1軸フレクシャーステージ、移動量5 mm、手動型および手動-ピエゾハイブリッド型


  • Differential Adjusters
  • Optional 20 μm Piezo Drive for Open- or Closed-Loop Operation
  • Mounting Plate & Angle Bracket Accessories

NFL5DP20S

Shown with NFL5P1 Baseplate (Not Included)

NFL5P2

Angle Bracket

NFL5P1

Base Plate

Typical XZ
Configuration

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Please Wait
Key Specificationsa
Item #NFL5D(/M)NFL5DP20(/M)NFL5DP20S(/M)
Actuator(s)Differential
Micrometer
Diff. Micrometer &
Open-Loop Piezo
Diff. Micrometer &
Closed-Loop Piezo
Coarse Adjuster Travel5 mm (0.20")
Coarse Adjuster Resolution0.5 mm per Revolution
Fine Adjuster Travel300 µm
Fine Adjuster Resolution50 µm per Revolution
Load CapacityHorizontal: 1 kg (2.2 lbs)
Vertical: 0.5 kg (1.1 lbs)
Piezo TravelN/A20 µm20 µm
Piezo Resolution
(Theoretical)
N/A0.6 nm0.6 nmb
Piezo VoltageN/A0 - 75 V0 - 75 V
  • 対応コントローラなどの詳細な情報については「仕様」タブをご覧ください。
  • 歪ゲージ位置センサを使用した閉ループ動作
Single-Axis Flexure Stage Selection Guide
1.5 mm Travel
5 mm Travel

特長

  • 差動アジャスタ:移動量5 mm
  • 手動5 mm移動+20 μmピエゾ駆動のハイブリッドタイプもご用意
    • NFL5DP20/M:歪みゲージ無し、開ループ操作
    • NFL5DP20S/M:歪みゲージ有り、閉ループ操作
  • コンパクトサイズ:75 mm x 75 mm、厚さ30 mm
  • XYZ構成

安定性が最重要条件で リニアベアリング特有のエラーが悪影響を与えうる用途では、移動量5 mmのNanoFlex™単軸フレクシャーステージを使用することで、極めて滑らかな移動が実現できます。複合的な対称フレクシャ設計を採用しているので、全移動距離に渡って、クロストークが0の真の直線動作が実現できます。この動作は、接触による駆動を必要とする部品を使用しないことにより実現されています。すなわち、全ての動きは、移動マウントの中にある様々な構造部品のフレクシャ動作によって実現されています。これらの特性によって、この製品は厳しい環境下でも優れた性能を発揮します。

これらの直線移動ステージ(リニアステージ)は、下記でご紹介している別売りのベースプレートNFL5P1/Mや角度ブラケットNFL5P2/Mを使用することで、XY、XZおよびXYZ 構成が可能となります。開ループおよび閉ループピエゾ付き製品には長さ3 mのSMC-SMCピエゾ駆動ケーブルが付属します。閉ループピエゾ付きのNFL5DP20S/Mには、長さ3 mのLEMO-D型フィードバックケーブル(型番PAA622)も付属しています。コネクタの詳細は「ピン配列」タブをご参照ください。

Item #NFL5D(/M)NFL5DP20(/M)NFL5DP20S(/M)
Stage Specifications
Manual Travel Range5 mm (0.20")5 mm (0.20")5 mm (0.20")
Maximum Stage Load CapacityHorizontal: 1 kg (2.2 lbs)
Vertical: 0.5 kg (1.1 lbs)
Horizontal: 1 kg (2.2 lbs)
Vertical: 0.5 kg (1.1 lbs)
Horizontal: 1 kg (2.2 lbs)
Vertical: 0.5 kg (1.1 lbs)
Stage Mounting Surface Dimensions75 mm x 75 mm (2.95" x 2.95")75 mm x 75 mm (2.95" x 2.95")75 mm x 75 mm (2.95" x 2.95")
Stage Height30 mm (1.18")30 mm (1.18")30 mm (1.18")
Manual Drive Specifications
Drive TypeDifferential MicrometerDifferential MicrometerDifferential Micrometer
Coarse Adjustment Pitch0.5 mm0.5 mm0.5 mm
Fine Adjustment Range300 µm300 µm300 µm
Fine Adjustment Pitch50 µm50 µm50 µm
Piezo Specifications
Voltage N/A0 to 75 V0 to 75 V
Position Sensor for Closed-Loop OperationN/AN/AStrain Gauge
Travel RangeN/A20 µm20 µm
Theoretical ResolutionN/A0.6 nma0.6 nmb (Closed-Loop Operation)
CapacitanceN/A3.6 µF3.6 µF
ConnectorN/AMale SMCMale SMC
Feedback ConnectorN/AN/AMale 7 Pin LEMO
Cable Length N/ASMC to SMC: 3 m (9.84')SMC to SMC: 3 m (9.84')
LEMO to D-Type: 3 m (9.84')
Compatible ControllersN/AKPZ101, MDT694B, or MPZ601BPC301 or MPZ601
  • コントローラKPZ101またはMPZ601を使用して駆動した時の値
  • コントローラBPC301またはMPZ601を使用して駆動した時の値

ピエゾ駆動入力

NFL5DP20/M、NFL5DP20S/M

SMC オス

SMA Male

最大入力電圧(公称値): 75 V
最大入力電圧(絶対値): 100 V

PinDesignation
1Bridge
2+15 V
3-15 V
40 V
5Signal
60 V
7Ident
8Not Connected
9Not Connected

変位センサ

NFL5DP20S/Mのみ

9ピンD型 オス(フィードバックケーブル)

LEMO Male

7ピン LEMO オス(ステージ)

LEMO Male


Posted Comments:
Jose Mejia  (posted 2024-03-14 08:11:35.53)
Hello, We are currently using the NFL5DP20S/M in our setup. We used it in the closep loop configuration, while in the closed loop we move the coarse adjustment micrometer and it produced a sound. After that open loop worked fine but closed loop jumps from 75V to -14V as we move the dial. How could we solve this issue?
Louis Eaton  (posted 2024-03-06 09:28:09.86)
Hello, I am currently trying to drive a NFL5DP20/M with a MDT694A and am trying to troubleshoot an issue where it seems as if the pizeo stage is getting stuck at certain voltages, suppling with a higher causes the stage to jolt forward forward to some degree resulting in an audible click. This happens at multiple voltages within the travel range. Just wondering if there's any likely causes for this issue or any quick fixes. Thanks!
spolineni  (posted 2024-03-11 12:42:31.0)
Thank you for reaching out to us. I am sorry to hear the issue caused with NFL5DP20/M and MDT694A. We will need to delve into a few more details to fully understand this issue. Please be assured that I will personally contact you to aid in resolving this issue.
LJ Z  (posted 2023-10-25 09:20:36.813)
Hi, I wonder if the NFL5D/M can be used in high vacuum environment, say E-4 or -5 pascal.
do'neill  (posted 2023-10-30 11:38:32.0)
Response from Daniel at Thorlabs. The NFL5D/M is made of black anodised aluminium and will therefore outgas significantly in a high vacuum. I will reach out to you directly to discuss your application.
Gabrialla Hou  (posted 2023-06-15 16:26:46.623)
您好,我购买了压电位移台NFL5DP20/M和对应的压电控制器KPZ101,下载了运动控制软件Kinesis版本。Kinesis上控制只是对应了电压,也就是0-75V,给不同的电压,位移台会移动,0-75V电压对应的移动距离是20 µm吗?它和电压的关系是线性的吗?
fguzman  (posted 2023-06-22 07:29:53.0)
Thanks for your enquiry. A member of our local team (techsupport-cn@thorlabs.com) will contact you to further discuss your application.
user  (posted 2022-08-11 12:07:41.143)
What is the resonant frequency of the NFL5DP20S?
Xing Lin  (posted 2021-03-13 16:44:41.733)
We bought NFL5DP20S, KPZ101 and KSG101. What is the accuracy of position readings from KSG101? Also, what is the on-axis accuracy if the whole system is operated in close-loop mode?
DJayasuriya  (posted 2021-03-19 05:43:49.0)
Thank you for you inquiry. We will get in touch with you directly to discuss your application further.
Leslie Deck  (posted 2020-10-22 16:43:35.1)
Can the NFL5D be upgraded later with a PZT drive?
DJayasuriya  (posted 2020-10-23 10:39:06.0)
thank you for your inquiry. Yes the NFL5D can be upgrade to a NFL5DP20 (5 mm Travel Translation Stage with Diff. Drive and 20 µm Piezo Actuator). Please get in touch with your local tech support team if you require this change, they will be happy to arrange it.
user  (posted 2020-08-31 13:03:36.61)
Does the horizontal load also allow a PULL force (i.e. mounted upside down with a hanging load)?
DJayasuriya  (posted 2020-09-02 03:51:05.0)
Thank you for your inquiry. The load capacity when mounted upside down should be lower than the 0.5 kg that we spec for the upright configuration. The limiting factor is the spring force and the flexure.
DJayasuriya  (posted 2020-09-02 03:51:05.0)
Thank you for your inquiry. The load capacity when mounted upside down should be lower than the 0.5 kg that we spec for the upright configuration. The limiting factor is the spring force and the flexure.
DJayasuriya  (posted 2020-09-02 03:51:05.0)
Thank you for your inquiry. The load capacity when mounted upside down should be lower than the 0.5 kg that we spec for the upright configuration. The limiting factor is the spring force and the flexure.
David Hoffman  (posted 2020-08-08 18:19:05.157)
Hello, What is the rms position fluctuation in the closed loop operation? Also what is the repeatability of the position command? Thank you
DJayasuriya  (posted 2020-08-21 09:31:52.0)
Thank you for your inquiry. The position fluctuations when used with closed loop is in the nano meter range theoretically (< 1 nm). The repeatability is similar to our Max stages 30 nm over 30 µm, 0.1 % over full travel range.
user  (posted 2020-05-25 06:10:53.02)
Hello. Is there any recommended direction when I use this stage vertically? In the usage picture, I can find its handle is upright. Can I put the handle downside?
DJayasuriya  (posted 2020-05-26 05:11:41.0)
Thank you for your inquiry. Yes you would be able to change the orientation of how the stage is mounted.
user  (posted 2019-12-19 17:07:03.207)
Hi, Probably a silly question. If I set the two micrometers, then how stable are they afterwards ? Will they drift while I use the piezo drive ? Is it possible to lock the micrometers to stop any drift ? Thanks !
cwright  (posted 2020-01-06 03:44:03.0)
Response from Charles at Thorlabs: Hello and thank you for contacting us. The micrometer on the NFL5DP20/M can be locked by use of a small thumbscrew but only for the course adjustment. The fine adjustment can not be locked on these devices. Unfortunately we do not have any data regarding drift of the micrometer during piezo operation but we would expect only thermal drift to be a factor.
ab177  (posted 2018-02-08 18:33:33.537)
Hello, I am assembling a multi-stack of translation stages where each has limited load capacity. Could you please tell me what is the weight of the NFL5DP20? Thanks, Art.
tfrisch  (posted 2018-02-09 04:22:39.0)
Hello, thank you for contacting Thorlabs. We list the weight in the drawing as 0.38kg. I will reach out to you to discuss this application.
chiwen.cheng  (posted 2017-09-25 17:43:03.733)
We have bought the NFL5DP20S/M and KPZ101. How could we get the relationship between voltage and displacement of Piezo? Do we need another strain gauge (KSG101) to read the real/absolute position? Many thanks
AManickavasagam  (posted 2017-09-26 05:38:12.0)
Response from Arunthathi at Thorlabs: Thank you for your question. Due to hysteresis you will not be able to achieve the Piezo versus displacement relationship. Hence you will need to buy the KSG101 which will measure the position accurately using the inbuilt strain gauge. Thanks.
jp  (posted 2014-06-16 15:31:43.27)
Hello, this is Junsong from Royal Institute of Technology, Sweden. How is the relationship between the voltage and the displacement of the Piezo? Is there a equation? For my experiment, I need to know the equation between them. Thanks very much.
rcapehorn  (posted 2014-06-17 11:32:34.0)
Response from Rob at Thorlabs: Thank you for your question. Due to the inherent nature of piezos having a hysteresis motion, the absolute position cannot be found from the voltage input. To achieve position information you would need to use one of the closed loop versions that uses a strain gauge, NFL5DP20S. I have emailed you with more details if you require.
dbcole  (posted 2014-03-07 10:03:24.203)
We’re looking to purchase this bundle and had a couple of questions. I’m not a piezo expert, so please forgive my incomplete knowledge. Can the piezo be driven by a sinusoidal signal in order to modulate the position sinusoidally? And if so, is there a maximum drive frequency? Also, can the device displacement be changed in a unidirectional manner over its 20um range at a given linear velocity?
cdaly  (posted 2014-03-07 11:52:42.0)
Response from Chris at Thorlabs: Thank you for your feedback. Yes, the piezo can be driven with a sinusoidal voltage in order to modulate the displacement, but this will require an input from a 0-10 V analog source such as a function generator or a DAQ card. The maximum frequency would depend on the depth of modulation required (peak to peak voltage) and the capacitance of the stage. For instance, if you were to modulate over the full 150 V (20 um) range of the stage, the maximum frequency would be roughly 8.8 Hz, This can be found using the equation f=I/(pi*V*C), where I is the max current for the controller (7.5mA), V is the voltage range of modulation and C is the capacitance of the stage (1800nF). This value may also be affected by the load present on the stage as well. The displacement of a piezo is inherently mostly linear, but there will be some deviation.
jlow  (posted 2012-12-13 09:27:00.0)
Response from Jeremy at Thorlabs: Unfortunately this is not possible on the NFL5D. The reason for this is because of the way this stage is designed (it does not have the typical barrel mount). If you are looking for a long travel piezo stage, how about adding on our PAS or PAZ series piezo actuator to our LNR50 series stages? You can find these at http://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=2295.
lbassett  (posted 2012-12-07 20:23:24.58)
Is it possible to replace the differential adjuster on the NFL5D with a longer-travel piezo actuator such as the DRV181 (80µm) or PAS015 (100µm)?
Greg  (posted 2009-01-26 11:31:06.0)
Response from Greg at Thorlabs to melsscal: Thank you for taking the time to ask us questions via our website. The PAA100 is a suitable cable for the piezo driver (SMC), while the PAA622 is the strain gauge cable (LEMO). The TPZNF5 (/M) and TSGNF5 (/M) come with the NF5P1 (/M) mounting plate. The T-Cubes come with mounting plates as well. I updated the webpage to clear this up. Also, the bundles are now detailed in tabs so that they are easier to learn about.
melsscal  (posted 2009-01-17 09:21:54.0)
Does the TSGNF5/M COMES WITH/INCLUDES THREE BASE PLATE LIKE NF5P2 - ONE EACH FOR NF5DP20S 5mm Travel Stage, TPZ001 Piezo Driver & TSG001 Strain Gauge Reader ?
melsscal  (posted 2009-01-17 08:25:03.0)
waht are the cables part no. which comes along with TSGN5/M as standard accessory ?we want to buy same extra as spare along with TSGN5/M.
melsscal  (posted 2009-01-17 08:16:26.0)
What are the part nos. of the suitable cables for SMC & LEMO ports of this stage ?

手動リニアステージ

手動の移動ステージとして、最大移動量が6 mm以下から50 mmまでのステージをご用意しています。ステージの多くはXY軸やXYZ軸などの多軸構成での注文が可能です。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の手動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかにも、回転ステージピッチ&ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また、DCサーボモータ、ステッピングモータ、またはダイレクトドライブ技術を用いた電動移動ステージもご用意しています。

クロスローラーベアリングステージ

こちらの直線移動ステージの移動機構には、精密移動、高耐荷重、小角度偏差といった特性を有するクロスローラーベアリングが用いられています。LNRシリーズステージの本体はスチール製、LX、XRNおよびXRシリーズステージの本体はアルミニウム製です。当社ではクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージもご用意しております(下記参照)。

Crossed-Roller Bearing Stages
Product FamilyLNR Series 25 mm Stages LX Series 25 mm
Stages
XRN Series 25 mm StagesXR Series 25 mm Stages XR Series 50 mm Stages LNR Series 50.8 mm Stages
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Travel25 mm (0.98")25 mm (0.98")25 mm (0.98")25 mm (0.98")50 mm (1.97")50.8 mm (2")
Drive TypeMultipleMicrometerMicrometerMicrometerMicrometerMultiple
Platform Size2.34" x 2.36"
(59.4 mm x 60.0 mm)
2.56" x 2.56"
(65.0 mm x 65.0 mm)
2.00" x 3.35"
(50.7 mm x 85.0 mm)
2.98" x 4.33"
(75.7 mm x 110.0 mm)
2.98" x 5.51"
(75.7 mm x 140.0 mm)
3.94" x 3.94"
(100.0 mm x 100.0 mm)
Possible Axis
Configurations
X, XZ, XY, XYZX, XY, XZ, YZ, XYZX, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZX, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZX, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZX, XY, XYZ
Additional Details

ボールベアリングステージ

こちらの移動ステージでは、精密移動と長寿命を実現するために、硬化スチール製リニアベアリングが用いられています。様々なアクチュエータが付いた製品や、1軸ステージや予め多軸ステージとして構築された製品をご用意しております。

Ball Bearing Stages
Product FamilyMS Series 1/4" StagesT12 Series 1/2" StagesMT Series 1/2" StagesPT Series 1" StagesLT Series 2" Stages
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Travel1/4" (6.4 mm)1/2" (12.7 mm)1/2" (12.7 mm)1" (25.4 mm)2" (50 mm)
Drive TypeMultipleThumbscrewMultipleMultipleDifferential Micrometer
Platform Size1.17" x 1.17"
(29.7 mm x 29.7 mm)
0.76" x 0.81"
(19.3 mm x 20.6 mm)
2.40" x 2.41"
(61.0 mm x 61.2 mm)
3.00" x 4.00"
(76.2 mm x 101.6 mm)
3.75" x 3.75"
(95.3 mm x 95.3 mm)
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Additional Details

アリ溝式ステージ

これらの小型ステージの移動機構にはアリ溝と送りネジが組み込まれています。一般的な移動制御用に適したステージです。

Dovetail Stages
Product FamilyDT Series 1/2" StagesDTS Series 1" Stage DTS Series 2" Stage
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Travel1/2" (12.7 mm)1" (25 mm)2" (50 mm)
Drive TypeThumbscrewThumbscrewThumbscrew
Platform Size1.00" x 1.00" (25.4 mm x 25.4 mm)2.68" x 2.95" (68.0 mm 75.0 mm)2.68" x 3.74" (68.0 mm x 95.0 mm)
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Additional Details

フレクシャーステージ

移動ステージNanoflex™には摩擦の無いフレクシャー機構が用いられており、ベアリングを用いた同様のステージと比較して位置決め性能と分解能が向上しています。ステージの移動は、取付けプラットフォームに取り付けられた連結部の弾性変形(たわみ)によって実現されています。多くのモデルには、微細な位置調整用にピエゾアクチュエータも付属します。 

Flexure Stages
Product FamilyNanoflex™ 1.5 mm StageNanoflex™ 5 mm Stages
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Travel1.5 mm (0.06") + 25 µm Piezo5 mm (0.20")5 mm (0.20") + 20 µm Piezo
Drive TypeThumbscrew and Piezo ActuatorDifferential MicrometerDifferential Micrometer and
Open-Loop Piezo Actuator
Differential Micrometer and
Closed-Loop Piezo Actuator
Platform Size1.18" x 1.18" (30.0 mm x 30.0 mm)2.95" x 2.95" (75.0 mm x 75.0 mm)
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Additional Details

垂直移動ステージ

当社では精密移動用のクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージや、高荷重用の長距離垂直移動ステージもご用意しております。 

Vertical Stages
Product FamilyXRN Series 9 mm Vertical StageXR Series 14 mm Vertical StageMVS Series 1/2" Vertical StageMVS Series 1" Vertical Stage VAP Series 4" Vertical StageVAP Series 10" Vertical Stage
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Travel9.0 mm (0.35")14.0 mm (0.55")1/2" (13.0 mm)1" (25.0 mm)4" (101.6 mm)10" (254 mm)
Drive TypeWorm-Gear Driven Lift ScrewMicrometerAdjuster Knob and Coarse Manual Positioning
Platform Size2.00" x 2.00"
(50.7 mm x 50.7 mm)
2.98" x 2.98"
(75.7 mm x 75.7 mm)
2.36" x 2.36" (60.0 mm x 60.0 mm)3.00" x 6.00" (76.2 mm 152.4 mm)
Additional Details

電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。

Piezoelectric Stages
Product FamilyORIC®
PD2 Open-Loop
5 mm Stage
ORIC®
PDX2 Closed-Loop
5 mm Stage
ORIC®
PD1 Open-Loop
20 mm Stage
ORIC®
PD1D Open-Loop
20 mm
Monolithic XY Stage
ORIC®
PDX1 Closed-Loop
20 mm Stage
ORIC®
PD3 Open-Loop
50 mm Stage
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Travel5 mm20 mm50 mm
Maximum Velocity10 mm/sa8 mm/s (Typ.)b3 mm/sc20 mm/sb10 mm/sa
Drive TypePiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZXY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
13 mm x 13 mm30 mm x 30 mm80 mm x 30 mm
Additional Details
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時
  • コントローラK-Cube KIM101使用時
Piezoelectric Stages
Product FamilyNanoflex™
20 µm Stage
with 5 mm Actuator
Nanoflex™
25 µm Stage
with 1.5 mm Actuator
Elliptec® 28 mm Stage Elliptec® 60 mm StageLPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel20 µm + 5 mm Manual25 µm + 1.5 mm Manual28 mm60.0 mm1.1 mm
Maximum Velocity-180 mm/s90 mm/s-
Drive TypePiezo with Manual ActuatorResonant Piezoelectric MotorAmplified Piezo
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZXZ
Mounting Surface Size75 mm x 75 mm30 mm x 30 mm15 mm x 15 mm21 mm x 21 mm
Additional Details

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。ステージの多くは多軸構成(PLSXY)や、多軸ステージ(PLSX、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)への組み込みが可能です。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。

Stepper Motor Stages
Product FamilyPLSX with and without PLST(/M) Top Plate
1" Stage
PLSXY with and without PLST(/M) Top Plate
1" Stage
LNR Series
25 mm Stage
LNR Series
50 mm Stage
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Travel1"25 mm50 mm
Maximum Velocity7.0 mm/s2.0 mm/s50 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XYX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
3" x 3"60 mm x 60 mm100 mm x 100 mm
Additional Details

Stepper Motor Stages
Product FamilyNRT Series
100 mm Stage
NRT Series
150 mm Stage
LTS Series
150 mm Stage
LTS Series
300 mm Stage
MLJ250
50 mm Vertical Stage
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Travel100 mm150 mm150 mm300 mm50 mm
Maximum Velocity30 mm/s50 mm/s3.0 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XY, XYZX, XY, XYZZ
Mounting
Surface Size
84 mm x 84 mm100 mm x 90 mm148 mm x 131 mm
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product FamilyMT Series
12 mm Stages
PT Series
25 mm Stages
MTS Series
25 mm Stage
MTS Series
50 mm Stage
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Travel12 mm25 mm25 mm50 mm
Maximum Velocity2.6 mm/s2.4 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
61 mm x 61 mm101.6 mm x 76.2 mm43 mm x 43 mm
Additional Details
DC Servo Motor Stages
Product FamilyM30 Series
30 mm Stage
M30 Series
30 mm Monolithic
XY Stage
M150 Series
150 mm XY Stage
KVS30
30 mm Vertical Stage
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Travel30 mm150 mm30 mm
Maximum Velocity2.4 mm/sX-Axis: 170 mm/s
Y-Axis: 230 mm/s
8.0 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, ZXY, XZXYZ
Mounting
Surface Size
115 mm x 115 mm272.4 mm x 272.4 mm 116.2 mm x 116.2 mm
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product FamilyDDS Series
50 mm Stage
DDS Series
100 mm Stage
DDS Series
220 mm Stage
DDS Series
300 mm Stage
DDS Series
600 mm Stage
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Travel50 mm100 mm220 mm300 mm600 mm
Maximum Velocity500 mm/s300 mm/s400 mm/s400 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XYX, XYXX
Mounting Surface Size60 mm x 52 mm88 mm x 88 mm120 mm x 120 mm
Additional Details
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1軸フレクシャーステージ、移動量5 mm、手動型および手動-ピエゾハイブリッド型

ステージには差動マイクロメータが付属し、手動による粗調整と微調整が可能です。ピエゾアクチュエータ付きのハイブリッド型ステージもご用意しています。このピエゾアクチュエータは、閉ループまたは開ループ動作用にそれぞれ歪ゲージによるフィードバック有りと無しのバージョンがあります。NFL5シリーズのステージは、精密なナノポジショニングが必要とされる干渉分光法や顕微鏡法などの様々な用途に適します。

接続可能なコントローラについてなど詳細は上記の「仕様」タブ内をご参照ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
NFL5D Support Documentation
NFL5DNanoFlex™5 mm移動ステージ、差動マイクロメータ付き(インチ規格)
¥128,895
7-10 Days
NFL5DP20 Support Documentation
NFL5DP20NanoFlex™5 mmハイブリッド型移動ステージ、差動マイクロメータ&ピエゾ付き(インチ規格)
¥156,886
7-10 Days
NFL5DP20S Support Documentation
NFL5DP20SNanoFlex™5 mmハイブリッド型移動ステージ、差動マイクロメータ&閉ループピエゾ付き(インチ規格)
¥211,406
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
NFL5D/M Support Documentation
NFL5D/MNanoFlex™5 mm移動ステージ、差動マイクロメータ付き(ミリ規格)
¥128,895
7-10 Days
NFL5DP20/M Support Documentation
NFL5DP20/MNanoFlex™5 mmハイブリッド型移動ステージ、差動マイクロメータ&ピエゾ付き(ミリ規格)
¥156,886
7-10 Days
NFL5DP20S/M Support Documentation
NFL5DP20S/MNanoFlex™5 mmハイブリッド型移動ステージ、差動マイクロメータ&閉ループピエゾ付き(ミリ規格)
¥211,406
Today
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NFL5シリーズ取付けアダプタ

NFL5P1/M およびNFL5P2/M は、NFL5シリーズの移動ステージ用のアダプタープレートです。NFL5P1/Mは汎用ベースプレートで、その両側にスロットがあるので、光学ブレッドボードに簡単に取付けできます。このベースは、XYまたはXYZ の多軸構成で、ステージ中央のザグリ穴が使用できない時に利用できます。

NFL5P2/Mは直角ブラケットで、NFL5シリーズのステージを2軸または3軸構成で垂直に取り付けられます。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
NFL5P1 Support Documentation
NFL5P1NanoFlex™NFL5Dシリーズベースプレート(インチ規格)
¥7,649
7-10 Days
NFL5P2 Support Documentation
NFL5P2NanoFlex™NFL5Dシリーズ直角ブラケット(インチ規格)
¥15,787
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
NFL5P1/M Support Documentation
NFL5P1/MNanoFlex™NFL5Dシリーズベースプレート(ミリ規格)
¥7,649
Today
NFL5P2/M Support Documentation
NFL5P2/MNanoFlex™NFL5Dシリーズ直角ブラケット(ミリ規格)
¥15,787
7-10 Days