ピエゾアクチュエーター、ハーメチックシール型


  • Hermetically Sealed Housing for Harsh Environments
  • Option for High-Temperature Operation Up to 210 °C
  • Sub-Millisecond Response Time with No Load
  • Free Stroke Displacements of 12.0 µm or 17.0 µm

PH24SRW

150 V PZT, 17.0 µm,
Hermetically Sealed

Top

Bottom

PKFESP

Ø5.0 mm
Hemisphere

PKDESP

Ø2.5 mm
Hemisphere

Mounting Divot
(Each End)

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Hemisphere Mounting
半球状エンドプレート(別売り、下記参照)を用いた適切な取り付け方法

特長

  • 駆動電圧範囲: 0~150 V
  • フリーストローク変位量: 12.0 µmまたは17.0 µm
  • 過酷な環境に対応可能な、レーザ溶接されたハーメチックシール型金属パッケージ
  • PH24SRZWは210 ºCまでの温度で動作可能
  • 開ループシステム用
  • ワイヤ(長さ約75 mm)付きで組み込みが容易
  • 真空対応: 10-8 Torr
  • 組み込み用途(OEM用途)に適した製品
  • 結合用半球状エンドプレートを別途ご用意
  • カスタム仕様にも対応可能(詳細は当社までお問い合わせください)。

当社のハーメチックシール型ピエゾアクチュエータは、多段チップ型ピエゾアクチュエータを金属製の蛇腹の中に取り付け、窒素環境下においてエンドキャップで封止したものです。蛇腹とエンドキャップはレーザ溶接で気密封止されているため、真空中でも、高湿度、水、油などにさらされる環境下においても、長寿命と高い信頼性を得ることができます。

アクチュエータPH24SRWは、金属製の蛇腹の中に多段チップ型ピエゾアクチュエータPK4FQP1が取り付けられており、17 μm のフリーストローク変位量が得られます。アクチュエータPH24SRZWのフリーストローク変位量は、それよりも短い12 μmですが、金属製の蛇腹の中に積層された硬質のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)が取り付けられており、210 °Cまで使用できるように設計されています。仕様や図面、性能グラフについては、下表内の青いInfoアイコンinfo iconをクリックするとご覧いただけます。

金属製エンドキャップの窪みは、上の図のようにセラミック製の半球状エンドプレートと組み合わせて使用するためのものです。半球状エンドプレートの曲面により、アクチュエータは軸外の負荷にも対応できるようになります。半球状エンドプレートはユーザのアセンブリに接着する必要があります。アクチュエータは半球状エンドプレートだけで位置が固定されます。アクチュエータを直接アセンブリに取り付ける際は、接着剤EPO-TEK 353NDやLoctite Hysol 9340などのご使用をお勧めいたします。

高真空の環境で使用するときには、この部品をイソプロピルアルコール(IPA)で超音波洗浄し、その後60 °Cで2時間ベーキングすることをお勧めします。ご自身でベーキング工程を決めて行う場合は、最高ベーキング温度はPH24SRWでは150 °C未満、PH24SRZWでは210 °C未満とし、ベーキング時間は2時間未満としてください。

注:駆動後のピエゾアクチュエータには電荷が蓄積しています。赤と黒のワイヤを直接接続すると放電し、火花の発生や、さらには故障する危険性もあります。この電荷を解放するために、当社ではワイヤの間に抵抗(>1 kΩ)を挿入することをお勧めしています。

Piezo Manufacturing

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PZTブロックを個々の素子に切断する様子

当社におけるピエゾアクチュエータの製造について

ピエゾアクチュエータは当社の施設内で製造しており、各製造工程を当社が管理しています。これにより、特注や組み込み用途(OEM用途)のデバイスなどを高品質かつ安価でご提供することが可能になります。当社における ピエゾアクチュエータの製造工程の概要は以下の通りです。詳細については、ピエゾ素子の製造能力のページをご参照ください。

  • チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)またはBiScO3-PbTiO3(BSPT)の粉末で形成されたフレキシブルシートからブロックを作成
    • 各シート上に内部電極をスクリーン印刷
    • 印刷したシートを積み重ねて層を形成
    • 層状のシートを等方プレス
  • ブロックを個々の素子にダイシング(切断)
  • 素子を熱処理して溶媒やバインダ材の残留物を除去
  • 素子を焼結して圧電性の圧粉を融着させ、PZTまたはBSPT結晶を生成
  • 厳しい寸法公差(±5 µm)を得るために、素子をラップ研磨
  • 素子に外部電極をスクリーン印刷
  • 素子を分極処理して、PZTまたはBSPT結晶の軸を揃える
アイコン等について
info icon下記の表内にある青いInfoアイコンをクリックすると、各製品の仕様、図面、グラフをご覧いただけるウィンドウが開きます。
Piezo Tutorial

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ピエゾアクチュエータ、ハーメチックシール型、150 V

ハーメチックシールされたピエゾアクチュエータは、過酷な環境下での使用にも適しています。大きなストロークをご希望の場合は、フリーストローク変位量17 μmのPH24SRWをお選びください。高温で使用する必要がある場合は、210 °Cまでご使用いただけるPH24SRZWをお選びください。

Item #InfoaMax
Drive
Voltage
Displacement
(Free Stroke)
Operating
Temperature
Housing DimensionsResonant
Frequency
(No Load)
Recommended
Loadb
CapacitancecBlocking
Force
PH24SRWinfo150 V17.0 µm ± 15%-25 to 130 °CØ12.0 mm x 24.2 mm22 kHz200 N (45 lbs)1600 nF ± 15%900 N
(203 lbs)
PH24SRZWinfo12.0 µm ± 15%-25 to 210 °C90 kHz1200 nF ± 15%
  • 青いアイコンMore Info Iconをクリックすると、仕様、図面、性能グラフを見ることができ、データのダウンロードも可能です。
  • 変位量は負荷が異なると若干変化する場合があります。最大変位量は推奨負荷を使用したときに得られます。
  • 1 kHz, 1 VRMSでの値
+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PH24SRW Support Documentation
PH24SRWCustomer Inspired! ハーメチックシール型ピエゾアクチュエータ、150 V、変位量17.0 µm、動作温度-25~130 °C、Ø12.0 mm × 24.2 mm
¥29,778
Volume Pricing
7-10 Days
PH24SRZW Support Documentation
PH24SRZWCustomer Inspired! ハーメチックシール型ピエゾアクチュエータ、150 V、変位量12.0 µm、動作温度-25 ~210 °C、Ø12.0 mm × 24.2 mm
¥37,876
Volume Pricing
7-10 Days
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取付け用半球状エンドプレート

Sizes
Item #Diameter
PKCESP2.0 mm
PKDESP2.5 mm
PKJESP3.0 mm
PKFESP5.0 mm
  • 半球状エンドプレートにより動作時の安定した接触を実現
  • 25個入りパックで販売

こちらのアルミニウム製半球状エンドプレートは、上記のハーメチックシール済みピエゾアクチュエータのエンドプレートに対応しています。多段チップの筐体とレバーアーム間の安定した接触を実現するのにご使用いただけます。上記のアクチュエータの窪みはあまり深くないため、直径が6 mmより大きい半球状エンドプレートのご使用はお勧めいたしません。ここでご紹介する半球状エンドプレートの直径公差は±0.1 mmです。当社では、ほかのサイズの半球状エンドプレートや、ほかの多段チップ型ピエゾアクチュエータ用のエンドプレートやエンドカップもご用意しております。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PKCESP Support Documentation
PKCESPCustomer Inspired! Ø2.0 mm半球状エンドプレート、25個入りパック
¥5,168
Today
PKDESP Support Documentation
PKDESPCustomer Inspired! Ø2.5 mm半球状エンドプレート、25個入りパック
¥5,168
7-10 Days
PKJESP Support Documentation
PKJESPCustomer Inspired! Ø3.0 mm半球状エンドプレート、25個入りパック
¥5,168
7-10 Days
PKFESP Support Documentation
PKFESPCustomer Inspired! Ø5.0 mm半球状エンドプレート、25個入りパック
¥5,168
Today