 4軸ベースのモデルを2種類ご用意:
- 光軸上に共通の回転中心を有する薄型のMBT401D/M
- 幅広いアクセサリを取り付け可能な低頭タイプのMBT402D/M
- 5軸システムを構築する際の追加用移動軸ステージ
- 高分解能差動マイクロメーターアクチュエータ
- 上面プレートの溝により多軸ステージアクセサリがアライメント設置可能
5軸ステージは、MicroBlock™ シリーズ4軸ステージと追加の移動軸ステージMBT501の組み合わせにより構築できます。光学素子や光学システムを、NanoMax6軸ステージなどの高性能多軸アライメントシステム正面に対向して設置する用途に適しています。この装置は5つの自由度で調整可能なので、別のステージに対して適切な向きに光学素子を配置することができます。
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多軸ステージMBT401D/Mをベースとした5軸システムは光軸上に回転中心を有し、アクセサリ取付け用のM3 x 0.5タップ穴が2個ついています。
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低頭の多軸ステージMBT402D/Mをベースとした5軸システムには、アクセサリ取付け用のM3 x 0.5タップ穴が14個付いています。
MBT401D/Mをベースとした薄型の5軸システムは、光軸上に共通の回転中心を有することが必要な用途にお勧めいたします。このプラットフォームにはM3 x 0.5タップ穴が2つ付いていて、多軸ステージ用アクセサリを取り付けられるようになっています。これに対し、低頭タイプのMicroBlockシリーズプラットフォームMBT402D/Mをベースとした5軸システムには、14個の取付け用M3 x 0.5タップ穴と大きな上部プラットフォームが付いていますが、システムの回転中心は光軸とは一致しません。このシステムは高さ195.6 mmと小型で、3側面からアクセスが可能なので、システムに部品を取り付け易い構造です。
4軸ステージ
当社のMicroBlockシリーズ4軸ステージは5軸システムのベースとなります。このステージには光軸のアライメントに必要な2つの移動機構と2つの回転機構のあわせて4つの調整機構が備わっています。この4つの調整機構で、13 mmの水平移動、6 mmの垂直移動、そして10°のピッチ&ヨー調整が可能です。精密ボールベアリングによる水平調整は、動作範囲が大きく、導波路デバイスの移動に便利です。垂直ならびに回転調整はフレクシャ設計で、精密で滑らかな連続動作を実現し、摩擦もごく僅かとなります。またバックラッシュはありません。
移動軸の追加
追加移動軸ステージMBT501は、4軸ステージMBT401D/MまたはMBT402D/Mに3つ目の移動自由度を提供します。この追加の移動軸は、4軸ステージが有する移動方向に直交するため、システムの光軸に沿った部品の正確な位置決めが可能です。この自由度を追加することにより、ボールベアリング作動ドライバによる13 mmの移動が可能になります。5番目の軸を追加することでプラットフォームのデッキ高は112.5 mmに、光軸高さは125 mmに上がります。これにより、当社のNanoMax 6軸ステージと同じ高さになります。
精密アクチュエータ
4軸ステージ両方と追加移動軸ステージMBT501には、精密差動マイクロメーターアジャスタが付いています。差動アクチュエータには、粗調整用ならびに微調整用として2つの大きなノブがあります。粗調整は1回転につき500 μm、微調整は1回転につき50 μm(公称値)で300 μm移動します。
アクセサリのアライメントが容易
当社では下表のように、顕微鏡の対物レンズ、コリメーターパッケージ、導波路やファイバなどを取り付けるための幅広いアクセサリをご用意しております。これらのアクセサリは、4軸ステージの上面プラットフォームの中央のキー溝を利用して簡単にアライメント設置が可能です。このキー溝により、アクセサリのアライメントを維持したままで、迅速に構成の変更が行えます。
| Item # | MBT401D(/M) | MBT402D(/M) | ||
|---|---|---|---|---|
| Travel (Coarse) | Horizontal Axis (Y) | 13 mm | Horizontal Axis (Y) | 13 mm |
| Vertical Axis (Z) | 6 mm | Vertical Axis (Z) | 6 mm | |
| Pitch Axis (θy) | ±5° | Pitch Axis (θy) | ±5° | |
| Yaw Axis (θz) | ±5° | Yaw Axis (θz) | ±5° | |
| Travel (Differential) | Horizontal Axis | 300 µm | Horizontal Axis | 300 µm |
| Vertical Axis | 300 µm | Vertical Axis | 300 µm | |
| Pitch Axis | 30 arcmin | Pitch Axis | 12 arcmin | |
| Yaw Axis | 30 arcmin | Yaw Axis | 30 arcmin | |
| Coarse Adjustment | 500 µm/rev | |||
| Fine Adjustment | 50 µm/rev | |||
| Deck Height | 62.5 mm to the mounting surface of the moving platform. The accessory beam height is 75 mm measured from the bottom surface of the stage. | |||
| Nominal Outer Dimensions (L x W x H) | 3.58" x 7.13" x 5.73" (91.0 mm x181.1 mm x 145.5 mm) | 5.23" x 6.37" x 3.73" (132.9 mm x 161.9 mm x 94.7 mm) | ||
| Load Capacity | 500 g (1.1 lbs) | 500 g (1.1 lbs) | ||
| Weight | 0.95 kg (2.1 lbs) | 0.9 kg (2.0 lbs) | ||
| Item # | MBT501 | |
|---|---|---|
| Travel (Coarse) | Optical Axis (X) | 13 mm |
| Travel (Differential) | Optical Axis | 300 µm |
| Coarse Adjustment | 500 µm/rev | |
| Fine Adjustment | 50 µm/rev | |
| Deck Height | 112.5 mm to the mounting surface of the moving platform when attached to a stage with a 62.5 mm deck height. The accessory beam height is 125 mm measured from the bottom surface of the stage. | |
| Nominal Outer Dimensions (L x W x H) | 5.72" x 3.54" x 1.97" (145.3 mm x 90.0 mm x 50.1 mm) | |
| Load Capacity | 1.5 kg (3.3 lbs) | |
| Weight | 0.67 kg (1.47 lbs) | |
| Posted Comments: | |
Justinas Domarkas
(posted 2022-07-08 10:59:07.927) Hello,
we are looking for solution how to adjust two right angle prisms in relation to one another. It seems that your multi-axis system would be suitable.
We plan to fix one prism and do adjustment of other prism before cementing.
We need to have rotation, pitch, yaw and translation in three (or at least two) directions.
Maximal prism size is 20x20mm, therefore rotation axis should be at least 10-11mm above working surface.
Please let me know which if your 5 axis system would be enough for this task, or we should look for 6 axis system?
thanks in advance.
Justinas |
多軸ステージセレクションガイド
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上の使用例では、NanoMax3軸フレクシャーステージを6軸ステージの前に置き、高さ調整アダプタAMA554(/M)を使用してデッキ高112.5 mmに整合させています。
3軸ステージ
当社では3種類の3軸ステージをご用意しております。フレクシャーステージNanoMax、コンパクトフレクシャーステージMicroBlock、長距離移動ステージRollerBlockです。どのステージも公称デッキ高は62.5 mmです。3軸ステージのNanoMaxのラインナップには、内蔵型の閉ループまたは開ループのピエゾアクチュエータのほかに、ステッピングモータや差動アクチュエータ、その他のピエゾアクチュエータなどのモジュール型駆動製品をご用意しております。MicroBlockステージには、差動マイクロメー ターアクチュエータや精密つまみネジが付いていますが、それらのアクチュエータは取り外しができません。RollerBlockステージのアクチュエータ は、Ø9.5 mmの取付けバレルが付いたアクチュエータであれば交換可能です。
4軸ならびに5軸ステージ
当社の4軸ならびに5軸ステージは、3軸ならびに6軸の高性能アライメントステージと比較した場合、導波路や複雑な光学素子の静的な位置決めにより適しています。5軸ステージの公称高さは、62.5 mmまたは112.5 mmになります。3軸または4軸ステージの高さを5軸MicroBlockあるいは6軸NanoMaxステージに合わせて112.5 mmに上げたい場合には、ライザーブロック(高さ調整ブロック)AMA554(/M)をご使用いただけます。
6軸ステージ
当社のNanoMax 6軸ナノポジショナは複雑な多軸ポジショニングシステムに適しており、公称デッキ高は112.5 mmです。こちらのステージは共通の回転中心を有しています。また特許取得済みの平行フレクシャ設計により、すべてのアクチュエータがベースに直接結合し、システム内の不要な動きを最小限に抑えています。ピエゾ素子はオプションで閉ループでも開ループでも組み込めます。モジュール型設計のためアクチュ エータを交換することができ、すべての軸で手動式、またはピエゾ素子による電動式にすることが可能です。アクチュエータが付属しないタイプについては、右手系、左手系のどちらの構成でもご用意しております。 3軸ステージの高さを112.5 mmに上げたい場合には、右の写真のように高さ調整アダプタAMA554(/M)のご使用をお勧めいたします。
当社の多軸ステージのラインナップならびに比較は下の表でご覧ください。
3軸ステージ
| Item # | MAX313D | MAX312D | MAX311D | MAX383 | MAX381 | MAX303 | MAX302 | MAX301 | MBT602 | MBT616D | RB13M | RBL13D | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Stage Type | NanoMax Flexure Stages | MicroBlock Compact Flexure Stages | RollerBlock Long Travel Stages | |||||||||||||||||
| Included Drives | DRV3 Differential Micrometers | DRV208 Stepper Motor Actuators | N/A | Fine Thread Thumbscrews | Differential Micrometers | 148-801ST Micrometer Drives | DRV304 Differential Micrometers | |||||||||||||
| Built-in Piezos | N/A | Open Loop | Closed Loop | N/A | Closed Loop | N/A | Open Loop | Closed Loop | N/A | N/A | ||||||||||
| Travel (X, Y, Z) | 4 mm (0.16") | 13 mm (0.51") | ||||||||||||||||||
| Deck Height (Nominal) | 62.5 mm (2.46") | |||||||||||||||||||
| Optical Axis Height (Nominal) | 75 mm (2.95") | |||||||||||||||||||
| Load Capacity (Max) | 1 kg (2.2 lbs) | 4.4 kg (9.7 lbs) | ||||||||||||||||||
| Thermal Stability | 1 µm/°C | - | ||||||||||||||||||
| Weight | 1.00 kg (2.20 lbs) | 0.64 kg (1.40 lbs) | 0.59 kg (1.30 lbs) | |||||||||||||||||
4軸ステージ
| Item # | MBT401D MBT401D/M | MBT402D MBT402D/M | |
|---|---|---|---|
| Stage Type | 4-Axis Thin-Profile MicroBlock Device Stage | 4-Axis Low-Profile MicroBlock Device Stage | |
| Included Drives | Differential Micrometers | ||
| Built-in Piezos | N/A | ||
| Travel | Horizontal Axis (Y)a | 13 mm (0.51") | |
| Vertical Axis (Z) | 6 mm (0.24") | ||
| Pitch (θy) | ±5° | ||
| Yaw (θz) | ±5° | ||
| Deck Height (Nominal) | 62.5 mm (2.46") | ||
| Optical Axis Height (Nominal) | 75 mm (2.95") | ||
| Load Capacity (Max) | 0.5 kg (1.1 lbs) | ||
5軸ステージ
| Item # | MBT401D (MBT401D/M) or MBT402D (MBT402D/M) with MBT501 | PY005 | |
|---|---|---|---|
| Stage Type | 5-Axis MicroBlock Stage System | Compact 5-Axis Stage | |
| Included Drives | Differential Micrometers | 100 TPI Actuators | |
| Built-in Piezos | N/A | ||
| Travel | Optical Axis (X) | 13 mm (0.51") | 3 mm (0.12") |
| Horizontal Axis (Y) | 13 mm (0.51") | 3 mm (0.12") | |
| Vertical Axis (Z) | 6 mm (0.24") | 3 mm (0.12") | |
| Pitch (θy) | ±5° | ±3.5° | |
| Yaw (θz) | ±5° | ±5° | |
| Deck Height (Nominal) | 112.5 mm (4.43") | 62.5 mm (2.46")a | |
| Optical Axis Height (Nominal) | 125 mm (4.92") | 75 mm (2.95")a | |
| Load Capacity (Max) | 0.5 kg (1.1 lbs) | 0.23 kg (0.5 lbs) | |
6軸ステージ
| Item # | MAX601D MAX601D/M | MAX602D MAX602D/M | MAX603D MAX603D/M | MAX681 MAX681/M | MAX682 MAX682/M | MAX683 MAX683/M | MAX607 MAX607/M MAX607La MAX607L/Ma | MAX608 MAX608/M MAX608La MAX608L/Ma | MAX609 MAX609/M MAX609La MAX609L/Ma | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Stage Type | 6-Axis NanoMax Flexure Stage | |||||||||
| Included Drives | DRV3 Differential Micrometers | DRV208 Stepper Motor Actuators | N/A | |||||||
| Built-in Piezos | N/A | Open Loop | Closed Loop | N/A | Open Loop | Closed Loop | N/A | Open Loop | Closed Loop | |
| Travel | X, Y, Z | 4 mm (0.16") | ||||||||
| θx, θy, θz | 6° | |||||||||
| Deck Height (Nominal) | 112.5 mm (4.43") | |||||||||
| Optical Axis Height (Nominal) | 125 mm (4.92") | |||||||||
| Load Capacity (Max) | 1.0 kg (2.2 lbs) | |||||||||
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ステージMBT401DとMBT501を使用して構築した5軸ステージ
- システムのすべての回転軸が、光軸の1点でほぼ一致
- 多軸ステージアクセサリ用に2つの#6-32取付け穴
- 手動調整用差動マイクロメーターアクチュエータ付き
- デッキ高は112.5 mmで当社の6軸ステージと共用可能
- 水平、垂直ならびに軸方向への移動
- 水平および光軸方向の移動量：ボールベアリング動作により13 mm
- 垂直移動量：フレクシャ動作により6 mm
- フレクシャ動作による±5°のピッチ&ヨー調整
こちらのステージキットは、4軸ステージMBT401Dをベースにしており、5つの自由度(3軸移動および2軸回転)を提供します。 このキットでは、すべての回転中心は、ほぼ光軸上の1点と一致します。また、上部プラットホームには多軸ステージ用アクセサリを取り付けるための#6-32タップ穴が2個付いています。 システム構築後のデッキ高は112.5 mmで、当社のNanoMax 6軸ステージと同じ高さになります。 このキットには、取付け用の止め具AMA010が2つ付属しています。
5軸ステージキット一式はMBT501が1つとMBT401Dが1つで構成されます。キット1つをご購入の場合、そのまま「Add Kit」ボタンを押してお見積り依頼にお進みください。いずれかの製品をすでにお持ちの場合は、不要な型番の数量の欄を「0」にした上で「Add Kit」からお見積り依頼にお進みください。数量の欄の数字を増やすことで複数のキットをご希望いただくことも可能です。
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ステージMBT401D/MとMBT501を使用して構築した5軸ステージ
- システムのすべての回転軸が、光軸の1点でほぼ一致
- 多軸ステージアクセサリ用に2つのM3 x 0.5取付け穴
- 手動調整用差動マイクロメーターアクチュエータ付き
- デッキ高は112.5 mmで当社の6軸ステージと共用可能
- 水平、垂直ならびに軸方向への移動
- 水平および光軸方向の移動量：ボールベアリング動作により13 mm
- 垂直移動量：フレクシャ動作により6 mm
- フレクシャ動作による±5°のピッチ&ヨー調整
こちらのステージキットは、4軸ステージMBT401D/Mをベースにしており、5つの自由度(3軸移動および2軸回転)を提供します。このキットでは、すべての回転中心は、ほぼ光軸上の1点と一致します。また、上部プラットホームには多軸ステージ用アクセサリを取り付けるためのM3 x 0.5タップ穴が2個付いています。システム構築後のデッキ高は112.5 mmで、当社のNanoMax 6軸ステージと同じ高さになります。このキットには、取付け用の止め具AMA010/Mが2つ付属しています。
5軸ステージキット一式はMBT501が1つとMBT401D/Mが1つで構成されます。キット1つをご購入の場合、そのまま「Add Kit」ボタンを押してお見積り依頼にお進みください。いずれかの製品をすでにお持ちの場合は、不要な型番の数量の欄を「0」にした上で「Add Kit」からお見積り依頼にお進みください。数量の欄の数字を増やすことで複数のキットをご希望いただくことも可能です。
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ステージMBT402DとMBT501を使用して構築した5軸ステージ
- スペースを確保し、取付けプラットフォームへのアクセスが簡単な小型で低頭のアジャスタ
- 多軸ステージアクセサリ用に14個の#6-32取付け穴
- 手動調整用差動マイクロメーターアクチュエータ付き
- デッキ高は112.5 mmで6軸ステージに対応
- 水平、垂直ならびに軸方向への移動
- 水平および光軸移動量：ボールベアリング動作により13 mm
- 垂直移動量：フレクシャ動作により6 mm
- フレクシャ動作による±5°のピッチ&ヨー調整
こちらのステージキットは、4軸ステージMBT402Dをベースにしており、5つの自由度(3軸移動および2軸回転)を提供します。 このキットのプラットフォームは大きく、多軸ステージアクセサリ用に14個の#6-32の取付けタップ穴が付いています。 高さに制限のある用途向けに低頭アジャスタが付いていますが、光軸を中心には回転しません。 システム構築後のデッキ高は112.5 mmで、当社のNanoMax 6軸ステージと同じ高さになります。 このキットには、取付け用の止め具AMA010が2つ付属しています。
5軸ステージキット一式はMBT501が1つとMBT401Dが1つで構成されます。キット1つをご購入の場合、そのまま「Add Kit」ボタンを押してお見積り依頼にお進みください。いずれかの製品をすでにお持ちの場合は、不要な型番の数量の欄を「0」にした上で「Add Kit」からお見積り依頼にお進みください。数量の欄の数字を増やすことで複数のキットをご希望いただくことも可能です。
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ステージMBT402D/MとMBT501を使用して構築した5軸ステージ
- スペースを確保し、取り付けプラットフォームへのアクセスが簡単な小型で低頭のアジャスタ
- 多軸ステージアクセサリ用に14個のM3 x 0.5取付け穴
- 手動調整用差動マイクロメーターアクチュエータ付き
- デッキ高は112.5 mmで6軸ステージに対応
- 水平、垂直ならびに軸方向への移動
- 水平および光軸移動量：ボールベアリング動作により13 mm
- 垂直移動量：フレクシャ動作により6 mm
- フレクシャ動作による±5°のピッチ&ヨー調整
このMicroBlockシリーズプラットフォームキットは、4軸のMBT402D/Mをベースにしており、5つの自由度(3軸移動および2軸回転)をご提供します。 このキットのプラットフォームは大きく、多軸ステージアクセサリ用に14個のM3 x 0.5の取付けタップ穴が付いています。 高さに制限のある用途向けに低頭アジャスタが付いていますが、光軸を中心には回転しません。 システム構築後のデッキ高は112.5 mmで、当社のNanoMax 6軸ステージと同じ高さになります。 このキットには、取付け用の止め具AMA010/Mが2つ付属しています。
5軸ステージキット一式はMBT501が1つとMBT401D/Mが1つで構成されます。キット1つをご購入の場合、そのまま「Add Kit」ボタンを押してお見積り依頼にお進みください。いずれかの製品をすでにお持ちの場合は、不要な型番の数量の欄を「0」にした上で「Add Kit」からお見積り依頼にお進みください。数量の欄の数字を増やすことで複数のキットをご希望いただくことも可能です。
5軸ステージ