Products Home / オプトメカニクス用部品 / 真空対応部品 / 高真空用CFフランジ(コンフラットフランジ)部品 / 超高真空用ファイバーフィードスルーCFフランジ(コンフラットフランジ)超高真空用ファイバーフィードスルーCFフランジ(コンフラットフランジ)
- CF Flange Fiber Feedthrough for Ultra-High Vacuum
- SMA Terminated on Both Sides
- Available for 200 - 1200 nm or 400 - 2400 nm
VC2H2S
CF Flange for
Ø200 µm SMA Fibers
ADASMAV
Vacuum-Compatible Mating Sleeve
VGC10
Copper Gaskets,
10 Pack
Front
Back
VMH6
Flange Mounting Hardware Pack
(6 Bolts, 6 Nuts, & 12 Washers)
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超高真空用ファイバーフィードスルーCFフランジの断面図
特長
- 真空レベル1 × 10-10 Torrまで使用可能
- Ø2.75インチ(DN40)CFフランジに適合
- ハーメチックシールされたマルチモードステップインデックスファイバ
- コア径Ø100 µm、Ø200 µm、Ø400 µm、Ø600 µm
- 200～1200 nm(高OH)または400～2400 nm(低OH)
- 当社の真空対応マルチモードファイバーパッチケーブルに対応
- 温度250 °Cまでのベーキングが可能
- フランジ取付け用ネジセットや銅製ガスケットは別売り(下記参照)
当社の超高真空対応Ø2.75インチ(DN40)ファイバーフィードスルーCFフランジは、SMA905コネクタ付きファイバーパッチケーブルとアダプタを使用し、10-10 Torrまでの超高真空システムへの光入力が可能です。フィードスルーにはハーメチックシールされたステップインデックスマルチモードファイバがステンレススチール製シェル内に組み込まれており、挿入損失は≤2.3 dBと低く、最大1 Wの入力パワーに対応します。 フランジは、クリーンルーム環境に運搬されるまでの間の汚染から保護するために2重のバッグに入っています。
ファイバーフィードスルーの両端にはオス型SMA905コネクタが付いています。ファイバーパッチケーブルを接続するにはアダプタをご使用いただけます。 真空環境下におけるフィードスルーを真空対応のパッチケーブルに接続するために、真空対応SMA-SMAアダプタADASMAV(下記参照)をご用意しております。 SUS304ステンレススチール製のこのアダプタは、超高真空システム内(> 10-10 Torr)で使用できるよう設計されております。本体に開いているØ1.6 mmの穴が排気口として機能し、閉じ込められたガスを逃します。 ファイバーパッチケーブルを真空環境下で使用する際には、ケーブルが真空対応であることをご確認ください。
これらのフランジのレーザ溶接部は、従来の接着剤による接合部より構造が頑丈で、リークレートを大幅に抑制します。また、これらのレーザ溶接部とガラス-金属のハーメチックシールにより、クリーニングしやすい外表面のみが真空に直接さらされることになります。フィードスルーの真空にさらされる側には接着剤が使用されていないため、真空システムの汚染とガス放出は最小限に抑えられます。
CF型のフランジは、ナイフエッジ機構を利用して密閉されており、銅製ガスケット(下記参照)を適切に使用することで10-10 Torrまで圧力に対応可能となります。これらのフィードスルーにはM6貫通穴が6つ付いており、あらゆる標準規格のDN40 CFフランジにボルトで固定できます。 接合部のボルトをしっかりと締めた時に、ナイフエッジは銅製ガスケットに「噛み付き」、変形します。圧力がかかった銅は全ての機械加工による凹みと表面欠損を埋め、漏れのない密閉を生み出します。なお、銅製ガスケットとボルトは別途ご購入が必要となりますのでご留意ください。
当社では、Ø25.4 mm(Ø1インチ)ウィンドウ、Ø38.1 mm(Ø1.5インチ)フラットウィンドウ、Ø38.1 mm(Ø1.5インチ)ウェッジウィンドウ用のCFフランジビューポートや、真空対応部品をご用意しております。
Insights: 真空対応CF(コンフラット)フランジ
スクロールすると下記について説明しています。
- 真空対応CF(コンフラット)フランジの使い方
このほかにも実験・実習や機器に関するヒントをまとめて掲載しています。こちらからご覧ください。
真空対応CF(コンフラット)フランジの使い方
超高真空レベル(10-8 Torr (1.33 x 10-8 mbar、1.33 x 10-8 hPa)より高真空)を実現するための接続方法として、2つのCF(ConFlat®)フランジの間に金属ガスケットを挟んで締め付ける方法があります。ここでは、その接続方法を、ファイバーフィードスルーの付いたCFフランジとCFフランジの付いたT字管のポートを使用して実演しています。真空封止の品質と真空システムを目標とする真空レベルまで排気するのに必要な時間は、ボルトが正しく締め付けられていることを確認すれば決まるというわけではありません。ここでは、良好な結果を得るのに役立つ、真空部品や真空システムを取扱うための方法もいくつかご紹介します。
ナイフエッジの損傷、ボルトの乱暴な締め方、ガスケットの再使用などは、すべてCFフランジによる真空接続部にリーク(漏れ)を発生させる可能性があります。動画で実演されている方法は、これらの要因によるリスクを軽減します。これらの要因はすべて金属ガスケットの展性(可鍛性)に関係しています。ガスケットは、ナイフエッジにおける傷などの幅の狭い急峻な形状を埋めるほどには柔らかくないため、ナイフエッジは新品のままの状態であることが重要です。ボルトを何回にも分けて徐々に締めていくのは、ガスケットの円周の厚さを均一に保つうえで効果的です。各ボルトを一度に締め付けると、ガスケットの厚さにばらつきが生じ、均一にすることが困難あるいは不可能になる場合があります。これは金属ガスケットの流動性に限界があるためであり、それによってガスケットとナイフエッジの間に隙間が生じる可能性が有ります。ガスケットは、常に新しいものを使用されることをお勧めします。前回の使用時に部分的にしか圧縮しなかった場合でも、再利用したときにはナイフエッジの輪郭に適合するのに十分な展性がない場合があります。これは圧縮により金属がひずみ硬化(加工硬化)するためです。
真空システムの接続部にリークがあると、リークチェックを行って問題箇所を特定したり、それを解決するために真空システムを再度開いたりなど、多くの時間を費やすことになりかねません。そのほか、チャンバ内部やチャンバに取り付けられたコンポーネントに破損や動作不良があると、生産的な作業が遅れる場合もあります。そのため、ファイバーフィードスルーの取扱い方などに関しても、特に注意すべき点についてご紹介しています。
そのほかにも実験室でお使いいただけるヒント、工夫や方法などの動画がこちらからご覧いただけます。また、ウェビナーでは、当社の様々な製品に関する理論や実用的な事柄などをご紹介しています。
ConFlat®はAgilent Technologies社の登録商標です。
| Products Featured During Demonstration | |||
| Optical Fiber Feedthrough | 1/4-Hard Copper Gaskets | Fiber Inspection Scope | Nitrile Gloves |
| UHV Fiber Patch Cable | Solvent Dispenser | Fiber Connector Cleaner | Wipes |
最終更新日: 2022年9月21日
| Posted Comments: | |
user
(posted 2024-04-19 10:39:24.23) Hello, is it possible for you to make the flange smaller, like CF16? Sudipta Nayak
(posted 2023-06-09 14:32:27.923) Hello
is it possible to adapt this system for single mode fiber use?
We want to connect to single mode pigtail fibers inside the chamber with 10-12 um diameter. jpolaris
(posted 2023-06-14 01:18:32.0) Thank you for contacting Thorlabs. Requests for custom parts can be made by reaching out to techsupport@thorlabs.com. I have reached out to you to discuss the feasibility of this. Sylvain Hermelin
(posted 2020-09-07 07:48:08.05) Dear team,
I'm looking for a fiber feedthrough that would handle up to 30W, 940nm, 400µm core. I see your standard products seem limited to 1W. Any chance you could provide that?
Thanks, YLohia
(posted 2020-09-08 11:03:08.0) Hello Sylvain, thank you for contacting Thorlabs. Custom items can be requested by emailing your local Thorlabs Tech Support team (in your case techsupport.fr@thorlabs.com). We will reach out to you directly to discuss the possibility of offering this. DJAMAL IMATOUKEN
(posted 2020-01-22 12:59:19.683) Please is it possible to use Ultra-High-Vacuum Fiber Feedthrough CF Flanges for Ion beam indinced luminescence in Van der graaff accelerator (10-8 torr)? YLohia
(posted 2020-01-23 04:28:49.0) Hello, these are rated to be used in vacuum levels down to 10^-10 Torr. I have reached out to you directly to discuss your application-specific questions. schaefer
(posted 2016-09-02 09:33:33.39) Can you provide such a UHV feedthrough, but without connectors directly at the flange? Instead I would like to have a fiber going through the flange with something like 20cm fiber with a FC/PC connector on the vacuum side and 2m on the non-vacuum side (FC/PC). As for fibers: FG105LVA or FG050UGA would be of interest to me. tfrisch
(posted 2016-09-07 01:30:10.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. We will contact you directly about your application. Acrylate coated fibers will outgas in vacuum, so they should not be used. andrew.davies.physics
(posted 2016-08-26 11:35:25.4) You should allow custom fibers to be placed in the feedthrough. For instance I would like to use your FG105LVA fiber. The different core size would cause large coupling losses on both ends. tfrisch
(posted 2016-09-01 09:30:49.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. Unfortunately, FG105LVA has an acrylate coating which will outgas in vacuum. I will reach out to you directly. user
(posted 2014-11-21 10:09:59.43) Could you make a FC/apc version of this feedthrough? cdaly
(posted 2014-11-25 01:55:12.0) Response from Chris at Thorlabs: Yes, we should be able to provide this as a custom for the time being and are looking at introducing it as a standard part as well. Please contact us at techsupport@thorlabs.com if you require a quote for this item. |
| Item # | Wavelength Range | Fiber Core Diameter | NA | Vacuum Level | Insertion Loss | Max Optical Power | Max Temperature | Leak Rate |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VC2H1S | 200 - 1200 nm | 100 µm | 0.22 ± 0.02 | 1 × 10-10 Torr | ≤2.3 dB | 1 W | 250 °C | ≤1 x 10-10 mbar⋅L/s He STD |
| VC2L1S | 400 - 2400 nm |
注:取付用ネジやCFフランジ用銅製ガスケットは付属しておりません。
| Item # | Wavelength Range | Fiber Core Diameter | NA | Vacuum Level | Insertion Loss | Max Optical Power | Max Temperature | Leak Rate |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VC2H2S | 200 - 1200 nm | 200 µm | 0.22 ± 0.02 | 1 × 10-10 Torr | ≤2.3 dB | 1 W | 250 °C | ≤1 x 10-10 mbar⋅L/s He STD |
| VC2L2S | 400 - 2400 nm |
注:取付用ネジやCFフランジ用銅製ガスケットは付属しておりません。
| Item # | Wavelength Range | Fiber Core Diameter | NA | Vacuum Level | Insertion Loss | Max Optical Power | Max Temperature | Leak Rate |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VC2H4S | 200 - 1200 nm | 400 µm | 0.22 ± 0.02 | 1 × 10-10 Torr | ≤2.3 dB | 1 W | 250 °C | ≤1 x 10-10 mbar⋅L/s He STD |
| VC2L4S | 400 - 2400 nm |
注:取付用ネジやCFフランジ用銅製ガスケットは付属しておりません。
| Item # | Wavelength Range | Fiber Core Diameter | NA | Vacuum Level | Insertion Loss | Max Optical Power | Max Temperature | Leak Rate |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VC2H6S | 200 - 1200 nm | 600 µm | 0.22 ± 0.02 | 1 × 10-10 Torr | ≤2.3 dB | 1 W | 250 °C | ≤1 x 10-10 mbar⋅L/s He STD |
| VC2L6S | 400 - 2400 nm |
注:取付用ネジやCFフランジ用銅製ガスケットは付属しておりません。
ズーム| Vacuum Compatibility Specifications | |
|---|---|
| Vacuum Compatibility as Packageda | 10-10 Torr |
| Materials | 304 Stainless Steel |
| Preparation and Packaging | Chemically Cleaned and Double Vacuum Bagged |
| Stainless Steel Outgassing Rate at 20 °C | 1.8 x 10-8 Torr-Liters/s/cm2 |
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ADASMAVにはØ1.6 mmの通気口が付いています。
- 超高真空用途向けエアスペース型SMA-SMAアダプタ
- SUS304ステンレススチール製
- 挿入損失＜1.5 dB(Ø200 µmコアのマルチモードファイバ同士を接続した場合の損失の典型値)
- クリーンルーム用2重包装
- 当社の真空対応マルチモードファイバーパッチケーブルに対応
当社のアダプタADASMAVはSMA-SMAアダプタADASMAの真空対応バージョンです。 SUS304ステンレススチール製のこのアダプタは、超高真空システム内 (＞10-10 Torr)で使用できるよう設計されております。本体にあるØ1.6 mmの通気口により、コネクタ装着時に閉じ込められた空気を逃します(右の画像をご覧ください)。 ADASMAVは標準型とは異なり、SMA905式コネクタのみしか対応しません。 SUS304ステンレススチール製ワッシャならびにナットがカスタム仕様のマウント向けに付属しています。
真空対応
当社の真空対応アダプタは、梱包前に化学洗浄され、真空での用途向けに処理されています。 10-10 Torrまでの真空状態では、袋から取り出してそのままお使いいただけます。 追加洗浄や加工によりさらに低い圧力での使用も可能です。ただし、ステンレススチールのアウトガスにより制限されます(上の表をご覧ください)。 実際に稼働されている真空システムに対して、これらの部品や材料については適正であるかの判断に関しては、ステンレススチールの材質特性とお客様が行われる洗浄方法により決定してください。 なお、真空用途向けではないキャップやパネルをADASMAVと共に使用することはお勧めしません。
この他にも真空用途でお使いいただける真空対応部品をご用意しております。
ズーム
- ステンレススチール製(18-8)フランジ取付用ネジセットVMH6の内容
- ボルト6個(銀メッキ、1/4"-28 x 1.25"、12ポイント)
- ナット6個、ワッシャ12個
- Ø2.75インチCFフランジを用いて密閉する銅製ガスケット(1個使用)
- 101銅合金(純度99.99%)、OFHC(無酸素銅)
- VGC10:1/4硬質銅ガスケット
- VGA10:アニール済み銅ガスケット
当社ではØ2.75インチCFフランジを結合するための取付用ネジセットと銅製ガスケットをご用意しております。フランジは、ナイフエッジ機構を利用して、接合部品間を密閉します。密閉にはよく銅製ガスケットが採用されています。接合部のボルトをしっかりと締めた時に、ナイフエッジは銅製ガスケットに「噛み付き」、変形します。押し出された金属は全ての機械加工による凹みと表面欠損を埋め、漏れのない密閉を生み出します。
1/4硬質銅ガスケットならびにアニール済み銅ガスケットはそれぞれ10個セットでご用意しております。フランジの応力により光学素子が変形する可能性を低くするため、ビューポートには柔らかい方のアニール銅ガスケットのご使用をお勧めいたします。ステンレススチール製の取付用ネジセットには、銀メッキボルト6個、ナット6個、ワッシャ12個が含まれます。ボルトの銀メッキが潤滑油としてボルトのステンレススチール面とナットの摩耗を防止します。
取付手順
まずはじめにCFフランジのナイフエッジ面に埃や傷がないことを確認してください。その後ボルト穴の向きを選び、ガスケットを(リーク溝があれば、それとアライメントさせながら)挿入します。ワッシャをスライドさせてボルト上に取り付け、ボルトをフランジに差しこみ、もう1個ワッシャをつけてからナットを締め付けます。ボルトは手で締め付け、その後2つのレンチを使用してボルト頭部を保持し、ナットを回します。ナットは星型の順番で徐々に1/8～1/4ほど締め付けていきます。この手順を追うことにより、ガスケットの圧力と変形が均等で信頼ある密閉ができます。
 超高真空用ファイバ―フィードスルー＆アダプタ |